JP2015069662A - Ｈｄｄ用ガラス基板の製造方法 - Google Patents

Abstract

【課題】主表面から端面にかけて充分に洗浄することができ、清浄度の高いガラス基板を得ることのできるガラス基板の製造方法を提供する。【解決手段】洗浄工程を備え、該洗浄工程は、表面に複数の突起が設けられた第１スクラブブラシを用いて、前記複数の突起を前記ガラス基板の主表面、内周端面および外周端面に接触させて洗浄する第１スクラブ洗浄工程と、前記第１スクラブ洗浄工程後に、前記内周端から前記外周端までの長さよりも長い溝が設けられた第２スクラブブラシを用いて、前記主表面、前記内周端面および前記外周端面を洗浄する第２スクラブ洗浄工程とを含むＨＤＤ用ガラス基板の製造方法。【選択図】図６

Description

本発明は、ＨＤＤ用ガラス基板の製造方法に関する。

近年、ハードディスクドライブ（ＨＤＤ）は、増々高密度化および高容量化されてきており、それに伴い搭載されているディスク表面には高い清浄度が求められている。これは、近年のＨＤＤではディスク上を浮上すヘッドの浮上量が数ｎｍにまで低下する傾向にあり、ディスク表面の清浄度が低い場合には、ヘッドクラッシュなどハードディスクに致命的な問題が発生するためである。そのため、このようなＨＤＤに搭載されるディスクには、主表面および端面においてこれまで以上の高い清浄度も求められている。

ところで、ＨＤＤに搭載されているディスクには、ガラス基板とアルミニウム基板の２種類があるが、中でもガラス基板は高剛性、高平滑性の観点から優れており、ノートパソコンなどにも使用されている。ガラス基板は、たとえば中心孔が形成された円盤形状であり、記録領域が形成される主表面のほか内周面、外周面を有する。主表面と内周面との接続部分（内周端面付近）、主表面と外周面との接続部分（外周端面付近）には、主に耐衝撃性を付与するための面取り加工が施された面取り面（チャンファ面）が形成されている。

ガラス基板の清浄度を確保するために、洗浄ブラシによってガラス基板を直接的に洗浄する方法が知られている。洗浄ブラシによって、ガラス基板を直接的に洗浄する方法としては、たとえば、ロールスクラブブラシやカップスクラブブラシを用いたスクラブ洗浄方法が知られている。しかしながら、従来のスクラブ洗浄では、ガラス基板の表面と端面との洗浄度が一定でなく、いずれかに付着物（汚れ）が残るという問題がある。

そこで、端面洗浄ブラシを用いて端面を洗浄する方法や、特定の表面形状を有するブラシを用いて洗浄する方法が提案されている（特許文献１）。

特開２０１０−２２７７６６号公報

しかしながら、近年のＨＤＤには、さらなる高容量化（たとえば１ＴＢ／ｉｎｃｈ^２）が求められており、主表面から端面にかけて充分に洗浄される必要がある。特許文献１に記載のスクラブブラシで洗浄したガラス基板では、充分に洗浄が行われず、ＨＤＤに搭載した場合に読み書きエラーが発生するという問題がある。

本発明は、このような従来の問題に鑑みてなされたものであり、主表面から端面にかけて充分に洗浄することができ、清浄度の高いガラス基板を得ることのできるガラス基板の製造方法を提供することを目的とする。

本発明者は、上記読み取りエラーの原因について精査したところ、ガラス基板の付着物が充分に除去されていないことに基づくことを突き止めた。すなわち、特許文献１に記載のような従来のスクラブブラシを用いることによりガラス基板の主表面の付着物を移動させることができるものの、完全に除去することはできず、端面付近に集中させてしまい、集中した付着物が読み取りエラーの原因となっていることを突き止めた。この問題に対して、端面ブラシを用いて付着物の集中した端面付近を洗浄することが考えられるが、端面ブラシは、端面に対して強く接触して洗浄することができるものの、チャンファ面に対しては充分に強く接触して洗浄することができず、端面付近に集中した付着物を充分に除去することができないことが分かった。そこで本発明者は、鋭意検討した結果、主表面および端面を同時に洗浄することのできる２種類のスクラブブラシを順に使用することにより、主表面から端面にかけて付着物が良好に除去できることに着目し、本発明を完成させた。

すなわち、本発明の一局面によるＨＤＤ用ガラス基板の製造方法は、中心孔が形成されたガラス基板の洗浄工程を備えるＨＤＤ用ガラス基板の製造方法であって、前記洗浄工程は、表面に複数の突起が設けられた第１スクラブブラシを用いて、前記複数の突起を前記ガラス基板の主表面、内周端面および外周端面に接触させて洗浄する第１スクラブ洗浄工程と、前記第１スクラブ洗浄工程後に、前記内周端から前記外周端までの長さよりも長い溝が設けられた第２スクラブブラシを用いて、前記主表面、前記内周端面および前記外周端面を洗浄する第２スクラブ洗浄工程とを含むことを特徴とする。

上記構成によれば、第１スクラブ洗浄工程において、第１スクラブブラシは、突起をガラス基板の主表面および端面に周り込ませながら同時に接触させて、洗浄することができる。これにより、付着物を主表面から後続する第２スクラブ洗浄工程により洗浄しやすい位置に移動させることができる。第２スクラブ洗浄工程において、第２スクラブブラシは、主表面から端面にかけて溝が形成された部分を同時に接触させ、第１スクラブ洗浄工程において移動された付着物を拭き取ることができる。その結果、ガラス基板は、主表面から端面にかけて付着物が集中することなく良好に除去され、高い清浄度が実現される。したがって、得られるガラス基板を使用したＨＤＤは、読み取りエラーの発生頻度が充分に低下する。

上記構成において、前記第１スクラブブラシは、前記突起が側面に形成された円柱状のロールスクラブブラシであってもよい。この場合、第１スクラブブラシはロールスクラブ洗浄装置に適用することができ、複数の突起をガラス基板の主表面、内周面および外周面に同時に接触させやすく、付着物をガラス基板の主表面から移動させやすい。

上記構成において、前記第２スクラブブラシは、円柱状のロールスクラブブラシであり、前記溝は、前記ロールスクラブブラシの側面に、該ロールスクラブブラシの回転軸と平行な方向に設けられていてもよい。この場合、第２スクラブブラシは、ロールスクラブ洗浄装置に適用することができ、溝をガラス基板の主表面、内周面および外周面に同時に接触させやすく、ガラス基板を良好に洗浄することができる。

上記構成において、前記第１スクラブブラシは、前記突起が平面に形成された円柱状のカップスクラブブラシであってもよい。この場合、第１スクラブブラシはカップスクラブ洗浄装置に適用することができ、複数の突起をガラス基板の主表面、内周面および外周面に同時に接触させやすく、付着物をガラス基板の主表面から移動させやすい。

