JP5578319B2 - 研磨液供給装置及びロッドレンズアレイの製造方法 - Google Patents
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研磨装置の回転バフに研磨液を供給する研磨液供給装置であって、
前記研磨液を収容する研磨液容器と、
前記研磨液を前記回転バフに向けて吐出する吐出部と、
前記研磨液容器と前記吐出部とを流体連通させるチューブと、
前記研磨液容器から前記吐出部まで前記チューブを通して前記研磨液を搬送するポンプと、を備え、
前記ポンプが、所定インターバルで、前記研磨液を前記吐出部から吐出させるように作動され、
前記ポンプの作動中は、前記回転バフの回転速度が低下し、
前記回転バフが上下方向に移動可能に構成され、
前記ポンプ作動中には、前記上下方向の移動速度が上昇する、
ことを特徴とする研磨液供給装置が提供される。
このような構成によれば、確実に研磨液を均一に回転バフに供給することができる。
前記吐出部は、
基端側に配置され前記チューブと接続された金属管と、
先端側に配置され前記研磨液の吐出口を構成するチューブ製の先端部と、
前記金属管と前記先端部とを連結するゴム製の連結部とから構成され、
前記先端部の先端が、常時、前記回転バフに接触するように配置されている。
円柱状のロッドレンズが2枚の基板の間に複数本配列されたロッドレンズアレイの製造方法であって、
前記ロッドレンズアレイを、円柱状のロッドレンズの軸方向端面が側方を向いた状態で経路に沿って搬送する搬送工程と、
該経路に沿って搬送される前記ロッドレンズアレイの端面に接するように前記経路を挟んで対向した対として配置された回転バフにより、前記端面を研磨する研磨工程と、 前記回転バフに研磨液を吐出する研磨液供給工程と、を備え、
前記研磨工程において、前記回転バフが上下方向に移動され、
前記研磨液供給工程において、前記回転バフが、前記研磨工程における上下方向の移動速度よりも早い速度で上下方向に移動する、
ことを特徴とするロッドレンズアレイの製造方法が提供される。
本発明の他の好ましい態様によれば、
前記回転バフの回転軸が、前記経路に沿って搬送されるロッドレンズアレイの搬送方向に沿って、鉛直線から10ないし45度傾斜している。
本発明の他の好ましい態様によれば、
前記研磨液供給工程中は、前記回転バフの回転速度が低下する。
本発明の他の好ましい態様によれば、
前記研磨液供給工程において、前記回転バフの上方に向いた側の外周面に前記研磨液が供給される。
先ず、本発明の好ましい実施形態の研磨液供給装置が設けられる研磨装置6の構成について説明する。この研磨装置6は、研磨液供給装置に関連する構成以外は、特許文献1(特開2007−181911号公報)に記載された研磨装置とほぼ同一の構成を備えている。
フエルトとしては、プレスフエルトが好ましく、羊毛製の他にも化学繊維フエルト、耐熱繊維フエルト、ニードルフエルト、樹脂加工フエルト、成型フエルト等が使用可能である。円筒状に加工したウレタンスポンジも回転バフとして使用できる。
なお、上下動装置による回転駆動装置18の上下動、および回転駆動装置18の回転駆動は、図示しない制御装置によって制御される。
珪石微粉、アルミナ、酸化クロム、酸化鉄などの砥粒を研磨剤として、ステアリン酸、牛脂、パラフィン、金属石けん、界面活性剤などの媒体に配合したものが研磨液として使用される。例えば、粒径0.3ないし1μm程度のアルミナ砥粒を含む研磨液(商品名バイカロックス)が使用される。
このような研磨液が、研磨作業中、後述する研磨液供給装置によって、バフ本体12aに、所定のインターバルで供給される。
図4は、本発明の好ましい実施形態の研磨液供給装置30の構成を示す模式図である。
チューブポンプ44は、チューブ38がローラで周期的に押圧して研磨液を圧送する一般的な多連式チューブポンプである。
チューブポンプ44のローラヘッド45には、10本のチューブ38が掛止され、ローラヘッド45が回転すると各チューブに同量の研磨液が流れるようになっている。
吐出部36は、先端側が2つに分岐し、対となったバフ本体12aのそれぞれに向けて研磨液を吐出することができるように構成されている。以下、その構成を詳述する。
図5に示されているように、吐出部36は、チューブ38の先端に接続された二口ノズル46を備えている。二口ノズル46は、下流側が2つに分岐しているSUS製の中空部材である。
二口ノズル46の分岐した2つの先端には、シリコンゴム製の連結チューブ48を介してテフロン(登録商標)チューブ50が接続されている。テフロン(登録商標)チューブ50の先端が、研磨液の吐出口となる。
このように吐出部36において、下流側の部材の内径を上流側の部材の内径より小さく設定することによって、吐出部36を通過する研磨液の圧力が上昇して、研磨液を均一に吐出することが可能となる。
上述したように、回転バフ12は、搬送経路Pに沿った方向に鉛直線に対して約15度、傾斜するように配置されている。図6に示されているように、吐出部36は、このように傾斜して配置された回転バフ12のバフ本体12aの上方を向いた側の外周面の上方に配置され、バフ本体12aの上方を向いた側の外周面に上方から研磨液を供給することができるように構成されている。
本実施形態の研磨液供給装置30は、研磨装置6に設けられ、所定インターバルで研磨液をバフ本体12aに供給するものである。研磨液の供給中は、ロッドレンズアレイ4の研磨作業は中止される。
8 搬送機構
10 研磨機構
12 回転バフ
30 研磨液供給装置
36 吐出部
44 チューブポンプ
Claims (6)
- 研磨装置の回転バフに研磨液を供給する研磨液供給装置であって、
