KR20140033524A

KR20140033524A - 액재 도포 장치

Info

Publication number: KR20140033524A
Application number: KR1020147005462A
Authority: KR
Inventors: 가즈마사 이쿠시마
Original assignee: 무사시 엔지니어링 가부시키가이샤
Priority date: 2005-10-31
Filing date: 2006-10-27
Publication date: 2014-03-18
Also published as: KR20080066832A; EP1944094A1; TWI383842B; EP1944094A4; JPWO2007052548A1; EP1944094B1; CN101300084B; US20090266297A1; CN101300084A; KR101410403B1; ES2712479T3; KR101445589B1; TW200732048A; MY146658A; WO2007052548A1; US8176870B2; JP4771554B2

Abstract

본 발명은 액재 도포 장치에 관한 것으로서, 공간 이용 효율이 높고, 유지보수성이 양호한 액재 도포 장치를 제공한다. 본 발명은 박스 내에서, 액재를 토출하는 노즐과 상기 노즐에 대향하도록 공작물을 탑재하는 테이블을 상대적으로 이동시켜서 상기 공작물 표면의 원하는 위치에 액재를 도포하는 액재 도포 장치로서, 상기 박스의 측면에 설치된 공작물을 반입출하기 위한 반입출구와, 상기 반입출구를 향해 연장 설치된 빔과, 상기 빔의 연장 방향으로 이동 가능한 도포 헤드와, 상기 빔을 상기 테이블의 위쪽에서 평행 이동시키는 빔 이동 수단과, 이들 작동을 제어하는 제어부를 구비하는 것을 특징으로 하는 액재 도포 장치인 것을 특징으로 한다.

Description

액재 도포 장치{LIQUID MATERIAL APPLICATION DEVICE}

본 발명은, 물, 알코올 등의 저점성(低粘性) 물질에서부터, 접착제, 페이스트 상(狀) 또는 크림상의 공업용 재료 등의 고점조(高粘稠) 유체에 이르기까지의 액재(液材)를, 공작물에 원하는 위치에 원하는 형상으로 도포·적하(滴下)하는 장치에 관한 것이다.

최근, 디스플레이의 대형화의 수요가 높아짐에 따라, 유리 기판 사이즈도 1m×1m를 넘게 되고, 이에 따라 도포 장치도 대형화가 진행되고 있다. 종래에는, 기판을 탑재하는 테이블을 XY 방향으로 이동시킴으로써 노즐과 테이블의 상대적 위치 관계를 변화시켜서 도포하는 타입의 액재 도포 장치가 주류였지만, 테이블의 중량 증가에 수반하여, 테이블의 제어가 어려워지고, 또한 동작 시의 진동의 영향이 커지는 문제가 있었기 때문에, 문형(gate) 구조를 선호하여 사용하게 되었다.

문형 구조의 액재 도포 장치로서는, 예를 들면, 페이스트 패턴이 형성되는 기판을 지지하는 기판 유지 기구가 한쪽 방향으로만 이동 가능하게 유지되고, 기판 상에 페이스트를 도포하는 도포 헤드를 각각 구비하고, 상기 도포 헤드를 상기 기판의 이동 방향에 대하여 직각 방향으로 이동 가능하게 구성한 헤드 지지 기구를 2조(組) 설치하고, 한쪽의 헤드 지지 기구는 가대(架臺)에 고정하고, 다른 쪽의 헤드 지지 기구는 상기 기판의 이동 방향으로 이동 가능하게 구성하는 장치가, 특허 문헌 1에 개시되어 있다. 그리고, 다른 쪽의 헤드 지지 기구에 페이스트 패턴이 기판 상에 묘화(drawing)되어 있을 때는 기판과 동일한 방향으로는 이동시키지 않도록 구성하고 있는 경우도 개시되어 있다.

또한, 특허 문헌 2에는, 테이블 상에 탑재된 기판 상에 원하는 형상의 페이스트 패턴을 도포·묘화하는 페이스트 도포기에서, 테이블에 탑재된 기판의 페이스트 패턴이 도포·묘화되는 면에 평행한 면 내에서 한쪽 방향으로 이동 가능하고, 또한 이 한쪽 방향과는 상이한 방향으로 연장되는 프레임과, 프레임에 배열되어, 프레임의 연장 방향으로 이동 가능하게 리니어 모터가 설치되고, 또한 페이스트 수납통과 이 페이스트 수납통에 충전된 페이스트를 토출(吐出)하는 페이스트 토출구를 가지는 노즐이 설치된 복수의 도포 헤드와, 페이스트 토출구가 테이블에 탑재된 기판에 대향하는 범위 내에서, 테이블에 대하여 프레임을 이동시키고, 또한 프레임에 대하여 복수의 도포 헤드를 이동시키면서, 복수의 도포 헤드의 페이스트 토출구로부터 페이스트를 토출시키는 제어를 행하는 제어 수단을 구비하고, 복수의 도포 헤드에 의해 기판 상에 원하는 형상의 페이스트 패턴을 도포·묘화하도록 구성된 장치가 개시되어 있다.