上記構成において、前記第２スクラブブラシは、前記溝が平面に形成された円柱状のカップスクラブブラシであってもよい。この場合、第２スクラブブラシは、カップスクラブ洗浄装置に適用することができ、溝をガラス基板の主表面、内周面および外周面に同時に接触させやすく、ガラス基板を良好に洗浄することができる。

上記構成において、前記突起の面積は、３０〜５００ｍｍ^２であることが好ましい。この場合、ブラシが基板の端部に円滑に周り込むことにより、端部を円滑に洗浄することができる。

上記構成において、前記溝の幅は、５〜３０ｍｍであることが好ましい。この場合、たとえば洗浄液を供給しながらガラス基板を洗浄する場合には、溝は、過度に変形することがない。また、新旧の洗浄液が効率的に交換され、洗浄効率が向上する。

上記構成において、前記突起は、円柱状であることが好ましい。この場合、突起部が基板に接触した際に圧力が比較的分散されるため、安定した洗浄性を得ることができる。

本発明によれば、主表面から端面にかけて充分に洗浄することができ、清浄度の高いガラス基板を得ることのできるガラス基板の製造方法を提供することができる。

図１は、ロールスクラブ洗浄を行う場合に使用される第１スクラブブラシの概略図である。 図２は、ロールスクラブ洗浄装置の概略図である。 図３は、カップスクラブ洗浄を行う場合に使用される第１スクラブブラシの概略図である。 図４は、カップスクラブ洗浄装置の概略図である。 図５は、ロールスクラブ洗浄を行う場合に使用される第２スクラブブラシの概略図である。 図６は、ロールスクラブ洗浄装置の概略図である。 図７は、カップスクラブ洗浄を行う場合に使用される第２スクラブブラシの概略図である。 図８は、カップスクラブ洗浄装置の概略図である。 図９は、実施例３において使用されるロールスクラブ洗浄装置の概略図である。 図１０は、実施例３において使用されるロールスクラブ洗浄装置の概略図である。

以下、本発明のガラス基板の製造方法の実施形態について説明する。本実施形態のガラス基板の製造方法は、ガラス基板の洗浄工程を備え、複数の突起が形成された第１スクラブブラシを用いた第１スクラブ洗浄工程と、溝が形成された第２スクラブブラシを用いた第２スクラブ洗浄工程とを備える洗浄工程を有することを特徴とする。これにより、本実施形態のガラス基板の製造方法によれば、第１スクラブ洗浄工程において付着物を主表面から移動させ、移動させた付着物がガラス基板に固着する前に、続く第２スクラブ洗浄工程において除去することができる。その結果、主表面から端面にかけて付着物が集中することなく良好に除去された高い清浄度のガラス基板が得られる。まずは本実施形態の特徴部分である洗浄工程について詳細に説明する。

（洗浄工程）
洗浄工程は、後述するポリッシング工程の後に行われる工程であり、ガラス基板の表面を清浄にスクラブ洗浄する工程である。スクラブ洗浄とは、湿式の物理洗浄方法であり、被洗浄面（たとえば主表面）に洗浄液を供給しながらスクラブブラシを押し当て、被洗浄面とスクラブブラシとを相対的に移動させて、被洗浄面の付着物（汚れ）を擦り取る洗浄方法である。スクラブ洗浄を行うためのスクラブ洗浄装置としては、一般的に、ロールスクラブ洗浄を行うロールスクラブ洗浄装置およびカップスクラブ洗浄を行うカップスクラブ洗浄装置が知られている。洗浄工程では、これらロールスクラブ洗浄およびカップスクラブ洗浄のうち、少なくともいずれか一方が複数回行われる。

本実施形態において、洗浄工程では、複数の突起が形成された第１スクラブブラシを用いた第１スクラブ洗浄工程と、溝が形成された第２スクラブブラシを用いた第２スクラブ洗浄工程とがこの順で連続して行われる。第１スクラブ洗浄工程および第２スクラブ洗浄工程では、上記ロールスクラブ洗浄またはスクラブ洗浄が行われる。以下、それぞれの洗浄工程について説明する。

（第１スクラブ洗浄工程）
第１スクラブ洗浄工程は、表面に複数の突起が設けられた第１スクラブブラシを用いて、複数の突起をガラス基板の主表面、内周端面および外周端面に同時に接触させて洗浄する工程である。第１スクラブ洗浄工程は、ロールスクラブ洗浄装置を用いたロールスクラブ洗浄が行われてもよく、カップスクラブ洗浄装置を用いたカップスクラブ洗浄が行われてもよい。

＜ロールスクラブ洗浄が行われる場合＞
図１は、第１スクラブ洗浄工程を、ロールスクラブ洗浄装置を用いたロールスクラブ洗浄を行う場合に使用される第１スクラブブラシ１００の概略図である。第１スクラブブラシ１００は、円柱状の本体部１１０と、該本体部１１０の側面に形成された複数の突起１２０とを含むロールスクラブブラシである。

本体部１１０および突起１２０を構成する材料としては特に限定されず、たとえば、セルローススポンジ、ポリビニルアルコールスポンジ、ウレタンフォーム、エチレン−酢酸ビニル共重合体（ＥＶＡ）スポンジ、メラミンフォーム、ポリエチレンフォーム等の樹脂系スポンジ、天然ゴム（ＮＲ）スポンジ、クロロプレンゴム（ＣＲ）スポンジ、エチレン−プロピレンゴム（ＥＰＤＭ）スポンジ、ブタジエン−アクリロニトリルゴムスポンジ等のゴム系スポンジ等で構成することができる。これらの材料のうち、洗浄液の吸収率が８００〜１３００％程度である材料が好ましく、ポリビニルアルコールスポンジが好ましい。なお、本実施形態において、「吸収率」は、乾燥時の第１スクラブブラシ１００の重量を１００％とする場合において、水分を吸収させた際の重さの割合をいう。

突起１２０の配列は特に限定されず、本体部１１０の側面に規則的に設けられてもよく、不規則的に設けられてもよい。突起１２０が規則的に設けられる場合には、複数の突起１２０は、洗浄中にガラス基板に対して規則的に接触するため、得られるガラス基板は、清浄度のバラつきが小さい。突起１２０が規則的に配置される場合としては、たとえば、第１スクラブブラシ１００の軸Ｌ方向に沿って配列される場合が挙げられる。本実施形態では、図１に示されるように、突起１２０が規則的に設けられる場合において、複数の突起１２０は、第１スクラブブラシ１００の軸Ｌ方向に沿って一列になるように配置されている場合が例示されている。また、複数の突起１２０は、第１スクラブブラシ１００の回転方向Ａに沿って、ジグザグ状に配置されている。複数の突起１２０が第１スクラブブラシ１００の回転方向Ａに沿ってジグザグ状に配置される場合、ガラス基板の表面は、洗浄時に突起１２０と接触しない部分を生じないため、均等に洗浄されやすい。また、不規則的に突起を設ける場合は、基板端面に接触するブラシ部分のみ突起物の形状を変化させても良い。

