TWI383842B - Liquid coating device - Google Patents

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TWI383842B
TWI383842B TW095140211A TW95140211A TWI383842B TW I383842 B TWI383842 B TW I383842B TW 095140211 A TW095140211 A TW 095140211A TW 95140211 A TW95140211 A TW 95140211A TW I383842 B TWI383842 B TW I383842B
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Kazumasa Ikushima
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Musashi Engineering Inc
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Description

液材塗佈裝置
本發明關於一種將從水、酒精等之低黏性物質至黏著劑、糊狀或乳脂狀之工業用材料之高黏稠流體的液材,以所希望形狀之方式塗佈、滴下於工件之所希望位置處的裝置。
近年,由於顯示器大型化之需要提高,玻璃基板尺寸亦超過1m×1m,伴隨於此,塗佈裝置亦正朝大型化進展。以往,藉由將搭載基板的平台(table)沿XY方向移動來變化噴嘴與平台之相對位置關係而進行塗佈的種類之液材塗佈裝置為主流,但伴隨平台之重量增加,平台之控制變的困難,又產生動作時之振動影響變大的問題,因此逐漸偏好採用門型構造。
門型構造之液材塗佈裝置例如有於專利文獻1所揭示之裝置,其構造為:將形成糊圖案之基板保持的基板保持機構被保持為僅可沿一邊之方向移動,於基板上各自具備有塗佈糊的塗佈頭,設置2組在構造上可將上述塗佈頭沿上述基板之移動方向之直角方向移動至該處的頭支持機構,一邊之頭支持機構固定於架台,另一邊之頭支持機構可沿上述基板之移動方向移動。此外,另一邊之頭支持機構在構造上亦揭示有:當正在基板上描繪糊圖案時,不使其沿基板之同方向移動。
又,於專利文獻2所揭示之裝置在構造上為:在搭載於平台上之基板上塗佈描繪所希望形狀之糊圖案的糊塗佈機中,具備有:框架,可在搭載於平台的基板之糊圖案被塗佈描繪的面之平行面內沿某一方向移動,且往該某一方向之相異方向上延伸;多個塗佈頭,排列於框架,設有多個線性馬達而可沿框架之延伸方向移動,且設有糊收納筒與具有將充填於該糊收納筒的糊進行吐出的糊吐出口之噴嘴;以及控制手段,進行控制,以在糊吐出口相對向於平台上所搭載的基板之範圍內,使框架相對於平台移動的同時,一邊使多個塗佈頭相對於框架移動,一邊從多個塗佈頭之糊吐出口中將糊進行吐出;而藉由多個塗佈頭在基板上塗佈描繪所希望形狀之糊圖案。
(專利文獻1)日本專利特開2002-346452號(專利文獻2)日本專利特開2003-225606號
上述以往之液材塗佈裝置,如圖10所示,被配置於搬送線之側面,由機器人等之自動搬送機在平台上載置工件。此處,當框架19被設置成為與搬入/搬出口12平行,則在從搬入/搬出口12將工件載置於平台時,必須使全部的框架19上升至不與自動搬送機發生干涉之位置處,或使塗佈頭5移動至框架19之端部,而不成為自動搬送機在進行搬入/搬出之妨礙。
然而,為了使框架19上升,考慮自動搬送機之大小,而使框架19之配置位置構成為本來之塗佈作業所必要之高度以上之高度,產生了必須為位移比塗佈作業所必要之上下位移還甚的構造的問題。又,為了使塗佈頭5沿框架19在左右方向水平移動至不與自動搬送機發生干涉的位置處,而產生了必須為位移比塗佈作業所必要之水平位移還甚的構造的問題。而且,伴隨載置於框架19的塗佈頭5之數量的增加,用來讓塗佈頭5迴避的空間亦增加,因此亦有裝置額外大型化的問題。
