JPS6057132U - ウエハつかみ装置 - Google Patents
ウエハつかみ装置Info
- Publication number
- JPS6057132U JPS6057132U JP14891083U JP14891083U JPS6057132U JP S6057132 U JPS6057132 U JP S6057132U JP 14891083 U JP14891083 U JP 14891083U JP 14891083 U JP14891083 U JP 14891083U JP S6057132 U JPS6057132 U JP S6057132U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- wafer
- gripping device
- wafer gripping
- claw
- enable
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Gripping Jigs, Holding Jigs, And Positioning Jigs (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
第１図は、従来のウェハつかみ装置の縦断面図、第２図
は、本考案によるウェハつかみ装置の一実施例を示す縦
断面図である。 ４°°°°°°ウエハ、６°°°°°°爪、７４ｓ＋１
１１１１１１コイルバネ、８・・・・・・加熱装置。
は、本考案によるウェハつかみ装置の一実施例を示す縦
断面図である。 ４°°°°°°ウエハ、６°°°°°°爪、７４ｓ＋１
１１１１１１コイルバネ、８・・・・・・加熱装置。
Claims (1)
- ウェハのつかみ、離しを行う爪を形状記憶合金で形成す
ると共に、該爪での前記ウェハのつかみを可能とする加
熱装置と、前記爪での前記ウエノ１の離しを可能とする
バネとを設けたことを特徴とするウェハつかみ装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14891083U JPS6057132U (ja) | 1983-09-28 | 1983-09-28 | ウエハつかみ装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14891083U JPS6057132U (ja) | 1983-09-28 | 1983-09-28 | ウエハつかみ装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6057132U true JPS6057132U (ja) | 1985-04-20 |
Family
ID=30330708
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP14891083U Pending JPS6057132U (ja) | 1983-09-28 | 1983-09-28 | ウエハつかみ装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6057132U (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS60262437A (ja) * | 1984-06-11 | 1985-12-25 | Ulvac Corp | 真空中の基板ハンドリング装置 |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS57207571A (en) * | 1981-06-17 | 1982-12-20 | Hitachi Ltd | Wafer holding mechanism of resist coating device |
-
1983
- 1983-09-28 JP JP14891083U patent/JPS6057132U/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS57207571A (en) * | 1981-06-17 | 1982-12-20 | Hitachi Ltd | Wafer holding mechanism of resist coating device |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS60262437A (ja) * | 1984-06-11 | 1985-12-25 | Ulvac Corp | 真空中の基板ハンドリング装置 |
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