突起の高さは特に限定されず、たとえばガラス基板と非接触状態において２〜８ｍｍ程度であり、接触状態において１〜６ｍｍ程度であることが好ましい。突起は、ガラス基板との接触時に２０〜７０％程度押し込まれるため、接触時および非接触時において高さが異なる。

突起の個数は特に限定されず、第１スクラブブラシ１００の大きさ、突起の面積およびガラス基板の大きさにもよるが、複数であればよい。

突起１個あたりの面積は特に限定されないが、本洗浄方法はブラシが端部に周り込んで洗浄するため、ブラシが端部を覆う必要性がある観点から、３０〜５００ｍｍ^２であることが好ましく、８０〜２００ｍｍ^２であることがより好ましい。突起１個あたりの面積が大きすぎる場合、端面にブラシが入りきらず、洗浄性が低下する傾向がある。一方、突起１個あたりの面積が小さすぎる場合、ブラシが横倒しになり、圧力が弱まり、洗浄性が低下する傾向がある。

なお、複数の突起のそれぞれの面積は、同じであってもよく、異なっていてもよい。なお、本実施形態において突起の面積は、ガラス基板の主表面とブラシとが接触する際の面積として定義される。このような面積を備える突起は、ガラス基板との接触時において、ガラス基板の内周端から外周端までの長さ（大きさ）よりも小さい。そのため、このような大きさの突起が複数備えられていることにより、ガラス基板と突起とが不連続的に接触することとなり、ガラス基板の主表面、内周面、外周面は、複数の突起が周り込みながら同時に洗浄される。また、第１スクラブブラシ１００における突起の総面積比はブラシの全面積を１とすると特に限定されないが、０．３〜０．８であることが好ましく、０．５〜０．７であることがより好ましい。

突起がガラス基板（主表面）と接触する際の圧力としては特に限定されないが、たとえば０．６〜２．０ｋＰａとすることができる。突起がこのような圧力でガラス基板に接触する場合、基板主表面に適切な圧力を与えることで洗浄効果が増す、という利点がある。圧力が高すぎると、ガラス基板とブラシとの摩擦が大きくなりすぎ、ガラス基板に傷が入ったり、ブラシが磨耗する傾向がある。一方、圧力が小さすぎる場合、ガラス基板の洗浄性が低下する傾向がある。

突起の形状は特に限定されず、角のない形状（たとえば円柱状、楕円柱状等）であってもよく、各種多角形状であってもよく、不定形状であってもよい。本実施形態では、図１に示されるように、円柱状の突起１２０が例示されている。突起が角のない形状である場合、突起部が基板に接触した際に圧力が比較的分散されるため、安定した洗浄性を得るという利点がある。中でも突起が円柱状である場合には、角が全く存在しないため安定した洗浄性を得られるという利点がある。

次に、上記第１スクラブブラシを備えたロールスクラブ洗浄装置について説明する。図２は、ロールスクラブ洗浄装置２００の概略図である。ロールスクラブ洗浄装置２００は、一対の第１スクラブブラシ１００（ロールスクラブブラシ）を備える。ガラス基板３００は、主に主表面３１０が一対の第１スクラブブラシ１００により挟持される。この状態で、第１スクラブブラシ１００の上方に配置されたノズル４００から洗浄液４１０が供給されつつ、第１スクラブブラシ１００が回転される。これにより、第１スクラブブラシ１００の突起１２０がガラス基板３００の主表面３１０、内周面３２０、外周面３３０に周り込むように接触し、主表面３１０、内周面３２０、外周面３３０が同時に洗浄される。ガラス基板３００に付着していた付着物（図示せず）は、主表面３１０、内周面３２０、外周面３３０から除去されるか、後続の第２スクラブ洗浄工程により除去されやすい位置（たとえば主表面３１０と外周面３３０との接続部分に形成されるチャンファ面）に移動される。

洗浄液としては特に限定されず、公知の酸性洗剤やアルカリ洗剤を使用することができる。

洗浄時間としては特に限定されず、ガラス基板の大きさや処理枚数に応じて適宜調整することができる。洗浄時間は、たとえば５〜１５秒程度とすることができる。

洗浄液の供給量は特に限定されず、ガラス基板の大きさや処理枚数に応じて適宜調整することができる。洗浄液の供給量は、たとえば、０．５〜１．５Ｌ／分とすることができる。

第１スクラブブラシの回転速度は特に限定されず、ガラス基板１ｃｍ^２に対して、第１スクラブブラシが１０〜８０ｃｍ^２通過する程度の速度であればよい。

第１スクラブ洗浄工程では、ガラス基板を回転させながら洗浄することが好ましい。その際、ガラス基板は、たとえば図示しない保持冶具により端面を複数個所保持し、該保持冶具を回転させることにより回転させることができる。ガラス基板を回転させる場合、回転速度は特に限定されず、たとえば３００〜１０００ｒｐｍとすることができる。これにより、ガラス基板の主表面、内周面、外周面がより均等に洗浄される。

＜カップスクラブ洗浄を行う場合＞
図３は、第１スクラブ洗浄工程を、カップスクラブ洗浄装置を用いたカップスクラブ洗浄を行う場合に使用される第１スクラブブラシ５００の概略図であり、図３（ａ）は第１スクラブブラシ５００の平面図であり、図３（ｂ）は第１スクラブブラシ５００の断面図である。第１スクラブブラシ５００は、円柱状の本体部５１０と、該本体部５１０の平面に形成された複数の突起５２０とを含むカップスクラブブラシである。

本体部５１０および突起５２０を構成する材料、突起５２０の高さ、面積、ガラス基板と接触する際の圧力、幅、形状としては、ロールスクラブ洗浄装置を用いる場合に使用される第１スクラブブラシ１００（図１参照）と同様であるため説明を省略する。

突起５２０の配列は特に限定されず、本体部の平面に規則的に設けられてもよく、不規則的に設けられてもよい。突起５２０が規則的に設けられる場合には、複数の突起５２０は、洗浄中にガラス基板に対して規則的に接触するため、得られるガラス基板は、清浄度のバラつきが小さい。突起５２０が規則的に配置される場合としては、たとえば、第１スクラブブラシ５００の回転軸を中心とする同心円状に配列される場合が挙げられる。本実施形態では、図３（ａ）に示されるように、複数の突起５２０は、本体部５１０の平面に、第１スクラブブラシの回転軸を中心とする同心円状に配列されている場合が例示されている。複数の突起５２０が同心円状に配列される場合、ガラス基板の表面は、洗浄時に突起５２０と接触しない部分を生じにくく、均等に洗浄されやすい。突起５２０の個数は特に限定されず、複数であればよい。

