JPS596974A - 洗浄方法 - Google Patents
洗浄方法Info
- Publication number
- JPS596974A JPS596974A JP57117432A JP11743282A JPS596974A JP S596974 A JPS596974 A JP S596974A JP 57117432 A JP57117432 A JP 57117432A JP 11743282 A JP11743282 A JP 11743282A JP S596974 A JPS596974 A JP S596974A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- cleaning
- roll
- cleaned
- elastic material
- porous elastic
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 14
- 238000005406 washing Methods 0.000 title description 3
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 claims description 46
- 239000011148 porous material Substances 0.000 claims description 10
- 239000006061 abrasive grain Substances 0.000 claims description 7
- 239000013013 elastic material Substances 0.000 claims description 5
- 238000005498 polishing Methods 0.000 claims description 5
- 229920002554 vinyl polymer Polymers 0.000 claims description 4
- 238000005520 cutting process Methods 0.000 claims description 3
- 238000007730 finishing process Methods 0.000 claims description 2
- DHKHKXVYLBGOIT-UHFFFAOYSA-N acetaldehyde Diethyl Acetal Natural products CCOC(C)OCC DHKHKXVYLBGOIT-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 1
- 125000002777 acetyl group Chemical class [H]C([H])([H])C(*)=O 0.000 claims 1
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 14
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 11
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 6
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 5
- 239000000463 material Substances 0.000 description 4
- 239000011859 microparticle Substances 0.000 description 4
- WSFSSNUMVMOOMR-UHFFFAOYSA-N Formaldehyde Chemical compound O=C WSFSSNUMVMOOMR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 239000004677 Nylon Substances 0.000 description 3
- 238000002474 experimental method Methods 0.000 description 3
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 3
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 3
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 3
- 229920001778 nylon Polymers 0.000 description 3
- 229920002451 polyvinyl alcohol Polymers 0.000 description 3
- 235000019422 polyvinyl alcohol Nutrition 0.000 description 3
- IKHGUXGNUITLKF-UHFFFAOYSA-N Acetaldehyde Chemical compound CC=O IKHGUXGNUITLKF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000004372 Polyvinyl alcohol Substances 0.000 description 2
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 2
- 239000003795 chemical substances by application Substances 0.000 description 2
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 2
- 239000000428 dust Substances 0.000 description 2
- 239000003960 organic solvent Substances 0.000 description 2
- 229920002994 synthetic fiber Polymers 0.000 description 2
- 239000012209 synthetic fiber Substances 0.000 description 2
- 238000012360 testing method Methods 0.000 description 2
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000005411 Van der Waals force Methods 0.000 description 1
- 238000006359 acetalization reaction Methods 0.000 description 1
