JP2008310875A - 磁気記録媒体用基板の洗浄方法、および、それが用いられる洗浄装置 - Google Patents

Abstract

【課題】残留した研磨剤の砥粒等の異物を基板の表面から確実に除去することができること。
【解決手段】スクラブロール１４、１６および１８が、それぞれ、円板状の基板１０の記録面１０Ａおよび１０Ｂにおける共通の環状領域１０Ｅまたは環状領域１０Ｆに当接し基板１０の円周を横切るように配置される構成において、スクラブロール１４、１６および１８の回転数が、基板１０の回転数よりも大に設定されるもの。
【選択図】図１

Description

本発明は、記録面に付着した異物をスクラブロールで除去する磁気記録媒体用基板の洗浄方法、および、それが用いられる洗浄装置に関する。

磁気記録媒体（ハードディスク）の一連の製造工程においては、一般に、ポリッシング工程、テクスチャリング工程などの研磨工程に洗浄工程が設けられ、研磨後に洗浄・乾燥された基板上に磁気記録層などを成膜することにより磁気記録媒体が製造される。そのような洗浄工程が行われる理由としては、基板の表面に研磨剤の一部の砥粒などの異物が残留した状態で成膜された場合、磁気ヘッドの浮上特性、および、電磁交換特性が悪化する虞があるので残留する砥粒を完全に除去するためである。

上述の洗浄工程においては、砥粒などの異物を除去するスクラブ材を備える洗浄装置が使用される。洗浄装置は、例えば、特許文献１にも示されるように、回転可能に支持される磁気記録媒体用基板の表面に対向して配され、スクラブヘッドを有するスクラブ材駆動機構を含んで構成されている。そのスクラブヘッドは、ポリウレタン等で作られたスクラブ材を一端に保持している。また、スクラブヘッドは、スクラブ材駆動機構により、基板の半径方向に沿って往復動可能に支持されている。

これにより、スクラブヘッドが回転せしめられる磁気記録媒体用基板の表面に対向し、スクラブ材の外周面が基板の表面に所定の圧力で当接された状態で、スクラブヘッドが基板の半径方向に沿って所定のストロークで往復動される場合、スクラブ材の外周面が基板の表面に摺接されるので基板の表面に残留する砥粒がスクラブ材の外周面に付着して剥離除去されることとなる。

特開平１１−１８５２５４号公報

上述のようなスクラブ材の外周面が、回転せしめられる基板の表面に押し付けられ、摺接されながら洗浄する方法においては、残留した一部の砥粒の形状が、基板の平坦面に対応し摩耗した平坦面を有する形状である場合、砥粒の平坦面と基板の表面とが互いに密着するので砥粒がスクラブ材の外周面に付着することによる剥離除去がなされることなく、一部の砥粒が基板の表面に残留する場合がある。

以上の問題点を考慮し、本発明は、記録面に付着した異物をスクラブロールで除去する磁気記録媒体用基板の洗浄方法、および、それが用いられる洗浄装置であって、残留した研磨剤の砥粒等の異物を基板の表面から確実に除去することができる磁気記録媒体用基板の洗浄方法、および、それが用いられる洗浄装置を提供することを目的とする。

上述の目的を達成するために、本発明に係る磁気記録媒体用基板の洗浄方法は、多孔質物質で作られる第１のスクラブロールおよび第２のスクラブロールの外周部が、それぞれ、洗浄される円板状の磁気記録媒体用基板の記録面における共通の環状領域に当接するように第１のスクラブロールおよび第２のスクラブロールを記録面に配置する工程と、磁気記録媒体用基板を所定の方向に回転させながら、記録面に配置された第１のスクラブロールおよび第２のスクラブロールを磁気記録媒体用基板の回転数よりも大なる回転数で回転させることにより、第１のスクラブロールおよび第２のスクラブロールの外周部で記録面に残留する異物を記録面に対し摺動させつつ共通の環状領域を経由させて磁気記録媒体用基板から除去する工程と、を含んでなる。