次に、上記第１スクラブブラシを備えたカップスクラブ洗浄装置について説明する。図４は、カップスクラブ洗浄装置６００の概略図である。カップスクラブ洗浄装置６００は、一対の第１スクラブブラシ５００（カップスクラブブラシ）を備える。ガラス基板３００は、主に主表面３１０が一対の第１スクラブブラシ５００により挟持される。この状態で、第１スクラブブラシ５００の上方に配置されたノズル４００から洗浄液４１０が供給されつつ、第１スクラブブラシ５００が回転される。これにより、第１スクラブブラシ５００の突起５２０（図３（ａ）参照）がガラス基板３００の主表面３１０、内周面３２０、外周面３３０に周り込むように接触し、主表面３１０、内周面３２０、外周面３３０が同時に洗浄される。ガラス基板３００に付着していた付着物（図示せず）は、主表面３１０、内周面３２０、外周面３３０から除去されるか、後続の第２スクラブ洗浄工程により除去されやすい位置（たとえば主表面３１０と外周面３３０との接続部分に形成されるチャンファ面）に移動される。

洗浄液の種類、洗浄時間、洗浄液の供給量、第１スクラブブラシの回転速度、ガラス基板を回転させながら洗浄する場合におけるガラス基板の回転速度としては、ロールスクラブ洗浄装置を用いる場合と同様であるため説明を省略する。

以上の第１スクラブ洗浄工程によれば、第１スクラブブラシは、突起をガラス基板の主表面および端面に周り込ませながら同時に接触させて、洗浄することができる。これにより、付着物を主表面から後続する第２スクラブ洗浄工程により洗浄しやすい位置に移動させることができる。

（第２スクラブ洗浄工程）
第２スクラブ洗浄工程は、第１スクラブ洗浄工程に続いて連続的に行われる工程であり、内周端から外周端までの長さよりも長い溝が設けられた第２スクラブブラシを用いて、ガラス基板の主表面、内周端面および外周端面を洗浄する工程である。第２スクラブ洗浄工程では、ロールスクラブ洗浄装置を用いたロールスクラブ洗浄が行われてもよく、カップスクラブ洗浄装置を用いたカップスクラブ洗浄が行われてもよい。

＜ロールスクラブ洗浄を行う場合＞
図５は、第２スクラブ洗浄工程を、ロールスクラブ洗浄装置を用いたロールスクラブ洗浄を行う場合に使用される第２スクラブブラシ７００の概略図である。第２スクラブブラシ７００は、円柱状の本体部７１０を有し、該本体部７１０の側面には溝７２０が形成されたロールスクラブブラシである。

本体部を構成する材料としては特に限定されず、第１スクラブ洗浄工程においてロールスクラブ洗浄装置を用いる場合に使用される第１スクラブブラシ１００（図１参照）と同様であるため説明を省略する。

溝は、ガラス基板の内周端から外周端までを含むよう接触する方向および長さに形成されていればよい。すなわち、たとえばガラス基板の内周端から外周端までの長さが３５〜５０ｍｍである場合、溝の長さは、その長さよりも長ければよい。より具体的には、外径が６５ｍｍのガラス基板の場合、内周端から外周端までの長さは３０ｍｍ程度となるため、溝の長さは、３０ｍｍよりも長ければよい。これにより、溝に捉えられた付着物は、ガラス基板上の他の場所に逃がされること無く溝とガラス基板との間の空間に保持される。そして、溝には、順次新しい洗浄液が供給されるため、付着物は、溝の端部から古い洗浄液とともに排出される。

このような溝の方向としては、ガラス基板の大きさにもよるが、たとえばロールスクラブブラシである第２スクラブブラシの回転軸に対する直交方向とは異なる方向が挙げられる。また、このような溝の長さとしては、ガラス基板の大きさにもよるが、たとえばガラス基板との接触時にガラス基板の内周端から外周端までの長さよりも長い長さが挙げられる。

本実施形態では、図５に示されるように、ロールスクラブブラシである第２スクラブブラシ７００の回転軸Ｌ方向と平行となるよう、本体部７１０の先端から後端にかけて溝７２０が形成されている。この場合、洗浄液が滞留することがないため、液の置換が良く、洗浄効率が向上する。という利点がある。

溝の形状としては特に限定されず、たとえば円形状、Ｕ字形状（四角形状を含む）、Ｖ字形状等であってもよい。本実施形態では、図５に示されるように、Ｖ字形状の溝７２０が例示されている。

溝の数は特に限定されず、１以上であればよい。溝の数が複数である場合、洗浄効率が向上しやすい。本実施形態では、図５に示されるように、本体部７１０の側面に等間隔で８本の溝７２０が平行に形成されている。溝が複数形成される場合、それぞれの溝の間隔は、第２スクラブブラシの回転速度にもよるが、たとえば２０〜４００ｍｍ程度空けられることが好ましい。

溝の幅は特に限定されず、洗浄中に供給される洗浄液が順次交換されるために充分な幅であればよい。このような幅としては、たとえば５〜３０ｍｍであることが好ましい。この場合、溝は、ガラス基板に本体部が接触する際に、過度に変形することがない。また、新旧の洗浄液が効率的に交換され、洗浄効率が向上する。

溝の深さは、ガラス基板に本体部が接触する際に、溝の底がガラス基板に接触しない程度の深さであればよい。このような深さとしては、たとえばガラス基板との接触時に２〜２０ｍｍ程度、溝の底部とガラス基板とが離間するような深さが好ましい。この場合、ガラス基板との接触時であっても溝とガラス基板との間には洗浄液が流通する空間が確保され、洗浄効率が向上する。

第２スクラブ洗浄工程では、第１スクラブ洗浄工程におけるガラス基板と第１スクラブブラシとの接触時の圧力の２０〜７０％程度となるように、ガラス基板に対して第２スクラブブラシを接触させることが好ましい。具体的には、第２スクラブ洗浄工程では、第２スクラブブラシをガラス基板に対して０．４〜１．４ｋＰａとなるような圧力で接触させる。このような圧力で第２スクラブブラシを接触させることにより、第２スクラブブラシを程度に変形させ、主表面だけでなく、内周面、外周面に対しても適度な圧力で接触させることができるため、上記した第１スクラブ洗浄工程によりこれらの場所に付着物が移動されている場合であっても、付着物を拭き取るように除去することができる。

次に、上記第２スクラブブラシを備えたロールスクラブ洗浄装置について説明する。図６は、ロールスクラブ洗浄装置８００の概略図である。ロールスクラブ洗浄装置８００は、一対の第２スクラブブラシ７００（ロールスクラブブラシ）を備える。第２スクラブブラシ７００は、本体部７１０の長さが、ガラス基板３００の内周面３２０から外周面３３０までの長さよりも長い。ガラス基板３００は、主に主表面３１０が一対の第２スクラブブラシ７００により挟持される。この状態で、第２スクラブブラシ７００の上方に配置されたノズル４００から洗浄液４１０が供給されつつ、第２スクラブブラシ７００が回転されることにより、ガラス基板３００の主表面３１０、内周面３２０、外周面３３０が同時に拭き取るように洗浄される。なお、第２スクラブブラシ７００の本体部７１０の長さは、ガラス基板３００の内周面３２０から外周面３３０までの長さよりも長ければよく、たとえばガラス基板の直径と同程度の長さであってもよい。