- 239000003377 acid catalyst Substances 0.000 description 1
- 230000002411 adverse Effects 0.000 description 1
- 150000001299 aldehydes Chemical class 0.000 description 1
- 239000007864 aqueous solution Substances 0.000 description 1
- 239000011362 coarse particle Substances 0.000 description 1
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 1
- 230000006835 compression Effects 0.000 description 1
- 238000007906 compression Methods 0.000 description 1
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 1
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010949 copper Substances 0.000 description 1
- 239000003599 detergent Substances 0.000 description 1
- 230000002349 favourable effect Effects 0.000 description 1
- 238000000227 grinding Methods 0.000 description 1
- 238000011086 high cleaning Methods 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 239000012528 membrane Substances 0.000 description 1
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 1
- 238000006116 polymerization reaction Methods 0.000 description 1
- 239000002994 raw material Substances 0.000 description 1
- 238000011160 research Methods 0.000 description 1
- 238000007127 saponification reaction Methods 0.000 description 1
- 238000005201 scrubbing Methods 0.000 description 1
- 238000013020 steam cleaning Methods 0.000 description 1
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 1
- 238000012546 transfer Methods 0.000 description 1
- 238000004506 ultrasonic cleaning Methods 0.000 description 1
- 230000002747 voluntary effect Effects 0.000 description 1
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B08—CLEANING
- B08B—CLEANING IN GENERAL; PREVENTION OF FOULING IN GENERAL
- B08B11/00—Cleaning flexible or delicate articles by methods or apparatus specially adapted thereto
- B08B11/04—Cleaning flexible or delicate articles by methods or apparatus specially adapted thereto specially adapted for plate glass, e.g. prior to manufacture of windshields
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B08—CLEANING
- B08B—CLEANING IN GENERAL; PREVENTION OF FOULING IN GENERAL
- B08B1/00—Cleaning by methods involving the use of tools
- B08B1/30—Cleaning by methods involving the use of tools by movement of cleaning members over a surface
- B08B1/32—Cleaning by methods involving the use of tools by movement of cleaning members over a surface using rotary cleaning members
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B08—CLEANING
- B08B—CLEANING IN GENERAL; PREVENTION OF FOULING IN GENERAL
- B08B1/00—Cleaning by methods involving the use of tools
- B08B1/30—Cleaning by methods involving the use of tools by movement of cleaning members over a surface
- B08B1/32—Cleaning by methods involving the use of tools by movement of cleaning members over a surface using rotary cleaning members
- B08B1/34—Cleaning by methods involving the use of tools by movement of cleaning members over a surface using rotary cleaning members rotating about an axis parallel to the surface
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B08—CLEANING
