CN101300084B - 液体材料涂布装置 - Google Patents
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Abstract
本发明的目的在于提供一种空间利用效率高及维修性良好的液体材料涂布装置。本发明的液体材料涂布装置，在箱内使排出液体材料排出的喷嘴与以对向于该喷嘴的方式载置工件的平台进行相对的移动，使液体材料涂布于该工件表面的所希望位置处，其特征在于具备：搬入/搬出口，其用来将设于上述箱的侧面的工件搬入/搬出；桁，其朝上述搬入/搬出口延伸设置；涂布头，其可沿上述桁的延伸设置方向自由移动；桁移动装置，其使该桁在上述平台的上方平行移动；以及控制部，其控制所述部件的动作。
Description
技术领域
本发明涉及一种将从水、酒精等的低粘性物质至粘接剂、糊剂或奶油状的工业用材料的高黏稠流体的液体材料，以所希望形状涂布、滴落到工件的所希望位置处的装置。
背景技术
近年，由于显示器大型化的需要提高，玻璃基板尺寸也超过1m×1m，同时，涂布装置也正朝大型化进展。以往，通过将搭载基板的平台(table)沿XY方向移动来改变喷嘴与平台的相对位置关系而进行涂布类型的液体材料涂布装置被普遍使用，但伴随平台重量的增加，平台的控制变得困难，同时也产生动作时的振动影响变大的问题，因此逐渐偏好采用门型结构。
门型结构的液体材料涂布装置例如有在专利文献1所阐述的装置，其结构为：保持形成有糊剂图案的基板的基板保持机构被保持为仅可沿一端的方向移动，在基板上分别具有涂布糊剂的涂布头，设置两组在结构上可将上述涂布头相对于上述基板的移动方向沿直角方向移动至该处的头支持机构，一端的头支持机构固定于架台，另一端的头支持机构可沿上述基板的移动方向移动。此外，也公开有另一端的头支持机构的结构，当正在基板上描绘糊剂图案时，不使其沿基板的同方向移动。
此外，在专利文献2中所阐述的装置在结构上为：在搭载于平台上的基板上涂布描绘所希望形状的糊剂图案的糊剂涂布机中，具备有：框架，可在搭载于平台的基板的涂布描绘有糊剂图案的面的平行面内沿某一方向移动，且往该某一方向的不同方向上延伸；多个涂布头，排列于框架，设有可沿框架的延伸方向移动多个线性马达，且设有糊剂收纳筒与具有排出充填于该糊剂收纳筒的糊剂排出的糊剂排出口的喷嘴；以及控制装置，进行下述控制：在糊剂排出口与平台上所搭载 的基板相对向的范围内，使框架相对于平台移动的同时，一边使多个涂布头相对于框架移动，一边从多个涂布头的糊剂排出口中排出糊剂；并通过多个涂布头在基板上涂布描绘所希望形状的糊剂图案。
专利文献1：特开2002-346452号
专利文献2：特开2003-225606号
发明内容
(发明所欲解决的问题)
上述以往的液体材料涂布装置，如图10所示，被配置于搬送线的侧面，由机器人等的自动搬送机在平台上载置工件。此处，当框架19被设置成为与搬入/搬出口12平行，则在从搬入/搬出口12将工件载置于平台时，必须使整个框架19上升至不与自动搬送机发生干涉的位置处，或必须使涂布头5移动至框架19的端部，而不干扰到自动搬送机在进行搬入/搬出。
然而，为了使框架19上升，考虑自动搬送机的大小，而使框架19的配置位置构成为原来涂布作业所必要的高度以上的高度，产生了必须形成比涂布作业所必要的上下位移更大位移的结构的问题。此外，为了使涂布头5沿框架19在左右方向上水平移动至不与自动搬送机发生干涉的位置处，而产生了必须形成比涂布作业所必要的水平位移更大位移的结构的问题。而且，伴随载置于框架19的涂布头5的数量的增加，用于使涂布头5退避的空间也增加，因此也会产生不必要的装置大型化的问题。