洗浄液の種類、洗浄時間、洗浄液の供給量、ブラシの回転速度としては特に限定されず、第１スクラブ洗浄工程においてロールスクラブ洗浄装置を用いる場合と同様であるため説明を省略する。また、第２スクラブ洗浄工程では、第１スクラブ洗浄工程と同様に、ガラス基板を回転させながら洗浄することが好ましい。

上記のとおり、第１スクラブ洗浄工程を経たガラス基板には、付着物が除去されているか、ガラス基板上の洗浄しやすい位置（たとえば主表面３１０と外周面３３０との接続部分に形成されるチャンファ面）に移動されている。第２スクラブ洗浄工程は、これら移動された付着物がガラス基板３００に固着する前に第１スクラブ洗浄工程に続いて行われる。また、第２スクラブ洗浄工程において、第２スクラブブラシ７００の溝７２０は、少なくともガラス基板の内周端（内周面３２０）から外周端（外周面３３０）を含むように接触するため、第２スクラブブラシ７００は、付着物がガラス基板３００上のいずれの場所に移動されている場合であっても、これらを拭き取るように除去することができる。

＜カップスクラブ洗浄装置を用いる場合＞
図７は、第２スクラブ洗浄工程を、カップスクラブ洗浄装置を用いてカップスクラブ洗浄を行う場合に使用される第２スクラブブラシ９００の概略図であり、図７（ａ）は第２スクラブブラシ９００の平面図であり、図３（ｂ）は第２スクラブブラシ９００の断面図である。第２スクラブブラシ９００は、円柱状の本体部９１０の平面に溝９２０が形成されたカップスクラブブラシである。

本体部を構成する材料としては特に限定されず、ロールスクラブ洗浄装置を用いる場合に使用される第２スクラブブラシ７００（図５参照）と同様であるため説明を省略する。

溝は、ロールスクラブ洗浄装置を用いる場合に使用される第２スクラブブラシ７００（図５参照）と同様に、ガラス基板の内周端から外周端までを含むよう接触する方向および長さに形成されていればよい。また、溝の数、形状、幅、深さは特に限定されず、第２スクラブブラシ７００（図５参照）と同様であるため説明を省略する。複数の溝が形成される場合、これらの溝はカップスクラブブラシである第２スクラブブラシ９００の平面において交差するように形成されてもよく、交差しないように形成されてもよい。溝が第２スクラブブラシ９００の平面において交差するように形成されている場合、洗浄液の置換が円滑に行われるため洗浄効率が高くなるという利点があるが、一方で洗浄液がまじりあうため基板から除去した汚れが基板に再付着するおそれがあるため、これを防ぐには溶液を大量にしようする。こうさしないように形成されている場合、洗浄液が一定方向に流れるため、汚れが再付着する可能性が少ないため洗浄液を少なくさせることができるという利点がある。

本実施形態の第２スクラブブラシでは、図７（ａ）に示されるように、溝９２０は、Ｖ字形状であり、平面の中心で交差する十字状に形成されている場合を例示している。溝９２０の交差部分からブラシ平面の周縁までの長さは、ガラス基板の内周端から外周端までの長さよりも長い。このように、平面の中心（第２スクラブブラシ９００の回転中心）から均等に周縁にまで延びる溝９２０を形成することにより、第２スクラブブラシ９００を回転させた際に、溝９２０が形成された部分は、規則的にガラス基板に接触し、効率よくガラス基板を洗浄することができる。

次に、上記第２スクラブブラシを備えたカップスクラブ洗浄装置について説明する。図８は、カップスクラブ洗浄装置９６０の概略図である。カップスクラブ洗浄装置９６０は、一対の第２スクラブブラシ９００（カップスクラブブラシ）を備える。ガラス基板３００は、主に主表面３１０が一対の第２スクラブブラシ９００により挟持される。この状態で、第２スクラブブラシ９００の上方に配置されたノズル４００から洗浄液４１０が供給されつつ、第２スクラブブラシ９００が回転されることにより、ガラス基板３００の主表面３１０、内周面３２０、外周面３３０が同時に拭き取るように洗浄される。

洗浄液の種類、洗浄時間、洗浄液の供給量、第２スクラブブラシの回転速度、ガラス基板を回転させながら洗浄する場合におけるガラス基板の回転速度としては、ロールスクラブ洗浄装置を用いる場合と同様であるため説明を省略する。

以上の第２スクラブ洗浄工程によれば、第２スクラブブラシは、溝を少なくともガラス基板の内周端から外周端を含むように接触させながら洗浄することができるため、第１スクラブ洗浄工程を経たガラス基板上の付着物がいずれの場所に移動されている場合であっても、これらを拭き取るように除去することができる。

次に、本実施形態が採用し得るその他の工程について説明する。なお、本実施形態のガラス基板の製造方法で、その他の工程は特に限定されない。そのため、以下に説明するその他の工程は、例示であり、適宜設計変更を行うことができる。

＜ガラス溶融工程＞
ガラス溶融工程は、ガラス基板を構成するガラス素材を溶融する工程である。

ガラス基板の材料としては、たとえば、ＳｉＯ_２、Ｎａ_２Ｏ、ＣａＯを主成分としたソーダライムガラス；ＳｉＯ_２、Ａｌ_２Ｏ_３、Ｒ_２Ｏ（Ｒ＝Ｋ、Ｎａ、Ｌｉ）を主成分としたアルミノシリケートガラス；ボロシリケートガラス；Ｌｉ_２Ｏ−ＳｉＯ_２系ガラス；Ｌｉ_２Ｏ−Ａｌ_２Ｏ_３−ＳｉＯ_２系ガラス；Ｒ’Ｏ−Ａｌ_２Ｏ_３−ＳｉＯ_２系ガラス（Ｒ’＝Ｍｇ、Ｃａ、Ｓｒ、Ｂａ）などを使用することができる。中でも、アルミノシリケートガラスやボロシリケートガラスは、耐衝撃性や耐振動性に優れるため特に好ましい。

＜プレス成形工程＞
プレス成形工程は、溶融ガラスを下型に流し込み、上型によってプレス成形して、円板状のガラス基板前駆体を得る工程である。なお、円板状のガラス基板前駆体を得る方法は、プレス成形に限定されず、たとえば、ダウンドロー法やフロート法で形成したシートガラスを研削砥石で切り出して作製してもよい。ガラス基板前駆体の大きさは特に限定されず、たとえば、外径が２．５インチ、１．８インチ、１インチ、０．８インチなど種々の大きさのガラス基板が使用できる。また、ガラス基板の厚みは特に限定されず、２ｍｍ、１ｍｍ、０．６３ｍｍなど種々の厚みのガラス基板が使用できる。

＜コアリング加工工程＞
コアリング加工工程は、プレス成形したガラス基板前駆体の中心に孔を開ける工程である。具体的には、カッター部にダイヤモンド砥石等を備えたコアドリル等で研削することで、ガラス基板前駆体の中心に孔を開けることができる。

