JP4845848B2 - マスターディスクのクリーニング方法及び装置 - Google Patents

Description

本発明はマスターディスクのクリーニング方法及び装置に係り、特にハードディスク装置等に用いられる磁気記録媒体にフォーマット情報等の磁気情報を転写する際のマスターディスクやナノインプリントに用いるマスターディスクに付着した塵埃の除去に好適なクリーニング技術に関する。

近年、急速に普及しているハードディスクドライブに使用される磁気ディスク（ハードディスク）は、磁気ディスクメーカーよりドライブメーカーに納入された後、ドライブに組み込まれる前に、フォーマット情報やアドレス情報が書き込まれるのが一般的である。この書き込みは、磁気ヘッドにより行うこともできるが、これらのフォーマット情報やアドレス情報が書き込まれているマスターディスクより一括転写する方法（磁気転写）が効率的であり、好ましい。

この種の磁気転写技術やナノインプリント技術においては、マスターディスク（転写原盤）とスレーブディスク（被転写体）とを密着させる必要があるが、この環境におけるクリーン度が悪いと、微粒子やゴミ等により、転写不良となったり、マスターディスクの表面に傷等を発生させてしまうという問題がある。

クリーニング技術としては、従来、ＣＯ_２洗浄、テープバーニッシュ、ＮｉＰメッキした基板（ダミーディスク）と密着させて異物を移着させる方法（特許文献１）、エアブロー、プラズマ洗浄、スクラブ洗浄、超音波洗浄、ジェット洗浄、クリーニングローラ（粘着テープ）を用いる方法（特許文献２、３）などが知られている。
特開２００１−１７６０６５号公報 特開昭４８−３５７７１号公報 特許第３３４６６６０号公報

しかしながら、従来の技術は、それぞれ欠点がある。すなわち、ＣＯ_２洗浄は、無機物の除去には有効であるが、有機物はほとんど除去できず、また、洗浄後にウォーターマークが残る。テープバーニッシュは、テープによる発塵があり、固い塵埃の場合、除去後にディスク表面上で引きずってキズの原因となる。

ダミーディスクを用いる方法（特許文献１）は、ダミーディスクに対し、表面硬度が低い材質で作られたマスターに対してはクリーニング効果が低い。エアブローは塵埃剥離力が弱い。プラズマ洗浄は、金属の除去ができないうえ、マスター表面の酸化や除去速度が遅いという欠点がある。スクラブ洗浄、超音波洗浄、ジェット洗浄は、いずれもマスター表面を損傷させやすい。また、これらの洗浄方法は、いずれも洗浄のためにディスクを装置から取り外さなければならず、製造ラインへの適用性（オンライン適性）も低い。さらに、特許文献２に記載されている従来のクリーニングローラを用いる方法は塵埃剥離力が弱い。

磁気転写やナノインプリント等における密着・転写によってマスターディスクに付着した塵埃は、高圧プレスされて潰れた塵埃がマスターに付着したものであり、その付着形態は粘着力による付着、或いはマスターへの食い込みによる付着である。このように、強固に付着した異物は、従来の洗浄技術によっては除去が難しく、また、付着形態が一様でないため、１つの方法ですべての塵埃を除去することが困難である。有機物／無機物のどちらに対しても除去能力を上げるためには、物理力を利用した除去方法が最も効果的であることが実験的に確認されている。

本発明はこのような事情に鑑みてなされたものであり、有機物／無機物のどちらの塵埃についても効果的に除去することができ、製造ラインへの導入（オンライン化）も可能なマスターディスクのクリーニング方法及び装置を提供することを目的とする。

前記目的を達成するために本発明は、磁気ディスクの製造に用いられる磁気転写用マスターディスク、又は磁気ディスクの製造に用いられるナノインプリント用マスターディスク上に付着した塵埃を除去するクリーニング方法であって、粘着面を外側に向けて湾曲させた形状をなす粘着部材の湾曲形状部分の一部をマスターディスクに接触させ前記湾曲形状部分の一部を前記マスターディスクに押し付けた状態で、前記粘着部材を前記マスターディスクのディスク面内方向に往復揺動させ、前記押し付けた状態で前記マスターディスクに接触する前記粘着部材の着地面積における前記往復揺動方向の幅をａ、前記往復揺動の両振幅をｂとするとき、ａ≧ｂを満たすことを特徴とする。

本発明によれば、粘着部材の往復揺動によりマスターディスク上の塵埃に対して複数の方向から外力を加えつつ粘着面の貼り剥がし動作を行うため、粘着部材の粘着力と相まってマスターディスク上の塵埃を効果的に除去できる。また、本発明によるクリーニング方法は、物理力を利用した除去方法であるため、有機物、無機物のどちらに対しても除去効果が得られる。さらに、本発明によれば、クリーニングの対象となるマスターディスクをホルダー等のディスク保持部材に取り付けたままの状態でクリーニングを行うことができるため、比較的簡易な装置構成でオンライン化が可能である。