更進一步,近年來伴隨裝置大型化,維修性之問題變的棘手。如專利文獻1、2所示,在將塗佈頭配設於相對向之框架之內側的構造中,於塗佈頭之維修時,作業者必須容入上半身(依情況之不同,進入箱內)進行維修,作業性差,且會將塵埃和垃圾等之微粒子或由人體所產生之起塵物帶入需要潔淨環境的裝置內,因此不甚理想,又,亦有由於維修作業中工具等之接觸或落下造成工件平台等之破損的問題。
為了提高維修時之作業性,亦考慮裝置內之寬廣空間的確保,但仍有機械強度低下之問題和無法得到既定之塗佈精度的問題。
本發明鑑於上述實情而完成,其目的在於提供一種裝置之空間利用效率高和維修性良好的液材塗佈裝置。
為了解決上述課題,第1發明係在箱(box)內使將液材吐出的噴嘴與以對向於該噴嘴之方式將工件載置的平台進行相對的移動,使液材塗佈於該工件表面之所希望位置處的液材塗佈裝置,其特徵在於具備:搬入/搬出口(12),其用來將設於上述箱之側面的工件搬入/搬出;桁(beam),其朝上述搬入/搬出口延伸設置;塗佈頭(5),其可沿上述桁之延伸設置方向移動自如;桁移動手段,其使該桁在上述平台之上方平行移動;以及控制部,其控制該等之作動。
第2發明係如第1發明,其中,上述塗佈頭(5)由下述所構成:吐出裝置(22),其使從噴嘴前端所吐出的液材附著並塗佈於上述工件;及/或飛滴(droplet flying)裝置(23),其使液材離開噴嘴前端後,塗佈於上述工件表面;及/或檢查裝置(24),其對於以點狀或線狀之方式被描繪於工件表面的描繪形狀之至少高度、寬度、剖面積、缺損之任一者進行檢查。
第3發明係如第1或2發明,其中,上述箱具有開關口,其用來對被設置於與上述箱設有搬入/搬出口(12)的側面鄰接之左右側面的塗佈頭(5)進行維修。
第4發明係如第1、2或3發明,其中,上述桁為單數;上述塗佈頭(5)被配設於該桁之長度方向之左右兩側面。
第5發明係如第4發明,其中,於上述桁之長度方向之一側面配設上述飛滴裝置(23),於另一側面配設吐出裝置(22)。
第6發明係如第4或5發明,其中,上述桁於兩側面分別具備多個塗佈頭(5)。
第7發明係如第1、2或3發明,其中,上述桁由被平行配設的第一桁與第二桁所構成;上述塗佈頭(5)分別被配設於各桁之長度方向上接近箱的側面。
第8發明係如第7發明,其中,於上述第一或第二桁配設上述飛滴裝置(23),於其他桁配設上述吐出裝置(22)。
第9發明係如第7或8發明,其中,上述桁於同一側面分別具備多個塗佈頭(5)。
第10發明係如第7、8或9發明,其中,上述第一及第二桁於內側面分別具備一個檢查裝置(24)。
第11發明係如第7至10中任一項發明,其中,上述第一及第二桁由上述桁移動手段而分別為可移動自如。
第12發明係如第1至11中任一項發明,其中,上述桁移動手段由下述所構成:一對滑座,其夾著工件平台被平行配設;以及滑件,其在該滑座上被配設為可移動自如,並支持上述桁。
第13發明係如第1至12中任一項發明,其中,操作板係以可裝卸的方式被配設於上述箱,透過無線網路,可從卸下的操作板操作上述控制部。
第14發明係如第1至13中任一項發明,其中,上述箱被配設有通信用插座,其透過有線及/或無線網路,可從外部終端機操作上述控制部。
根據本發明,由於具有上述構造,而可提供一種有效地利用裝置內之空間的精簡裝置。
又,由於具有上述構造,而可提高裝置之維修性,且削減維修作業時之垃圾和塵埃之混入,而可維持更潔淨的環境。
以下,由實施例來說明用來實施本發明之最佳形態。唯,本發明並不被限定在任何之實施例。
(實施例1) (構成)