更进一步，近年来伴随装置大型化，维修性的问题变得棘手。如专利文献1、2所示，在将涂布头设置于相对向的框架内侧的结构中，在涂布头的维修时，作业者必须容入上半身(依情况的不同，进入箱内)进行维修，作业性差，且会将尘埃和垃圾等的微粒子或由人体所产生的废弃物带入需要洁净环境的装置内，因此不是很理想，此外，也有由于维修作业中工具等的接触或落下造成工件平台等破损的问题。
为了提高维修时的作业性，也考虑确保装置内的宽广空间，但仍有机械强度低下的问题和无法得到既定的涂布精度的问题。
本发明鉴于上述情况而完成，其目的在于提供一种装置的空间利用效率高和维修性良好的液体材料涂布装置。
(解决问题的方法)
为了解决上述课题，第1发明为，一种液体材料涂布装置，其特征在于，具有：
箱，其侧面设置有用于将工件搬入/搬出的搬入/搬出口(12)；
桁，其朝上述搬入/搬出口(12)延伸设置；
涂布头(5)，其可沿上述桁的延伸设置方向自由移动；
桁移动装置，其结构包括滑座及设置于该滑座上并自由移动的滑件，使上述桁平行移动；
平台，用于载置与上述涂布头相对设置的工件；
控制部，其控制上述部件进行工作。
在上述箱内，使上述涂布头和上述平台相对移动，并将液体材料涂布于上述工件表面的所希望位置处，
上述搬入/搬出口(12)设置于比上述滑座更高的位置，以及
上述桁通过上述桁移动装置在与上述工件的搬入/搬出时不干涉的位置自由移动。
第2发明为，在第1发明中，上述涂布头5由下述所构成：排出装置22，其使从喷嘴前端所排出的液体材料附着并涂布于上述工件；及/或飞滴(droplet flying)装置23，其使液体材料离开喷嘴前端后，涂布于上述工件表面；及/或检查装置24，其对于以点状或线状的方式被描绘于工件表面的描绘形状的至少高度、宽度、横截面积、缺损的任一项进行检查。
第3发明为，在第1或2发明中，上述箱具有开关口，用来对被设置于与上述箱的设有搬入/搬出口12的侧面邻接的左右侧面的涂布头5进行维修；并且，上述桁通过上述桁移动装置在上述开关口附近自由移动。
第4发明为，在第1、2或3发明中，上述桁为单数；上述涂布头5被设置于该桁的长度方向的左右两侧面。
第5发明为，在第4发明中，在上述桁的长度方向的一侧面设置上述飞滴装置23，在另一侧面设置排出装置22。
第6发明为，在第4或5发明中，上述桁在两侧面分别具备多个涂布头5。
第7发明为，在第3发明中，上述箱在同设置有上述搬入/搬出口(12)的侧面相邻的左右侧面分别具有开关口；上述桁由被平行设置的第一桁与第二桁所构成；上述涂布头5分别被设置于各桁的长度方向上的侧面，即接近上述开关口的侧面。
第8发明为，在第7发明中，在上述第一或第二桁设置上述飞滴装置23，在其它桁上设置上述排出装置22。
附图说明
第9发明为，在第7或8发明中，上述桁在同一侧面分别具备多个涂布头5。
第10发明为，在第7、8或9发明中，上述第一及第二桁在内侧面分别具备一个检查装置24。
第11发明为，在第7至10中任一发明中，上述第一及第二桁通过上述桁移动装置而分别可自由移动。
第12发明为，在第1至11中任一发明中，上述桁移动装置的结构包括下述部件：一对滑座，其夹着工件平台并平行设置；以及滑件，其可自由移动地设置在该滑座上，并支持上述桁。
第13发明为，在第1至12中任一发明中，操作板以可装卸的方式设置于上述箱内，并通过无线网络，可由卸下的操作板操作上述控制部。
第14发明为，在第1至13中任一发明中，上述箱设置有通信用插座，其通过有线及/或无线网络，可从外部终端操作上述控制部。
(发明效果)
根据本发明，由于具有上述结构，而可提供一种有效地利用装置内的空间的精简装置。
此外，由于具有上述结构，而可提高装置的维修性，且削减维修作业时的垃圾和尘埃的混入，从而可维持更洁净的环境。
图1为实施例1所述的涂布装置的外观立体图。
图2(a)、(b)为实施例1所述的涂布装置的前视图及后视图。
图3(a)、(b)为从实施例1所述的涂布装置的上方表示内部的俯视图及侧视图。
图4为使实施例1的涂布装置的右侧面板开放的外观立体图。