전술한 종래의 액재 도포 장치는, 도 10에 나타낸 바와 같이, 반송 라인의 측면에 배치되고, 로봇 등의 자동 반송기에 의해 테이블 상에 공작물이 탑재된다. 여기서, 프레임(19)이 반입출구(12)와 평행하게 설치되어 있으면, 공작물을 반입출구(12)로부터 테이블에 탑재할 때, 모든 프레임(19)을 자동 반송기와 간섭하지 않는 위치까지 상승시키거나, 또는 자동 반송기에 의한 반입출의 방해가 되지 않도록, 도포 헤드(5)를 프레임(19)의 단부에 이동시켜야만 했다.

그러나, 프레임(19)을 상승시키기 위해서는, 자동 반송기의 크기를 고려하여 본래의 도포 작업에 필요한 높이 이상으로 프레임(19)의 설치 위치를 높게 구성하고, 도포 작업에 필요한 상하 변위보다 많이 변위시키도록 구성해야만 하는 문제가 있었다. 또한, 도포 헤드(5)를 자동 반송기와 간섭하지 않는 위치까지 프레임(19)을 따라 좌우 방향으로 수평 이동시키기 위해서는, 도포 작업에 필요한 수평 변위보다 많이 변위시키도록 구성해야만 하는 문제가 있었다. 또한, 프레임(19)에 탑재되는 도포 헤드(5)의 개수가 증가함에 따라, 도포 헤드(5)를 퇴피시키기 위한 공간도 증가하므로, 장치가 불필요하게 커지는 문제도 있다.

또한, 최근의 장치의 대형화에 수반하여, 유지보수성의 문제가 커지고 있다. 아래의 특허 문헌 1 및 특허 문헌 2와 같이, 도포 헤드를 대향하는 프레임의 내측에 설치하는 구성에서는, 도포 헤드의 유지보수 시에 작업자가 상반신을 밀어넣어서(경우에 따라서는, 박스 내에 비집고 들어가서) 유지보수를 행할 필요가 있지만, 작업성이 좋지 못하고, 클린 환경을 필요로 하는 장치 내에 먼지나 티끌 등의 파티클(particle)이나 인체로부터 생기는 발진물(發塵物)을 반입하게 되므로 바람직하지 않고, 또한, 유지보수 작업중에 공구 등의 접촉이나 낙하에 의해 공작물 테이블 등을 파손시키는 문제도 있었다.

유지보수 시의 작업성을 향상시키기 위해 장치 내의 공간을 넓게 확보하는 것도 고려할 수 있지만, 기계적인 강도 저하의 문제나, 소정의 도포 정밀도를 얻을 수 없는 문제가 있다.

[특허 문헌 1]: 일본국 특개 2002-346452호

[특허 문헌 2]: 일본국 특개 2003-225606호

본 발명은 전술한 사정을 감안하여 이루어진 것으로서, 그 목적으로 하는 바는, 장치의 공간 이용 효율이 높고, 유지보수성이 양호한 액재 도포 장치를 제공하는 것에 있다.

전술한 과제를 해결하기 위하여, 제1 발명은, 공작물을 반입출하기 위한 반입출구(12)가 측면에 설치된 박스와, 상기 반입출구(12)를 향해 연장 설치된 빔과, 상기 빔의 연장 설치된 방향으로 이동 가능한 도포 헤드(5)와, 슬라이드 베이스 및 슬라이드 베이스 상을 이동 가능하게 설치된 슬라이더를 구비하여 구성되고, 상기 빔을 평행 이동시키는 빔 이동 수단과, 상기 도포 헤드에 대향하여 설치된 공작물을 탑재하기 위한 테이블과, 이들 작동을 제어하는 제어부를 구비하고, 상기 박스 내에서, 상기 도포 헤드와 상기 테이블을 상대적으로 이동시켜서 상기 공작물 표면의 원하는 위치에 액재를 도포하는 액재 도포 장치로서, 상기 반입출구(12)는, 상기 슬라이드 베이스보다 높은 위치에 설치되어 있을 것, 및 상기 빔은, 상기 빔 이동 수단에 의해 상기 공작물의 반입출 시에 간섭하지 않는 위치에 이동 가능한 것을 특징으로 하는 액재 도포 장치이다.

제2 발명은, 제1 발명에 있어서, 상기 도포 헤드(5)는, 노즐 선단으로부터 토출된 액재를 상기 공작물에 부착시켜 도포하는 토출 장치(22), 및/또는, 노즐 선단으로부터 액재를 이격시킨 후에 상기 공작물 표면에 도포하는 비적(飛滴) 장치(23), 및/또는, 공작물 표면에 점형 또는 선형으로 묘화된 묘화 형상 중 적어도 높이, 폭, 단면적, 결손 중 어느 하나를 검사하는 검사 장치(24)로 구성되는 것을 특징으로 한다.

