JP6999205B1 - 研磨システム - Google Patents
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Abstract
Description
上述した実施形態は、本発明の技術的思想の範囲内で様々に変形することができる。以下にそれらの変形の例を示す。なお、以下の2以上の変形例が組み合わされてもよい。
Claims (15)
- 分析装置で測光により検査される被検試料を収容する一端面が開口した有底の角形セルを研磨対象物として保持する保持手段と、
前記保持手段に保持される角形セルの外側面の測光領域を研磨する研磨手段と、
前記保持手段と前記研磨手段の砥面との少なくとも一方を、前記保持手段に保持される研磨対象物の測光領域を含む外側面と垂直な方向であるx軸方向に移動させるx軸方向移動手段と
を備え、
前記保持手段は、所定の外形の保持部材を有し、前記保持部材の外形に遊びを加えた内形の凹部を有する研磨対象物の当該凹部に前記保持部材が収容された状態で当該研磨対象物を保持する
研磨システム。 - 前記保持部材が研磨対象物の凹部に収容された状態で前記保持部材から当該凹部に気体を放出する気体放出機構
を備える請求項1に記載の研磨システム。 - 前記x軸方向移動手段による前記保持手段と前記研磨手段の砥面との少なくとも一方の移動距離を制御するx軸方向移動制御手段
を備える請求項1又は2に記載の研磨システム。 - 前記保持手段と前記研磨手段の砥面との少なくとも一方を、前記x軸方向に直交する1つの方向であるy軸方向に移動させるy軸方向移動手段
を備える請求項1乃至3のいずれか1項に記載の研磨システム。 - 前記y軸方向移動手段による前記保持手段と前記研磨手段の砥面との少なくとも一方の移動距離を制御するy軸方向移動制御手段
を備える請求項4に記載の研磨システム。 - 前記保持手段と前記研磨手段の砥面との少なくとも一方を、前記x軸方向及び前記y軸方向のいずれとも直交する方向であるz軸方向に移動させるz軸方向移動手段
を備える請求項4又は5に記載の研磨システム。 - 前記研磨手段を第1研磨手段とするとき、
前記第1研磨手段と前記y軸方向に所定の間隔をあけて配置され、前記保持手段に保持される研磨対象物を研磨する第2研磨手段と
を備え、
前記y軸方向移動手段は、前記保持手段と、所定の間隔をあけて配置されている前記第1研磨手段及び前記第2研磨手段との少なくとも一方を前記y軸方向に移動させる
請求項4又は5に記載の研磨システム。 - 前記保持手段と前記第1研磨手段の砥面及び前記第2研磨手段の砥面との少なくとも一方を、前記x軸方向及び前記y軸方向のいずれとも直交する方向であるz軸方向に移動させるz軸方向移動手段
を備える請求項7に記載の研磨システム。 - 前記z軸方向移動手段による前記保持手段と前記研磨手段の砥面との少なくとも一方の移動距離を制御するz軸方向移動制御手段
を備える請求項6又は8に記載の研磨システム。 - 前記保持手段を前記z軸周りに回転させるz軸周り回転手段
を備える請求項6、8及び9のいずれか1項に記載の研磨システム。 - 前記z軸周り回転手段による前記保持手段の回転角度を制御するz軸周り回転制御手段
を備える請求項10に記載の研磨システム。 - 前記研磨手段を第1研磨手段とするとき、前記保持手段に保持される研磨対象物を挟んで対向する位置に配置され、当該研磨対象物を研磨する第2研磨手段
を備える請求項1乃至6のいずれか1項に記載の研磨システム。 - 前記保持手段は、同時に複数の研磨対象物を、当該複数の研磨対象物の研磨される領域を含む外側面が実質的に1つの面を成すように保持する
請求項1乃至12のいずれか1項に記載の研磨システム。 - 前記研磨手段は、
砥面を構成する帯状のシートを搬送するシート搬送手段と、
前記シート搬送手段により搬送されるシートを研磨対象物に押し当てる押当手段と
を有する請求項1乃至13のいずれか1項に記載の研磨システム。 - 前記保持手段と前記研磨手段の砥面との少なくとも一方を、前記x軸方向と直交する1つの方向であるy軸方向に移動させるy軸方向移動手段と、
前記保持手段と前記研磨手段の砥面との少なくとも一方を、前記x軸方向及び前記y軸方向のいずれとも直交する方向であるz軸方向に移動させるz軸方向移動手段と
を備え、
前記y軸方向移動手段は、前記x軸方向移動手段により前記保持手段に保持される研磨対象物が前記研磨手段の砥面により研磨されている間、前記保持手段と前記研磨手段の砥面との少なくとも一方を、前記y軸方向に移動させ、
前記z軸方向移動手段は、前記x軸方向移動手段により前記保持手段に保持される研磨対象物が前記研磨手段の砥面により研磨されている間、前記保持手段と前記研磨手段の砥面との少なくとも一方を、前記z軸方向に移動させる
請求項1に記載の研磨システム。
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