＜第１ラッピング工程＞
第１ラッピング工程は、ガラス基板の両表面を研磨加工し、ガラス基板の全体形状、すなわちガラス基板の平行度、平坦度および厚みを予備調整する工程である。

＜内・外径精密加工工程＞
内・外径精密加工工程は、ガラス基板の外周端面および内周端面を、たとえば鼓状のダイヤモンド等の研削砥石により研削することで、内・外径を精密加工する工程である。

＜端面研磨加工工程＞
端面研磨加工工程は、内・外径精密加工工程を終えたガラス基板を、複数積み重ねて積層した状態で、端面研磨機を用いて、外周面および内周面の研磨加工を行なう工程である。

＜第２ラッピング工程＞
第２ラッピング工程は、ガラス基板の両表面を再び研磨加工して、ガラス基板の平行度、平坦度および厚みを微調整する工程である。

ところで、第１ラッピング工程および第２ラッピング工程において、ガラス基板の表裏の表面を研磨する研磨機としては、両面研磨機と呼ばれる公知の研磨機が使用可能である。両面研磨機は、互いに平行になるように上下に配置された円盤状の上定盤と下定盤とを備えている。この上下の定盤の各々には、ガラス基板の主表面を研磨するための複数のダイヤモンドシートが貼り付けられる。上下の定盤の間には、下定盤の外周に円環状に設けてあるインターナルギアと下定盤の回転軸の周囲に設けてある太陽ギアとに結合して回転する複数のキャリアがある。このキャリアには、複数の孔が設けられており、この孔にガラス基板をはめ込んで配置する。上下の定盤、インターナルギアおよび太陽ギアは別駆動で動作させることができる。

研磨機の研削動作において、上下の定盤は互いに逆方向に回転する。ダイヤモンドシートを介して定盤に挟まれているキャリアは、複数のガラス基板を保持した状態で、自転しながら定盤の回転中心に対して下定盤と同じ方向に公転する。このように動作する研磨機において、上定盤とガラス基板および下定盤とガラス基板との間に研削液を供給することで、ガラス基板の研削を行うことができる。

第２ラッピング工程を終えた時点で、ガラス基板の大きなうねり、欠け、ひび等の欠陥は除去されていることが好ましい。この時点で、ガラス基板の主表面の面粗さは、Ｒ_ｍａｘが２〜４μｍ程度、Ｒ_ａが０．２〜０．４μｍ程度とすることが好ましい。このような面状態にしておくことで、化学強化工程を経た後のポリッシング工程において、研磨を効率よく行うことができる。

なお、第１ラッピング工程では、第２ラッピング工程を効率よく行なうことができるように、大きなうねり、欠け、ひびを大まかに除去する。第２ラッピング工程で使用するダイヤモンドシートの固定砥粒径は、１５〜１６μｍ程度のダイヤモンドシートを使用するのが好ましい。第１ラッピング工程が完了した時点でのガラス基板の面粗さは、Ｒ_ｍａｘが４〜８μｍ程度、Ｒ_ａが０．４〜０．８μｍ程度とするのが好ましい。

＜化学強化工程＞
化学強化工程は、第２ラッピング工程の次に、化学強化液にガラス基板を浸漬して、ガラス基板の表面に化学強化層を形成する工程である。化学強化層を形成することで、ガラス基板の耐衝撃性、耐振動性および耐熱性等を向上させることができる。

化学強化工程は、加熱された化学強化処理液にガラス基板を浸漬することによって、ガラス基板に含まれるリチウムイオン、ナトリウムイオン等のアルカリ金属イオンを、それよりイオン半径の大きなカリウムイオン等のアルカリ金属イオンに置換するイオン交換法によって行なわれる。イオン半径の違いによって生じる歪みにより、イオン交換された領域に圧縮応力が発生し、ガラス基板の表面が強化される。

＜ポリッシング工程＞
ポリッシング工程は、ガラス基板の表面を精密に仕上げるとともに、主表面の外周端の形状を所定の形状に研磨する工程である。ポリッシング工程は、１工程だけであってもよいが、２工程からなる方が好ましい。

研磨の方法は、第１ラッピング工程および第２ラッピング工程で使用したダイヤモンドペレットと研削液に代えて、パッドと研磨液を使用する。それ以外は、第１ラッピング工程および第２ラッピング工程で使用した研磨機と同一の構成の研磨機を使用することができる。

ポリッシング工程が２工程からなる場合、第１の工程においては、たとえば、酸化セリウム、酸化ジルコニウム、またはケイ酸ジルコニウムなどを研磨剤として用いることができる。この際、砥粒径はＤ５０値で、０．５〜１．５μｍ程度であることが好ましい。また、第２の工程においては、たとえば、コロイダルシリカを分散剤などで分散させた研磨スラリーを用いることができる。この際、コロイダルシリカの平均粒子径は、５〜３０ｎｍ程度であることが好ましい。

＜洗浄工程（スクラブ洗浄工程）＞
洗浄工程については、上記したとおりである。本実施形態のガラス基板の製造方法は、複数の突起が形成された第１スクラブブラシを用いた第１スクラブ洗浄工程と、溝が形成された第２スクラブブラシを用いた第２スクラブ洗浄工程とを備える洗浄工程を有する。これにより、第１スクラブ洗浄工程において付着物を主表面から移動させ、第２スクラブ洗浄工程において付着物を除去することにより、主表面から端面にかけて付着物が集中することなく良好に除去された高い清浄度のガラス基板が得られる。

なお、洗浄工程では、ガラス基板表面の研磨剤や異物などの付着物を効果的に除去するために、洗浄を行なう前に、洗浄液と同じ液体にガラス基板を接触させておくことが好ましい。

＜乾燥処理工程＞
乾燥処理工程は、洗浄工程を経たガラス基板に対して、必要に応じて行われる工程である。乾燥処理は、たとえば、ガラス基板をＩＰＡ（イソプロピルアルコール）中に浸漬し、ＩＰＡ中に洗浄液成分を溶け込ませ、基板表面の被覆液体をＩＰＡと置換した後、さらにＩＰＡ蒸気中にさらしながら、ＩＰＡを蒸発させてガラス基板を乾燥させることができる。ガラス基板の乾燥処理としては、ＩＰＡを用いる方法に限定されず、スピン乾燥、エアーナイフ乾燥など、ガラス基板の乾燥方法として一般的に知られた方法が採用されてもよい。

これらの工程を経たガラス基板は、キズ、割れ、異物の付着等の有無を、目視や光学表面アナライザ（たとえば、ＫＬＡ−ＴＥＮＣＯＬ社製の「ＯＳＡ６１００」）を用いて検査した後、異物等が表面に付着しないように、清浄な環境中で、専用収納カセットに収納され、真空パックされた後に出荷することができる。