제3 발명은, 제1 발명 또는 제2 발명에 있어서, 상기 박스는, 상기 박스의 반입출구(12)가 설치된 측면과 인접하는 좌우의 측면에 설치된 도포 헤드(5)를 유지보수하기 위한 개폐구를 가질 것, 및 상기 빔은, 상기 빔 이동 수단에 의해 상기 개폐구 근방으로 이동 가능한 것을 특징으로 한다.

제4 발명은, 제1 발명 내지 제3 발명 중 어느 하나의 발명에 있어서, 상기 빔은 단수이며, 상기 도포 헤드(5)는, 상기 빔의 길이 방향의 좌우 양쪽 면에 설치되는 것을 특징으로 한다.

제5 발명은, 제4 발명에 있어서, 상기 빔의 길이 방향의 일측면에 상기 비적 장치(23)를 설치하고, 다른 측면에 토출 장치(22)를 설치하는 것을 특징으로 한다.

제6 발명은, 제4 발명 또는 제5 발명에 있어서, 상기 빔은 양쪽 면에 각각 복수개의 도포 헤드(5)를 구비하는 것을 특징으로 한다.

제7 발명은, 제3 발명에 있어서, 상기 박스는 상기 반입출구(12)가 설치된 측면과 인접하는 좌우의 측면에 각각 개폐구를 가지고, 상기 빔은, 평행하게 설치된 제1 빔과 제2 빔으로 구성되고, 상기 도포 헤드(5)는, 각 빔의 길이 방향의 측면이면서, 상기 개폐구에 가까운 쪽의 측면에 각각 설치되는 것을 특징으로 한다.

제8 발명은, 제7 발명에 있어서, 상기 제1 빔 또는 상기 제2 빔에 상기 비적 장치(23)를 설치하고, 다른 빔에 상기 토출 장치(22)를 설치하는 것을 특징으로 한다.

제9 발명은, 제7 발명 또는 제8 발명에 있어서, 상기 빔은, 동일 측면에 각각 복수의 도포 헤드(5)를 구비하는 것을 특징으로 한다.

제10 발명은, 제7 발명 내지 제9 발명 중 어느 하나의 발명에 있어서, 상기 제1 빔 및 상기 제2 빔은, 내측면에 각각 검사 장치(24)를 하나 구비한 것을 특징으로 한다.

제11 발명은, 제7 발명 내지 제10 발명 중 어느 하나의 발명에 있어서, 상기 제1 빔 및 상기 제2 빔은, 상기 빔 이동 수단에 의해 각각 가동 가능한 것을 특징으로 한다.

제12 발명은, 제1 발명 내지 제11 발명 중 어느 하나의 발명에 있어서, 상기 빔 이동 수단은, 공작물 테이블을 사이에 두고 평행하게 설치되는 한쌍의 슬라이드 베이스와, 상기 슬라이드 베이스 상을 이동 가능하게 설치되어 있고, 상기 빔을 지지하는 슬라이더를 구비하여 구성되는 것을 특징으로 한다.

제13 발명은, 제1 발명 내지 제12 발명 중 어느 하나의 발명에 있어서, 상기 박스에는 조작 패널이 착탈될 수 있도록 설치되어 있고, 무선 네트워크를 통하여, 분리된 조작 패널로부터 상기 제어부를 조작 가능한 것을 특징으로 한다.

제14 발명은, 제1 발명 내지 제13 발명 중 어느 하나의 발명에 있어서, 상기 박스는 통신용 소켓이 설치되어 있고, 유선 및/또는 무선 네트워크를 통하여 외부 단말기로부터 상기 제어부를 조작 가능한 것을 특징으로 한다.

본 발명에 의하면, 전술한 구성을 가지므로, 장치 내의 공간을 유효하게 이용한 컴팩트한 장치를 제공할 수 있다.

또한, 전술한 구성을 가지므로, 장치의 유지보수성을 향상시킬 수 있고, 또한 유지보수 작업에 시의 먼지나 티끌의 혼입을 삭감하고, 보다 청결한 환경을 유지할 수 있다.

도 1은 실시예 1에 따른 도포 장치의 외관 사시도이다.
도 2는 실시예 1에 따른 도포 장치의 (a) 정면도 및 (b) 배면도이다.
도 3은 실시예 1에 따른 도포 장치의 (a) 위쪽보다 내부를 나타낸 평면도 및 (b) 측면도이다.
도 4는 실시예 1에 따른 도포 장치의 우측면 패널을 개방한 외관 사시도이다.
도 5는 공작물 반송기에 의한 공작물 반송을 설명하기 위한 개요 평면도이다.
도 6은 실시예 1에 따른 액재 도포 장치의 주제어부의 간략 구성도이다.
도 7은 도포 헤드의 (a) 단수 빔에서의 구성예와 (b) 복수 빔에서의 구성예의 설명 평면도이다.
도 8은 복수개 빔에서의 유지보수 시의 빔 위치의 설명 평면도이다.
도 9는 실시예 2에 따른 액재 토출 장치의 외관 사시도이다.
도 10은 액재 도포 장치의 배치 태양의 일례의 설명 평면도이다.