また、本発明に係る磁気記録媒体用基板の洗浄装置は、スクラブロール機構支持体に回動可能に支持される多孔質物質の第１のスクラブロールおよび第２のスクラブロールにおける外周部を洗浄される円板状の磁気記録媒体用基板の記録面における共通の環状領域に当接させるようにスクラブロール機構支持体を移動させるスクラブロール機構支持体送り装置と、第１のスクラブロールおよび第２のスクラブロールを回動させるスクラブロール駆動部と、スクラブロール機構支持体送り装置およびスクラブロール駆動部の動作を制御する制御部と、を備え、第１のスクラブロールおよび第２のスクラブロールにおける外周部が磁気記録媒体用基板の記録面における共通の環状領域に当接する場合、制御部が、第１のスクラブロールおよび第２のスクラブロールの回転数を磁気記録媒体用基板の回転数に比して大となるようにスクラブロール駆動部に動作を行わせることにより、第１のスクラブロールおよび第２のスクラブロールの外周部で磁気記録媒体用基板の記録面に残留する異物を記録面に対し摺動させつつ共通の環状領域を経由させて磁気記録媒体用基板から除去することを特徴とする。

本発明に係る磁気記録媒体用基板の洗浄方法、および、それが用いられる洗浄装置によれば、多孔質物質で作られる第１のスクラブロールおよび第２のスクラブロールの外周部が、それぞれ、洗浄される円板状の磁気記録媒体用基板の記録面における共通の環状領域に当接した状態で、第１のスクラブロールおよび第２のスクラブロールを磁気記録媒体用基板の回転数よりも大なる回転数で回転させることにより、第１のスクラブロールおよび第２のスクラブロールの外周部で記録面に残留する異物を記録面に対し摺動させつつ共通の環状領域を経由させて磁気記録媒体用基板から除去するので残留した研磨剤の砥粒等の異物を基板の表面から確実に除去することができる。

図２は、本発明に係る磁気記録媒体用基板の洗浄方法の一例が適用された洗浄装置の一例を、洗浄される磁気記録媒体用基板とともに概略的に示す。

図２において、洗浄されるディスク状磁気記録媒体用基板（以下、基板ともいう）１０は、例えば、相対向する記録面１０Ａおよび１０Ｂを有する３．５インチの垂直磁気記録媒体用基板とされる。本装置により洗浄された基板１０は、説明が省略される成膜工程において非磁性下地層、磁気記録層、保護層などが順次成膜されて磁気記録媒体とされることとなる。

基板１０の材料は、ＮｉＰめっきを施したアルミニウム合金、強化ガラス、結晶化ガラスなどのハードディスク用の基板に一般的に用いられるものであってよい。

洗浄装置は、図３に示されるように、中央に孔１０ａを有する基板１０を着脱可能に保持するチャック機構３２と、チャック機構３２に減速機構部３４を介して連結され基板１０とともにチャック機構３２を回転させる回転駆動部３６と、基板１０の記録面１０Ａおよび１０Ｂを洗浄すべく、スクラブロール１４、１６、および１８を記録面１０Ａおよび１０Ｂにそれぞれ、回転させながら押し付ける各スクラブロール機構を支持する一対のスクラブロール機構支持体１２と、を含んで構成されている。

なお、図２においては、基板１０の記録面１０Ａに対し対向するスクラブロール機構およびスクラブロール機構支持体１２のみを示し、基板１０の記録面１０Ｂに対し対向するスクラブロール機構およびスクラブロール機構支持体の図示は、省略される。

また、各スクラブロール機構支持体１２には、スクラブロール１４、１６、および１８を伴ってスクラブロール機構支持体１２をチャック機構３２の中心軸線に沿って基板１０の記録面１０Ａおよび１０Ｂに対し近接または離隔させるスクラブロール機構支持体送り装置３８が設けられている。