- B08B—CLEANING IN GENERAL; PREVENTION OF FOULING IN GENERAL
- B08B2230/00—Other cleaning aspects applicable to all B08B range
- B08B2230/01—Cleaning with steam
Landscapes
- Cleaning In General (AREA)
- Cleaning Or Drying Semiconductors (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は金属、ガラス等で極めて精度の高い仕上けを要
する物品の製造加工工程において、切削表面研磨後表面
に付着した切削屑、研磨屑、砥粒、その他塵埃等の粒子
を被洗浄体を損傷する事なく、しか本完全に除去、洗浄
する方法に関する。
する物品の製造加工工程において、切削表面研磨後表面
に付着した切削屑、研磨屑、砥粒、その他塵埃等の粒子
を被洗浄体を損傷する事なく、しか本完全に除去、洗浄
する方法に関する。
金属、ガラス等でその表面を極めて精度の高い而(所謂
鏡面仕上け)に仕上けるには、固定砥粒、あるいは遊離
砥粒を用いて段階的Kaili精度に仕上げて行くこと
もあるが、被研磨材自体の研磨屑や砥粒あるいは雰囲気
中の塵埃が表面に残留、固着するため、各段階において
何らかの洗浄方法をもってこれ等を除去してゆく事が必
要である。
鏡面仕上け)に仕上けるには、固定砥粒、あるいは遊離
砥粒を用いて段階的Kaili精度に仕上げて行くこと
もあるが、被研磨材自体の研磨屑や砥粒あるいは雰囲気
中の塵埃が表面に残留、固着するため、各段階において
何らかの洗浄方法をもってこれ等を除去してゆく事が必
要である。
従来これ等の粒子の洗浄除去には、細い棒状の中芯の周
囲に合成繊維、例えば12−ナイロンのモノフィラメン
トを多数植毛した洗浄用プランロールを用い、洗浄用の
液体、例えば水、洗剤を含んだ水、あるいは有機溶剤を
連続的に供給しつつ、該ブラシロールを回転させて被洗
浄体の表面を擦過し粒子を除去する方法がとられていた
。しかし、このブラシロールに用いられる12−ナイロ
ン等合成繊維のモノフィラメントは、親水性が乏しい上
、剛性が強く、これを回転し擦過した場合、その毛先や
脱落物が被洗浄体を損傷し、製品の歩ど撞りを低下させ
る事が多かった。更にまた、形状がブラシ状であるため
、いくら密に植毛してもミクロに観察した場合、毛先が
被洗浄体表面の全面を余すところなく擦過する事は困難
であり従って洗浄効果は不十分で微少粒子を完全に除去
できず、次の段階の工程において残存粒子が被研磨材の
表面を損傷したりして悪影響を与えることが多かった。
囲に合成繊維、例えば12−ナイロンのモノフィラメン
トを多数植毛した洗浄用プランロールを用い、洗浄用の
液体、例えば水、洗剤を含んだ水、あるいは有機溶剤を
連続的に供給しつつ、該ブラシロールを回転させて被洗
浄体の表面を擦過し粒子を除去する方法がとられていた
。しかし、このブラシロールに用いられる12−ナイロ
ン等合成繊維のモノフィラメントは、親水性が乏しい上
、剛性が強く、これを回転し擦過した場合、その毛先や
脱落物が被洗浄体を損傷し、製品の歩ど撞りを低下させ
る事が多かった。更にまた、形状がブラシ状であるため
、いくら密に植毛してもミクロに観察した場合、毛先が
被洗浄体表面の全面を余すところなく擦過する事は困難
であり従って洗浄効果は不十分で微少粒子を完全に除去
できず、次の段階の工程において残存粒子が被研磨材の
表面を損傷したりして悪影響を与えることが多かった。
本発明者等は上述のブラシロールの欠点を改めるため鋭
意研究を行った結果、本発明を完成したものであり、そ
の目的とするところは洗浄効果がよく、かつ被洗浄体を
損傷することのない洗浄方法を提供するにある。
意研究を行った結果、本発明を完成したものであり、そ
の目的とするところは洗浄効果がよく、かつ被洗浄体を
損傷することのない洗浄方法を提供するにある。
上述の目的は表面仕上加工工程中に被処理物の表面に付
着した切削屑、研暦屑、砥粒等を洗浄するに際して、気
孔率85〜95九、平均気孔径10〜200μ及び乾燥
重量に対し100%の水分を含んだ状態での30%圧縮
応力が15〜150.@/、、、!のポリビニルアセク
ール系多孔質弾性体の層を表面に有する洗浄用ロールに
て被洗浄体の表面を擦過することにより達成される。
着した切削屑、研暦屑、砥粒等を洗浄するに際して、気
孔率85〜95九、平均気孔径10〜200μ及び乾燥
重量に対し100%の水分を含んだ状態での30%圧縮
応力が15〜150.@/、、、!のポリビニルアセク
ール系多孔質弾性体の層を表面に有する洗浄用ロールに
て被洗浄体の表面を擦過することにより達成される。
PVAt系多孔、質弾性体の性能は、主原料たるポリビ
ニルアルコールの種類、気孔生成剤の粒度、種類、形状
、アルテヒド類の種類及びこれ等の混合割合、反応温度
、時間等によって適宜変更することが可能であるが、本
発明の目的即ち、粒子を速やかに被洗浄体表面から解離
せしめ、95%、平均気孔径が10〜200ミクロン、
乾燥型1に対し100%の水分を含んだ状態での30%
圧縮応力が15〜150 i /cdiであることが必
要である。気孔率が85%より小さいと柔軟性が不十分
となり、また95几を越えると実用的強tKとぼしくな
る。
ニルアルコールの種類、気孔生成剤の粒度、種類、形状
、アルテヒド類の種類及びこれ等の混合割合、反応温度
、時間等によって適宜変更することが可能であるが、本
発明の目的即ち、粒子を速やかに被洗浄体表面から解離
せしめ、95%、平均気孔径が10〜200ミクロン、
乾燥型1に対し100%の水分を含んだ状態での30%
圧縮応力が15〜150 i /cdiであることが必
要である。気孔率が85%より小さいと柔軟性が不十分
となり、また95几を越えると実用的強tKとぼしくな
る。
平均気孔径が10ミクロンより小さいと弾性に不足を生
じ、洗浄用としての性能がなくなりまた、200ミクロ
ンを越えると目が粗すぎて精密洗浄には適さなくなる。
じ、洗浄用としての性能がなくなりまた、200ミクロ
ンを越えると目が粗すぎて精密洗浄には適さなくなる。
30%圧縮応力が151/ / cr/iを下回ると軟
が過ぎてロールを回転した場合、歪を生じ、また150
.9’/crAを4えると硬だすぎて適度な弾性を得る
に不十分である。
が過ぎてロールを回転した場合、歪を生じ、また150
.9’/crAを4えると硬だすぎて適度な弾性を得る
に不十分である。
本発明において使用するPVAt系多孔質弾性体はその
保水時のすぐれた柔軟性と素材自体が持つ高い親水性が
和泉されて極めてすぐれた洗浄能力を発揮するものであ
って、更に気孔率、平均気孔径、60%圧縮応力が上述
の範囲にあると実用時の強度、耐久性、洗浄能力等にも
すぐれ、特に好適な結果が得られるものである。
保水時のすぐれた柔軟性と素材自体が持つ高い親水性が
