JP4845848B2 - マスターディスクのクリーニング方法及び装置 - Google Patents
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Description
〔クリーニング装置の構成例〕
図1は本発明の実施形態に係るクリーニング装置の構成を示す平面図、図2は図1の矢印A方向から見たA矢視側面図、図3は図1の矢印B方向から見たB矢視側面図である。
図10は、本実施形態に係るクリーニング装置におけるクリーニングシーケンスを示すフローチャートである。
図1では1列のクリーニングヘッド20を用いたが、これに代えて、図11及び図12に示すように、ループ部52を一定の間隔(配列ピッチδ)で多列配置した複数列の複合ヘッド21を用いることで、ピッチ送り回数を減らして、クリーニング効率を向上させることができる。
第2実施形態では、図10に示したクリーニングシーケンスを示すフローチャートにおいて、ステップS118に関して特徴を有している。より具体的には、クリーニングヘッド20をマスターディスク12(14)から離脱させて、粘着シート50のループ部52をマスターディスク12(14)のディスク面12A(14A)から離す動作に関して特徴を有している。その他の内容は第1実施形態で説明した例と同一又は類似するので、説明は省略する。
Claims (10)
- 磁気ディスクの製造に用いられる磁気転写用マスターディスク、又は磁気ディスクの製造に用いられるナノインプリント用マスターディスク上に付着した塵埃を除去するクリーニング方法であって、
粘着面を外側に向けて湾曲させた形状をなす粘着部材の湾曲形状部分の一部をマスターディスクに接触させ前記湾曲形状部分の一部を前記マスターディスクに押し付けた状態で、前記粘着部材を前記マスターディスクのディスク面内方向に往復揺動させ、前記押し付けた状態で前記マスターディスクに接触する前記粘着部材の着地面積における前記往復揺動方向の幅をa、前記往復揺動の両振幅をbとするとき、a≧bを満たすことを特徴とするマスターディスクのクリーニング方法。 - 前記粘着部材として粘着シートを用い、該粘着シートの粘着面を外側に向けてループ形状を形成し、当該ループ形状の一部を前記マスターディスクに押し付けて前記往復揺動を行うことを特徴とする請求項1記載のマスターディスクのクリーニング方法。
- 前記粘着部材の長手方向について剥離角を持たせながら、前記マスターディスクに接触させた前記湾曲形状部分の一部を前記マスターディスクから離すことを特徴とする請求項1又は2記載のマスターディスクのクリーニング方法。
- 前記粘着部材の長手方向について前記粘着部材を前記マスターディスクに対し傾けることにより、前記剥離角を持たせることを特徴とする請求項3記載のマスターディスクのクリーニング方法。
- 前記粘着部材と前記マスターディスクを対向させて配置したときに前記粘着部材の長手方向について前記マスターディスクに対し傾くように前記湾曲形状部分の一部を形成しておくことにより、前記剥離角を持たせることを特徴とする請求項4記載のマスターディスクのクリーニング方法。
- 磁気ディスクの製造に用いられる磁気転写用マスターディスク、又は磁気ディスクの製造に用いられるナノインプリント用マスターディスク上に付着した塵埃を除去するクリーニング装置であって、
マスターディスクを保持するディスク保持手段と、
粘着面を外側に向けて湾曲させた形状をなす粘着部材を保持したクリーニングヘッドと、
前記ディスク保持手段に保持されたマスターディスクのディスク面に垂直な方向及び該ディスク面と平行なディスク面内方向に前記クリーニングヘッドを移動させるヘッド駆動手段と、
前記ヘッド駆動手段を制御して、前記粘着部材の湾曲形状部分の一部をマスターディスクに接触させるとともに、前記湾曲形状部分の一部を前記マスターディスクに押し付けた状態で前記粘着部材を前記ディスク面内方向に往復揺動させ、前記押し付けた状態で前記マスターディスクに接触する前記粘着部材の着地面積における前記往復揺動方向の幅をa、前記往復揺動の両振幅をbとするとき、a≧bを満たすように前記クリーニングヘッドを動作させる制御手段と、
を備えたことを特徴とするマスターディスクのクリーニング装置。 - 前記粘着部材として粘着シートを用い、該粘着シートの粘着面を外側に向けてループ形状を形成し、当該ループ形状の一部を前記マスターディスクに押し付けて前記往復揺動を行うことを特徴とする請求項6記載のマスターディスクのクリーニング装置。
- 前記粘着部材の長手方向について剥離角を持たせながら、前記マスターディスクに接触させた前記湾曲形状部分の一部を前記マスターディスクから離すように制御する離脱制御手段を有することを特徴とする請求項6又は7記載のマスターディスクのクリーニング装置。
- 前記粘着部材の長手方向について前記粘着部材を前記マスターディスクに対し傾ける機構を有することを特徴とする請求項8記載のマスターディスクのクリーニング装置。
- 前記粘着部材と前記マスターディスクを対向させて配置したときに前記粘着部材の長手方向について前記マスターディスクに対し傾くように前記湾曲形状部分の一部を形成していることを特徴とする請求項8記載のマスターディスクのクリーニング装置。
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