이하에서는, 본 발명을 실시하기 위한 최선의 형태를, 실시예에 의해 설명한다. 단, 본 발명은 어떤 실시예로 한정되는 것은 아니다.

[실시예 1]

<구성>

본 실시예의 액재 도포 장치는, 도 1∼도 3에 나타낸 바와 같이, 사각형의 박스(10) 내에, 공작물이 탑재되는 테이블(1)과, 테이블(1)을 사이에 두고 X축 방향으로 평행하게 연장되는 한쌍의 X축 슬라이드 베이스(2)와, X축 슬라이더(3)에 지지되고, Y 방향으로 연장되는 빔(4)(Y축 슬라이드 베이스(4a, 4b))을 구비한다.

테이블(1)은, 공작물을 θ축 방향으로 이동시켜서 소정 각도로 위치 결정하기 위한 θ 회전 수단을 구비한다. 테이블(1)은, 테이블(1)의 아래쪽에 설치된 θ 회전 수단에 직접 지지시키도록 구성해도 되고, X축 방향 또는 Y축 방향으로 이동하는 이동 수단에 탑재하여, X축 슬라이더/Y축 슬라이더에 의한 상대 이동 작동을 보조시키도록 구성해도 된다.

한쌍의 X축 슬라이드 베이스(2) 상에는, X축 슬라이드 베이스의 길이 방향으로 이동 가능한 X축 슬라이더(3)가 각각 2개 설치되고, X축 슬라이더(3)는 빔(4)의 양 단부를 지지하고, X축 슬라이더(3)가 X축 슬라이드 베이스(2) 상을 이동함으로써, 빔(4)이 테이블(1)의 위쪽에서 X 방향으로 이동하는 것을 가능하게 하고 있다.

X축 슬라이드 베이스(2)는, 빔(4)이 단부에 위치할 때, 반입출구(12)가 막히지 않을 정도로, 반입출구(12)보다 충분히 넓은 폭으로 구성되어 있다. 이에 따라, 빔(4)이나 도포 헤드(5)가 공작물 반입 시에 간섭하는 것을 방지할 수 있다.

빔(4)은 한쌍의 Y축 슬라이드 베이스(4a, 4b)에 의해 구성된다. 한쌍의 Y축 슬라이드 베이스(4a, 4b)의 바깥 측면에는, Y축 슬라이더(6)가 각각 2개 설치되고, 각각의 Y축 슬라이더(6)에는 액재를 토출하는 도포 헤드(5)가 Z 방향으로 이동 가능하게 설치된다.

X축 슬라이드 베이스 및 Y축 슬라이드 베이스는, 리니어 모터용 마그넷 및 직동(直動) 가이드를 구비하고, 슬라이더는 리니어 모터를 구비하는 구성이 예시된다. 단, 슬라이드 베이스와 슬라이더의 조합은, 이 구성에 한정되지 않고, 예를 들면, 슬라이드 베이스에 모터와 모터에 연동하여 회전하는 볼 나사를 구비하고, 슬라이더에 볼 나사의 회전에 연동하여 직진 이동하는 너트를 구비하는 구성으로 해도 된다.

박스(10)는, 먼지나 티끌이 기판에 부착되는 것을 방지하기 위한 폐 공간이며, 배면 패널에 공작물이 반입/반출되는 반입출구(12), 좌우의 측면 패널에 유지보수 시의 슬라이드용 손잡이, 정면 패널(15)에 여닫이식 도어의 손잡이가 설치되어 있다. 또한, 박스(10)의 정면 패널(15)에는, 도시하지 않은 주 제어부(21)를 조작하기 위한 조작 패널(11)이 설치되어 있다.

박스(10) 내에서는, 상부로부터 하부를 향해 클린 에어가 항상 흐르도록 하고, 먼지 등의 불필요한 물질(不要物)이 잔류하지 않고, 클린 환경 하에서 도포 작업을 행할 수 있도록 구성할 수 있다. 이 때, 공기 청정기를 병용해도 된다.

또한, 박스(10)의 바람직한 태양으로서는, SUS나 알루미늄 프레임 등에 의한 금속 프레임에 금속제(金屬製)의 벽 또는 투과성 수지 등의 벽에 의해 구성되는 것이 예시된다. 수지제의 벽은, 클리어(무색 투명), 황색, 짙은 갈색, 빨강, 어두운 회색, 스모크(회색)의 경우 등 다양하지만, 사용하는 액재의 용도(예를 들면, 자외선을 좋아하지 않을 경우 등)에 따라 최적인 것을 선택하여 이용할 수 있다.