和泉されて極めてすぐれた洗浄能力を発揮するものであ
って、更に気孔率、平均気孔径、60%圧縮応力が上述
の範囲にあると実用時の強度、耐久性、洗浄能力等にも
すぐれ、特に好適な結果が得られるものである。
オだPVAt系多孔質弾性体層の表面形状は、次の形態
であると好適な結果が得られる。
であると好適な結果が得られる。
イ、表面にロールの軸線に対して0〜90oの角度で溝
状の切込を多数平行に刻設しロール断面の歯の頂部の長
さfatと底部iblの比率(a/b)口、表面に円形
、楕円形、長円形、矩形、菱形等各樵形状の突起部分を
突設し突起部分の表門外の場合情、歯の構造か弱すぎて
使用時に屈曲し、洗浄用ロールとしての機能を果たし難
くなる傾向にある。更に前記形状の突起は被洗浄体と接
触しうる部分の面積が円筒全表面積の15〜65%の範
囲であるのが好ましく、これを越えると摩擦力の軽減が
、一方こttを下回ると、洗浄力の点で支障を来たすこ
とがある。
状の切込を多数平行に刻設しロール断面の歯の頂部の長
さfatと底部iblの比率(a/b)口、表面に円形
、楕円形、長円形、矩形、菱形等各樵形状の突起部分を
突設し突起部分の表門外の場合情、歯の構造か弱すぎて
使用時に屈曲し、洗浄用ロールとしての機能を果たし難
くなる傾向にある。更に前記形状の突起は被洗浄体と接
触しうる部分の面積が円筒全表面積の15〜65%の範
囲であるのが好ましく、これを越えると摩擦力の軽減が
、一方こttを下回ると、洗浄力の点で支障を来たすこ
とがある。
本発明に適用されるPVAt糸多孔質弾性体は例えば平
均重合度300〜3,000、ケン化度8oz以上のポ
リビニルアルコールを一種あるいはそれ以上適宜混合し
たものを水に溶解し、5〜30%水溶液とし、これに適
当な気孔生成剤を添加、酸触媒の存在化にて、ホルムア
ルデヒド、アセトアルデヒドなどのアルデヒド類と反応
し水に不溶化する等公知の方法により容易に得ることが
出来る。アセタール化度は50〜70%の範囲内にとど
めるのが好適である。これ未満であると反応不十分のた
め、微量の未反応ポリビニルアルコールの残留があ転住
用時にこれが溶出しかえって被洗浄体を汚染する事とな
り、またこの範囲を大巾に上回ると弾性、柔軟性を失い
洗浄用ロールとしての機能を果たし得なくなる。ところ
で金属、ガラス等の表面に固着した粒子は特にその粒径
が極めて微少な場合、分子間吸引力(ファンデルワール
ス力)あるいは静電気力によって表面に強固に固着して
いるため、その除去は極めて困難なものであるが、近年
のファインインダストリーにおいてはこれ等の微少粒子
の残留の有無が製品の良否を決定し、ひいては製品歩ど
まりに影響を与えるためこの完全除去が必要条件となっ
ている。
均重合度300〜3,000、ケン化度8oz以上のポ
リビニルアルコールを一種あるいはそれ以上適宜混合し
たものを水に溶解し、5〜30%水溶液とし、これに適
当な気孔生成剤を添加、酸触媒の存在化にて、ホルムア
ルデヒド、アセトアルデヒドなどのアルデヒド類と反応
し水に不溶化する等公知の方法により容易に得ることが
出来る。アセタール化度は50〜70%の範囲内にとど
めるのが好適である。これ未満であると反応不十分のた
め、微量の未反応ポリビニルアルコールの残留があ転住
用時にこれが溶出しかえって被洗浄体を汚染する事とな
り、またこの範囲を大巾に上回ると弾性、柔軟性を失い
洗浄用ロールとしての機能を果たし得なくなる。ところ
で金属、ガラス等の表面に固着した粒子は特にその粒径
が極めて微少な場合、分子間吸引力(ファンデルワール
ス力)あるいは静電気力によって表面に強固に固着して
いるため、その除去は極めて困難なものであるが、近年
のファインインダストリーにおいてはこれ等の微少粒子
の残留の有無が製品の良否を決定し、ひいては製品歩ど
まりに影響を与えるためこの完全除去が必要条件となっ
ている。
本発明において最も重要な点は被洗浄体表面付着粒子の
除去力に優れしかも解離除去した粒子を容易に自己の気
孔中に移行し捕捉し得るPVAt系多孔質体を洗浄用ロ
ールとして適用したことである。
除去力に優れしかも解離除去した粒子を容易に自己の気
孔中に移行し捕捉し得るPVAt系多孔質体を洗浄用ロ
ールとして適用したことである。
該ロールを用いて洗浄するには、例えば多量の水あるい
はその他の洗浄液を供給しつつ洗浄用ロールを、好寸し
くは20!!/−以下の接圧にて被洗浄体に接触させ適
度な回転数にて回動させる等により、十分に行いうるも
のであり、しかもそのすぐれた柔軟性及び弾性によね被
洗浄体の表面を損傷する心配がない。また洗浄ブラシの
中芯に水又はその他の洗浄液を圧入し、ブラシ表面に穿
設した小孔から洗浄液を供給しつつブラシを被洗浄体に
圧着回転し洗浄してもよい。
はその他の洗浄液を供給しつつ洗浄用ロールを、好寸し
くは20!!/−以下の接圧にて被洗浄体に接触させ適
度な回転数にて回動させる等により、十分に行いうるも
のであり、しかもそのすぐれた柔軟性及び弾性によね被
洗浄体の表面を損傷する心配がない。また洗浄ブラシの
中芯に水又はその他の洗浄液を圧入し、ブラシ表面に穿
設した小孔から洗浄液を供給しつつブラシを被洗浄体に
圧着回転し洗浄してもよい。
本発明方法によれば60μ以上の粗大粒子の託去におい
て顕著な効果が認められ、殆んど被洗浄体の表面に残留
することはなかった。更に5μ以下の微少粒子の除去に
おいても従来法に比較して10倍以上の効果があること
が認められた。加うるに洗浄作業に起因する被拭浄体表
面の条痕は全く認められることはなかった。
て顕著な効果が認められ、殆んど被洗浄体の表面に残留
することはなかった。更に5μ以下の微少粒子の除去に
おいても従来法に比較して10倍以上の効果があること
が認められた。加うるに洗浄作業に起因する被拭浄体表
面の条痕は全く認められることはなかった。
この種の洗浄方法を採用する場合、その後の工程として
、有機溶剤を用いた超音波洗浄、蒸気洗浄などの4密洗
浄方法を用いて、残留した微少粒子、有機性被膜を除去
することが一般的であるが、この様に予備洗浄において
極めて高い洗浄効果をあげうることは精密洗浄の効果を
より高らしめ、製品の品質、歩留をより高いものくし得
ることは言うまでもない。
、有機溶剤を用いた超音波洗浄、蒸気洗浄などの4密洗
浄方法を用いて、残留した微少粒子、有機性被膜を除去
することが一般的であるが、この様に予備洗浄において
極めて高い洗浄効果をあげうることは精密洗浄の効果を
より高らしめ、製品の品質、歩留をより高いものくし得
ることは言うまでもない。
以下実施例、比較偶芝挙げて本発明の実施態様を具体的
に説明する。
に説明する。
実施例
0ツクウ工ル硬度でHRB−70の摺板で、−辺が4イ
ンチの正方形のものを1.000番の遊離砥粒で最終研
磨し、流水をもって粗洗浄し、室温下で24時間放置し
たものを検体とし、本発明に係る下記洗浄用ロールを用
いて洗浄実験を行なった。
ンチの正方形のものを1.000番の遊離砥粒で最終研