以上、本実施形態によれば、上記した洗浄工程を備えることにより、主表面から端面にかけて充分に洗浄することができ、清浄度の高いガラス基板を得ることのできるガラス基板の製造方法を提供することができる。

なお、本実施形態では、落下強度対策として、ガラス基板の主表面以外の外周面や内周面に化学強化処理を行う工程を採用してもよいし、ガラス基板に生じた傷のエッジ緩和処理として、ガラス基板をフッ化水素浸漬処理に供する工程を採用してもよい。

以下、本発明のガラス基板の製造方法を実施例により詳述する。なお、本発明のガラス基板の製造方法は、以下に示す実施例になんら限定されるものではない。

＜実施例１＞
以下の方法によりガラス基板を作製した。

＜ガラス溶融工程、プレス成形工程＞
ガラス材料としてガラス転移温度（Ｔｇ）が６００℃のアルミノシリケートガラスを用い、溶融ガラスをプレス成形してガラス基板前駆体（外径６８ｍｍ、厚さ１．３ｍｍ）を作製した。

＜コアリング加工工程＞
次に、円筒状のダイヤモンド砥石を用いて、ガラス基板の中心に孔（直径１８ｍｍ
）を設けた。

＜第１ラッピング工程＞
ガラス基板の両表面を研磨機（浜井産業（株）製）を用いて研削した。研削条件としては、ダイヤモンドシートで固定砥粒径が１０μｍのものを用い、荷重１００ｇ／ｃｍ^２とし、上定盤の回転数３０ｒｐｍ、下定盤の回転数１０ｒｐｍとした。

＜内・外径精密加工工程＞
鼓状のダイヤモンド砥石により、内・外径加工を行ない、ガラス基板の内径を２０ｍｍ、外径を６５ｍｍとした。

＜端面研磨加工工程＞
内・外加工工程を終えて得られたガラス基板を１００枚重ね、端面研磨機を用いて、内周および外周の端面を研磨した。

＜第２ラッピング工程＞
ガラス基板の両主表面を研磨機（浜井産業（株）製）を用いて研削した。研削条件としては、ダイヤモンドシートで固定砥粒径が３μｍのものを用い、荷重１００ｇ／ｃｍ^２とし、上定盤の回転数３０ｒｐｍ、下定盤の回転数１０ｒｐｍとした。この結果、得られたガラス基板の表面粗さはＲ_ｍａｘが３μｍ、Ｒ_ａが０．３μｍであった。

＜化学強化工程＞
次に、ガラス基板を化学強化処理液に浸漬して化学強化工程を行った。化学強化処理液には、硝酸カリウム（ＫＮＯ_３）と硝酸ナトリウム（ＮａＮＯ_３）との混合溶融塩を用いた。混合比は、質量比で１：１とした。また、化学強化処理液の温度は４００℃、浸漬時間は４０分とした。

＜ポリッシング工程＞
第１ポリッシング工程として、研磨機（浜井産業（株）製）を用いた研磨を行なった。パッドとしては、硬度Ａで８０度の発泡ウレタンを用いた。研磨剤としては、平均粒径１．５μｍの酸化セリウムを水に分散させてスラリー状にしたものを用いた。水と研磨剤との混合比率（質量）は、１：９とした。研磨荷重を１００ｇ／ｃｍ^２とし、上定盤の回転数３０ｒｐｍ、下定盤の回転数１０ｒｐｍとした。また、研磨量を３０μｍとした。

第２ポリッシング工程として、第１ポリッシング工程と同様に、研磨機（浜井産業（株）製）を用いた研磨を行なった。パッドとしてスエードパッドを用い、平均粒子径が２０ｎｍのコロイダルシリカを水に分散させた研磨スラリーにて研磨を行なった。

＜スクラブ洗浄工程＞
第２ポリッシング工程の終了後、スクラブ洗浄を行なった。第１スクラブ洗浄工程として、図３（ａ）および図３（ｂ）に示される同心円状に円柱状の突起５２０が形成された第１スクラブブラシ５００（カップスクラブブラシ）を備えるカップスクラブ洗浄装置６００（図４参照）を使用し、カップスクラブ洗浄を行った。洗浄時間は１０秒とした。第１スクラブブラシの突起５２０の高さはガラス基板との非接触時に６ｍｍであり、ガラス基板との接触時に２ｍｍ押し込まれるよう洗浄時の圧力を１．１ｋＰａに調整した。１個あたりの突起５２０の面積は、１００ｍｍ^２であった。

続いて、第２スクラブ洗浄工程として、図７（ａ）および図７（ｂ）に示される十字状のＶ字の溝９２０が形成された第２スクラブブラシ９００（カップスクラブブラシ）を備えるカップスクラブ洗浄装置９６０（図８参照）を使用し、カップスクラブ洗浄を行った。洗浄時間は１０秒とした。第２スクラブブラシとガラス基板との接触時の圧力は０．７ｋＰａとした。溝９２０の幅は２０ｍｍとし、深さは１０ｍｍとした。溝９２０の長さ（第２スクラブブラシ９００の平面の中心（溝９２０の交差点）から周縁部までの溝の長さ）は８０ｍｍであった。

なお、第１スクラブ洗浄工程、第２スクラブ洗浄工程ともに、洗浄液としては、水を主成分として、コロイダルシリカを分散できるようにコロイダルシリカのζ電位が−３０ｍＶとなるように調整した溶液を用いた。洗浄液は、第１スクラブブラシおよび第２スクラブブラシの外部から、スプレー噴霧によって、スクラブ洗浄開始３秒前からスクラブ洗浄終了まで連続して供給した。洗浄液の供給量は、第１スクラブブラシおよび第２スクラブブラシの単位質量、単位時間、およびガラス基板の被洗浄面の単位面積あたり、５ｍｌ／ｇ・ｍｉｎ・ｃｍ^２とした。第１スクラブブラシおよび第２スクラブブラシの材料としては、吸水率１０００％のＰＶＡ（ポリビニルアルコール）スポンジを用いた。また、第１スクラブブラシおよび第２スクラブブラシの平均気孔径は３０μｍとした。洗浄時の第１スクラブブラシおよび第２スクラブブラシの周速度は２０ｍｍ／秒とした。

＜乾燥処理工程＞
洗浄後のガラス基板をＩＰＡベーパー乾燥法にて乾燥させ、実施例１のガラス基板を作製した。

＜実施例２＞
洗浄工程以外の工程は、実施例１と同様の方法により、ガラス基板を作製した。洗浄工程において、第１スクラブ洗浄工程として、図１に示される側面に円柱状の突起１２０が周状に形成された第１スクラブブラシ１００（ロールスクラブブラシ）を備えるロールスクラブ洗浄装置２００（図２参照）を使用し、ロールスクラブ洗浄を行った。洗浄時間は１０秒とした。第１スクラブブラシ１００の突起１２０の高さはガラス基板との非接触時に６ｍｍであり、ガラス基板との接触時に２ｍｍ押し込まれるよう洗浄時の圧力を１．１ｋＰａに調整した。１個あたりの突起１２０の面積は、１００ｍｍ^２であった。続いて、第２スクラブ洗浄工程として、図５に示される側面に等間隔で８本のＶ字の溝７２０が形成された第２スクラブブラシ７００（ロールスクラブブラシ）を備えるロールスクラブ洗浄装置８００（図６参照）を使用し、ロールスクラブ洗浄を行った。洗浄時間は１０秒とした。溝７２０の幅は２０ｍｍとし、深さは１０ｍｍとした。溝の長さ（本体部の長さ）は８０ｍｍであった。その他の条件（洗浄液の種類、供給量、スクラブブラシの材料等）は、実施例１と同様とした。