本實施例之液材塗佈裝置,如圖1~圖3所示,於方形狀之箱10內,具備:平台1,用來載置工件;一對X軸滑座2,其等係與X軸方向平行地延伸設置且使平台1夾在其等之間;桁4(Y軸滑座4a、4b),支持於X軸滑件3,並在Y方向上延伸設置。
平台1具備θ旋轉手段,用來使工件往θ軸方向移動來定位至既定之角度。平台1既可為直接支持在設於平台1之下方的θ旋轉手段的構造,亦可為載置於沿X軸方向或Y軸方向移動的移動手段,補助X軸滑件/Y軸滑件之相對移動作動的構造。
於一對之X軸滑座2上分別設置有2個可在X軸滑座之長度方向上移動的X軸滑件3,X軸滑件3支持桁4之兩端部,藉由X軸滑件3在X軸滑座2上移動,桁4可在平台1之上方往X方向移動自如。
X軸滑座2,在桁4位於端部時,對搬入/搬出口12而言構成充分的寬幅,達到搬入/搬出口12不會被堵塞之程度。藉此,可防止桁4和塗佈頭5在工件搬入時發生干涉的情形。
桁4由一對Y軸滑座4a、4b所構成。於一對Y軸滑座4a、4b之外方側面處,分別配設2個Y軸滑件6,於各Y軸滑件6以可在Z方向移動的方式配設將液材進行吐出的塗佈頭5。
X軸及Y軸之滑座所例示之構造是具備線性馬達用磁鐵及直動導件,而滑件具備線性馬達。但,滑座與滑件之組合不限於此種構造,例如,亦可為於滑座具備連動於馬達而與馬達旋轉的滾珠螺桿,於滑件具備連動於滾珠螺桿之旋轉而直進移動的螺帽之構造。
箱10為用來防止垃圾和塵埃附著於基板的密閉空間,於背面板(panel)設有讓工件搬入/搬出的搬入/搬出口12,於左右之側面板設有維修時之滑用把手,於正面板15設有對開折合門之把手。又,於箱10之正面板15設有用來操作未圖示之主控制部21的操作板11。
在箱10內,在構造上為使潔淨的空氣從上部往下部流動,藉此不殘留塵埃等之不要物,而可在潔淨的環境下進行塗佈作業。此時,亦可併用空氣清淨機。
又,箱10之較佳態樣,所例示者是除取自SUS或鋁框等之金屬外框由金屬製之壁或透過性之樹脂等之壁構成。樹脂製之壁有透明(無色透明)、黃、濃茶色、紅、暗灰、煙(灰色)之情形等各式各樣,可根據使用之液材之用途(例如,在忌諱紫外線之情況等)選擇利用最適當者。
於箱10之下方部設有通信用插座20,藉由經網路線而與PC等之外部終端機連接,可對裝置進行遠距離操作。亦可從配設於箱10之操作板11進行操作,但在開啟正面或側面之板的維修作業中,因為對操作板11進行操作會有困難,所以遠距離操作較具效果。較佳之操作板11之態樣所揭示者為以可裝卸的方式配設於箱10,當從箱10卸離時,藉由無線LAN等之通信手段而可遠距離操作。
如圖6所示,通信用插座20與主控制部21電耦接,不透過操作板11即可對主控制部21進行操作,因此可更圓滑地進行線上之裝置的維修作業。通信用插座20之設置處並不限定於裝置之正面側,亦可多個設置於左右之側面。既可將攜帶型之專用終端機網路連接來進行遠距離操作,亦可搭載無線LAN等之通信手段利用無線進行遠距離操作。
(動作)
工件搬入時,主控制部21使X軸滑件3可動,而將右側之桁4a移動至X軸滑座2之右端,並將左側之桁4b移動至X軸滑座2之左端,以使桁4不被覆於平台1上。在桁4之移動結束後,工件搬送機17從搬入/搬出口12將工件搬入(參照圖5)。當工件往平台1上之載置結束時,則主控制部21使X軸滑件3及Y軸滑件6可動,將塗佈頭5配置於工件之所希望位置處,藉由塗佈頭5所具備之Z軸移動手段而使塗佈頭5下降,來對工件進行液材的塗佈。此時,適當地將X軸滑件3及Y軸滑件6移動,而可描繪為所希望之形狀。
在塗佈作業結束後,主控制部21使X軸滑件3可動,將右側之桁4a往X軸滑座2之右端移動,將左側之桁4b往X軸滑座2之左端移動,來使桁4不被覆在平台1上。在桁4之移動結束後,工件搬送機17從搬入/搬出口12將工件搬出(參考圖5)。
此外,圖5中表示叉形之搬送機,但利用空氣式之搬送機,當然亦可得到同樣之效果。