また、往復揺動の際に粘着部材がマスターディスクに対して相対的に擦れないため、除去した塵埃によりディスク面が傷つくことがない。

本発明の他の態様は、前記粘着部材として粘着シートを用い、該粘着シートの粘着面を外側に向けてループ形状を形成し、当該ループ形状の一部を前記マスターディスクに押し付けて前記往復揺動を行うことを特徴とする。

かかる態様によれば、粘着シートを交換するだけで、除去能力を維持できるため、主たる消耗品が粘着シートのみとなり、ランニングコストを安価に抑えることができる。

本発明の他の態様は、前記粘着部材の長手方向について剥離角を持たせながら、前記マスターディスクに接触させた前記湾曲形状部分の一部を前記マスターディスクから離すことを特徴とする。

かかる態様によれば、粘着部材の長手方向について剥離角を持たせながら、マスターディスクに接触させた湾曲形状部分の一部をマスターディスクから離すので、マスターディスク上に粘着剤が残らない。

本発明の他の態様は、記粘着部材の長手方向について前記粘着部材を前記マスターディスクに対し傾けることにより、前記剥離角を持たせることを特徴とする。

かかる態様によれば、当該クリーニング方法を実現するための装置側で剥離角を制御できるので、マスターディスクに接触させた湾曲形状部分の一部をマスターディスクから離すときに、より精密な剥離角の制御ができる。

本発明の他の態様は、前記粘着部材と前記マスターディスクを対向させて配置したときに前記粘着部材の長手方向について前記マスターディスクに対し傾くように前記湾曲形状部分の一部を形成しておくことにより、前記剥離角を持たせることを特徴とする。

かかる態様によれば、当該クリーニング方法を実現するための装置側に剥離角を制御する機構を設ける必要がないので、当該装置の構成の単純化を図ることができる。

また、本発明は前記目的を達成する装置発明を提供する。すなわち、本発明は、磁気ディスクの製造に用いられる磁気転写用マスターディスク、又は磁気ディスクの製造に用いられるナノインプリント用マスターディスク上に付着した塵埃を除去するクリーニング装置であって、マスターディスクを保持するディスク保持手段と、粘着面を外側に向けて湾曲させた形状をなす粘着部材を保持したクリーニングヘッドと、前記ディスク保持手段に保持されたマスターディスクのディスク面に垂直な方向及び該ディスク面と平行なディスク面内方向に前記クリーニングヘッドを移動させるヘッド駆動手段と、前記ヘッド駆動手段を制御して、前記粘着部材の湾曲形状部分の一部をマスターディスクに接触させるとともに、前記湾曲形状部分の一部を前記マスターディスクに押し付けた状態で前記粘着部材を前記ディスク面内方向に往復揺動させ、前記押し付けた状態で前記マスターディスクに接触する前記粘着部材の着地面積における前記往復揺動方向の幅をａ、前記往復揺動の両振幅をｂとするとき、ａ≧ｂを満たすように前記クリーニングヘッドを動作させる制御手段と、を備えたことを特徴とするマスターディスクのクリーニング装置を提供する。

本発明によれば、粘着材の粘着力のみに頼った単なる貼り剥がしを行う方法に比べて、塵埃除去効果を高めることができ、高能率に塵埃を除去できる。このため、高圧プレスによってディスク上に強固に付着した塵埃も効果的に除去することができる。また、本発明は、物理的外力を利用した塵埃除去方法のため、有機物、無機物のどちらの塵埃に対しても除去能力が高い。さらに、本発明はマスターディスクを装置から外すことなくクリーニング可能なため、オンライン化が可能である。

以下、添付図面にしたがって本発明の好ましい実施の形態について詳説する。

＜第１実施形態＞
〔クリーニング装置の構成例〕
図１は本発明の実施形態に係るクリーニング装置の構成を示す平面図、図２は図１の矢印Ａ方向から見たＡ矢視側面図、図３は図１の矢印Ｂ方向から見たＢ矢視側面図である。

これらの図面に示されているように、このクリーニング装置１０は、マスターディスク１２、１４を保持するホルダーユニット１６、１８と、クリーニングヘッド２０の駆動装置を備えた駆動ユニット２２と、ベースプレート３０を主な要素として構成される。

ホルダーユニット１６、１８は、マスターディスク１２、１４を垂直に立てた姿勢（ディスク面が鉛直線と平行になる姿勢）で保持するディスク保持面１６Ａ、１８Ａを有し、両者のディスク保持面１６Ａ、１８Ａが所定の距離を隔てて互いに向かい合うように、各ホルダーユニット１６、１８はベースプレート３０上に位置決め固定される。

駆動ユニット２２は、アーム２４の先端に取り付けられたクリーニングヘッド２０をディスク面に垂直な方向（第１軸：図１におけるＸ軸）に移動させる第１軸駆動機構２６と、当該クリーニングヘッド２０をディスク面と平行方向（第２軸：図１におけるＹ軸）に移動させる第２軸駆動機構２８と、を備え、当該駆動ユニット２２はベースプレート３０上に位置決め固定される。

なお、後述するように、アーム２４に回転機能を持たせ、クリーニングヘッド２０の長手方向についてディスク保持面１６Ａ、１８Ａに対してクリーニングヘッド２０が任意の角度を持つことができるようにしてもよい。

第１及び第２軸駆動機構２６、２８は、それぞれ各軸方向に沿って配設されたリニアレール３２、３４、ボールねじ３６、３８、モータ４０、４２、スライダテーブル４４、４６から成り、第１軸駆動機構２６及び第２軸駆動機構２８により、２軸モータ制御されるＸＹステージが構成されている。

第１軸駆動機構２６によりクリーニングヘッド２０のディスク面への押し付け及びディスク面からの離脱を行い、第２軸駆動機構２８により、クリーニングヘッド２０の揺動動作と横送りを行う。各モータ４０、４２は、制御装置４８と接続され、後述するシーケンスにしたがって制御される。

ベースプレート３０は、ホルダーユニット１６、１８と駆動ユニット２２の相対的な位置関係を規定(位置決め)して固定するためのベース部材である。ホルダーユニット１６、１８と駆動ユニット２２は、ベースプレート３０に対して脱着可能な構造とすることが好ましい。

クリーニングヘッド２０には、マスターディスク１２、１４の外形（直径）よりも広い幅の粘着シート５０がその粘着面を外側（表側）に向けてループ状の形状をなすように固定されている。このループ形状部分を以下「ループ部」という。なお、本例では、２つのホルダーユニット１６、１８に対応すべく、２つのクリーニングヘッド２０を互い背中合わせに配置した２ヘッド構造を採用しているが、一方のヘッドを省略して、ヘッド部に回転（反転）機構を設けるなどの態様により、１ヘッドで２つのホルダーユニット１６、１８に対応する装置構成も可能である。

図４はクリーニングヘッド２０の構成図である。粘着シート５０はロール状のものから所定の大きさに切断された長方形状のものを用いる。この長方形の粘着シートの粘着面を外側にして先端をループ状に丸めて折り、他端を重ねて図示のようにヘッド治具（ブロック）に挟み込むことで粘着シート５０が取り付けられる。これにより、ティアドロップ形状のループ部５２が得られる。粘着シート５０の保持形態は、図４に示す例に限定されず、粘着面を外側に向けた湾曲形状を形成する他の保持形態でもよい。

粘着シート５０には、例えば、日東電工株式会社製のBT-150E-KL(商品名)を用いることができる。使用する粘着シートに必要な性能として再剥離性が良くなければならない。再剥離性が悪いと粘着材がマスターディスクに付着して汚染してしまうためである。

図５はクリーニング時の様子を示す図、図６は図５の矢印Ｃ方向から見たＣ矢視側面図、図７は図５の矢印Ｄ方向から見たＤ矢視側面拡大図である。なお、図５及び図６における斜線部は粘着シート５０を表している。

これらの図面に示されているように、クリーニング時には、粘着シート５０のループ部５２をマスターディスク１２（又は、１４）に接触させ、ループ部５２を完全に押し潰さない程度に、ループ部５２をマスターディスク１２（又は、１４）に押し付け、この押し付け状態で、ディスク面内方向にクリーニングヘッド２０（すなわち、ループ部５２）を往復運動（揺動）させる。

ループ部５２をディスク面上で引きずらずに（擦らずに）揺動させるためには、押し付けによるループ部５２の接触面積における揺動方向の幅をａ、揺動の両振幅をｂ（片振幅はｂ／２）とするとき、ａ≧ｂであることが好ましい（図７参照）。例えば、直径約６５ｍｍのマスターディスクを対象とする場合については粘着シート５０の押し潰し時における接触面積の幅ａは１ｍｍ〜５ｍｍの範囲であることが好ましく、一例として、接触面積の幅ａが３ｍｍの場合、両振幅ｂは２．５ｍｍとする。

これにより、粘着シート５０はマスターディスク１２(１４)上で微小な密着・剥離を繰り返す動きとなる。特に、マスターディスク１２(１４)に接触させた粘着シート５０を塵埃に対して可能な限り押し付けた状態でマスターディスク面と平行な方向に外力をかけながら剥がすことが望ましい。

なお、押し付け状態でのループ部５２の形状（押し潰し時における扁平の度合い）や接触面積（「着地面積」に相当）は、粘着シート５０の剛性(弾性)と、ループ部５２の大きさ、ディスク面への押し付け力等によって変わる。塵埃除去性能の観点から最適な諸条件（接触面積と揺動振幅の条件、揺動(往復)周期や揺動回数の条件、押し付け力の条件など）については、使用される粘着シート５０の特性（シートの剛性、弾性や粘着力など）に基づき、予め実験的に定められる。

例えば、ディスクの密着圧力０．４ＭＰａで潰された標準粉体（ポリプロピレン、ＳＵＳ）について、粘着シートとして日東電工株式会社製のBT-150E-KL（商品名）を使用した場合、接触幅３ｍｍ、揺動振幅２．５ｍｍ、往復時間１秒/回、ヘッドの送りピッチ１ｍｍとしたとき、貼り剥がし揺動の回数と、マスターに付着した塵埃の除去率の関係を調べた実験では図８のような結果が得られた。図８の実験結果によれば、ポリプロピレンに対しては、貼り剥がし揺動の回数が１０回以上で塵埃除去率８０％が達成され、ＳＵＳ（ステンレス鋼）に対しては、貼り剥がし揺動の回数が２０回以上で塵埃除去率７０％が達成され、３０回以上で塵埃除去率８０％が達成されている。

条件を異ならせた他の実験結果も含め、塵埃の種類によらず、塵埃除去率７０％以上を達成しようとすると、貼り剥がし揺動を３０回〜４０回行えば良いことがわかっている。

かかる知見に基づき、ループ部５２の押し付け量（接触面積)、揺動振幅、周期、回数等が制御される。また、図９に示すように、所定の送りピッチでクリーニングヘッド２０の位置（ディスクのクリーニング位置）を変えながら、各位置で上述の揺動動作によるクリーニングが行われる。

すなわち、ディスクの全領域に対応するストローク範囲について、所定の送りピッチでクリーニングヘッド２０の位置（ディスクのクリーニング位置）を変えながら、各位置で上述の揺動動作によるクリーニングが繰り返し行われ、ディスク全面がクリーニングされる。ヘッドの送りピッチは、接触面積の幅ａと同等またはこれよりも小さい送り量であることが好ましい。特に、ヘッドの送りピッチを揺動の片振幅（ｂ／２）以下とすることが好ましい。すなわち、ヘッドの送りピッチ≦ｂ／２とすることで、１つの塵埃に対し少なくとも２回かつ２方向からの貼り剥がし動作を行うことができる。例えば、ａ＝３ｍｍ，ｂ＝２．５ｍｍの時、送りピッチを１ｍｍと条件設定することで１つの塵埃に対し、２方向からの貼り剥がしを行うことができる。

〔クリーニングシーケンスの説明〕
図１０は、本実施形態に係るクリーニング装置におけるクリーニングシーケンスを示すフローチャートである。

装置の運転が開始されると（ステップＳ１１０）、まず、クリーニングヘッド２０をスタート原点位置へ移動させる(ステップＳ１１２)。例えば、図９において、ディスクの左端から右に向かって移動させながらクリーニングを行う場合、最左のクリーニング位置がスタート原点位置に相当する。

次いで、ヘッドを設定した押し付け量の位置へ移動させる(ステップＳ１１４)。この移動は、ループ部５２をマスターディスク１２(１４)に接触させる方向（図１においてＸ軸方向）に移動させるものである。所定の接触面積（幅ａ）を実現する状態でヘッドをＹ軸方向に両振幅ｂ（片振幅ｂ／２）で往復運動させ、クリーニングを行う（ステップＳ１１６）。この微小な揺動による貼り剥がしのクリーニングを所定時間（または所定往復揺動回数）実施した後、クリーニングヘッド２０をディスクから離脱させて(ステップＳ１１８)、ループ部５２をディスク面から離す。

そして、予め設定されている送りピッチ分だけヘッドを送り移動させる(ステップＳ１２０)。このヘッド移動により、ヘッドが予め設定されている送りストローク量の移動を完了したか否かの判断を行う（ステップＳ１２２)。

この判定の結果、所定の送りストローク量に達していなければ、ステップＳ１１４に戻り、上述の動作(ステップＳ１１４〜ステップＳ１２２)を繰り返す。所定のピッチ量で送り移動しながら、各位置でクリーニング動作を行うことで、ディスクの全領域についてクリーニングが実施される。所定の送りストローク量までの移動が完了してディスクの全領域についてクリーニングが終了すると、ステップＳ１２２の判定において、所定の送りストローク量を完了したと判定され、ＹＥＳ判定となる。

この場合は、ヘッドを原点位置へ移動させ（ステップＳ１２４）、装置を停止させる(ステップＳ１２６)。

図１に示した２つのホルダーユニット１６、１８を備える構成の場合、上述した処理フロー（ステップＳ１１０〜Ｓ１２６）を各ホルダーユニット１６、１８について交互に実行する。すなわち、一方（片側）のホルダーユニット（例えば符号１６）に保持されたディスクについて図１０の処理フローが終わったら、ヘッドを反対側（他方）のホルダーユニット（例えば、この場合、符号１８）に移動させて、同様の処理を行う。

図１に示した制御装置４８には、図１０のようなシーケンスによってクリーニング装置１０の駆動ユニット２２を制御するためのプログラムが格納された記憶手段と、当該プログラムを実行するコンピュータを含んで構成される。

(変形例)
図１では１列のクリーニングヘッド２０を用いたが、これに代えて、図１１及び図１２に示すように、ループ部５２を一定の間隔（配列ピッチδ）で多列配置した複数列の複合ヘッド２１を用いることで、ピッチ送り回数を減らして、クリーニング効率を向上させることができる。

図１１及び図１２に示すような複数列配置の複合ヘッド２１を用いる構成によれば、１度のクリーニング面積を増やすことができ、粘着ループの配列ピッチδの約半ピッチ程度のピッチ送りを行うことにより、ディスク全面をクリーニングすることができるため、クリーニング効率を向上できる。

＜第２実施形態＞
第２実施形態では、図１０に示したクリーニングシーケンスを示すフローチャートにおいて、ステップＳ１１８に関して特徴を有している。より具体的には、クリーニングヘッド２０をマスターディスク１２（１４）から離脱させて、粘着シート５０のループ部５２をマスターディスク１２（１４）のディスク面１２Ａ（１４Ａ）から離す動作に関して特徴を有している。その他の内容は第１実施形態で説明した例と同一又は類似するので、説明は省略する。

図１０のステップＳ１１８においては、クリーニングヘッド２０をディスク面１２Ａ（１４Ａ）に垂直な方向にそのまま離脱させて、ループ部５２をディスク面１２Ａ（１４Ａ）から離すことが考えられる。

しかしながら、第２実施形態では、ループ部５２とディスク面１２Ａ（１４Ａ）に剥離角を持たせながら、ループ部５２をディスク面１２Ａ（１４Ａ）から離すことを提案する。

そこで、以下に詳細を説明する。図１３は、第２実施形態においてループ部５２をディスク面１２Ａ（１４Ａ）から離す様子を示す図である。

図１３（ａ）は、図５の矢印Ｃ方向から見たＣ矢視側面図（図６）であり、クリーニングヘッド２０によりループ部５２をディスク面１２Ａ（１４Ａ）に押し付けて、接触幅ａで接触させた状態を示している。

次に、図１３（ａ）の状態から図１３（ｂ）に示すように、クリーニングヘッド２０をディスク面１２Ａ（１４Ａ）に垂直な方向（図面上方向）に離脱させる。これにより、ループ部５２のディスク面１２Ａ（１４Ａ）への押し付け量を減らし、ループ部５２とディスク面１２Ａ（１４Ａ）を接触幅ａ´で接触させた状態にする。なお、ａ＞ａ´であり、図１３（ａ）の状態のときより図１３（ｂ）の状態のときのほうが、ループ部５２とディスク面１２Ａ（１４Ａ）の接触面積が狭められている。

図１３（ｂ）に示す状態では、クリーニングヘッド２０の長手方向から見ると、図１４に示すような状態になっている。図１４は図１３（ｂ）の矢印Ｆ方向から見たＦ矢視側面拡大図である。また、図１５に斜視図を示す。

次に、図１３（ｂ）の状態から図１３（ｃ）に示すように、粘着シート５０の長手方向について剥離角θを持たせながら、ループ部５２をディスク面１２Ａ（１４Ａ）から離す。このように粘着シート５０の長手方向について剥離角θを持たせる理由は以下のとおりである。

図１３（ａ）に示す状態から図１３（ｂ）に示す状態に至るまでの間は、ループ部５２はディスク面１２Ａ（１４Ａ）に対し、任意の剥離角を持った状態でめくられながら離れる。しかし、図１３（ｂ）に示す状態からループ部５２をディスク面１２Ａ（１４Ａ）から離す時には、引き剥がしの現象が起こり、非常に大きな剥離力が生じてしまうからである。

そこで、図１３（ｃ）に示すように、粘着シート５０の長手方向について剥離角θを持たせながら、ループ部５２をディスク面１２Ａ（１４Ａ）から離すことにし、引き剥がしの現象が起こらないようにしている。これにより、ループ部５２の凝集力がディスク面１２Ａ（１４Ａ）と粘着剤の界面密着力に負けないことになる。そのため、粘着剤が凝集破壊を起こして粘着剤がディスク面１２Ａ（１４Ａ）に残るおそれがない効果を得ることができる。

なお、図１３（ａ）に示す状態からそのまま（１３（ａ）に示す状態から図１３（ｂ）に示す状態へとループ部５２とディスク面１２Ａ（１４Ａ）の接触面積を狭めず）、図１３（ｃ）に示すように、粘着シート５０の長手方向について剥離角θを持たせながら、ループ部５２をディスク面１２Ａ（１４Ａ）から離してもよい。

ここで、粘着シート５０の長手方向について剥離角θを持たせながら、ループ部５２をディスク面１２Ａ（１４Ａ）から離す動作に関して、より詳細に説明する。ここでは、粘着シート５０の長手方向について剥離角θを持たせるクリーニングヘッド２０の回転動作に関し、その支点となる位置ごとに場合を分けて説明する。

まず、図１や図２に示すようなアーム２４に回転機能を持たせて、クリーニングヘッド２０の長手方向における中心部分を支点としてクリーニングヘッド２０に回転動作を与える場合について考える。

この場合、クリーニングヘッド２０の長手方向における中心部分を支点として、一端であるＡ端（図１３参照）側をディスク面１２Ａ（１４Ａ）から離脱させ、他端であるＢ端（図１３参照）側をディスク面１２Ａ（１４Ａ）に接近させるように、クリーニングヘッド２０を所定の角度θだけ回転する。

すると、ループ部５２の長手方向のＡ端側から中心部分にかけては、ループ部５２とディスク面１２Ａ（１４Ａ）が剥離角θを持ちながら徐々に離れていき、やがて、完全に離れる。その一方、ループ部５２の長手方向の中心部分からＢ端部分にかけては、押し付け量が増えて撓む。

その後、クリーニングヘッド２０は回転動作を停止させて、第１軸駆動機構２６によりディスク面１２Ａ（１４Ａ）に垂直な方向にディスク面１２Ａ（１４Ａ）から徐々に離脱させていく。すると、ループ部５２の長手方向の中心部分からＢ端部分にかけて、押し付け量が減りループ部５２の撓みが減少していく。そして、ループ部５２とディスク面１２Ａ（１４Ａ）とが剥離角θを持ちながら徐々に離れていく。このとき、ループ部５２とディスク面１２Ａ（１４Ａ）の接触面積が、粘着シート５０の長手方向に徐々に減少していく。やがて、クリーニングヘッド２０をディスク面１２Ａ（１４Ａ）から所定の距離まで離脱させると、ループ部５２とディスク面１２Ａ（１４Ａ）とが完全に離れる。以上のように、ループ部５２とディスク面１２Ａ（１４Ａ）を離すことができる。

なお、クリーニングヘッド２０の長手方向における中心部分を支点として、Ｂ端側をディスク面１２Ａ（１４Ａ）から離脱させ、Ａ端側をディスク面１２Ａ（１４Ａ）に接近させるように、クリーニングヘッド２０を所定の角度θだけ回転させても、同様にして、ループ部５２とディスク面１２Ａ（１４Ａ）を離すことができる。

次に、クリーニングヘッド２０の長手方向におけるＡ端側を支点として、クリーニングヘッド２０に回転動作を与える場合について考える。この場合、クリーニングヘッド２０の長手方向におけるＡ端側を支点として、Ｂ端側をディスク１２（１４）にやや押し付けるように、クリーニングヘッド２０を所定の角度θだけ回転させた状態にする。そして、その状態のままディスク面１２Ａ（１４Ａ）と垂直な方向に、クリーニングヘッド２０をマスターディスク１２（１４）から徐々に離脱させる。

すると、粘着シート５０の長手方向について剥離角θを持ちながら、クリーニングヘッド２０の長手方向におけるＡ端側からループ部５２とディスク面１２Ａ（１４Ａ）とが徐々に離れていく。このとき、ループ部５２とディスク面１２Ａ（１４Ａ）の接触面積が、粘着シート５０の長手方向に徐々に減少していく。そして、クリーニングヘッド２０を所定の距離だけ離脱させると、ループ部５２とのディスク面１２Ａ（１４Ａ）が完全に離れる。以上のように、ループ部５２とディスク面１２Ａ（１４Ａ）を離すことができる。

なお、クリーニングヘッド２０の長手方向におけるＢ端側を支点とした場合も、同様にしてＢ端側からループ部５２とディスク面１２Ａ（１４Ａ）とを徐々に離していくことにより、ループ部５２とディスク面１２Ａ（１４Ａ）を離すことができる。

次に、クリーニングヘッド２０の長手方向におけるＢ端部分を支点として、クリーニングヘッド２０に回転動作を与える場合について考える。この場合、クリーニングヘッド２０の長手方向におけるＢ端部分を支点として、Ａ端側をマスターディスク１２（１４）から離脱させるように、クリーニングヘッド２０の回転角度を徐々に増やしていく。

すると、粘着シート５０の長手方向におけるＡ端側からループ部５２とディスク面１２Ａ（１４Ａ）が、剥離角を持ちながら徐々に離れ始める。このとき、ループ部５２とディスク面１２Ａ（１４Ａ）の接触面積が、粘着シート５０の長手方向に徐々に減少していく。

そして、クリーニングヘッド２０の回転角度が所定の角度に達すると、ループ部５２とディスク面１２Ａ（１４Ａ）が完全に離れる。以上のように、ループ部５２とディスク面１２Ａ（１４Ａ）を離すことができる。

なお、クリーニングヘッド２０の長手方向におけるＡ端側を支点とした場合も、同様にしてＢ端側からループ部５２とディスク面１２Ａ（１４Ａ）とを徐々に離していくことにより、ループ部５２とディスク面１２Ａ（１４Ａ）を離すことができる。

以上のように、アーム２４などクリーニングヘッド２０の回転機構を持たせてクリーニング装置１０側で剥離角を制御することにより、ループ部５２とディスク面１２Ａ（１４Ａ）を離すときに、より精密な剥離角の制御ができる。

一方、予め、図１６（ａ）に示すようにクリーニングヘッド２０に対し粘着シート５０を斜めに取り付けるか、あるいは、図１６（ｂ）に示すように台形状に形成した粘着シート５０´を取り付けておいてもよい。これにより、ループ部５２をディスク面１２Ａ（１４Ａ）に対向させた時に、予め、粘着シート５０の長手方向についてループ部５２がディスク面１２Ａ（１４Ａ）に対し傾いた状態にしておくことができる。そして、クリーニング装置１０側に剥離角を制御する機構を設ける必要がないので、クリーニング装置１０の構成の単純化を図ることができる。

より詳細には、図１６（ａ）（ｂ）に示すように、クリーニングヘッド２０からの粘着シート５０のループ部５２の出しろについて、粘着シート５０の長手方向における一方の出しろＨ_１と他方の出しろＨ_２が異なるように設定（図１６（ａ）（ｂ）ではＨ_１＞Ｈ_２）し、クリーニングヘッド２０の長手方向について粘着シート５０の出しろが徐々に変化するようにしておく。なお、ループ部５２がディスク面１２Ａ（１４Ａ）から離れるときに最初に離れる側の出しろをＨ_２、最後に離れる側の出しろをＨ_１、としておく。

これにより、ディスク面１２Ａ（１４Ａ）の垂直方向にクリーニングヘッド２０を離脱させるだけで、粘着シート５０の長手方向に剥離角θを持たせながら、ループ部５２をディスク面１２Ａ（１４Ａ）から離すことができる。

なお、図１に示した制御装置４８は、第２実施形態の動作を制御するためのプログラムが格納された記憶手段と、当該プログラムを実行するコンピュータを含んで構成される離脱制御手段も備える。

本発明は、磁気記録媒体の製造に用いられる磁気転写用のマスターディスクのクリーニング技術として好ましく適用できるが、本発明の適用範囲はこれに限定されず、転写原盤と被転写体とを密着させて、磁気情報や形状等の情報を転写する任意の転写装置に適用可能である。すなわち、本発明は、磁気転写、ナノインプリンティング、パターンドメディア等の転写技術に好ましく適用することができる。

本発明の実施形態に係るクリーニング装置の構成を示す平面図 図１の矢印Ａ方向から見たＡ矢視側面図 図１の矢印Ｂ方向から見たＢ矢視側面図 クリーニングヘッドの構成図 クリーニング時の様子を示す説明図 図５の矢印Ｃ方向から見たＣ矢視側面図 図５の矢印Ｄ方向から見たＤ矢視側面拡大図 貼り剥がし回数と塵埃除去率の関係を調べた実験結果を示すグラフ クリーニングヘッドの送り移動を説明するための図 本実施形態に係るクリーニング装置におけるクリーニングシーケンスを示すフローチャート 複数列の粘着シートループを有する複数配列の複合ヘッドの構成例を示す図 図１１の矢印Ｅ方向から見たＥ矢視側面図 粘着シートのループ部をマスターディスクのディスク面から離す時に、粘着シートのループ部とマスターディスクとの間に剥離角を付与する場合の説明図 図１３（ｂ）の矢印Ｆ方向から見たＦ矢視側面拡大図 図１３（ｂ）における斜視図 粘着シートの出しろが粘着シートの長手方向について徐々に変化するようにした例を示す図