磨し、流水をもって粗洗浄し、室温下で24時間放置し
たものを検体とし、本発明に係る下記洗浄用ロールを用
いて洗浄実験を行なった。
洗浄液は、粒子コントロールを行なった純水を用い、洗
浄ロールの前後で/ヤワー状に被洗浄体にかかる構造と
した。
浄ロールの前後で/ヤワー状に被洗浄体にかかる構造と
した。
実験条件は次の通りで、10回の試験の平均値をとった
銅板おくb速度−5m7分 洗浄ロール回転速度−2
00R/M接圧=5p/cm ここで使用した洗浄ロールは半径30憩、長さ150+
wでフラッ小な次に示すPVAt系多孔質弾性体を表面
層とするものである 気孔率=90% 平均気孔径=120ミクロン乾燥重
量に対し100%の水分を含んだ状態での50%圧縮応
力 −6ag7C1a 洗浄後50倍の金属顕微鏡をもって表面を観察し残留付
着粒子数をカウントし、更に1 [3,000燭光の光
源下罠て条痕の有無を観察した。
00R/M接圧=5p/cm ここで使用した洗浄ロールは半径30憩、長さ150+
wでフラッ小な次に示すPVAt系多孔質弾性体を表面
層とするものである 気孔率=90% 平均気孔径=120ミクロン乾燥重
量に対し100%の水分を含んだ状態での50%圧縮応
力 −6ag7C1a 洗浄後50倍の金属顕微鏡をもって表面を観察し残留付
着粒子数をカウントし、更に1 [3,000燭光の光
源下罠て条痕の有無を観察した。
結果を第1表に示す。
実施例2
洗浄用ロールとして下記のものを用いる以外は実施例1
と同様にして実験を行った。結果を第1表に示す。
と同様にして実験を行った。結果を第1表に示す。
供試洗浄用ロール:
材質・・・実施例1のものに同じ
形態・・・勇5及び第6図に図示しだ本の突起の底部よ
り頂部までの高さ=4m 突起の直径=8あ 突起の面積= 15 cr&突起部
分の総面積が円筒の全表 面積に対し占める割合 =35%配列=規則的な
千鳥状の配列 比較例 12−ナイロン、モノフィラメントを植毛した従来型の
ブラシロールを用いる1メ外は実施例1と同様の条件に
て洗浄実験を行った。
り頂部までの高さ=4m 突起の直径=8あ 突起の面積= 15 cr&突起部
分の総面積が円筒の全表 面積に対し占める割合 =35%配列=規則的な
千鳥状の配列 比較例 12−ナイロン、モノフィラメントを植毛した従来型の
ブラシロールを用いる1メ外は実施例1と同様の条件に
て洗浄実験を行った。
結果を併せ第1表に示す。
第 1 表
第1図は本発明に係る洗浄用ロールで表面形態を歯車状
に加工したものの正面図、第2図はその側面図である。 第3図は本発明に係る洗浄用ロールで表面形態を螺旋状
に加工したものの旧面図、第4図はその側面図である。 第5図は本発明に係る洗浄用ロールで実施例−2で用い
たもので表面に円形の突起をもうけた形態にしたものの
正面図、第6図はその側面図である。 第1図 第3図 第5図 第2図 第4図 第6図 手続補正書(自発) 昭和58年5月30日 特許庁長官 若 杉 和 夫 殿 1、事件の表示 昭和57年特許願第117432号 Z発明の名称 洗 浄 方 法 五補正をする者 事件との関係 特許出願人 住所 東京都墨田区墨田五丁目17番4号連 絡
先 〒534 大阪市部島区友淵町1丁目5番90号鐘紡
株式会社特許部 6補正の内容 明細書の記載を下記の通υ補正致します。 記 (1) 明細書第2頁第16行目に「・・・・仕上げ
て行くこともあるが、・・・・」とあるを「゛・・・・
仕上げて行くことが一般的であるが、・ea働Jに削正
致します。 (2) 同第6頁第12行目に「・・・・突起部分を
突設し、」とあるを「突起部分を設け、」と訂正致しま
す。 (3) 同第6頁第15行目に1・・・・歯の構造か
弱すぎて・・・・」とあるを1突起部分の構造か弱すぎ
て」に訂正致します。 (4) 同第6頁第20行目に「拳・−・摩擦力の転
減が、一方・・・・jとある11:M′・・・・肇擦力
の軽減が十分でなく、一方@e・・」に訂正致します。
に加工したものの正面図、第2図はその側面図である。 第3図は本発明に係る洗浄用ロールで表面形態を螺旋状
に加工したものの旧面図、第4図はその側面図である。 第5図は本発明に係る洗浄用ロールで実施例−2で用い
たもので表面に円形の突起をもうけた形態にしたものの
正面図、第6図はその側面図である。 第1図 第3図 第5図 第2図 第4図 第6図 手続補正書(自発) 昭和58年5月30日 特許庁長官 若 杉 和 夫 殿 1、事件の表示 昭和57年特許願第117432号 Z発明の名称 洗 浄 方 法 五補正をする者 事件との関係 特許出願人 住所 東京都墨田区墨田五丁目17番4号連 絡
先 〒534 大阪市部島区友淵町1丁目5番90号鐘紡
株式会社特許部 6補正の内容 明細書の記載を下記の通υ補正致します。 記 (1) 明細書第2頁第16行目に「・・・・仕上げ
て行くこともあるが、・・・・」とあるを「゛・・・・
仕上げて行くことが一般的であるが、・ea働Jに削正
致します。 (2) 同第6頁第12行目に「・・・・突起部分を
突設し、」とあるを「突起部分を設け、」と訂正致しま
す。 (3) 同第6頁第15行目に1・・・・歯の構造か
弱すぎて・・・・」とあるを1突起部分の構造か弱すぎ
て」に訂正致します。 (4) 同第6頁第20行目に「拳・−・摩擦力の転
減が、一方・・・・jとある11:M′・・・・肇擦力
の軽減が十分でなく、一方@e・・」に訂正致します。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 (1) 表面仕上加工工程中に被処理物の表面に付着
した切削屑、研磨屑、砥粒等を洗浄するに際して、気孔
率85〜95%、平均気孔径10〜200μ、及び乾燥
重量に対し100%の水分を含んだ状態での30%圧縮
応力が15〜150.p/−のポリビニルアセタール系
多孔質弾性体の層を表面に有する洗浄用ロールにて被洗
浄体の表面を擦過することを特徴とする洗浄方法。 (21ポリビニルアセクール系多孔質弾性体の層がその
表面にロールの軸線に対して0〜900の角度で溝状の
切込を多数平行に刻設したものである特許請求の範囲第
1項に記載の洗浄方法 (5) ポリビニルアセクール系多孔質弾性体の層が
その表面に各種形状の突起を多数設けた本のである特許
請求の範囲第1項記載の洗浄方法0 (4) 水又は洗浄剤水溶液の存在下で被洗浄体の表
面を擦過する特許請求の範囲第1項記載の洗浄方法。
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP57117432A JPS596974A (ja) | 1982-07-05 | 1982-07-05 | 洗浄方法 |