(維修)
對於塗佈頭5之維修作業係將桁4a、4b移動至右端及/或左端,而將箱10之左右之側面開放來進行。
在對配設於右側之桁4a的塗佈頭5a、5b進行維修之情況時,使X軸滑件3可動,將右側桁4a移動至X軸滑座2之右端後,將右側面板13滑至下方使裝置右側面開放,進行必要的維修作業(參照圖4)。此時,右側桁4a靠近X軸滑座2之右端,從開放之裝置右側面中塗佈頭5a及5b位在容易到達之範圍,因此可容易進行消耗品交換等之維修作業。
同樣地,在對配設於左側之桁4b的塗佈頭5c、5d進行維修之情況時,使X軸滑件3可動,將左側桁4b移動至X軸滑座2之左端後,將左側面板14滑至下方使裝置左側面開放,進行必要的維修作業。此處,左側桁4b亦靠近X軸滑座2之左端,從開放之裝置左側面中塗佈頭5c及5d位在容易到達之範圍,因此可容易進行消耗品交換等之維修作業。
此外,用來將左右側面板開放之構造不限定於滑門,例如亦可為設置對開折合門之構造。
如此,在本實施例之裝置中,維修時之桁4之動作同工件搬入時之桁4之動作。因此,在工件搬入時桁4位在滑座2之兩端之期間,藉由將右側面板13或左側面板14開放,不須停止在線上之作業就可進行簡單的維修作業。例如,在線上可動之裝置中,不須停止(生產)線,就可進行塗佈頭5之微調整或注射器交換等之液材充填等之簡單的維修作業,因此可大幅提高生產性。
又,因為桁4在工件搬入時對於操作者具有保護蓋之功能,因此可確保對於操作者之安全性。
本實施例中,配設於桁4的塗佈頭5由下述所構成:吐出裝置22,藉氣體壓力對蓄留於蓄留容器的液材進行加壓,而使從噴嘴前端所吐出的液材附著並塗佈於工件;飛滴裝置23,藉由在蓄留於蓄留容器的液材之上方使貼緊滑動於蓄留容器之內壁面的柱塞急速地移動停止,在使液材離開噴嘴前端後塗佈於工件表面;檢查裝置24,對於以點狀或線狀之方式被描繪於工件表面的描繪形狀之至少高度、寬度、剖面積、缺損之任一者進行檢查。
例如,如圖7(a)所示,於配置於右側的桁4a之右側面配設吐出裝置22,於配置於左側的桁4b之左側面具備飛滴裝置23,藉此亦可使塗佈頭5之構造成為相異者。
且說,亦可為於桁4a、4b之相向面(內側面),亦即,在配置於右側的桁4a之左側面和配置於左側面的桁4b之右側面,配設滑件(slide)等之可動手段,各別附加一個塗佈頭5之構造(參照圖8(a))。原因是:即使是設於內側面的塗佈頭5,若為一個的情形,亦可開放正面板之對開折合門來進行維修,所以維修性不會受損(參照圖8(b))。此處,較佳之態樣所例示之構造是:於桁4a之右側面配置多個吐出裝置22,同時於左側面配設吐出裝置用之一之檢查裝置24,於桁4b之左側面配設飛滴裝置23,同時於右側面配設飛滴裝置用之一之檢查裝置24。原因是:檢查裝置24係一台一般檢查線寬度、線高度、剖面積、點徑、點高度、缺損、斷線等者,即使為在桁4之內側面處設置一台之構造,亦可期待發揮充分的效果。藉由檢查裝置24之設置,可在一連串之塗佈描繪作業後對桁4進行移動並檢查或可在塗佈描繪後立即進行檢查。
(實施例2)
本實施例之裝置,為如圖9所示,其桁4為單數,於桁4之左右兩側面具備塗佈頭5者。
(動作)
工件搬入時,主控制部21使X軸滑件3可動,而將桁4移動至X軸滑座2之右端或左端,以使桁4不被覆於平台1上。在桁4之移動結束後,由工件搬送機17從搬入/搬出口12將工件搬入。當工件往平台1上之載置結束時,則主控制部21使X軸滑件3及Y軸滑件6可動,將塗佈頭5配置於工件之所希望位置處,藉由塗佈頭5所具備之Z軸移動手段而使塗佈頭5下降,來對工件進行液材的塗佈。此時,適當地將X軸滑件3及上述Y軸滑件6移動,而可描繪為所希望之形狀。
在塗佈作業結束後,主控制部21使X軸滑件3可動,將桁4往X軸滑座2之右端或左端移動,來使桁4不被覆在平台1上。在桁4之移動結束後,工件搬送機17從搬入/搬出口12將工件搬出。