图5为用来说明利用工件搬送机对工件进行搬送的概要俯视图。
图6为实施例1所述的液体材料涂布装置的主控制部的简略构成图。
图7(a)、(b)为涂布头的单数桁的构成例及多个桁的构成例的说明俯视图。
图8(a)、(b)为在多个桁中维修时的桁位置的说明俯视图。
图9为实施例2所述的液体材料排出装置的外观立体图。
图10为液体材料涂布装置的配置形态的一例的说明俯视图。
符号说明
1 平台
2 X轴滑座
3 X轴滑件
4 桁(Y轴滑座)
5 涂布头
6 Y轴滑件
10 箱
11 操作板
12 搬入/搬出口
13 右侧面板
14 左侧面板
15 正面板
17 件搬送机
19 框架
20 通信用插座
21 主控制部
22 排出装置
23 飞滴装置
24 检查装置
具体实施方式
下面，通过实施例来说明用来实施本发明的最佳形态。但是，本发明并非限定于任何的实施例。
实施例1
(构成)
本实施例的液体材料涂布装置，如图1～图3所示，在方形状的箱10内，具有：平台1，用来载置工件；一对X轴滑座2，其夹着平台1 在X轴方向上被平行延伸设置；桁4(Y轴滑座4a、4b)，支持于X轴滑件3，并在Y方向上延伸设置。
平台1具备θ旋转装置，用来使工件往θ轴方向移动来定位于既定的角度。平台1既可为直接支持在设于平台1的下方的θ旋转装置的结构，也可为载置于沿X轴方向或Y轴方向移动的移动装置、辅助X轴滑件/Y轴滑件的相对移动作动的结构。
在一对的X轴滑座2上分别设置有2个可在X轴滑座的长度方向上移动的X轴滑件3，X轴滑件3支持桁4的两端部，通过X轴滑件3在X轴滑座2上移动，桁4可在平台1的上方往X方向自由移动。
X轴滑座2，在桁4位于端部时，对搬入/搬出口12而言构成充分的宽度，达到搬入/搬出口12不会被堵塞的程度。由此，可防止桁4和涂布头5在工件搬入时发生干涉的情形。
桁4由一对Y轴滑座4a、4b所构成。在一对Y轴滑座4a、4b的外方侧面处，分别设置2个Y轴滑件6，在各Y轴滑件6以可在Z方向移动的方式设置排出液体材料的涂布头5。
所例示的结构为，X轴及Y轴的滑座具备线性马达用磁铁及直动导件，而滑件具备线性马达。但是，滑座与滑件的组合不限于此种结构，例如，也可为在滑座具备马达和与马达连动并旋转的滚珠螺杆，在滑件上具有与滚珠螺杆的旋转连动而直进移动的螺帽的结构。
箱10为用来防止垃圾和尘埃附着于基板的密闭空间，在背面板(panel)设有让工件搬入/搬出的搬入/搬出口12，这左右的侧面板设有维修时的滑用把手，在正面板15设有左右对开门的把手。此外，在箱10的正面板15设有用来操作未图示的主控制部21的操作板11。
在箱10内，在结构上为使洁净的空气从上部往下部流动，由此不残留尘埃等的杂物，而可在洁净的环境下进行涂布作业。此时，也可并用空气清洁机。
此外，箱10的较佳状态为，例示有在SUS或铝框等的金属框架上结合由金属制的壁或透过性的树脂等的壁构成。树脂制的壁有透明(无色透明)、黄、浓茶色、红、暗灰、烟色(灰色)等各式各样，可根据使用的液体材料的用途(例如，忌讳紫外线的情况等)选择利用最适当者。
在箱10的下方部设有通信用插座20，通过经网络线而与PC等的外部终端机连接，可对装置进行远距离操作。也可从设置于箱10的操作板11进行操作，但在开启正面或侧面的板的维修作业中，因为对操作板11进行操作会有困难，所以远距离操作效果较好。较佳的操作板11的形态为，以可装卸的方式设置于箱10，当从箱10取下时，通过无线LAN等的通信装置而可远距离操作。
如图6所示，通信用插座20与主控制部21电耦接，不通过操作板11即可对主控制部21进行操作，因此可更圆滑地进行在线的装置的维修作业。通信用插座20的设置场所并不限定于装置的正面侧，也可多个设置于左右的侧面。既可将便携式的专用终端与网络连接来进行远距离操作，也可搭载无线LAN等的通信装置利用无线进行远距离操作。
(动作)