US06/510,988 US4566911A (en) | 1982-07-05 | 1983-07-05 | Method for cleaning article by scrubbing with cleaning roll |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP57117432A JPS596974A (ja) | 1982-07-05 | 1982-07-05 | 洗浄方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS596974A true JPS596974A (ja) | 1984-01-14 |
Family
ID=14711497
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP57117432A Pending JPS596974A (ja) | 1982-07-05 | 1982-07-05 | 洗浄方法 |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US4566911A (ja) |
JP (1) | JPS596974A (ja) |
Cited By (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS62291329A (ja) * | 1986-06-10 | 1987-12-18 | Nitto Tekko Kk | 落し込み土留工法及び装置 |
JPH0499732U (ja) * | 1991-12-20 | 1992-08-28 | ||
JPH0713473U (ja) * | 1993-08-11 | 1995-03-07 | 鐘紡株式会社 | 球状体の連続浄化装置 |
WO1998020987A1 (fr) * | 1996-11-08 | 1998-05-22 | Kanebo Limited | Rouleau eponge pour nettoyage |
WO1999027003A1 (fr) * | 1997-11-21 | 1999-06-03 | Aion Co., Ltd. | Resine d'acetal de polyvinyle poreuse et d'une grande proprete, procede de fabrication et procede de stockage de cette resine |
US6502273B1 (en) | 1996-11-08 | 2003-01-07 | Kanebo, Ltd. | Cleaning sponge roller |
US10790167B2 (en) | 2014-02-20 | 2020-09-29 | Entegris, Inc. | Nodule ratios for targeted enhanced cleaning performance |
WO2021010230A1 (ja) * | 2019-07-16 | 2021-01-21 | 日本電気硝子株式会社 | ガラス板の製造方法及びガラス板の洗浄装置 |
Families Citing this family (42)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4712265A (en) * | 1985-01-24 | 1987-12-15 | Williams Kenneth A | Device for cleaning the human body |
US5244503A (en) * | 1990-03-17 | 1993-09-14 | Hoechst Ag | Polymeric oil adsorbents |
US5144711A (en) * | 1991-03-25 | 1992-09-08 | Westech Systems, Inc. | Cleaning brush for semiconductor wafer |
US5311634A (en) * | 1993-02-03 | 1994-05-17 | Nicholas Andros | Sponge cleaning pad |
US5460655A (en) * | 1994-01-27 | 1995-10-24 | Wilshire Technologies, Inc. | Hydrophilic foam article and surface-cleaning method for clean room |
US6004640A (en) * | 1994-01-27 | 1999-12-21 | Wilshire Technologies, Inc. | Hydrophilic foam article and surface-cleaning method for clean room |
US6130264A (en) | 1994-10-06 | 2000-10-10 | Xomed Surgical Products, Inc. | Synthetic sponge and surgical spear comprising synthetic sponge |
US6080092A (en) | 1994-10-06 | 2000-06-27 | Xomed Surgical Products, Inc. | Industrial cleaning sponge |
US6004402A (en) * | 1994-10-06 | 1999-12-21 | Xomed Surgical Products, Inc. | Method of cleaning silicon material with a sponge |
US6027573A (en) * | 1994-10-06 | 2000-02-22 | Xomed Surgical Products, Inc. | Industrial cleaning sponge apparatus and method for extracting residue from a sponge material |
US5778481A (en) * | 1996-02-15 | 1998-07-14 | International Business Machines Corporation | Silicon wafer cleaning and polishing pads |
US5745945A (en) * | 1996-06-28 | 1998-05-05 | International Business Machines Corporation | Brush conditioner for a semiconductor cleaning brush |
JP3403108B2 (ja) * | 1999-02-26 | 2003-05-06 | アイオン株式会社 | 洗浄用スポンジローラ |
JP3306432B2 (ja) * | 1997-02-21 | 2002-07-24 | アイオン株式会社 | スポンジシート |
US6099952A (en) * | 1998-02-18 | 2000-08-08 | Xomed Surgical Products, Inc. | Medical sponge having mucopolysaccharide coating |
