JP5446208B2 - スクラブ部材浄化方法、スクラブ部材浄化装置、スクラブ洗浄装置、ディスク材、並びに磁気ディスク - Google Patents
スクラブ部材浄化方法、スクラブ部材浄化装置、スクラブ洗浄装置、ディスク材、並びに磁気ディスク Download PDFInfo
- Publication number
- JP5446208B2 JP5446208B2 JP2008271991A JP2008271991A JP5446208B2 JP 5446208 B2 JP5446208 B2 JP 5446208B2 JP 2008271991 A JP2008271991 A JP 2008271991A JP 2008271991 A JP2008271991 A JP 2008271991A JP 5446208 B2 JP5446208 B2 JP 5446208B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- scrub
- disk
- roll body
- disk material
- scrub member
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
- 239000000463 material Substances 0.000 title claims description 130
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 title claims description 81
- 238000000746 purification Methods 0.000 title claims description 25
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 10
- 239000007788 liquid Substances 0.000 claims description 34
- 238000005201 scrubbing Methods 0.000 claims description 20
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 10
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 claims description 7
- 239000000126 substance Substances 0.000 claims description 2
- 238000005406 washing Methods 0.000 claims 1
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 14
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 8
- 239000006061 abrasive grain Substances 0.000 description 3
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 description 3
- 239000003599 detergent Substances 0.000 description 2
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 2
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 2
- 230000001464 adherent effect Effects 0.000 description 1
- 238000004891 communication Methods 0.000 description 1
- 239000000470 constituent Substances 0.000 description 1
- 239000000356 contaminant Substances 0.000 description 1
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 1
- 238000005498 polishing Methods 0.000 description 1
- 239000000843 powder Substances 0.000 description 1
Images
Landscapes
- Cleaning In General (AREA)
- Cleaning By Liquid Or Steam (AREA)
- Manufacturing Of Magnetic Record Carriers (AREA)
Description
12 スクラブ洗浄装置
14 スクラブ部材
16 保持手段
18 回転手段
20 洗浄液供給手段
24 作動手段
26 回転板
30 供給ノズル
32 ロール体
39 付着物除去部材
40 第2ロール体
42 第2作動手段
44 第2供給部材
D ディスク材
W 洗浄液
C 浄化液
Claims (7)
- 中心部に円孔を有するディスク材において、
(1)該ディスク材を回転させながら、軸周りに回転可能な回転体として構成されているスクラブ部材を、前記円孔を横切ることなしに該円孔から外周部に延びる該ディスク材の領域に押し当ててスクラブ洗浄する工程であって、前記スクラブ部材と前記ディスク材との接触部において該スクラブ部材の移動方向が該ディスク材の移動方向と逆になるように該スクラブ部材を動かしてスクラブ洗浄する工程と、
(2)工程(1)において前記ディスク材を離れた前記スクラブ部材の部分を、該ディスク材に再び接触する前に、該スクラブ部材の浄化を図るようにスクラブ部材浄化用の付着物除去部材に接触させる工程と
を備えた洗浄方法により洗浄された、
ことを特徴とするディスク材。 - 前記スクラブ部材と前記ディスク材との接触部において該スクラブ部材の移動の速度が該ディスク材の移動の速度より大きいことを特徴とする請求項1に記載のディスク材。
- 前記付着物除去部材には浄化液供給手段により浄化液がかけられることを特徴とする請求項1または2に記載のディスク材。
- 前記付着物除去部材は、軸周りに回転可能な回転体であることを特徴とする請求項1から3のいずれか一項に記載のディスク材。
- 前記付着物除去部材は、該付着物除去部材と前記スクラブ部材との接触部が、前記スクラブ部材と前記ディスク材との接触部での該ディスク材の移動方向において該スクラブ部材の軸の下流側に位置すると共に該スクラブ部材の軸よりも該ディスク材から離れて位置するように位置付けられ、前記スクラブ部材に所定圧力で押圧されることを特徴とする請求項1から4のいずれか一項に記載のディスク材。
- 請求項1から5のいずれか一項に記載のディスク材を磁気ディスク用基板として用いて作製されたことを特徴とする磁気ディスク。