基板１０の孔１０ａの中心軸線との共通の中心軸線上に配されるチャック機構３２は、その基板１０の記録面１０Ａおよび１０Ｂがその中心軸線に対し略垂直となるように基板１０を着脱可能に保持するものとされる。チャック機構３２は、図４（Ａ）および（Ｂ）に示されるように、基板１０の孔１０ａの周縁を着脱可能に保持するジョー部材３２Ａ，３２Ｂ，および３２Ｃを共通の円周上に均等に有している。チャック機構３２におけるジョー部材３２Ａ，３２Ｂ，および３２Ｃの構成は、例えば、特開２００４−９１５１号公報に示される構成と同様な構成を備えている。

斯かる構成において、ジョー部材３２Ａ，３２Ｂ，および３２Ｃは、それぞれ、後述する空気圧回路部からの作動空気がチャック機構３２に供給されるとき、互いに離隔し相互間に隙間ＣＬが形成されるように、図４（Ａ）において半径方向に沿って矢印の示す方向に移動せしめられる。これにより、基板１０の孔１０ａの周縁がジョー部材３２Ａ，３２Ｂ，および３２Ｃに保持されるので基板１０がロック状態とされることとなる。一方、空気圧回路部からの作動空気がチャック機構３２に供給されないとき、ジョー部材３２Ａ，３２Ｂ，および３２Ｃは、それぞれ、互いに近接するように図４（Ｂ）において半径方向に沿って移動せしめられる。これにより、基板１０の孔１０ａの周縁がジョー部材３２Ａ，３２Ｂ，および３２Ｃから解放されるので基板１０がアンロック状態とされることとなる。

チャック機構３２の内周部は、後述の駆動用モータの出力軸に連結される減速機構部３４の回転軸の一端に連結されている。

回転駆動部３６は、例えば、駆動用モータとされ、後述する制御ユニットにより制御される。洗浄工程においては、その基板１０およびチャック機構３２が、例えば、約６０ｒｐｍで回転されるように駆動用モータが回転制御される。これにより、駆動用モータが作動状態とされる場合、基板１０およびチャック機構３２は、例えば、図２における矢印の示す方向、即ち、時計回り方向に回転せしめられる。

なお、チャック機構は、上述のような機械的な３爪式に限られることなく、基板の材質に応じて例えば、特開２００２−９３８９５号公報にも示されるような、電磁式の静電チャック装置であってもよい。

基板１０を挟んで相対向して配される各スクラブロール機構支持体１２は、互いに同一の構造を有するので一方側のスクラブロール機構支持体１２についてのみ説明する。

スクラブロール機構支持体１２は、チャック機構３２により保持される基板１０の記録面１０Ａに相対向し移動可能に構成されている。スクラブロール機構支持体１２は、スクラブロール機構支持体送り装置３８により、基板１０の記録面１０Ａに対し近接または離隔可能とされる。

スクラブロール機構支持体送り装置３８は、例えば、スクラブロール機構支持体１２を支持するスライドテーブル部と、スライドテーブル部を移動させるボールネジを駆動する駆動用モータとを含んで構成されている。

スライドテーブル部は、スクラブロール機構支持体１２がチャック機構３２により保持される基板１０の記録面１０Ａに対し略平行となるようにスクラブロール機構支持体１２を支持している。その駆動用モータの出力軸は、後述する制御ユニットにより回転角度制御される。

スクラブロール機構支持体１２における基板１０の記録面１０Ａに対向して支持されるスクラブロール機構は、外周面を基板１０の記録面１０Ａに所定の圧力で摺接させながら残留する異物を除去するスクラブロール１４、１６、および１８と、スクラブロール１４、１６、および１８をそれぞれ、回動させる駆動用モータ２４、２６、２８と、を主な要素として含んで構成されている。

スクラブロール１４は、円柱状の回転軸１４Ｓ（図５参照）と、回転軸１４Ｓの外周部に固着される清浄用ロール部材１４Ｒとを含んで構成されている。回転軸１４Ｓの両端は、それぞれ、スクラブロール機構支持体１２における軸受部（不図示）により回動可能に支持されている。このように回転軸１４Ｓの両端が支持されているので特許文献１に示されるようなスクラブ材が片持ちばりのように支持されている場合に比べて清浄用ロール部材１４Ｒの外周面をより確実に記録面１０Ａおよび１０Ｂに密着させることができることとなる。