박스(10)의 하방부에는, 통신용 소켓(20)이 설치되어 있고, 네트워크 케이블을 개재하여 PC 등의 외부 단말기와 접속함으로써, 장치의 원격 조작을 가능하게 하고 있다. 박스(10)에 설치된 조작 패널(11)로부터 조작을 행할 수도 있지만, 정면 또는 측면의 패널을 열어서 유지보수 작업중에 조작 패널(11)을 조작하기는 곤란하기 때문에, 원격 조작이 효과적이다. 바람직한 조작 패널(11)의 태양으로서는, 박스(10)에 착탈될 수 있도록 설치되어 있고, 박스(11)로부터 분리될 때는, 무선 LAN 등의 통신 수단에 의해 원격 조작이 가능한 것이 개시된다.

도 6에 도시한 바와 같이, 통신용 소켓(20)은, 주 제어부(21)와 전기적으로 접속되어 있고, 조작 패널(11)을 개재하지 않고 주 제어부(21)의 조작이 가능하므로, 온라인에서의 장치의 유지보수 작업을 보다 원활하게 행할 수 있다. 통신용 소켓(20)의 설치 개소는, 장치의 정면 측에 한정되는 것이 아니고, 좌우의 측면에 복수개 설치할 수도 있다. 휴대형 전용 단말기를 네트워크 접속하여 원격 조작을 행해도 되고, 무선 LAN 등의 통신 수단을 탑재하여 무선에 의해 원격 조작 가능하도록 해도 된다.

<동작>

공작물 반입 시에는, 주 제어부(21)는 X축 슬라이더(3)를 가동하여, 우측의 빔(4a)을 X축 슬라이드 베이스(2)의 우측단으로 이동시키고, 좌측의 빔(4b)을 X축 슬라이드 베이스(2)의 좌측단으로 이동시켜서, 테이블(1) 상에 빔(4)이 겹치지 않도록 한다. 빔(4)의 이동이 완료된 후, 반입출구(12)로부터 공작물 반송기(17)가 공작물을 반입한다(도 5 참조). 테이블(1) 상으로의 공작물 탑재가 완료하면, 주 제어부(21)는 X축 슬라이더(3) 및 Y축 슬라이더(6)를 가동하여, 도포 헤드(5)를 공작물의 원하는 위치에 배치하고, 도포 헤드(5)가 구비하는 Z축 이동 수단에 의해 도포 헤드(5)를 하강시키고, 공작물에 액재의 도포를 행한다. 이 때, X축 슬라이더(3) 및 Y축 슬라이더(6)를 적절하게 이동시켜서 원하는 형상으로 묘화할 수 있다.

도포 작업 종료 후, 주 제어부(21)는 X축 슬라이더(3)를 가동하여, 우측의 빔(4a)을 X축 슬라이드 베이스(2)의 우측단으로 이동시키고, 좌측의 빔(4b)을 X축 슬라이드 베이스(2)의 좌측단으로 이동시켜서, 테이블(1) 상에 빔(4)이 겹치지 않도록 한다. 빔(4)의 이동 완료 후, 반입출구(12)로부터 공작물 반송기(17)가 공작물을 반출한다(도 5 참조).

그리고, 도 5에서는 포크형의 반송기를 나타내고 있지만, 에어 타입의 반송기에서도 마찬가지의 효과를 얻을 수 있는 것은 물론이다.

<유지보수>

도포 헤드(5)에 대한 유지보수 작업은, 빔(4a, 4b)을 우측단 및/또는 좌측단으로 이동시키고, 박스(10)의 좌우의 측면을 개방하여 행한다.

우측의 빔(4a)에 설치되는 도포 헤드(5a, 5b)를 유지보수하는 경우에는, X축 슬라이더(3)를 가동하고, 우측 빔(4a)을 X축 슬라이드 베이스(2)의 우측단으로 이동시킨 후, 우측면 패널(13)을 아래쪽에 슬라이드하여 장치 우측면을 개방하여, 필요한 유지보수 작업을 행한다(도 4 참조). 이 때, 우측 빔(4a)은 X축 슬라이드 베이스(2)의 우측단에 치우쳐 있고, 개방된 장치 우측면으로부터 도포 헤드(5a 및 5b)가 용이하게 닿는 범위에 위치하므로 소모품 교환 등의 유지보수 작업을 용이하게 행할 수 있게 된다.

마찬가지로, 좌측의 빔(4b)에 설치되는 도포 헤드(5c, 5d)를 유지보수하는 경우에는, X축 슬라이더(3)를 가동하여, 좌측 빔(4b)을 X축 슬라이드 베이스(2)의 좌측단으로 이동시킨 후, 좌측면 패널(14)을 아래쪽으로 슬라이드하여 장치 좌측면을 개방하여, 필요한 유지보수 작업을 행한다. 여기에서도, 좌측 빔(4b)은 X축 슬라이드 베이스(2)의 좌측단에 치우쳐 있고, 개방된 장치 좌측면으로부터 도포 헤드(5c 및 5d)가 용이하게 닿는 범위에 위치하므로 소모품 교환 등의 유지보수 작업을 용이하게 행할 수 있다.

그리고, 좌우 측면 패널을 개방하기 위한 구성은, 슬라이드 도어로 한정되지 않고, 예를 들면, 여닫이식 도어를 설치하는 구성으로 해도 된다.