工件搬入时，主控制部21使X轴滑件3可以移动，而将右侧的桁4a移动至X轴滑座2的右端，并将左侧的桁4b移动至X轴滑座2的左端，以使桁4不覆盖在平台1上。在桁4的移动结束后，工件搬送机17从搬入/搬出口12将工件搬入(参照图5)。当工件往平台1上的载置结束时，则主控制部21使X轴滑件3及Y轴滑件6可以移动，将涂布头5配置于工件的所希望位置处，通过涂布头5所具备的Z轴移动装置而使涂布头5下降，来对工件进行液体材料的涂布。此时，使X轴滑件3及Y轴滑件6适当地移动，而可描绘为所希望的形状。
在涂布作业结束后，主控制部21使X轴滑件3可以移动，将右侧的桁4a往X轴滑座2的右端移动，将左侧的桁4b往X轴滑座2的左端移动，以使桁4不覆盖在平台1上。在桁4的移动结束后，工件搬送机17从搬入/搬出口12将工件搬出(参考图5)。
此外，图5中表示叉形的搬送机，但利用空气式的搬送机，当然也可得到同样的效果。
(维修)
对于涂布头5的维修作业为，将桁4a、4b移动至右端及/或左端，而将箱10的左右的侧面开放而进行。
在对设置于右侧的桁4a的涂布头5a、5b进行维修的情况下，使X 轴滑件3可以移动，使右侧桁4a移动至X轴滑座2的右端后，使右侧面板13滑至下方使装置右侧面开放，进行必要的维修作业(参照图4)。此时，右侧桁4a靠近X轴滑座2的右端，位于涂布头5a及5b从开放的装置右侧面容易到达的范围，因此可容易进行消耗品交换等的维修作业。
同样地，在对设置于左侧的桁4b的涂布头5c、5d进行维修的情况下，使X轴滑件3可以移动，将左侧桁4b移动至X轴滑座2的左端后，将左侧面板14滑至下方使装置左侧面开放，进行必要的维修作业。此处，左侧桁4b也靠近X轴滑座2的左端，涂布头5c及5d位于从开放的装置左侧面容易到达的范围，因此可容易进行消耗品交换等的维修作业。
此外，用来将左右侧面板开放的结构不限定于滑门，例如也可为设置左右对开门的结构。
如此，在本实施例的装置中，维修时的桁4的动作与工件搬入时的桁4的动作相同。因此，在工件搬入时桁4位于滑座2的两端的期间，通过将右侧面板13或左侧面板14开放，不须停止在线的作业就可进行简单的维修作业。例如，在在线可以移动的装置中，不须停止(生产)线，就可进行涂布头5的微调整或注射器交换等的液体材料充填等的简单的维修作业，因此可大幅提高生产性。
此外，因为桁4在工件搬入时相对于操作者具有保护盖的功能，因此可确保对于操作者的安全性。
在本实施例中，设置于桁4的涂布头5由下述部件所构成：排出装置22，通过气体压力对贮存于贮存容器的液体材料进行加压，而使从喷嘴前端所排出的液体材料附着并涂布于工件；飞滴装置23，通过在贮存于贮存容器的液体材料的上方使贴紧滑动于贮存容器的内壁面的柱塞急速地停止移动，在使液体材料离开喷嘴前端后涂布于工件表面；检查装置24，对于以点状或线状的方式被描绘于工件表面的描绘形状的至少高度、宽度、截面积、缺损的任一项进行检查。
例如，如图7(a)所示，在配置于右侧的桁4a的右侧面设置排出装置22，在配置于左侧的桁4b的左侧面具备飞滴装置23，由此也可使涂布头5的结构不同。
此外，也可在桁4a、4b的相对面(内侧面)，也即，在配置于右侧的桁4a的左侧面和配置于左侧面的桁4b的右侧面，设置滑件(slide)等的可以移动装置，并分别附加一个涂布头5的结构(参照图8(a))。原因是：即使是设于内侧面的涂布头5，若为一个的话，可打开正面板的左右对开门来进行维修，所以维修性不会受损(参照图8(b))。在此，较佳的形态所例示的结构是：在桁4a的右侧面配置多个排出装置22，同时在左侧面设置排出装置用的一个检查装置24，在桁4b的左侧面设置飞滴装置23，同时在右侧面设置飞滴装置用的一个检查装置24。原因是：检查装置24为一台一般检查线宽度、线高度、截面积、点径、点高度、缺损、断线等的装置，即使为在桁4的内侧面处设置一台的结构，也可期待发挥充分的效果。通过设置检查装置24，可在一连串的涂布描绘作业后对桁4进行移动并检查或可在涂布描绘后立即进行检查。