スクラブロール１４は、回転軸１４Ｓの中心軸線の延長線とチャック機構３２の中心軸線とが互いに交差し、かつ、基板１０の半径方向に延びる回転軸１４Ｓの中心軸線と基板１０の記録面１０Ａとが互いに平行となるように配されている。また、スクラブロール１４の一端は、チャック機構３２の中心軸線近傍に配されている。

清浄用ロール部材１４Ｒは、所定の空孔率を有する多孔質材料、例えば、樹脂製のスポンジ等で作られている。

回転軸１４Ｓの他端には、減速機構１４Ｍが設けられている。減速機構１４Ｍは、ウォームホイールと、駆動用モータ２４の出力軸に連結されるフレキシブルジョイント２０の一端が連結されるウォームと、からなる。

スクラブロール１６および１８は、それぞれ、スクラブロール１４の構造と同様な構造を有しており、円柱状の回転軸と、その回転軸の外周部に固着される清浄用ロール部材とを含んで構成されている。その各回転軸の両端は、それぞれ、スクラブロール機構支持体１２における軸受部（不図示）により回動可能に支持されている。各回転軸の他端には、減速機構１６Ｍ、１８Ｍが設けられている。減速機構１６Ｍ、１８Ｍは、それぞれ、ウォームホイールと、駆動用モータ２６、２８の出力軸にそれぞれ連結されるフレキシブルジョイント２２、３０の一端が連結されるウォームと、からなる。

また、スクラブロール１６は、その回転軸の中心軸線の延長線とチャック機構３２の中心軸線とが互いに交差し、かつ、基板１０の半径方向に延びる回転軸の中心軸線と基板１０の記録面１０Ａとが互いに平行となるように配されている。スクラブロール１６は、図２に示されるように、その回転軸の中心軸線とスクラブロール１４の回転軸の中心軸線とが所定の中心角を形成するように時計回り方向に離隔した位置に配されている。その際、スクラブロール１６の一部は、基板１０においてスクラブロール１４が対向する共通の環状領域１０Ｅおよび後述する環状領域１０Ｆに対向するように配され、従って、スクラブロール１６は、スクラブロール１４の位置よりも基板１０における半径方向外方に向けて偏倚した位置に配されることとなる。

さらに、スクラブロール１８は、その回転軸の中心軸線の延長線とチャック機構３２の中心軸線とが互いに交差し、かつ、基板１０の半径方向に延びる回転軸の中心軸線と基板１０の記録面１０Ａとが互いに平行となるように配されている。スクラブロール１８は、図２に示されるように、その回転軸の中心軸線とスクラブロール１６の回転軸の中心軸線とが所定の中心角を形成するように時計回り方向に離隔した位置に配されている。その際、スクラブロール１８の一部は、基板１０においてスクラブロール１６が対向する共通の環状領域１０Ｆに対向するように配され、従って、スクラブロール１８は、スクラブロール１６の位置よりも基板１０における半径方向外方に向けて偏倚した位置に配されることとなる。環状領域１０Ｆの最外径は、上述の環状領域１０Ｅの最外径よりも大である。これにより、上述のスクラブロール１６は、基板１０における上述の環状領域１０Ｅおよび１０Ｆ双方に対向するように配されることとなる。

なお、上述の基板１０は、その一部が洗浄液等が満たされる容器内に浸漬された状態で配されてもよく、あるいは、基板１０の記録面１０Ａおよび１０Ｂとスクラブロール１４、１６および１８の外周面との間に対して流水が適宜供給されるような構成であってもよい。このような構成により、基板１０の記録面１０Ａおよび１０Ｂに残留した異物が、スクラブロールによってより効率よく、かつ、容易に除去されることとなる。

本発明に係る磁気記録媒体用基板の洗浄方法の一例が適用された洗浄装置の一例においては、さらに、駆動用モータ２４、２６、２８、スクラブロール機構支持体送り装置３８、チャック機構３２、駆動用モータ３６の動作制御を行う制御ユニット５０が備えられている。