- 請求項1から5のいずれか一項に記載のディスク材であることを特徴とする磁気ディスク。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008271991A JP5446208B2 (ja) | 2008-10-22 | 2008-10-22 | スクラブ部材浄化方法、スクラブ部材浄化装置、スクラブ洗浄装置、ディスク材、並びに磁気ディスク |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008271991A JP5446208B2 (ja) | 2008-10-22 | 2008-10-22 | スクラブ部材浄化方法、スクラブ部材浄化装置、スクラブ洗浄装置、ディスク材、並びに磁気ディスク |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2010099567A JP2010099567A (ja) | 2010-05-06 |
JP5446208B2 true JP5446208B2 (ja) | 2014-03-19 |
Family
ID=42290688
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2008271991A Expired - Fee Related JP5446208B2 (ja) | 2008-10-22 | 2008-10-22 | スクラブ部材浄化方法、スクラブ部材浄化装置、スクラブ洗浄装置、ディスク材、並びに磁気ディスク |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5446208B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP6051848B2 (ja) * | 2012-12-26 | 2016-12-27 | セイコーエプソン株式会社 | 記録装置 |
Family Cites Families (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0936076A (ja) * | 1995-07-18 | 1997-02-07 | Nippon Steel Corp | 洗浄装置 |
JP2008176860A (ja) * | 2007-01-18 | 2008-07-31 | Showa Denko Kk | ブラシの保管方法、及び磁気記録媒体用基板の洗浄方法、磁気記録媒体の製造方法 |
-
2008
- 2008-10-22 JP JP2008271991A patent/JP5446208B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2010099567A (ja) | 2010-05-06 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
KR102142893B1 (ko) | 기판 이면의 연마 방법 및 기판 처리 장치 | |
US5860181A (en) | Method of and apparatus for cleaning workpiece | |
CN101266803B (zh) | 圆盘状基板的制造方法、清洗装置 | |
JP5101813B2 (ja) | べベル処理装置 | |
KR101972217B1 (ko) | 스크럽 세정 방법 및 스크럽 세정 장치 | |
TW202017079A (zh) | 基板用清洗具、基板清洗裝置、基板處理裝置、基板處理方法及基板用清洗具之製造方法 | |
US6726541B2 (en) | Cleaning sheet | |
US20080276394A1 (en) | Scrubbing device and roll sponge assembly used therein | |
JP5446208B2 (ja) | スクラブ部材浄化方法、スクラブ部材浄化装置、スクラブ洗浄装置、ディスク材、並びに磁気ディスク | |
JP3680185B2 (ja) | 洗浄用ローラ | |
JP6418790B2 (ja) | 洗浄装置 | |
JP2005144298A (ja) | 表面洗浄改質方法及び表面洗浄改質装置 | |
KR20080109181A (ko) | 반도체 제조설비의 웨이퍼 표면 세정장치 | |
JP2013043243A (ja) | 研磨体及びこれを用いた研磨方法 | |
JP2005012238A (ja) | 基板洗浄方法及び装置 | |
JP2003067918A (ja) | クリーニングディスク、該クリーニングディスクを使用したスクラブ洗浄方法及び情報記録媒体用基板の製造方法 | |
JP2010102772A (ja) | 磁気記録媒体用基板の洗浄装置及び磁気記録媒体用基板の洗浄方法 | |
JP2007253294A (ja) | 研磨パッドのドレッシング方法 | |
JP6719125B2 (ja) | 研磨部材、及び、研磨方法 | |
JP2010231852A (ja) | 基板ホルダー | |
JP2008310875A (ja) | 磁気記録媒体用基板の洗浄方法、および、それが用いられる洗浄装置 | |
JP2009245516A (ja) | 磁気ディスクの製造方法 | |
JP2007189208A (ja) | ベベル処理方法及びベベル処理装置 | |
JPH04372785A (ja) | ディスククリーナ | |
TW202308795A (zh) | 矽晶圓的洗淨方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A711 | Notification of change in applicant |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A712 Effective date: 20110722 |
|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20110812 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20121106 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20121109 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20121227 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20130510 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20130703 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20131203 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20131216 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5446208 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |