JP2009119537A - 基板処理方法及び基板処理装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】半導体ウェハなどの基板の周縁部を効率良く研磨する。
【解決手段】基板10を周方向に回転させつつ、基板10の周縁部11に、押圧パッド31を備えた押圧機構30により研磨部材41を押し付けて研磨する基板処理方法であって、押圧パッド31の少なくとも一部の、押出機構30が押圧パッド31を基板10の周縁部11に対して押し付ける軸方向に対する角度を、該角度を能動的に変位させるリニアアクチュエータ33a,33bなどを備えた角度変位機構により、周縁部11の研磨対象面に応じて変化させて研磨する。
【選択図】図5
【解決手段】基板10を周方向に回転させつつ、基板10の周縁部11に、押圧パッド31を備えた押圧機構30により研磨部材41を押し付けて研磨する基板処理方法であって、押圧パッド31の少なくとも一部の、押出機構30が押圧パッド31を基板10の周縁部11に対して押し付ける軸方向に対する角度を、該角度を能動的に変位させるリニアアクチュエータ33a,33bなどを備えた角度変位機構により、周縁部11の研磨対象面に応じて変化させて研磨する。
【選択図】図5
Description
本発明は、半導体ウェハなどの基板の周縁部を研磨するための基板処理方法及び基板処理装置に関する。
近年、半導体素子の微細化、半導体装置の高密度化に伴い、半導体ウェハ(基板)の周縁部(ベベル部及びエッジ部)に生じる表面荒れや、基板の周縁部(ベベル部及びエッジ部)に付着して汚染源となる膜を除去することが重要になってきている。
この種の技術としては、従来、研磨法、エッチング法、マイクロトーチを利用する方法など様々な方法が知られているが、なかでも、研磨法は、処理時間が短く、処理領域の制御性も比較的高いという特徴を有することから広く用いられている。この研磨法では、通常、基板を周方向に回転させながら、研磨テープなどの研磨部材を基板の周縁部の研磨対象面に押し付けて研磨する(例えば、特許文献1参照。)。
しかしながら、従来の研磨技術では、半導体ウェハ周縁部の広い領域に研磨部材を効果的かつ適正に押し付けて研磨することが困難であった。また、従来の研磨技術は、半導体ウェハのベベル部を研磨するものであり、ベベル部に続く表面が平坦な部分(エッジ部)を研磨するためには、ベベル部用研磨装置とは別にエッジ部用の研磨装置が必要であった。この場合、研磨機構、研磨プロセスが複雑化し、研磨効率が低下するのみならず、処理コストの上昇や歩留まりの低下を招くおそれがある。
特開2006−303112号公報
本発明の目的は、半導体ウェハなどの基板の周縁部を効率良く研磨することができる基板処理方法及び基板処理装置を提供することにある。
本発明の一態様によれば、基板を周方向に回転させつつ、前記基板の周縁部に、押圧パッドを備えた押圧機構により研磨部材を押し付けて研磨する基板処理方法であって、前記押圧パッドの少なくとも一部の、前記押出機構が前記押圧パッドを前記基板周縁部に対して押し付ける軸方向に対する角度を、該角度を能動的に変位させる角度変位機構により、前記周縁部の研磨対象面に応じて変化させて研磨することを特徴とする基板処理方法が提供される。
本発明の他の態様によれば、基板の周縁部を研磨する基板処理装置であって、前記基板を周方向に回転させつつ保持する基板保持機構と、前記基板の周縁部を研磨するために、前記基板の周縁部に研磨部材を押し付ける押圧パッドを備えた押圧機構とを具備してなり、前記押圧機構は、前記押圧パッドの少なくとも一部の、前記押圧機構が前記押圧パッドを前記基板周縁部に対して押し付ける軸方向に対する角度を能動的に変位させる角度変位機構を備えることを特徴とする基板処理装置が提供される。
本発明の一態様による基板処理方法及び他の態様による基板処理装置によれば、半導体ウェハなどの基板の周縁部を効率良く研磨することができる。
以下、本発明の実施の形態について説明する。なお、以下では本発明の実施の形態を図面に基づいて説明するが、それらの図面は図解のために提供されるものであり、本発明はそれらの図面に何ら限定されるものではない。また、以下に説明する実施形態では、いずれも基板が半導体ウェハである場合を例に説明しているが、周縁部の研磨を必要とするものであれば、半導体ウェハに限らず種々の基板に広く適用できることはいうまでもない。
(第1の実施形態)
まず、第1の実施形態について説明する。図1は本実施形態に係る基板処理装置の概略構成を模式的に示した図であり、半導体ウェハの主面に平行な方向から見た図である。
まず、第1の実施形態について説明する。図1は本実施形態に係る基板処理装置の概略構成を模式的に示した図であり、半導体ウェハの主面に平行な方向から見た図である。
この基板処理装置は、図2に示すような断面が多角形状の半導体ウェハの周縁部を研磨するためのものである。本明細書において、「ベベル部」は、図2に示す半導体ウェハにおいては、上側傾斜面P、下側傾斜面Q及び端面Rからなる部分(符号Bで示す部分)をいい、また、「エッジ部」は、そのような「ベベル部」に続く半導体ウェハの表面及び裏面の平坦な部分(符号Eで示す部分)、つまり、上側平坦面S及び下側平坦面Tからなる部分をいう。なお、上側傾斜面P及び下側傾斜面Q、あるいは、端面Rを含む「ベベル部」全体が、図示したような平面でなく曲面で形成されている場合であっても、本装置を用いてほぼ同様に研磨することが可能である。
図1に示すように、本実施形態の基板処理装置は、半導体ウェハ10を保持する基板保持機構20と、基板保持機構20に保持された半導体ウェハ10の周縁部11を研磨するため、半導体ウェハ10の周縁部11に研磨テープ41(研磨部材)を押し付ける押圧機構30と、研磨テープ41を押圧機構30へ送り出し、かつ、押圧機構30から回収する、研磨テープ供給リール及び研磨テープ回収リール(いずれも図示なし)を有する研磨テープ供給回収機構40と、半導体ウェハ10と研磨テープ41が接触する部分に純水を供給するための純水供給ノズル51を備えている。
基板保持機構20は、半導体ウェハ10を吸着して水平に保持する保持部21と、この保持部を回転させるための回転軸22を有している。保持部21を回転軸22を中心に回転させることにより、保持部21に保持された半導体ウェハ10を、回転軸22を中心に回転させることができる。
押圧機構30は、シリコーンゴム、天然ゴム、ウレタンゴム、ブチレンゴムなどの弾性材料で形成された、表面が半導体ウェハ10の周縁部11に対し研磨テープ41を押し付けるための押圧面となる押圧パッド31と、押圧パッド31の背面に当接されたステンレス鋼などの金属や塩化ビニル樹脂などのプラスチックからなる押圧板32と、押圧板32を押圧パッド31に向けて押圧する複数のリニアアクチュエータ33を備えた押圧ヘッド34と、リニアアクチュエータ33の変位量を制御するコントローラ35を有している。リニアアクチュエータ33は、押圧板32の横方向(半導体ウェハ10の表面に平行な方向)両端部に対応する位置にそれぞれ1個ずつ、その変位量に応じて押圧板32が横方向に湾曲するように設けられている。リニアアクチュエータ33を駆動させ、押圧板32を湾曲させることによって、研磨テープ41の押圧面となる押圧パッド31表面が押圧板32と略同じ曲率で変形し、したがって、研磨テープ41も押圧板32とほぼ同じ曲率で変形し、半導体ウェハ10の周縁部に押し付けられることになる。すなわち、リニアアクチュエータ33は、研磨テープ41を押圧する押圧パッド31の少なくとも一部の、この押圧パッド31を押圧機構30(押圧ヘッド34)が半導体ウェハ10の周縁部11に対して押し付ける軸方向に対する角度を変位させ、その全体の形状を研磨対象面と略同一形状に変化させる手段として機能する。なお、押圧板32を横方向に所望の曲率で湾曲させることができれば、リニアアクチュエータ33の数や配置位置などは特に限定されるものではない。また、リニアアクチュエータ33に変えて後述する第3の実施形態で用いたような屈曲変位アクチュエータを用いることも可能である。
研磨テープ供給回収機構40は、研磨テープ供給リール及び研磨テープ回収リールの他に、研磨テープ供給リールから送り出された研磨テープ41を、押圧機構30の押圧パッド31表面に案内し、さらに押圧パッド31表面から研磨テープ回収リールへと案内する一対のガイドローラ44,45を有している。
そして、これらの一対のガイドローラ44,45は、押圧機構30の押圧パッド31、押圧板32、リニアアクチュエータ33及び押圧ヘッド34と一体に半導体ウェハ10の周縁部11に向けて進退し、かつ、半導体ウェハ10の表面と垂直な方向(図1中、矢印Aで示す方向)に旋回往復移動するようになっている。また、このとき、一対のガイドローラ44,45で定まる研磨テープ41の研磨対象面との対向面が、押圧機構30(押圧パッド31)の軸方向、すなわち押圧パッド31の押し付け方向に対し略垂直な関係を保持するように、押圧機構30と研磨テープ供給回収機構40とが移動する。
次に、上記構成の基板処理装置を用いた基板処理方法について記載する。
まず、図1に示すように、半導体ウェハ10を基板保持機構20の保持部21に保持させ、例えば500rpmで回転させる。この状態で、研磨テープ41を研磨テープ供給回収機構40により研磨テープ供給リールから、例えば100mm/minの速度で連続的に送り出すとともに、この送り出された研磨テープ41を押圧機構30により半導体ウェハ10の周縁部11に、例えば上側傾斜面P、端面R及び下側傾斜面Qの順に押し付け研磨する。
まず、図1に示すように、半導体ウェハ10を基板保持機構20の保持部21に保持させ、例えば500rpmで回転させる。この状態で、研磨テープ41を研磨テープ供給回収機構40により研磨テープ供給リールから、例えば100mm/minの速度で連続的に送り出すとともに、この送り出された研磨テープ41を押圧機構30により半導体ウェハ10の周縁部11に、例えば上側傾斜面P、端面R及び下側傾斜面Qの順に押し付け研磨する。
その際、研磨テープ41と半導体ウェハ10が接触する部分に純水供給ノズル51から純水を供給する一方、研磨対象面(上側傾斜面P、端面R及び下側傾斜面Q)の曲率に応じて、リニアアクチュエータ33の変位量を制御する。すなわち、研磨テープ41を押圧する押圧パッド31の表面が研磨対象面と略同じ曲率を有するようにリニアアクチュエータ33を動作させる。
図3及び図4は、その一例を示したもので、図3は、研磨テープ41を押圧パッド(横方向の長さ約80mm)31及び押圧板32を介して半導体ウェハ10(直径300mm、上側傾斜面Pの端面Rに対する傾斜角+70°、下側傾斜面Qの端面Rに対する傾斜角−70°)の周縁部11の端面Rに押し付けているときの状態を模式的に示した図である。また、図4は、同半導体ウェハ10の周縁部11の上側傾斜面P(下側傾斜面Q)に研磨テープ41を押し付けているときの状態を模式的に示した図である。なお、図3(a)及び図4(a)は、半導体ウェハ10の表面に対し垂直な方向から見た図であり、また、図3(b)及び図4(b)は、半導体ウェハ10の表面に対し平行な方向から見た図である。図3(b)及び図4(b)では、半導体ウェハ10及び押圧パッド31のみを図示している。
図3に示すように、研磨テープ41を半導体ウェハ10の周縁部11の端面Rに押し付けているときには、リニアアクチュエータ33を約7mm変位させ、また、図4に示すように、研磨テープ41を半導体ウェハ10の周縁部11の上側傾斜面P(下側傾斜面Q)に押し付けているときには、リニアアクチュエータ33を約2mm変位させる。このようにリニアアクチュエータ33を変位させることにより、押圧パッド31の表面が半導体ウェハ10の端面R及び上側傾斜面P(下側傾斜面Q)の周方向の曲率と略同じ曲率の曲面に変化する。その結果、研磨テープ41の全域を略均等な圧力で半導体ウェハ10のそれぞれの研磨対象面である端面Rまたは上側傾斜面P(下側傾斜面Q)に押し付けることが可能となり、各研磨対象面を効率良くかつ良好に研磨することができる。
なお、研磨テープ41には、例えば、ポリエチレンテレフタレート基材(例えば、幅80mm、厚さ50μm)上にバインダによりダイヤモンド砥粒を固着させたものなどが使用される。
ちなみに、リニアアクチュエータ33及びその変位量を制御するコントローラ35を有さない以外は本実施形態の装置と同様に構成された装置を用いて、半導体ウェハ10(直径300mm、上側傾斜面Pの傾斜角+70°、下側傾斜面Qの傾斜角−70°)のベベル部を、上側傾斜面P、端面R及び下側傾斜面Qの順に研磨したところ、それぞれ35秒、50秒及び35秒の計120秒を要した。これに対し、本実施形態を適用して同様の研磨を行ったところ、30秒、30秒及び30秒の計90秒で研磨を完了することができた。また、研磨面の最大表面粗さ(RV)及び中心線平均粗さ(Ra)を光干渉測定装置WYKO NT1100(Veeco製 商品名)を用いて測定したところ、前者の装置ではRVが500nmであったのに対し、本実施形態では100nmと、研磨痕の深さが均一化されていることが確認された。これは、端面R及び各傾斜面P,Qともに研磨荷重が均一化されたからと考えられる。なお、Raについては、両者に大きな差はなかった。
以上説明したように、本実施形態では、研磨テープを押圧する面(押圧パッド31の表面)の曲率を、研磨対象面の曲率と略同一に変化させることができるため、半導体ウェハ周縁部のベベル部に対し、端面のみならず上側傾斜面も下側傾斜面もすべて、研磨テープの略全域を使用して、しかも、適正な圧力を印加して、研磨することができる。したがって、従来に比べ研磨効率を大幅に向上させることができ、研磨時間の短縮、研磨コストの低減を図ることができるとともに、研磨仕上がり面の品質を向上させることができる。
(第2の実施形態)
次に、第2の実施形態について説明する。なお、基板処理装置の基本的な構成及び基本的な研磨方法は前述した第1の実施形態と同様であるため、第1の実施形態で説明した事項については説明を省略する。
次に、第2の実施形態について説明する。なお、基板処理装置の基本的な構成及び基本的な研磨方法は前述した第1の実施形態と同様であるため、第1の実施形態で説明した事項については説明を省略する。
図5は本実施形態に係る基板処理装置の概略構成を模式的に示した図であり、半導体ウェハの主面に平行な方向から見た図である。
本実施形態では、押圧機構30の構成が部分的に第1の実施形態と相違している。すなわち、本実施形態では、リニアアクチュエータ33が押圧板32の縦方向(半導体ウェハ10の表面に垂直な方向)両端部に対応する位置にそれぞれ1個ずつ、その変位量に応じて押圧板32にその押し付け方向に対し縦方向の傾きを付与することができるように設けられている。なお、押圧板32の縦方向の傾きを所望の角度に変化させることができれば、リニアアクチュエータ33の数や配置位置などは特に限定されるものではない。また、リニアアクチュエータ33に変えて後述する第3の実施形態で用いたような屈曲変位アクチュエータを用いることも可能である。
従来の装置では、例えば図6に示すように、半導体ウェハ10のエッジ部(上側平坦面S)を研磨するため、押圧パッド31を一対のガイドローラ44,45などとともにエッジ部(上側平坦面S)に押し付けることができる位置まで旋回させていこうとすると、その位置に達する前、旋回角度(押圧パッド31表面の半導体ウェハ10の端面Rに対する角度)が例えば+82°になったときに、一方のガイドローラ44が半導体ウェハ10の表面に接触してしまい、研磨テープ41を押圧パッド31によりエッジ部(上側平坦面S)に押し付けて研磨することができなくなる。
この場合、例えば図7(a)に示すように、押圧パッド31表面を+α°(例えば+10°)の傾斜面で形成することにより、ガイドローラ44が半導体ウェハ10の表面に接触する前に、研磨テープ41を押圧パッド31によりエッジ部(上側平坦面S)に押し付け研磨することが可能になる。しかしながら、その反面、図7(b)に示すように、押圧機構と研磨テープ供給回収機構を逆方向に旋回させたときのエッジ部(下側平坦面T)の研磨はさらに困難になる。
本実施形態では、上述したように、リニアアクチュエータ33が押圧板32の縦方向両端部にそれぞれ1個ずつ設けられ、その変位量に応じて押圧板32の押し付け方向に対する縦方向の傾斜角度を調整することができるようになっているので、図8に示すように、ガイドローラ44またはガイドローラ45が半導体ウェハ10の表面または裏面にそれぞれ接触する前に、つまり、それらの立体的制約を受けずに、研磨テープ41を半導体ウェハ10のエッジ部(上側平坦面Sおよび下側平坦面T)に押し付けることが可能になる。すなわち、半導体ウェハ10の周縁部11の上側平坦面Sを研磨するときには、図8(a)に示すように、上側アクチュエータ33aの変位量を下側アクチュエータ33bの変位量より大きくして、押圧パッド31表面に、例えば+α°の傾斜角(端面Rに対し)を付与する。一方、半導体ウェハ10の下側平坦面Tを研磨するときには、図8(b)に示すように、下側アクチュエータ33bの変位量を上側アクチュエータ33aの変位量より大きくして、押圧パッド31表面に−α°の傾斜角(端面Rに対し)を付与する。これにより、研磨テープ41を半導体ウェハ10の上側平坦面S及び下側平坦面Tのいずれにも押圧パッド31で確実に押し付けて研磨することができる。
次に、上記構成の基板処理装置を用いた基板処理方法について記載する。
まず、図5に示すように、半導体ウェハ10を基板保持機構20の保持部21に保持させ、例えば500rpmで回転させる。この状態で、研磨テープ41を研磨テープ供給回収機構40により研磨テープ供給リールから、例えば100mm/minの速度で連続的に送り出すとともに、この送り出された研磨テープ41を押圧機構30により半導体ウェハの周縁部に、例えば上側平坦面S、上側傾斜面P、端面R、下側傾斜面Q及び下側平坦面Tの順に押し付け研磨する。
まず、図5に示すように、半導体ウェハ10を基板保持機構20の保持部21に保持させ、例えば500rpmで回転させる。この状態で、研磨テープ41を研磨テープ供給回収機構40により研磨テープ供給リールから、例えば100mm/minの速度で連続的に送り出すとともに、この送り出された研磨テープ41を押圧機構30により半導体ウェハの周縁部に、例えば上側平坦面S、上側傾斜面P、端面R、下側傾斜面Q及び下側平坦面Tの順に押し付け研磨する。
その際、研磨テープ41と半導体ウェハ10が接触する部分に純水供給ノズル51から純水を供給する一方、研磨対象面(上側平坦面S、上側傾斜面P、端面R、下側傾斜面Q及び下側平坦面T)に応じてリニアアクチュエータ33の変位量を制御する。
すなわち、上側平坦面Sを研磨する場合、例えば押圧パッド31(縦方向の長さ約20mm)を一対のガイドローラ44,45などとともに、ガイドローラ44が半導体ウェハ10(直径300mm、上側傾斜面Pの傾斜角+70°、下側傾斜面Qの傾斜角−70°)の表面に接触しない、例えば押圧パッド31表面の端面Rに対する角度が+70°となる位置まで旋回させ、その状態で上側リニアアクチュエータ33aを約3mm伸張させる。これにより、押圧パッド31表面の端面Rに対する角度が約+25°付加されて、押圧パッド31表面が上側平坦面Sと略平行になり、研磨テープ41を上側平坦面S全体に押し付けて研磨することができる。また、下側平坦面Tを研磨する場合は、上側平坦面Sを研磨する場合と逆に、押圧パッド31を一対のガイドローラ44,45などとともに、ガイドローラ45が半導体ウェハ10の表面に接触しない、例えば押圧パッド31表面の端面Rに対する角度が−70°となる位置まで旋回させ、その状態で下側リニアアクチュエータ33bを約3mm伸張させる。これにより、押圧パッド表面の端面Rに対する角度が約−25°付加されて、押圧パッド31表面が下側平坦面Tと略平行になり、研磨テープ41を下側平坦面T全体に押し付けて研磨することができる。上側傾斜面P、端面R、および下側傾斜面Qについては、旋回動作のみで押圧パッド31表面をそれらの研磨対象面に平行にすることができるため、リニアアクチュエータ33a,33bを動作させることなく研磨すればよい。
なお、本実施形態においても、研磨テープ41には、第1の実施形態と同様、例えば、ポリエチレンテレフタレート基材(例えば、幅80mm、厚さ50μm)上にバインダによりダイヤモンド砥粒を固着させたものなどを使用することができる。
以上説明したように、本実施形態では、押圧パッド31表面の、押圧パッド31を押し付ける方向に対する縦方向の角度を変位させることができるため、半導体ウェハ10のベベル部のみならずエッジ部にもガイドローラ44,45による立体的制約を受けることなく研磨テープ41を押し付け、研磨することが可能となる。
なお、本実施形態においても、第1の実施形態の場合と同様に、リニアアクチュエータの動作により、押圧板32が横方向にも湾曲するように構成してもよい。これにより、上記の効果に加え、第1の実施形態の場合と同様、ベベル部に対し、端面のみならず上側傾斜面も下側傾斜面もすべて、研磨テープの略全域を使用して、しかも、適正な圧力を印加して、研磨することができ、研磨時間の短縮、研磨コストの低減を図ることができるとともに、研磨仕上がり面の品質を向上させることができる。この場合、押圧板32のその押し付け方向に対する縦方向の角度を調整するためのリニアアクチュエータを、押圧板32を横方向に湾曲させるためのリニアアクチュエータの一部または全部として使用することも可能である。
(第3の実施形態)
次に、第3の実施形態について説明する。本実施形態においても、基板処理装置の基本的な構成及び基本的な研磨方法は前述した第1の実施形態または第2の実施形態と同様であるため、第1の実施形態または第2の実施形態で説明した事項については説明を省略する。
次に、第3の実施形態について説明する。本実施形態においても、基板処理装置の基本的な構成及び基本的な研磨方法は前述した第1の実施形態または第2の実施形態と同様であるため、第1の実施形態または第2の実施形態で説明した事項については説明を省略する。
本実施形態では、押圧機構30の構成が第1の実施形態及び第2の実施形態と相違している。図9に、その要部構成を模式的に示す。
図9に示すように、本実施形態では、押圧板32及びリニアアクチュエータ33に代えて、例えば直径5mm、長さ20mmの柱状で、かつ、その長さ方向に垂直な方向に、例えば0〜100°の範囲の任意の角度で、かつ、曲率半径2mmの屈曲変位が可能な屈曲変位アクチュエータ36が複数、例えば16本、それぞれの屈曲方向を一致させて押圧パッド(図示を省略)の背面に平面状に並列配置されている。
本実施形態では、コントローラ35で複数の屈曲変位アクチュエータ36の変位量を個々に制御することにより、押圧パッド全体の形状を、周縁部11の研磨対象面に応じて研磨対象面と略同一形状に変化させることができ、これにより、半導体ウェハ10の周縁部11を効率よく研磨することができる。