符号の説明

１０…クリーニング装置、１２，１４…マスターディスク、１２Ａ，１４Ａ…ディスク面、１６，１８…ホルダーユニット、２０…クリーニングヘッド、２４…アーム、２２…駆動ユニット、３０…ベースプレート、３６，３８…ボールネジ、４０，４２…モータ、４８…制御装置、５０…粘着シート、５２…ループ部

Claims (10)

1. 磁気ディスクの製造に用いられる磁気転写用マスターディスク、又は磁気ディスクの製造に用いられるナノインプリント用マスターディスク上に付着した塵埃を除去するクリーニング方法であって、
   粘着面を外側に向けて湾曲させた形状をなす粘着部材の湾曲形状部分の一部をマスターディスクに接触させ前記湾曲形状部分の一部を前記マスターディスクに押し付けた状態で、前記粘着部材を前記マスターディスクのディスク面内方向に往復揺動させ、前記押し付けた状態で前記マスターディスクに接触する前記粘着部材の着地面積における前記往復揺動方向の幅をａ、前記往復揺動の両振幅をｂとするとき、ａ≧ｂを満たすことを特徴とするマスターディスクのクリーニング方法。
2. 前記粘着部材として粘着シートを用い、該粘着シートの粘着面を外側に向けてループ形状を形成し、当該ループ形状の一部を前記マスターディスクに押し付けて前記往復揺動を行うことを特徴とする請求項１記載のマスターディスクのクリーニング方法。
3. 前記粘着部材の長手方向について剥離角を持たせながら、前記マスターディスクに接触させた前記湾曲形状部分の一部を前記マスターディスクから離すことを特徴とする請求項１又は２記載のマスターディスクのクリーニング方法。
4. 前記粘着部材の長手方向について前記粘着部材を前記マスターディスクに対し傾けることにより、前記剥離角を持たせることを特徴とする請求項３記載のマスターディスクのクリーニング方法。
5. 前記粘着部材と前記マスターディスクを対向させて配置したときに前記粘着部材の長手方向について前記マスターディスクに対し傾くように前記湾曲形状部分の一部を形成しておくことにより、前記剥離角を持たせることを特徴とする請求項４記載のマスターディスクのクリーニング方法。
6. 磁気ディスクの製造に用いられる磁気転写用マスターディスク、又は磁気ディスクの製造に用いられるナノインプリント用マスターディスク上に付着した塵埃を除去するクリーニング装置であって、
   マスターディスクを保持するディスク保持手段と、
   粘着面を外側に向けて湾曲させた形状をなす粘着部材を保持したクリーニングヘッドと、
   前記ディスク保持手段に保持されたマスターディスクのディスク面に垂直な方向及び該ディスク面と平行なディスク面内方向に前記クリーニングヘッドを移動させるヘッド駆動手段と、
   前記ヘッド駆動手段を制御して、前記粘着部材の湾曲形状部分の一部をマスターディスクに接触させるとともに、前記湾曲形状部分の一部を前記マスターディスクに押し付けた状態で前記粘着部材を前記ディスク面内方向に往復揺動させ、前記押し付けた状態で前記マスターディスクに接触する前記粘着部材の着地面積における前記往復揺動方向の幅をａ、前記往復揺動の両振幅をｂとするとき、ａ≧ｂを満たすように前記クリーニングヘッドを動作させる制御手段と、
   を備えたことを特徴とするマスターディスクのクリーニング装置。
7. 前記粘着部材として粘着シートを用い、該粘着シートの粘着面を外側に向けてループ形状を形成し、当該ループ形状の一部を前記マスターディスクに押し付けて前記往復揺動を行うことを特徴とする請求項６記載のマスターディスクのクリーニング装置。
8. 前記粘着部材の長手方向について剥離角を持たせながら、前記マスターディスクに接触させた前記湾曲形状部分の一部を前記マスターディスクから離すように制御する離脱制御手段を有することを特徴とする請求項６又は７記載のマスターディスクのクリーニング装置。
9. 前記粘着部材の長手方向について前記粘着部材を前記マスターディスクに対し傾ける機構を有することを特徴とする請求項８記載のマスターディスクのクリーニング装置。
10. 前記粘着部材と前記マスターディスクを対向させて配置したときに前記粘着部材の長手方向について前記マスターディスクに対し傾くように前記湾曲形状部分の一部を形成していることを特徴とする請求項８記載のマスターディスクのクリーニング装置。

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