JP6719125B2 - 研磨部材、及び、研磨方法 - Google Patents
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Description
なお、以下の説明では、最初に被加工素材を研磨する研磨機能を有する装置(以下、装置とも称する)の一構成例を説明し、その後、そのような装置に用いられる研磨部材の実施形態、及び、研磨方法について説明する。また、以下の説明では、研磨加工される被加工素材は、真円の半導体ウエハが示されるが、オリフラを有する輪郭が真円でない半導体ウエハなど、異形状の被加工素材を加工する場合にも本発明は適用可能である。
まず、研磨加工されるべきウエハ30がオペレータによって手動で或いは搬送ロボットにより自動で装置1内に搬入される。例えば、複数枚のウエハ30が収容されたカセットが装置1内の前述したローダ部にセットされる。
従来の研磨は、研磨部材とスラリー(研磨液)を用いており、押し付け圧力を強くしたり、研磨スピードを上げる場合には発熱量が多く、ウエハ及びスラリーの温度が上昇することからスラリーは温度管理を行いながら供給している。このため、装置や供給路・研磨槽・洗浄槽のスラリーによる汚染や廃液処理によるコスト、環境問題が生じることから、スラリーは使用しない方が望ましい。
2 支持体
10,110 研磨部材
12,112,112A,112B 研磨布
14 支持部材
30 ウエハ(被加工素材)
32,34 主表面
36 周端側面
76 バネ(付勢機構)
Claims (3)
- 表面を羽毛立たせるか植毛状の突起が形成された織布又は不織布で構成された柔軟性を有する研磨布を有し、前記羽毛立った部分又は突起に、粒状の研磨材を付着、及び/又は、食い込ませて担持した研磨部材を用いた研磨方法であって、
被加工素材を支持体によって位置規制しつつ回転可能に支持し、
前記支持体に支持された前記被加工素材の周端側面に対して前記研磨部材を押圧接触させて、前記被加工素材の周端側面が前記研磨部材に食い込むように前記研磨部材を変形させる食い込み押圧状態にし、
前記食い込み押圧状態で前記研磨部材を回転させることにより前記被加工素材の前記周端側面の研磨を行ない、
引き続いて前記食い込み押圧状態を解除して前記研磨部材により前記被加工素材の前記周端側面の洗浄を更に行なう
ことを特徴とする研磨方法。 - 前記研磨部材を洗浄液によって洗浄することを特徴とする請求項1に記載の研磨方法。
- 前記被加工素材の周端側面とあわせて、前記被加工素材の主表面の少なくとも一面を研磨することを特徴とする請求項1又は2に記載の研磨方法。
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