制御ユニット５０は、上述の動作制御を行わせる所定のプログラムのデータ等を格納するメモリ部、および、中央演算処理部（ＣＰＵ）を備えている。

制御ユニット５０には、図示が省略される生産管理用ホストコンピュータからの１枚の基板１０に対する洗浄開始指令をあらわす指令信号Ｓｓ、洗浄終了指令をあらわす指令信号Ｓｆ、基板１０のチャック機構３２への装着が完了したことをあらわす信号Ｓｃ１、および、基板１０のチャック機構３２からの取り外し要求をあらわす信号Ｓｃ２が供給される。

制御ユニット５０は、信号Ｓｃ１が供給されるとき、チャック機構３２をロック状態とすべく、制御信号Ｃａを形成し、それを空気圧制御部５２に供給する。空気圧制御部５２は、制御信号Ｃａに基づいて駆動制御信号を形成し、それを空気圧回路部５４に供給する。これにより、チャック機構３２におけるジョー部材３２Ａ，３２Ｂ，および３２Ｃは、それぞれ、供給される作動空気により移動せしめられ、基板１０をロック状態とすべく、基板１０の孔１０ａの周縁を保持する。

次に、制御ユニット５０は、スクラブロール機構支持体１２を移動させるべく、指令信号Ｓｓに基づいて制御信号Ｃｄｒを形成し、それをスクラブロール機構支持体送り装置３８に供給する。スクラブロール機構支持体送り装置３８は、制御信号Ｃｄｒに基づいてスクラブロール機構支持体１２を、チャック機構３２に保持された基板１０の記録面１０Ａおよび１０Ｂに向けて所定距離だけ移動させる。その所定距離は、例えば、基板１０の記録面１０Ａおよび１０Ｂに所定の圧力で当接されたスクラブロール１４、１６および１８の外周部が所定量だけ潰される位置に設定される。その潰される所定量は、例えば、スクラブロール１４、１６および１８の半径の約１／３程度とされる。

続いて、制御ユニット５０は、スクラブロール１４、１６および１８、チャック機構３２を所定期間、例えば、３０秒間、回転させるべく、駆動制御信号Ｃ１，Ｃ２，およびＣ３，駆動制御信号Ｃｄｃを形成し、それらを駆動用モータ２４、２６、２８、駆動用モータ３６に供給する。これにより、基板１０は、例えば、６０ｒｐｍで図２において時計回り方向に３０秒間、回転され、スクラブロール１４、１６および１８は、図５においてその回転数よりも大なる回転数、例えば、約９０〜１２０ｒｐｍの範囲の回転数で時計回り方向に回転せしめられる。なお、図５においては、スクラブロール１４、１６および１８、後述する異物４０が、拡大誇張されて示されている。

これにより、図１において、例えば、基板１０の記録面１０Ａにおける環状領域１０Ｅよりも内側の領域にアルミナで作られた異物４０が１個、残留している場合、異物４０は、初期位置から基板１０の回転に伴いスクラブロール１４に向けて移送される。約１μｍ以下の大きさの異物４０は、図６に拡大されて示されるように、記録面１０Ａに摺接される平坦面を有している。

異物４０は、スクラブロール１４の外周面に到達したとき（移送経路４２における地点４２ａ）、スクラブロール１４の回転数と基板１０の回転数との相対的な回転数差に応じて環状領域１０Ｅ内（移送経路４２における地点４２ｂ）まで斜めに記録面１０Ａを滑りながら移送される。その際、図６に拡大されて示されるように、例えば、矢印の示す方向に回転せしめられるスクラブロール１４の外周面内の空隙１４ｃａおよび１４ｃｂのうちの空隙１４ｃａを形成する壁部により、記録面１０Ａに対し略平行な力が、異物４０に矢印の示す方向に沿って作用される。これにより、異物４０は、スクラブロール１４の回転に伴い基板１０の記録面１０Ａにおいて実線で示される位置から二点鎖線で示される位置まで摺接されることとなる。なお、異物４０がスクラブロール１４内の空隙１４ｃａを形成する壁部に付着した場合にあっては、そのままスクラブロール１４への付着によって除去されることとなる。