(实施例2)
本实施例的装置，为如图9所示，其桁4为单数，在桁4的左右两侧面具备涂布头5。
(动作)
工件搬入时，主控制部21使X轴滑件3可以移动，并将桁4移动至X轴滑座2的右端或左端，以使桁4不覆盖于平台1上。在桁4的移动结束后，由工件搬送机17从搬入/搬出口12将工件搬入。当工件往平台1上的载置结束时，则主控制部21使X轴滑件3及Y轴滑件6可以移动，将涂布头5配置于工件的所希望位置处，通过涂布头5所具备的Z轴移动装置而使涂布头5下降，来对工件进行液体材料的涂布。此时，适当地将X轴滑件3及上述Y轴滑件6移动，而可描绘为所希望的形状。
在涂布作业结束后，主控制部21使X轴滑件3可以移动，将桁4往X轴滑座2的右端或左端移动，来使桁4不覆盖在平台1上。在桁4的移动结束后，工件搬送机17从搬入/搬出口12将工件搬出。
(维修)
对于涂布头5的维修作业为将桁4移动至右端或左端，而将箱10的左右的侧面打开来进行。
在对设置于右侧面的涂布头5e、5f进行维修的情况下，使X轴滑件3可以移动，将桁4移动至X轴滑座2的右端后，将右侧面板13滑至下方使装置右侧面开放，进行必要的维修作业。此时，右侧桁4靠近X轴滑座2的右端，从开放的装置右侧面中，涂布头5e及5f位于容易到达的范围，因此可便于进行消耗品交换等的维修作业。
同样地，在桁4中，对设置于左侧面的涂布头5g、5h进行维修的情况下，使X轴滑件3可以移动，将桁4移动至X轴滑座2的左端后，将左侧面板14滑至下方使装置左侧面打开，进行必要的维修作业。在此，桁4也靠近X轴滑座2的左端，从开放的装置左侧面中，涂布头5g及5h位于容易到达的范围，因此可便于进行消耗品交换等的维修作业。
如此，工件搬入时的桁4的动作与维修时的桁4的动作，在将桁4配置在X轴滑座2的右端或左端这一点上为相同，所以工件搬入时根据需要维修的涂布头的位置，使桁4位于滑座2的右端或左端，并通过在工件搬送待机中将右侧面板13或左侧面板14打开，由此可进行简单的维修作业。
在线上可以移动的装置中，不需停止线就可进行例如对涂布头5的微调整、注射器交换等的液体材料充填等的简单的维修作业，而可提高生产性，这种突出的效果与实施例1相同。
本实施例的装置中，设置于桁4的涂布头5，也可由排出装置22、飞滴装置23、检查装置24等构成。
例如，如图7(b)所示，将排出装置22设置于桁4的右侧面，将飞滴装置23设置于左侧面等，也可使涂布头5的结构不同。
此外，也可将检查装置24设置于排出装置22及飞滴装置23的位置。
(产业上的可利用性)
本发明的用途广泛，可适用在平板状工件，此外，工件尺寸越大，本发明的效果越为显著。例如，可利用对平板显示器制造工序，尤其，也应用在对于工件的特别是对于液晶显示器制造工序、等离子显示器制造工序。
Claims (16)
1.一种液体材料涂布装置，其特征在于，具有：
箱，其侧面设置有用于将工件搬入/搬出的搬入/搬出口(12)；
桁，其朝上述搬入/搬出口(12)延伸设置；
涂布头(5)，其可沿上述桁的延伸设置方向自由移动；
桁移动装置，其结构包括滑座及设置于该滑座上并自由移动的滑件，使上述桁沿滑座的长度方向平行移动；
平台，用于载置与上述涂布头相对设置的工件；
控制部，其控制上述部件进行工作；
在上述箱内，使上述涂布头和上述平台相对移动，并将液体材料涂布于上述工件表面的所希望位置处，
将上述涂布头设置于桁的长度方向侧面，
上述搬入/搬出口(12)设置于比上述滑座更高的位置，以及
上述桁通过上述桁移动装置在与上述工件的搬入/搬出时不干涉的位置自由移动。