(維修)
對於塗佈頭5之維修作業係將桁4移動至右端或左端,而將箱10之左右之側面開放來進行。
在對配設於右側面的塗佈頭5e、5f進行維修之情況時,使X軸滑件3可動,將桁4移動至X軸滑座2之右端後,將右側面板13滑至下方使裝置右側面開放,進行必要的維修作業。此時,右側桁4靠近X軸滑座2之右端,從開放之裝置右側面中,塗佈頭5e及5f位在容易到達之範圍,因此可容易進行消耗品交換等之維修作業。
同樣地,在桁4之中,對配設於左側面的塗佈頭5g、5h進行維修之情況時,使X軸滑件3可動,將桁4移動至X軸滑座2之左端後,將左側面板14滑至下方使裝置左側面開放,進行必要的維修作業。此處,桁4亦靠近X軸滑座2之左端,從開放之裝置左側面中,塗佈頭5g及5h位在容易到達之範圍,因此可容易進行消耗品交換等之維修作業。
如此,工件搬入時之桁4之動作與維修時之桁4之動作,在將桁4配置在X軸滑座2之右端或左端的點上為共通,所以工件搬入時根據必要維修的塗佈頭之位置,使桁4位於滑座2之右端或左端,工件搬送待機中將右側面板13或左側面板14開放,藉此可進行簡單的維修作業。
在線上可動之裝置中,例如對塗佈頭5之微調整、注射器交換等之液材充填等之簡單的維修作業,不需停止線就可進行,而可提高生產性,這種劃時代的效果與實施例1相同。
本實施例之裝置中,配設於桁4的塗佈頭5,亦可由吐出裝置22、飛滴裝置23、檢查裝置24等構成。
例如,如圖7(b)所示,將吐出裝置22配設於桁4之右側面,將飛滴裝置23配設於左側面等,亦可使塗佈頭5之構造為相異者。
又,亦可將檢查裝置24配設於吐出裝置22及飛滴裝置23之位置。
(產業上之可利用性)
本發明之用途廣泛,可適用在平板狀工件,又,工件尺寸愈大,本發明之效果愈為顯著。例如,可利用於平板顯示器製造步驟,尤其,對於工件之特別是對於液晶顯示器製造步驟、電漿顯示器製造步驟的應用為可能。
1...平台
2...X軸滑座
3...X軸滑件
4...桁(Y軸滑座)
4a、4b...桁(Y軸滑座)
5、5a、5b、5c、5d...塗佈頭
5e、5f、5g、5h...塗佈頭
6...Y軸滑件
10...箱
11...操作板
12...搬入/搬出口
13...右側面板
14...左側面板
15...正面板
17...工件搬送機
19...框架
20...通信用插座
21...主控制部
22...吐出裝置
23...飛滴裝置
24...檢查裝置
圖1為實施例1之塗佈裝置之外觀立體圖。
圖2(a)、(b)為實施例1之塗佈裝置之前視圖及後視圖。
圖3(a)、(b)為從實施例1之塗佈裝置之上方表示內部之俯視圖及側視圖。
圖4為使實施例1之塗佈裝置之右側面板開放的外觀立體圖。
圖5為用來說明利用工件搬送機對工件進行搬送的概要俯視圖。
圖6為實施例1之液材塗佈裝置之主控制部之簡略構成圖。
圖7(a)、(b)為塗佈頭之單數桁之構成例及多個桁之構成例的說明俯視圖。
圖8(a)、(b)為於多個桁中之維修時之桁位置之說明俯視圖。
圖9為實施例2之液材吐出裝置之外觀立體圖。
圖10為液材塗佈裝置之配置態樣之一例之說明俯視圖。
1...平台
2...X軸滑座
3...X軸滑件
4...桁(Y軸滑座)
4a、4b...桁(Y軸滑座)
5a、5b、5c、5d...塗佈頭
6...Y軸滑件
10...箱
11...操作板
12...搬入/搬出口
13...右側面板
14...左側面板
15...正面板
20...通信用插座

Claims (18)