異物４０がスクラブロール１４に付着することなく、移送経路４２における地点４２ｂに到達したとき、異物４０は、スクラブロール１４の外周面から離隔し基板１０の回転に伴い移送され、スクラブロール１６の外周部（移送経路４２における地点４２ｃ）に到達する。

スクラブロール１６の外周部に到達した異物４０は、スクラブロール１４の場合と同様な作用により、スクラブロール１６の回転数と基板１０の回転数との相対的な回転数差に応じて環状領域１０Ｆ内（移送経路４２における地点４２ｄ）まで斜めに記録面１０Ａを滑りながら移送される。

異物４０がスクラブロール１６に付着することなく、移送経路４２における地点４２ｄに到達したとき、異物４０は、スクラブロール１６の外周面から離隔し基板１０の回転に伴い移送され、スクラブロール１８の外周部（移送経路４２における地点４２ｅ）に到達する。

スクラブロール１８の外周部に到達した異物４０は、スクラブロール１４および１６の場合と同様な作用により、図５にニ点鎖線で示されるように、基板１０の記録面１０Ａから除去され外方に放出されることとなる。

そして、制御ユニット５０は、洗浄終了指令をあらわす指令信号Ｓｆ、または、基板１０のチャック機構３２からの取り外し要求をあらわす信号Ｓｃ２が供給されるとき、スクラブロール機構支持体１２を基板１０に対し離隔する方向に移動させるべく、指令信号Ｓｆに基づいて制御信号Ｃｄｒを形成し、それをスクラブロール機構支持体送り装置３８に供給する。また、制御ユニット５０は、チャック機構３２をに対し基板１０をアンロック状態とすべく、制御信号Ｃａの空気圧制御部５２への供給を停止する。これにより、チャック機構３２におけるジョー部材３２Ａ，３２Ｂ，および３２Ｃは、それぞれ、移動せしめられ、基板１０の孔１０ａの周縁を解放する。従って、洗浄された基板１０がチャック機構３２から取り外し可能状態となる。

なお、上述の例においては、３．５インチの垂直磁気記録媒体用基板に対して３個のスクラブロールが設けられているが、斯かる例に限られることなく、例えば、３．５インチよりも大なる垂直磁気記録媒体用基板においては、その半径に応じて４個以上のスクラブロールが上述のような複数の共通の環状領域に対向するように配置されてもよい。一方、
３．５インチの垂直磁気記録媒体用基板よりも小なる基板においては、その半径に応じて２個のスクラブロールが上述のような複数の共通の環状領域に対向するように設けられてもよい。

特許文献１にも示されるような従来の洗浄装置においても提案されるように、仮に、スクラブロール４４が、図７および図８に二点鎖線で示されるように、同様な材質で作られ所定の１箇所に基板１０に対向して配置される場合、上述の例のように、環状領域１０Ｅよりも内側に残留するひとつの異物４０を基板１０の外周縁まで上述の例と同一の所要時間で移動させ外方へ放出するためには、異物４０が図７における移送経路４２よりも長い距離となる移送経路４６を経由して放出されることが推測されるのでスクラブロール４４は、基板１０の半径以上の軸線方向の長さおよびスクラブロール１４の直径よりも大なる直径を有することが必要となる。即ち、上述のスクラブロール４４の場合、スクラブロールの製造コストが嵩むとともに、スクラブロールの配置における設計上の自由度が制約されるのに対し、一方、本発明の一例においては、そのような不都合がないという利点を有することとなる。

本発明に係る磁気記録媒体用基板の洗浄方法の一例が適用された洗浄装置の動作説明に供される図である。 本発明に係る磁気記録媒体用基板の洗浄方法の一例が適用された洗浄装置の全体構成を概略的に示す構成図である。 図２に示される例におけるチャック機構および制御部の構成を概略的に示す構成図である。 （Ａ）および（Ｂ）は、それぞれ、図２に示されるチャック機構の動作説明に供される図である。 図１に示される例における側面図である。 本発明に係る磁気記録媒体用基板の洗浄方法の一例が適用された洗浄装置の動作説明に供される部分拡大図である。 比較例としての洗浄装置の動作説明に供される図である。 図７に示される例における側面図である。