이와 같이, 본 실시예의 장치에서는, 유지보수 시의 빔(4)의 동작은, 공작물 반입 시의 빔(4)의 동작과 동일하다. 따라서, 공작물 반입 시에 빔(4)이 슬라이드 베이스(2)의 양단에 위치하는 동안, 우측면 패널(13) 또는 좌측면 패널(14)을 개방함으로써, 온라인에서의 작업을 정지하지 않고, 간단한 유지보수 작업을 행할 수 있다. 예를 들면, 인 라인으로 가동하는 장치에서는, 도포 헤드(5)의 미조정이나 실린지 교환 등의 액재 충전 등의 간단한 유지보수 작업을 라인을 정지하지 않고 행할 수 있으므로, 생산성을 대폭 향상시킬 수 있다.

또한, 빔(4)은 공작물 반입 시에 조작자에 대한 보호 커버로서 기능하므로 조작자에 대한 안전성을 확보할 수 있다.

본 실시예에서, 빔(4)에 설치하는 도포 헤드(5)는, 에어 압력에 의해 저류 용기에 저류된 액재를 가압하여 노즐 선단으로부터 토출된 액재를 공작물에 부착시켜 도포하는 토출 장치(22), 저류 용기에 저류된 액재의 위쪽으로 저류 용기의 내벽면에 밀착되어 슬라이드 이동하는 플런저(plunger)를 급속히 이동 정지시킴으로써, 노즐 선단으로부터 액재를 이격시킨 후에 공작물 표면에 도포하는 비적 장치(23), 공작물 표면에 점형 또는 선형으로 묘화된 묘화 형상 중 적어도 높이, 폭, 단면적, 결손 중 어느 하나를 검사하는 검사 장치(24) 등으로 구성할 수 있다.

예를 들면, 도 7의 (a)에 나타낸 바와 같이, 우측에 배치된 빔(4a)의 우측면에 토출 장치(22)를 설치하고, 좌측에 배치된 빔(4b)의 좌측면에 비적 장치(23)를 구비함으로써, 도포 헤드(5)의 구성을 상이하도록 할 수도 있다.

그런데, 빔(4a, 4b)이 서로 대향하는 면(내측면), 즉 우측에 배치된 빔(4a)의 좌측면과 좌측에 배치된 빔(4b)의 우측면에 슬라이드 등의 가동 수단을 설치하고, 각각 1개의 도포 헤드(5)를 부가한 구성으로 할 수도 있다[도 8의 (a)의 검사 장치(24) 참조]. 내측면에 설치된 도포 헤드(5)라도, 하나라면, 정면 패널의 여닫이식 도어를 개방하여 유지보수를 행할 수 있으므로, 유지보수성을 해치지 않기 때문이다(도 8의 (b) 참조). 여기서, 빔(4a)의 우측면에 복수의 토출 장치(22)를 배치하고, 또한 좌측면에 토출 장치용의 하나의 검사 장치(24)를 설치하고, 빔(4b)의 좌측면에 비적 장치(23)을 설치하고, 또한 우측면에 비적 장치용의 하나의 검사 장치(24)를 설치하는 구성이 바람직한 태양으로서 예시된다. 검사 장치(24)는, 1대로 선폭, 선높이, 단면적, 점 직경, 점 높이, 결손, 단선 등을 체크하는 것이 일반적인데, 이는 빔(4)의 내측면에 1대만 설치하는 구성이라도 충분한 효과를 기대할 수 있기 때문이다. 검사 장치(24)를 설치함으로써, 일련의 도포·묘화 작업 후에 빔(4)을 이동시켜서 검사하거나, 또는 도포·묘화 직후에 검사할 수 있게 된다.

[실시예 2]

본 실시예의 장치는, 도 9에 나타낸 바와 같이, 빔(4)이 단수이며, 빔(4)의 좌우 양쪽 면에 도포 헤드(5)를 구비한다.

<동작>

공작물 반입 시에는, 주 제어부(21)는 X축 슬라이더(3)를 가동하여, 빔(4)을 X축 슬라이드 베이스(2)의 우측단 또는 좌측단으로 이동시켜서, 테이블(1) 상에 빔(4)이 겹치지 않도록 한다. 빔(4)의 이동 완료 후, 반입출구(12)로부터 공작물 반송기(17)에 의해 공작물이 반입된다. 테이블(1) 상으로의 공작물 탑재가 완료되면, 주 제어부(21)는 X축 슬라이더(3) 및 Y축 슬라이더(6)를 가동하여, 도포 헤드(5)를 공작물의 원하는 위치에 배치하고, 도포 헤드(5)가 구비하는 Z축 이동 수단에 의해 도포 헤드(5)를 하강시키고, 공작물에 액재 도포를 행한다. 이 때, X축 슬라이더(3) 및 상기 Y축 슬라이더(6)를 적절하게 이동시켜서 원하는 형상으로 묘화한다.

