JPS61187657U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS61187657U JPS61187657U JP1985072249U JP7224985U JPS61187657U JP S61187657 U JPS61187657 U JP S61187657U JP 1985072249 U JP1985072249 U JP 1985072249U JP 7224985 U JP7224985 U JP 7224985U JP S61187657 U JPS61187657 U JP S61187657U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- cloth
- unevenness
- polishing
- abrasive cloth
- member according
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000004744 fabric Substances 0.000 claims description 14
- 238000005498 polishing Methods 0.000 claims description 12
- 239000007788 liquid Substances 0.000 claims description 2
- 229920000742 Cotton Polymers 0.000 claims 1
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims 1
Description
第１図は本考案に係る研磨布部材の第１実施例
を説明するための斜視図、第２図は第１図に示す
研磨布部材の部分拡大断面図、第３図は第１図に
示す研磨布部材の変形例の斜視図、第４図は本考
案に係る研磨布部材の第２の実施例を示す部分拡
大断面図、第５図は従来の研磨布部材の構成を示
す斜視図、第６図、第７図は従来の研磨布部材を
使用して研磨作業を行う場合を説明するための側
面図、である。 ５……定盤、６……被加工物、７……研磨液、
８……研磨布部材、９……裏面、１１……表面、
１２……凸部、１３……凹部、１４……研磨布。
を説明するための斜視図、第２図は第１図に示す
研磨布部材の部分拡大断面図、第３図は第１図に
示す研磨布部材の変形例の斜視図、第４図は本考
案に係る研磨布部材の第２の実施例を示す部分拡
大断面図、第５図は従来の研磨布部材の構成を示
す斜視図、第６図、第７図は従来の研磨布部材を
使用して研磨作業を行う場合を説明するための側
面図、である。 ５……定盤、６……被加工物、７……研磨液、
８……研磨布部材、９……裏面、１１……表面、
１２……凸部、１３……凹部、１４……研磨布。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 (1) 研磨布の被加工物に対面する側に凹凸が形
成され、該凹凸間が研磨液の貯溜部となつている
ことを特徴とする研磨布部材。 (2) 前記研磨布は偏平形状とされ、凹凸を有す
る基板に該研磨布が貼り付けられていることを特
徴とする実用新案登録請求の範囲第１項に記載の
研磨布部材。 (3) 前記研磨布は、人絹、綿布、圧縮毛である
ことを特徴とする実用新案登録請求の範囲第１項
又は第２項に記載の研磨布部材。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1985072249U JPS61187657U (ja) | 1985-05-17 | 1985-05-17 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1985072249U JPS61187657U (ja) | 1985-05-17 | 1985-05-17 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61187657U true JPS61187657U (ja) | 1986-11-22 |
Family
ID=30610487
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1985072249U Pending JPS61187657U (ja) | 1985-05-17 | 1985-05-17 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS61187657U (ja) |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2000343413A (ja) * | 1999-06-09 | 2000-12-12 | Toray Ind Inc | 研磨パッド |
| JP2006346805A (ja) * | 2005-06-15 | 2006-12-28 | Toyo Tire & Rubber Co Ltd | 積層研磨パッド |
| WO2007026610A1 (ja) * | 2005-08-30 | 2007-03-08 | Toyo Tire & Rubber Co., Ltd. | 積層研磨パッドの製造方法 |
| JP2018082213A (ja) * | 2011-11-29 | 2018-05-24 | キャボット マイクロエレクトロニクス コーポレイション | 下地層および研磨表面層を有する研磨パッド |
| JP2019510650A (ja) * | 2016-03-24 | 2019-04-18 | アプライド マテリアルズ インコーポレイテッドＡｐｐｌｉｅｄ Ｍａｔｅｒｉａｌｓ，Ｉｎｃｏｒｐｏｒａｔｅｄ | 化学機械研磨のためのテクスチャード加工された小型パッド |
| JP2020531298A (ja) * | 2017-08-25 | 2020-11-05 | スリーエム イノベイティブ プロパティズ カンパニー | 表面突起研磨パッド |
-
1985
- 1985-05-17 JP JP1985072249U patent/JPS61187657U/ja active Pending
Cited By (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2000343413A (ja) * | 1999-06-09 | 2000-12-12 | Toray Ind Inc | 研磨パッド |
| JP4501175B2 (ja) * | 1999-06-09 | 2010-07-14 | 東レ株式会社 | 研磨パッドの製造方法 |
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| US9126303B2 (en) | 2005-08-30 | 2015-09-08 | Toyo Tire & Rubber Co., Ltd. | Method for production of a laminate polishing pad |
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| US12048980B2 (en) | 2017-08-25 | 2024-07-30 | 3M Innovative Properties Company | Surface projection polishing pad |