符号の説明

１０ 基板
１０Ａ，１０Ｂ 記録面
１０Ｅ，１０Ｆ 環状領域
１２ スクラブロール機構支持体
１４、１６、１８ スクラブロール
２４、２６、２８、３６ 駆動用モータ
３８ スクラブロール機構支持体送り装置
５０ 制御ユニット

Claims (8)

1. 多孔質物質で作られる第１のスクラブロールおよび第２のスクラブロールの外周部が、それぞれ、洗浄される円板状の磁気記録媒体用基板の記録面における共通の環状領域に当接するように該第１のスクラブロールおよび該第２のスクラブロールを該記録面に配置する工程と、
   前記磁気記録媒体用基板を所定の方向に回転させながら、前記記録面に配置された第１のスクラブロールおよび該第２のスクラブロールを前記磁気記録媒体用基板の回転数よりも大なる回転数で回転させることにより、該第１のスクラブロールおよび第２のスクラブロールの外周部で該記録面に残留する異物を該記録面に対し摺動させつつ前記共通の環状領域を経由させて該磁気記録媒体用基板から除去する工程と、
   を含んでなる磁気記録媒体用基板の洗浄方法。
2. 前記第１のスクラブロールおよび第２のスクラブロールが、それぞれ、前記磁気記録媒体用基板の半径方向に沿って互いに隣接し前記磁気記録媒体用基板の記録面における共通の環状領域に当接することを特徴とする請求項１記載の磁気記録媒体用基板の洗浄方法。
3. 前記第１のスクラブロールおよび第２のスクラブロールの両端は、回動可能に支持されることを特徴とする請求項１記載の磁気記録媒体用基板の洗浄方法。
4. 洗浄液が、前記洗浄される磁気記録媒体用基板の記録面に供給されることを特徴とする請求項１記載の磁気記録媒体用基板の洗浄方法。
5. スクラブロール機構支持体に回動可能に支持される多孔質物質の第１のスクラブロールおよび第２のスクラブロールにおける外周部を洗浄される円板状の磁気記録媒体用基板の記録面における共通の環状領域に当接させるように該スクラブロール機構支持体を移動させるスクラブロール機構支持体送り装置と、
   前記第１のスクラブロールおよび第２のスクラブロールを回動させるスクラブロール駆動部と、
   前記スクラブロール機構支持体送り装置および前記スクラブロール駆動部の動作を制御する制御部と、を備え、
   前記第１のスクラブロールおよび第２のスクラブロールにおける外周部が前記磁気記録媒体用基板の記録面における共通の環状領域に当接する場合、前記制御部が、該第１のスクラブロールおよび第２のスクラブロールの回転数を該磁気記録媒体用基板の回転数に比して大となるように前記スクラブロール駆動部に動作を行わせることにより、
   該第１のスクラブロールおよび第２のスクラブロールの外周部で該磁気記録媒体用基板の記録面に残留する異物を該記録面に対し摺動させつつ前記共通の環状領域を経由させて該磁気記録媒体用基板から除去することを特徴とする磁気記録媒体用基板の洗浄装置。
6. 前記第１のスクラブロールおよび第２のスクラブロールが、それぞれ、前記磁気記録媒体用基板の半径方向に沿って互いに隣接し前記磁気記録媒体用基板の記録面における共通の環状領域に当接することを特徴とする請求項５記載の磁気記録媒体用基板の洗浄装置。
7. 前記第１のスクラブロールおよび第２のスクラブロールの両端は、前記スクラブロール機構支持体に回動可能に支持されることを特徴とする請求項５記載の磁気記録媒体用基板の洗浄装置。
8. 洗浄液が、前記洗浄される磁気記録媒体用基板の記録面に供給されることを特徴とする請求項５記載の磁気記録媒体用基板の洗浄装置。

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