JPS60146340U - 半導体ウエ−ハキヤリア洗浄用ブラシ - Google Patents

半導体ウエ−ハキヤリア洗浄用ブラシ

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Publication number
JPS60146340U
JPS60146340U JP3454584U JP3454584U JPS60146340U JP S60146340 U JPS60146340 U JP S60146340U JP 3454584 U JP3454584 U JP 3454584U JP 3454584 U JP3454584 U JP 3454584U JP S60146340 U JPS60146340 U JP S60146340U
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
semiconductor wafer
wafer carrier
cleaning brush
carrier cleaning
brush
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP3454584U
Other languages
English (en)
Inventor
晃一郎 蔦原
Original Assignee
三菱電機株式会社
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Filing date
Publication date
Application filed by 三菱電機株式会社 filed Critical 三菱電機株式会社
Priority to JP3454584U priority Critical patent/JPS60146340U/ja
Publication of JPS60146340U publication Critical patent/JPS60146340U/ja
Pending legal-status Critical Current

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  • Brushes (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第１図はウェーハキャリアのウェーハ保持状況を示す斜
視図、第２図は従来のキャリア洗浄器の構造を明示する
ためにブラシを引き出して示した斜視図、第３図は従来
のキャリア洗浄器の動作状況を示す縦断面図、第４図は
この考案の一実施例を示す斜視図、第５図はこの実施例
を用いたキャリア洗浄器の構造を示す縦断面図である。 図において、１はウェーハキャリア、３ａはブラシ、４
は回転軸である。なお、図中同一符号は同一または相当
部分を示す。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. ブラシの毛を、上記毛の先端が形成する円筒が当該ブラ
    シの回転軸に対して偏心するように植毛されたことを特
    徴とする半導体ウェーハキャリア洗浄用ブラシ。
JP3454584U 1984-03-09 1984-03-09 半導体ウエ−ハキヤリア洗浄用ブラシ Pending JPS60146340U (ja)

Priority Applications (1)

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JP3454584U JPS60146340U (ja) 1984-03-09 1984-03-09 半導体ウエ−ハキヤリア洗浄用ブラシ

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP3454584U JPS60146340U (ja) 1984-03-09 1984-03-09 半導体ウエ−ハキヤリア洗浄用ブラシ

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPS60146340U true JPS60146340U (ja) 1985-09-28

Family

ID=30538011

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP3454584U Pending JPS60146340U (ja) 1984-03-09 1984-03-09 半導体ウエ−ハキヤリア洗浄用ブラシ

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPS60146340U (ja)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2018133447A (ja) * 2017-02-15 2018-08-23 株式会社Sumco Ｆｏｓｂ型出荷用ウェーハ収容容器の洗浄方法

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
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