例えば、図10(a)に示すように、複数の屈曲変位アクチュエータ36を+90°の角度で屈曲させると、半導体ウェハ10の上側平坦面S、または、上側平坦面Sと端面Rに研磨テープ41を押し付けて研磨することができる。この場合、屈曲角度を上側傾斜面Pに対応する角度にすると、半導体ウェハ10の上側傾斜面P、または、上側傾斜面Pと端面Rに研磨テープ41を押し付けて研磨することができる。また、押圧パッド表面の横方向の曲率が、上側傾斜面Pの曲率と略同じになるように、各屈曲変位アクチュエータ36の変位量を制御すると、研磨テープ41の上側傾斜面Pの周方向に対する追従性が向上し、より効率のよい研磨が可能となる。すなわち、例えば、図10(b)及び図10(c)に示すように、中央部分に位置する屈曲変位アクチュエータ36の変位量を外側に位置するものより僅かに小さくすると、研磨テープ41の上側傾斜面Pの周方向に対する追従性が向上し、研磨テープ41の使用領域を増大させ、よりいっそう効率のよい研磨が可能となる。なお、図10(b)は、傾斜角が約20°の上側傾斜面Pを研磨する際の屈曲変位アクチュエータ36の変位例であり、また図10(c)は、傾斜角が約70°の上側傾斜面Pを研磨する際の屈曲変位アクチュエータ36の変位例である。
本実施形態によれば、第1の実施形態及び第2の実施形態におけるような、押圧パッド31を一対のガイドローラ44,45などとともに、半導体ウェハ10の周縁部11に対し一体に旋回させる手段を不要とすることができるため、装置の簡素化及び小型化を図ることができる。
以上、本発明の実施形態を説明したが、本発明は上記実施形態に限定されるものではなく、その趣旨を逸脱しない範囲で適宜変形して実施することが可能である。例えば、以上説明した実施形態では研磨部材として研磨テープを用いているが、研磨テープに代えて、予め決められた位置に固定される固定砥粒パッドを用いることも可能である。固定砥粒パッドとしては、例えば弾力性のある樹脂にセリア砥粒を埋め込んだものが使用される。固定砥粒パッドは、押圧パッド31の表面に固定される。
10…半導体ウェハ、11…周縁部、20…基板保持機構、21…保持部、22…回転軸、30…押圧機構、31…押圧パッド、32…押圧板、33,33a,33b…リニアアクチュエータ、34…押圧ヘッド、35…コントローラ、36…屈曲変位アクチュエータ、41…研磨テープ、44,45…ガイドローラ。
Claims (5)
- 基板を周方向に回転させつつ、前記基板の周縁部に、押圧パッドを備えた押圧機構により研磨部材を押し付けて研磨する基板処理方法であって、
前記押圧パッドの少なくとも一部の、前記押出機構が前記押圧パッドを前記基板周縁部に対して押し付ける軸方向に対する角度を、該角度を能動的に変位させる角度変位機構により、前記周縁部の研磨対象面に応じて変化させて研磨することを特徴とする基板処理方法。 - 前記角度変位機構により、前記押圧パッドの少なくとも一部の前記基板の表面に平行な方向の角度を変化させることを特徴とする請求項1記載の基板処理方法。
- 前記角度変位機構により、前記押圧パッドの少なくとも一部の前記基板の表面に垂直な方向の角度を変化させることを特徴とする請求項1または2記載の基板処理方法。
- 前記角度変位機構により、前記押圧パッドの少なくとも一部を前記研磨対象面と略同一形状または略平行に変化させることを特徴とする請求項1乃至3のいずれか1項記載の基板処理方法。
- 基板の周縁部を研磨する基板処理装置であって、
前記基板を周方向に回転させつつ保持する基板保持機構と、
前記基板の周縁部を研磨するために、前記基板の周縁部に研磨部材を押し付ける押圧パッドを備えた押圧機構とを具備してなり、
前記押圧機構は、前記押圧パッドの少なくとも一部の、前記押圧機構が前記押圧パッドを前記基板周縁部に対して押し付ける軸方向に対する角度を能動的に変位させる角度変位機構を備える
ことを特徴とする基板処理装置。
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