前記研磨液を収容する研磨液容器と、
前記研磨液を前記回転バフに向けて吐出する吐出部と、
前記研磨液容器と前記吐出部とを流体連通させるチューブと、
前記研磨液容器から前記吐出部まで前記チューブを通して前記研磨液を搬送するポンプと、を備え、
前記ポンプが、所定インターバルで、前記研磨液を前記吐出部から吐出させるように作動され、
前記ポンプの作動中は、前記回転バフの回転速度が低下し、
前記回転バフが上下方向に移動可能に構成され、
前記ポンプ作動中には、前記上下方向の移動速度が上昇する、
ことを特徴とする研磨液供給装置。 - 前記吐出部は、
基端側に配置され前記チューブと接続された金属管と、
先端側に配置され前記研磨液の吐出口を構成するチューブ製の先端部と、
前記金属管と前記先端部とを連結するゴム製の連結部とから構成され、
前記先端部の先端が、常時、前記回転バフに接触するように配置されている、
請求項1に記載の研磨液供給装置。 - 円柱状のロッドレンズが2枚の基板の間に複数本配列されたロッドレンズアレイの製造方法であって、
前記ロッドレンズアレイを、円柱状のロッドレンズの軸方向端面が側方を向いた状態で経路に沿って搬送する搬送工程と、
該経路に沿って搬送される前記ロッドレンズアレイの端面に接するように前記経路を挟んで対向した対として配置された回転バフにより、前記端面を研磨する研磨工程と、 前記回転バフに研磨液を吐出する研磨液供給工程と、を備え、
前記研磨工程において、前記回転バフが上下方向に移動され、
前記研磨液供給工程において、前記回転バフが、前記研磨工程における上下方向の移動速度よりも早い速度で上下方向に移動する、
ことを特徴とするロッドレンズアレイの製造方法。 - 前記回転バフの回転軸が、前記経路に沿って搬送されるロッドレンズアレイの搬送方向に沿って、鉛直線から10ないし45度傾斜している、
ことを特徴とする請求項3に記載のロッドレンズアレイの製造方法。 - 前記研磨液供給工程中は、前記回転バフの回転速度が低下する、
ことを特徴とする請求項3または4に記載のロッドレンズアレイの製造方法。 - 前記研磨液供給工程において、前記回転バフの上方に向いた側の外周面に前記研磨液が供給される、
ことを特徴とする請求項3ないし5のいずれか1項に記載のロッドレンズアレイの製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2010151200A JP5578319B2 (ja) | 2010-07-01 | 2010-07-01 | 研磨液供給装置及びロッドレンズアレイの製造方法 |
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JP2010151200A JP5578319B2 (ja) | 2010-07-01 | 2010-07-01 | 研磨液供給装置及びロッドレンズアレイの製造方法 |
Publications (3)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2012011512A JP2012011512A (ja) | 2012-01-19 |
JP2012011512A5 JP2012011512A5 (ja) | 2013-08-01 |
JP5578319B2 true JP5578319B2 (ja) | 2014-08-27 |
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Country | Link |
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JP (1) | JP5578319B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN113894682B (zh) * | 2021-11-03 | 2022-12-02 | 江苏集萃华科智能装备科技有限公司 | 一种环保型物理抛光装置及其方法 |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS62130178A (ja) * | 1985-11-28 | 1987-06-12 | Kyocera Corp | バフ研磨盤 |
JP5021996B2 (ja) * | 2005-12-08 | 2012-09-12 | 三菱レイヨン株式会社 | 端面研磨装置および端面研磨方法 |
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Publication number | Publication date |
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JP2012011512A (ja) | 2012-01-19 |
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A977 | Report on retrieval |
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A131 | Notification of reasons for refusal |
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|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
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