＜実施例３＞
洗浄工程以外の工程は、実施例１と同様の方法により、ガラス基板を作製した。洗浄工程において、第１スクラブ洗浄工程として、図９に示される本体部１１１の側面に四角柱状の突起１２１が周状に形成された第１スクラブブラシ１０１（ロールスクラブブラシ）を備えるロールスクラブ洗浄装置２０１を使用し、ロールスクラブ洗浄を行った。洗浄時間は１０秒とした。第１スクラブブラシ１０１の突起１２１の高さはガラス基板との非接触時に６ｍｍであり、ガラス基板との接触時に２ｍｍ押し込まれるよう洗浄時の圧力を１．１ｋＰａに調整した。１個あたりの突起１２１の面積は、１００ｍｍ^２であった。続いて、第２スクラブ洗浄工程として、図１０に示される本体部７１１の側面に等間隔で８本の四角形状の溝７２１が形成された第２スクラブブラシ７０１（ロールスクラブブラシ）を備えるロールスクラブ洗浄装置８０１を使用し、ロールスクラブ洗浄を行った。洗浄時間は１０秒とした。溝７２１の幅は２０ｍｍとし、深さは１０ｍｍとした。溝７２１の長さ（本体部の長さ）は８０ｍｍであった。その他の条件（洗浄液の種類、供給量、スクラブブラシの材料等）は、実施例１と同様とした。

＜比較例１＞
洗浄工程において、第２スクラブ洗浄工程を、第１スクラブ洗浄工程と同様の条件で行った以外は実施例１と同様の方法によりガラス基板を作製した。

＜比較例２＞
洗浄工程において、第１スクラブ洗浄工程を、第２スクラブ洗浄工程と同様の条件で行った以外は実施例１と同様の方法によりガラス基板を作製した。

実施例１〜３、比較例１〜２により作製されたガラス基板について、磁性膜等を製膜しメディアを作成し、その後、ＨＤＤに搭載した。得られたＨＤＤを、外周部のヘッド浮上量が３ｎｍとなるよう運転させ、端面付近の読み書きエラーの発生欠陥数を評価した。欠陥数が５以下の場合を○とし、５を超える場合を×とした。結果を表１に示す。

表１に示されるように、洗浄工程において、突起が形成された第１スクラブブラシを用いた第１スクラブ洗浄工程と、溝が形成された第２スクラブブラシを用いた第２スクラブ洗浄工程とを順に行った実施例１〜３により作製されたガラス基板は、欠陥数が４以下であり、端面付近の欠陥が良好に除去されていることが分かった。中でも、四角柱状の突起が形成された第１スクラブブラシ（カップスクラブブラシ）を用いて第１スクラブ洗浄を行った実施例３により製造されたガラス基板よりも、角のない円柱状の突起が形成された第１スクラブブラシ（カップスクラブブラシ）を用いて第１スクラブ洗浄を行った実施例１により製造されたガラス基板の方が、欠陥数が少なくなった。さらに、洗浄装置の種類としてカップスクラブ洗浄装置を使用した実施例１、３で製造されたガラス基板よりも、ロールスクラブ洗浄装置を使用した実施例２で製造されたガラス基板の方が、欠陥数が少なくなった。

一方、洗浄工程において、第１スクラブ洗浄工程および第２スクラブ洗浄工程の両方において同じスクラブブラシを用いて洗浄した比較例１〜２により作製されたガラス基板は、欠陥数が１２以上であり、端面付近の欠陥が充分に除去されていないことが分かった。

本発明のガラス基板の製造方法によれば、主表面から端面にかけて充分に洗浄することができ、清浄度の高いガラス基板を得ることのできるガラス基板の製造方法を提供することができる。そのため、本発明は、たとえば、記録容量の大きなＨＤＤ用ガラス基板の製造方法等として有用である。

１００、１０１、５００ 第１スクラブブラシ
１１０、１１１、５１０、７１０、７１１、９１０ 本体部
１２０、１２１、５２０ 突起
２００、８００、８０１ ロールスクラブ洗浄装置
３００ ガラス基板
３１０ 主表面
３２０ 内周面
３３０ 外周面
４００ ノズル
４１０ 洗浄液
６００、９６０ カップスクラブ洗浄装置
７００、７０１、９００ 第２スクラブブラシ
７２０、７２１、９２０ 溝

Claims (8)

1. 中心孔が形成されたガラス基板の洗浄工程を備えるＨＤＤ用ガラス基板の製造方法であって、
   前記洗浄工程は、
   表面に複数の突起が設けられた第１スクラブブラシを用いて、前記複数の突起を前記ガラス基板の主表面、内周端面および外周端面に接触させて洗浄する第１スクラブ洗浄工程と、
   前記第１スクラブ洗浄工程後に、前記内周端から前記外周端までの長さよりも長い溝が設けられた第２スクラブブラシを用いて、前記主表面、前記内周端面および前記外周端面を洗浄する第２スクラブ洗浄工程とを含む、
   ＨＤＤ用ガラス基板の製造方法。
2. 前記第１スクラブブラシは、前記突起が側面に形成された円柱状のロールスクラブブラシである、請求項１記載のＨＤＤ用ガラス基板の製造方法。
3. 前記第２スクラブブラシは、円柱状のロールスクラブブラシであり、
   前記溝は、前記ロールスクラブブラシの側面に、該ロールスクラブブラシの回転軸と平行な方向に設けられている、請求項１または２記載のＨＤＤ用ガラス基板の製造方法。
4. 前記第１スクラブブラシは、前記突起が平面に形成された円柱状のカップスクラブブラシである、請求項１または３記載のＨＤＤ用ガラス基板の製造方法。
5. 前記第２スクラブブラシは、前記溝が平面に形成された円柱状のカップスクラブブラシである、請求項１、２または４記載のＨＤＤ用ガラス基板の製造方法。
6. 前記突起の面積は、３０〜５００ｍｍ^２である、請求項１〜５のいずれか１項に記載のＨＤＤ用ガラス基板の製造方法。
7. 前記溝の幅は、５〜３０ｍｍである、請求項１〜６のいずれか１項に記載のＨＤＤ用ガラス基板の製造方法。
8. 前記突起は、円柱状である、請求項１〜７のいずれか１項に記載のＨＤＤ用ガラス基板の製造方法。

Images