US6004363A (en) * | 1998-02-25 | 1999-12-21 | Wilshire Technologies, Inc. | Abrasive article and method for making the same |
DE19836653C2 (de) * | 1998-08-13 | 2002-01-03 | Dornier Tech Gmbh & Co | Reinigungskopf |
JP3844635B2 (ja) * | 2000-04-12 | 2006-11-15 | 株式会社荏原製作所 | ロールスポンジ、ロールスポンジの製造方法、ロールスポンジの製造具及びロールスポンジを軸に取り付ける方法 |
US6578227B2 (en) | 2001-03-13 | 2003-06-17 | Berkshire Corporation | Pad for use in a critical environment |
US6802877B2 (en) | 2001-04-20 | 2004-10-12 | Thomas J. Drury | Polyvinyl acetal composition roller brush with abrasive outer surface |
US7955693B2 (en) * | 2001-04-20 | 2011-06-07 | Tolland Development Company, Llc | Foam composition roller brush with embedded mandrel |
US20020155273A1 (en) * | 2001-04-20 | 2002-10-24 | Drury Thomas J. | Polyvinyl acetal composition skinless roller brush |
CN1863645B (zh) | 2003-08-08 | 2011-11-30 | 安格斯公司 | 用于制作浇注在可旋转基体上的整体式多孔垫的方法和材料 |
JP4053060B2 (ja) * | 2003-12-26 | 2008-02-27 | アイオン株式会社 | 洗浄用スポンジローラー用の中芯 |
US7469443B2 (en) * | 2005-01-10 | 2008-12-30 | Intel Corporation | Brush for cleaning wafer |
EP1960129B1 (en) * | 2005-12-06 | 2017-06-14 | Entegris, Inc. | A molded rotatable base for a porous pad |
US20070298168A1 (en) * | 2006-06-09 | 2007-12-27 | Rensselaer Polytechnic Institute | Multifunctional carbon nanotube based brushes |
US8555448B2 (en) * | 2006-09-27 | 2013-10-15 | Johns Manville | Roller for a rotary scrubber |
US20080083078A1 (en) * | 2006-09-27 | 2008-04-10 | Fellinger Thomas J | Variable-length roller assembly for a rotary scrubber |
USD622920S1 (en) | 2007-05-02 | 2010-08-31 | Entegris Corporation | Cleaning sponge roller |
US8505145B2 (en) * | 2008-06-06 | 2013-08-13 | Aion Co., Ltd. | Central core for a cleaning sponge roller |
US20100043160A1 (en) * | 2008-08-20 | 2010-02-25 | United Microelectronics Corp. | Wafer cleaning roller |
TWM362051U (en) * | 2009-02-26 | 2009-08-01 | Tung An Dev Ltd | Structure for cleaning |
US20110182653A1 (en) * | 2010-01-26 | 2011-07-28 | Miller Kenneth C | Variable Pressure Brush/Pad |
TWI594811B (zh) * | 2010-05-19 | 2017-08-11 | 湯瑪士衛斯特公司 | 用於擦洗基材的裝置與方法 |
KR20140069043A (ko) * | 2011-09-26 | 2014-06-09 | 인티그리스, 인코포레이티드 | 포스트-cmp 세정 장치 및 방법 |
US9202723B2 (en) | 2011-11-29 | 2015-12-01 | Illinois Tool Works, Inc. | Brush with cantilevered nodules |
US8778087B2 (en) | 2012-04-03 | 2014-07-15 | Illinois Tool Works Inc. | Conical sponge brush for cleaning semiconductor wafers |
US10504753B2 (en) | 2013-12-13 | 2019-12-10 | Taiwan Semiconductor Manufacturing Co., Ltd. | Brush cleaning apparatus, chemical-mechanical polishing (CMP) system and wafer processing method |
USD800401S1 (en) * | 2015-09-24 | 2017-10-17 | Ebara Corporation | Roller for substrate cleaning |
JP1556809S (ja) * | 2015-09-24 | 2016-08-22 | ||
USD811454S1 (en) * | 2016-08-25 | 2018-02-27 | Sancilio & Company, Inc. | Mold for a medical dosage form |
Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS56116438A (en) * | 1980-02-19 | 1981-09-12 | Kanebo Ltd | Washing and wiping tool |