도포 작업 종료 후, 주 제어부(21)는 X축 슬라이더(3)를 가동하여, 빔(4)을 X축 슬라이드 베이스(2)의 우측단 또는 좌측단으로 이동시켜서, 테이블(1) 상에 빔(4)이 겹치지 않도록 한다. 빔(4)의 이동 완료 후, 반입출구(12)로부터 공작물 반송기(17)가 공작물을 반출한다.

<유지보수>

도포 헤드(5)에 대한 유지보수 작업은, 빔(4)을 우측단 또는 좌측단으로 이동시키고, 박스(10)의 좌우의 측면을 개방하여 행한다.

우측면에 설치되는 도포 헤드(5e, 5f)를 유지보수하는 경우에는, X축 슬라이더(3)를 가동하여, 빔(4)을 X축 슬라이드 베이스(2)의 우측단으로 이동시킨 후, 우측면 패널(13)을 아래쪽으로 슬라이드하여 장치 우측면을 개방하여, 필요한 유지보수 작업을 행한다. 이 때, 우측 빔(4)은 X축 슬라이드 베이스(2)의 우측단에 치우쳐 있고, 개방된 장치 우측면으로부터 도포 헤드(5e 및 5f)가 용이하게 닿는 범위에 위치하므로 소모품 교환 등의 유지보수 작업을 용이하게 행할 수 있게 된다.

마찬가지로, 빔(4)의 좌측면에 설치되는 도포 헤드(5g, 5h)를 유지보수하는 경우에는, X축 슬라이더(3)를 가동하여, 빔(4)을 X축 슬라이드 베이스(2)의 좌측단으로 이동시킨 후, 좌측면 패널(14)을 아래쪽으로 슬라이드하여 장치 좌측면을 개방하여, 필요한 유지보수 작업을 행한다. 여기에서도, 빔(4)은 X축 슬라이드 베이스(2)의 좌측단에 치우쳐 있고, 개방된 장치 좌측면으로부터는, 도포 헤드(5g 및 5h)가 용이하게 닿는 범위에 위치하므로 소모품 교환 등의 유지보수 작업을 용이하게 행할 수 있다.

이와 같이, 공작물 반입 시의 빔(4)의 동작과 유지보수 시의 빔(4)의 동작은, X축 슬라이드 베이스(2)의 우측단 또는 좌측단에 빔(4)을 배치하는 점에서 공통이므로, 공작물 반입 시에 유지보수가 필요한 도포 헤드의 위치에 따라, 빔(4)을 슬라이드 베이스(2)의 우측단 또는 좌측단에 위치시켜서, 공작물 반송 대기 중에 우측면 패널(13) 또는 좌측면 패널(14)을 개방함으로써, 간단한 유지보수 작업을 행할 수 있다.

인 라인으로 가동하는 장치에서는, 예를 들면, 도포 헤드(5)로의 미조정, 실린지 교환 등의 액재 충전 등의 간단한 유지보수 작업을, 라인을 정지하지 않고 행함으로써 생산성을 향상시킬 수 있는 획기적인 효과는, 실시예 1과 동일하다.

본 실시예의 장치에서도, 빔(4)에 설치하는 도포 헤드(5)를, 토출 장치(22), 비적 장치(23), 검사 장치(24) 등으로 구성할 수 있다.

예를 들면, 도 7의 (b)에 나타낸 바와 같이, 빔(4)의 우측면에 토출 장치(22)를 설치하고, 좌측면에 비적 장치(23)을 설치시키는 등, 도포 헤드(5)의 구성을 상이하게 할 수도 있다.

또한, 토출 장치(22) 및 비적 장치(23)의 위치에 검사 장치(24)를 배치해도 된다.

본 발명의 용도는 그 폭이 넓으며, 평판형의 공작물로의 적용이 가능하며, 또한, 공작물 크기가 대형일수록 본 발명의 효과가 현저하게 나타난다. 예를 들면, 평판 패널 디스플레이 제조 공정에서의 이용이 가능하며, 공작물에 대한, 특히 액정 디스플레이 제조 공정, 플라즈마 디스플레이 제조 공정에 대한 응용이 가능하다.

1: 테이블
2: X축 슬라이드 베이스
3: X축 슬라이더
4: 빔(Y축 슬라이드 베이스)
5: 도포 헤드
6: Y축 슬라이더
10: 박스
11: 조작 패널
12: 반입출구
13: 우측면 패널
14: 좌측면 패널
15: 정면 패널
17: 공작물 반송기
19: 프레임
20: 통신용 소켓
21: 주 제어부
22: 토출 장치
23: 비적 장치
24: 검사 장치