  1. 一種液材塗佈裝置,其具備有:箱(box),其將用於搬入/搬出工件的搬入/搬出口(12)設置於側面;桁(beam),其朝向上述搬入/搬出口(12)延伸設置;塗佈頭(5),其沿上述桁之延伸方向移動自如;桁移動手段,其構成為具有滑座及移動自如地配設於滑座上之滑件,且使上述桁平行移動;平台,其用以載置與上述塗佈頭對向地設置之工件;及控制部,其控制該等之作動;且於上述箱內,使上述塗佈頭與上述平台對向地移動而將液材塗佈於上述工件表面之所希望位置處者,該液材塗佈裝置之特徵在於:上述搬入/搬出口(12)係設置於較上述滑座更高之位置;並且上述桁係藉由上述桁移動手段於上述工件搬入/搬出時,在不會造成干涉的位置處移動自如。
  2. 如申請專利範圍第1項之液材塗佈裝置,其中,上述箱具有開關口,其係用於維修設置於與設有上述箱之搬入/搬出口(12)的側面鄰接之左右側面的塗佈頭(5)。
  3. 如申請專利範圍第1或2項之液材塗佈裝置,其中,上述塗佈頭(5)由下述所構成:吐出裝置(22),其使從噴嘴前端所吐出的液材附著並塗佈於上述工件;及/或飛滴(droplet flying)裝置(23),其使液材離開噴嘴前端後, 塗佈於上述工件表面;及/或檢查裝置(24),其對於以點狀或線狀之方式被描繪於工件表面的描繪形狀之至少高度、寬度、剖面積、缺損之任一者進行檢查。
  4. 如申請專利範圍第1或2項之液材塗佈裝置,其中,上述桁為單數;上述塗佈頭(5)被配設於該桁之長度方向之左右兩側面。
  5. 如申請專利範圍第4項之液材塗佈裝置,其中,於上述桁之長度方向之一側面配設飛滴裝置(23),其使液材離開噴嘴前端後,塗佈於上述工件表面,於另一側面配設吐出裝置(22),其使從噴嘴前端所吐出的液材附著並塗佈於上述工件。
  6. 如申請專利範圍第4項之液材塗佈裝置,其中,上述桁於兩側面分別具備多個塗佈頭(5)。
  7. 如申請專利範圍第1或2項之液材塗佈裝置,其中,上述桁由被平行配設的第一桁與第二桁所構成;上述塗佈頭(5)分別被配設於各桁之長度方向上接近箱的側面。
  8. 如申請專利範圍第7項之液材塗佈裝置,其中,於上述第一或第二桁配設飛滴裝置(23),其使液材離開噴嘴前端後,塗佈於上述工件表面,於其他桁配設吐出裝置(22),其使從噴嘴前端所吐出的液材附著並塗佈於上述工件。
  9. 如申請專利範圍第7項之液材塗佈裝置,其中,上述桁於同一側面分別具備多個塗佈頭(5)。
  10. 如申請專利範圍第7項之液材塗佈裝置,其中,上 述第一及第二桁於內側面分別具備一個塗佈頭(5)。
  11. 如申請專利範圍第8項之液材塗佈裝置,其中,上述第一及第二桁於內側面分別具備一個塗佈頭(5)。
  12. 如申請專利範圍第9項之液材塗佈裝置,其中,上述第一及第二桁於內側面分別具備一個塗佈頭(5)。
  13. 如申請專利範圍第7項之液材塗佈裝置,其中,上述第一及第二桁由上述桁移動手段而分別為可移動自如。
  14. 如申請專利範圍第1或2項之液材塗佈裝置,其中,上述桁移動手段由下述所構成:一對滑座,其等係平行地配設且使工件平台夾在其等之間;以及滑件,其在該滑座上被配設為可移動自如,並支持上述桁。
  15. 如申請專利範圍第1或2項之液材塗佈裝置,其中,操作板係以可裝卸的方式被配設於上述箱,透過無線網路,可從卸下的操作板操作上述控制部。
  16. 如申請專利範圍第1或2項之液材塗佈裝置,其中,上述箱被配設有通信用插座,其透過有線及/或無線網路,可從外部終端機操作上述控制部。
  17. 如申請專利範圍第4項之液材塗佈裝置,其中,上述桁移動手段由下述所構成:一對滑座,其等係平行地配設且使工件平台夾在其等之間;以及滑件,其在該滑座上被配設為可移動自如,並支持上述桁。
  18. 如申請專利範圍第7項之液材塗佈裝置,其中,上述桁移動手段由下述所構成:一對滑座,其等係平行地配設且使工件平台夾在其等之間;以及滑件,其在該滑座上 被配設為可移動自如,並支持上述桁。
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