2.根据权利要求1所述的液体材料涂布装置，其特征在于，上述涂布头(5)由下述部件所构成：排出装置(22)，其使从喷嘴前端所排出的液体材料附着并涂布于上述工件；及/或飞滴装置(23)，其使液体材料离开喷嘴前端后，涂布于上述工件表面；及/或检查装置(24)，其对于以点状或线状的方式被描绘于工件表面的描绘形状的至少高度、宽度、截面积、缺损的任一项进行检查。
3.根据权利要求1或2所述的液体材料涂布装置，其特征在于，上述箱具有开关口，用来对设置于与上述箱的设有搬入/搬出口(12)的侧面邻接的左右侧面的涂布头(5)进行维修；
并且，上述桁通过上述桁移动装置在上述开关口附近自由移动。
4.根据权利要求3所述的液体材料涂布装置，其特征在于，上述桁为单数；上述涂布头(5)被设置于该桁的长度方向的左右两侧面。
5.根据权利要求2所述的液体材料涂布装置，其特征在于，
上述箱具有开关口，用来对设置于与上述箱的设有搬入/搬出口(12)的侧面邻接的左右侧面的涂布头(5)进行维修；
并且，上述桁通过上述桁移动装置在上述开关口附近自由移动，
上述桁为单数；上述涂布头(5)被设置于该桁的长度方向的左右两侧面，以及
在上述桁的长度方向的一侧面设置上述飞滴装置(23)，在另一侧面设置上述排出装置(22)。
6.根据权利要求4所述的液体材料涂布装置，其特征在于，上述桁在两侧面分别具备多个涂布头(5)。
7.根据权利要求3所述的液体材料涂布装置，其特征在于，上述箱在同设置有上述搬入/搬出口(12)的侧面相邻的左右侧面分别具有开关口；上述桁由被平行设置的第一桁与第二桁所构成；上述涂布头(5)分别被设置于各桁的长度方向上的侧面，即接近上述开关口的侧面。
8.根据权利要求2所述的液体材料涂布装置，其特征在于，
上述箱具有开关口，用来对设置于与上述箱的设有搬入/搬出口(12)的侧面邻接的左右侧面的涂布头(5)进行维修；
并且，上述桁通过上述桁移动装置在上述开关口附近自由移动，
上述桁由被平行设置的第一桁与第二桁所构成；上述涂布头(5)分别被设置于各桁的长度方向上的侧面，即接近上述开关口的侧面，以及
在上述第一或第二桁设置上述飞滴装置(23)，在其它桁设置上述排出装置(22)。
9.根据权利要求7所述的液体材料涂布装置，其特征在于，上述桁在同一侧面分别具备多个涂布头(5)。
10.根据权利要求2所述的液体材料涂布装置，其特征在于，
上述箱具有开关口，用来对设置于与上述箱的设有搬入/搬出口(12)的侧面邻接的左右侧面的涂布头(5)进行维修；
并且，上述桁通过上述桁移动装置在上述开关口附近自由移动，
上述桁由被平行设置的第一桁与第二桁所构成；上述涂布头(5)分别被设置于各桁的长度方向上的侧面，即接近上述开关口的侧面，以及
上述第一及第二桁在内侧面分别具备一个上述检查装置(24)。
11.根据权利要求7所述的液体材料涂布装置，其特征在于，上述第一及第二桁由上述桁移动装置而分别可自由移动。
12.根据权利要求1或2所述的液体材料涂布装置，其特征在于，上述桁移动装置的结构包括下述部件：一对滑座，其夹着工件平台被平行设置；以及滑件，其在该滑座上被设置为可自由移动，并支持上述桁。
13.根据权利要求4所述的液体材料涂布装置，其特征在于，上述桁移动装置的结构包括下述部件：一对滑座，其夹着工件平台被平行设置；以及滑件，其在该滑座上被设置为可自由移动，并支持上述桁。
14.根据权利要求7所述的液体材料涂布装置，其特征在于，上述桁移动装置的结构包括下述部件：一对滑座，其夹着工件平台被平行设置；以及滑件，其在该滑座上被设置为可自由移动，并支持上述桁。
15.根据权利要求1或2所述的液体材料涂布装置，其特征在于，操作板以可装卸的方式被设置于上述箱，并通过无线网络，可由卸下的操作板操作上述控制部。
16.根据权利要求1或2所述的液体材料涂布装置，其特征在于，上述箱设置有通信用插座，其通过有线及/或无线网络，可从外部终端操作上述控制部。
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