JPS6338966U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS6338966U JPS6338966U JP1986131222U JP13122286U JPS6338966U JP S6338966 U JPS6338966 U JP S6338966U JP 1986131222 U JP1986131222 U JP 1986131222U JP 13122286 U JP13122286 U JP 13122286U JP S6338966 U JPS6338966 U JP S6338966U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- view
- projections
- dressing jig
- substrate
- edge
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 2
- 239000004744 fabric Substances 0.000 claims 1
- 238000005498 polishing Methods 0.000 description 3
Description
第１図は本考案に係るドレツシング治具の一実
施例を示す平面図、第２図は第１図―線断面
図、第３図および第４図はドレツシング治具を研
摩装置のキヤリアに装着した状態を示す一部破断
平面図および要部断面図、第５図は本考案の他の
実施例を示す平面図、第６図は第５図―線拡
大断面図、第７図および第８図は研摩装置の従来
例を示す半断面図および一部破断平面図、第９図
はドレツシング治具の従来例を示す斜視図、第１
０図および第１１図はドレツシング治具を研摩装
置のキヤリアに装着した状態を示す平面図および
要部断面図である。 ５……キヤリア、９……被加工物、３０，４０
……ドレツシング治具、４１……基板、４２……
突起、４４……突状体、４３……透孔、４６，４
７……エツジ、５０……突起。
施例を示す平面図、第２図は第１図―線断面
図、第３図および第４図はドレツシング治具を研
摩装置のキヤリアに装着した状態を示す一部破断
平面図および要部断面図、第５図は本考案の他の
実施例を示す平面図、第６図は第５図―線拡
大断面図、第７図および第８図は研摩装置の従来
例を示す半断面図および一部破断平面図、第９図
はドレツシング治具の従来例を示す斜視図、第１
０図および第１１図はドレツシング治具を研摩装
置のキヤリアに装着した状態を示す平面図および
要部断面図である。 ５……キヤリア、９……被加工物、３０，４０
……ドレツシング治具、４１……基板、４２……
突起、４４……突状体、４３……透孔、４６，４
７……エツジ、５０……突起。
Claims (1)
- 基板の少なくとも一主面に、先端がエツジ状を
なす環状もしくは筒状の突起を多数設け、この突
起の先端により研摩布をドレツシングするように
したことを特徴とするドレツシング治具。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1986131222U JPS6338966U (ja) | 1986-08-29 | 1986-08-29 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1986131222U JPS6338966U (ja) | 1986-08-29 | 1986-08-29 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6338966U true JPS6338966U (ja) | 1988-03-12 |
Family
ID=31029469
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1986131222U Pending JPS6338966U (ja) | 1986-08-29 | 1986-08-29 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6338966U (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2014168846A (ja) * | 2014-06-09 | 2014-09-18 | Showa Denko Kk | 両面加工装置に用いられるキャリアプレート |
-
1986
- 1986-08-29 JP JP1986131222U patent/JPS6338966U/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2014168846A (ja) * | 2014-06-09 | 2014-09-18 | Showa Denko Kk | 両面加工装置に用いられるキャリアプレート |