Claims

공작물을 반입출하기 위한 반입출구(12)가 측면에 설치된 박스와, 상기 반입출구(12)를 향해 연장 설치된 빔과, 상기 빔의 연장 설치된 방향으로 이동 가능한 도포 헤드(5)와, 슬라이드 베이스 및 슬라이드 베이스 상을 이동 가능하게 설치되는 슬라이더를 구비하여 구성되며, 상기 빔을 평행 이동시키는 빔 이동 수단과, 상기 도포 헤드에 대향하여 설치된 공작물을 탑재하기 위한 테이블과, 이들 작동을 제어하는 제어부를 포함하고,
상기 박스 내에서, 상기 도포 헤드와 상기 테이블을 상대적으로 이동시켜서 상기 공작물 표면의 원하는 위치에 액재를 도포하는 액재 도포 장치로서,
상기 반입출구(12)는, 상기 슬라이드 베이스보다 높은 위치에 설치되어 있고,
상기 빔은, 상기 빔 이동 수단에 의해 상기 공작물의 반입출 시에 간섭하지 않는 위치에 이동 가능한,
액재 도포 장치.
제1항에 있어서,
상기 도포 헤드(5)는, 노즐 선단으로부터 토출된 액재를 상기 공작물에 부착시켜 도포하는 토출 장치(22), 및/또는, 노즐 선단으로부터 액재를 이격시킨 후에 상기 공작물 표면에 도포하는 비적 장치(23), 및/또는, 공작물 표면에 점형 또는 선형으로 묘화된 묘화 형상 중 적어도 높이, 폭, 단면적, 결손 중 어느 하나를 검사하는 검사 장치(24)로 구성되는, 액재 도포 장치.
제1항 또는 제2항에 있어서,
상기 박스는, 상기 박스의 반입출구(12)가 설치된 측면과 인접하는 좌우의 측면에 설치된 도포 헤드(5)를 유지보수하기 위한 개폐구를 가지고,
상기 빔은, 상기 빔 이동 수단에 의해 상기 개폐구의 근방으로 이동 가능한, 액재 도포 장치.
제3항에 있어서,
상기 빔은 단수(單數)이며, 상기 도포 헤드(5)는, 상기 빔의 길이 방향의 좌우 양쪽 면에 설치되는, 액재 도포 장치.
제4항에 있어서,
상기 빔의 길이 방향의 일측면에 상기 비적 장치(23)를 설치하고, 다른 측면에 토출 장치(22)를 설치하는, 액재 도포 장치.
제4항에 있어서,
상기 빔은 양쪽 면에 각각 복수개의 도포 헤드(5)를 구비하는, 액재 도포 장치.
제3항에 있어서,
상기 박스는, 상기 반입출구(12)가 설치된 측면과 인접하는 좌우의 측면에 각각 개폐구를 가지고,
상기 빔은, 평행하게 설치된 제1 빔과 제2 빔으로 구성되고,
상기 도포 헤드(5)는, 각각의 상기 빔의 길이 방향의 측면이면서, 상기 개폐구에 가까운 쪽의 측면에 각각 설치되는, 액재 도포 장치.
제7항에 있어서,
상기 제1 빔 또는 상기 제2 빔에 상기 비적 장치(23)를 설치하고, 다른 빔에 상기 토출 장치(22)를 설치하는, 액재 도포 장치.
제7항에 있어서,
상기 빔은, 동일 측면에 각각 복수개의 도포 헤드(5)를 구비하는, 액재 도포 장치.
제7항에 있어서,
상기 제1 빔 및 상기 제2 빔은, 내측면에 각각 검사 장치(24)를 1개 구비하는, 액재 도포 장치.
제7항에 있어서,
상기 제1 빔 및 상기 제2 빔은, 상기 빔 이동 수단에 의해 각각 가동 가능한, 액재 도포 장치.
제1항 또는 제2항에 있어서,
상기 빔 이동 수단은, 공작물 테이블을 사이에 두고 평행하게 설치되는 한쌍의 슬라이드 베이스와,
상기 슬라이드 베이스 상을 이동 가능하게 설치되어 있고, 상기 빔을 지지하는 슬라이더
를 구비하여 구성되는, 액재 도포 장치.
제4항에 있어서,
상기 빔 이동 수단은, 공작물 테이블을 사이에 두고 평행하게 설치되는 한쌍의 슬라이드 베이스와,
상기 슬라이드 베이스 상을 이동 가능하게 설치되어 있고, 상기 빔을 지지하는 슬라이더
를 구비하여 구성되는, 액재 도포 장치.
제7항에 있어서,
상기 빔 이동 수단은, 공작물 테이블을 사이에 두고 평행하게 설치되는 한쌍의 슬라이드 베이스와,
상기 슬라이드 베이스 상을 이동 가능하게 설치되어 있고, 상기 빔을 지지하는 슬라이더
를 구비하여 구성되는, 액재 도포 장치.
제1항 또는 제2항에 있어서,
상기 박스에는 조작 패널이 착탈될 수 있도록 설치되어 있고, 무선 네트워크를 통하여, 분리된 조작 패널로부터 상기 제어부를 조작 가능한, 액재 도포 장치.
제1항 또는 제2항에 있어서,
상기 박스는 통신용 소켓이 설치되어 있고, 유선 및/또는 무선 네트워크를 통하여 외부 단말기로부터 상기 제어부를 조작 가능한, 액재 도포 장치.