Family Cites Families (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US1094361A (en) * | 1912-09-19 | 1914-04-21 | Cork Insert Company | Polishing device. |
US1775186A (en) * | 1925-12-16 | 1930-09-09 | Sewall Paint & Varnish Company | Rubbing machine |
GB914315A (en) * | 1958-06-13 | 1963-01-02 | Minnesota Mining & Mfg | Improvements in driving pads |
JPS52587B2 (ja) * | 1972-04-11 | 1977-01-08 | ||
JPS5218956B2 (ja) * | 1973-02-20 | 1977-05-25 |
-
1982
- 1982-07-05 JP JP57117432A patent/JPS596974A/ja active Pending
-
1983
- 1983-07-05 US US06/510,988 patent/US4566911A/en not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS56116438A (en) * | 1980-02-19 | 1981-09-12 | Kanebo Ltd | Washing and wiping tool |
Cited By (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS62291329A (ja) * | 1986-06-10 | 1987-12-18 | Nitto Tekko Kk | 落し込み土留工法及び装置 |
JPH0499732U (ja) * | 1991-12-20 | 1992-08-28 | ||
JPH0743168Y2 (ja) * | 1991-12-20 | 1995-10-04 | 日東鐵工株式会社 | 落し込み土留装置 |
JPH0713473U (ja) * | 1993-08-11 | 1995-03-07 | 鐘紡株式会社 | 球状体の連続浄化装置 |
WO1998020987A1 (fr) * | 1996-11-08 | 1998-05-22 | Kanebo Limited | Rouleau eponge pour nettoyage |
US6502273B1 (en) | 1996-11-08 | 2003-01-07 | Kanebo, Ltd. | Cleaning sponge roller |
US6684447B2 (en) | 1996-11-08 | 2004-02-03 | Aion Co., Ltd. | Cleaning sponge roller |
WO1999027003A1 (fr) * | 1997-11-21 | 1999-06-03 | Aion Co., Ltd. | Resine d'acetal de polyvinyle poreuse et d'une grande proprete, procede de fabrication et procede de stockage de cette resine |
US10790167B2 (en) | 2014-02-20 | 2020-09-29 | Entegris, Inc. | Nodule ratios for targeted enhanced cleaning performance |
WO2021010230A1 (ja) * | 2019-07-16 | 2021-01-21 | 日本電気硝子株式会社 | ガラス板の製造方法及びガラス板の洗浄装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US4566911A (en) | 1986-01-28 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JPS596974A (ja) | 洗浄方法 | |
US4394179A (en) | Abrasive-containing contact lens cleaning materials | |
JP4805951B2 (ja) | 研磨清掃物品およびその製造方法 | |
US6502273B1 (en) | Cleaning sponge roller | |
JPH11332651A (ja) | 洗浄用回転ブラシ | |
JP4560789B2 (ja) | 磁気ディスク基板の研磨方法 | |
TWI440712B (zh) | 垂直磁性記錄方式硬碟基板用水系清潔劑組合物 | |
JP3731522B2 (ja) | クリーニングシート | |
US4830783A (en) | Abravise-containing contact lens cleaning materials | |
JP2010274348A (ja) | 研磨フィルム及びこれを用いた研磨方法 | |
JP2007015096A (ja) | ねじりブラシ | |
JP3680185B2 (ja) | 洗浄用ローラ | |
CN1183467A (zh) | 清洗组合物 | |
EP0919613B1 (en) | Metal and fiberglass cleaning and polishing article | |
US4534878A (en) | Abrasive-containing contact lens cleaning materials | |
JP2007062003A (ja) | ホイールブラシ | |
JP2014018869A (ja) | ワークの表面を処理するための研磨粒子付き表面処理用シート | |
EP0225776A2 (en) | Device and kit for cleaning lenses of telescopes, cameras and the like | |
JPH10130634A (ja) | 研磨材入りスポンジからなる洗浄材 | |
US20020155273A1 (en) | Polyvinyl acetal composition skinless roller brush | |
JPS60240129A (ja) | スクラブ洗浄装置 | |
JPS60159721A (ja) | コンタクトレンズ用クリ−ナ− | |
JPS60242974A (ja) | 研摩材料 | |
JP2003531737A (ja) | ガラスを清浄にする方法 | |
JP5446208B2 (ja) | スクラブ部材浄化方法、スクラブ部材浄化装置、スクラブ洗浄装置、ディスク材、並びに磁気ディスク |