JP2012011512A5 - 研磨液供給装置及びロッドレンズアレイの製造方法 - Google Patents
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Description
本発明によれば、円柱状のロッドレンズが2枚の基板の間に複数本配列されたロッドレンズアレイの製造方法であって、前記ロッドレンズアレイを、円柱状のロッドレンズの軸方向端面が側方を向いた状態で経路に沿って搬送する搬送工程と、 該経路に沿って搬送される前記ロッドレンズアレイの端面に接するように前記経路を挟んで対向した対として配置された回転バフにより、前記端面を研磨する研磨工程と、前記回転バフに研磨液を吐出する研磨液供給工程と、を備えることを特徴とする、ロッドレンズアレイの製造方法が提供される。
本発明の他の好ましい態様によれば、前記回転バフの回転軸が、前記経路に沿って搬送されるロッドレンズアレイの搬送方向に沿って、鉛直線から10ないし45度傾斜している。
本発明の他の好ましい態様によれば、前記研磨液供給工程中は、前記回転バフの回転速度が低下する。
本発明の他の好ましい態様によれば、前記研磨工程において、前記回転バフが上下方向に移動され、前記研磨液供給工程において、前記回転バフが前記研磨工程における上下方向の移動速度よりも早い速度で上下方向に移動する。
本発明の他の好ましい態様によれば、前記研磨液供給工程において、前記回転バフの上方に向いた側の外周面に前記研磨液が供給される。
本発明の他の好ましい態様によれば、前記回転バフの回転軸が、前記経路に沿って搬送されるロッドレンズアレイの搬送方向に沿って、鉛直線から10ないし45度傾斜している。
本発明の他の好ましい態様によれば、前記研磨液供給工程中は、前記回転バフの回転速度が低下する。
本発明の他の好ましい態様によれば、前記研磨工程において、前記回転バフが上下方向に移動され、前記研磨液供給工程において、前記回転バフが前記研磨工程における上下方向の移動速度よりも早い速度で上下方向に移動する。
本発明の他の好ましい態様によれば、前記研磨液供給工程において、前記回転バフの上方に向いた側の外周面に前記研磨液が供給される。
このような構成によれば、研磨液を効率的に回転バフに付着させることができ、研磨対象のロッドレンズの端面にキズが入ったりすることなく、ロッドレンズアレイの研磨を行うことができる。
Claims (8)
- 研磨装置の回転バフに研磨液を供給する研磨液供給装置であって、
前記研磨液を収容する研磨液容器と、
前記研磨液を前記回転バフに向けて吐出する吐出部と、
前記研磨液容器と前記吐出部とを流体連通させるチューブと、
前記研磨液容器から前記吐出部まで前記チューブを通して前記研磨液を搬送するポンプとを備え、
前記ポンプが、所定インターバルで、前記研磨液を前記吐出部から吐出させるように作動され、
前記ポンプの作動中は、前記回転バフの回転速度が低下する、
ことを特徴とする研磨液供給装置。 - 前記吐出部は、
基端側に配置され前記チューブと接続された金属管と、
先端側に配置され前記研磨液の吐出口を構成するチューブ製の先端部と、
前記金属管と前記先端部とを連結するゴム製の連結部とから構成される、
前記先端部の先端が、常時、前記回転バフに接触するように配置されている、
請求項1に記載の研磨液供給装置。 - 前記回転バフが上下方向に移動可能に構成され、
前記ポンプ作動中には、該上下方向の移動速度が上昇する、
請求項1または2に記載の研磨液供給装置。 - 円柱状のロッドレンズが2枚の基板の間に複数本配列されたロッドレンズアレイの製造方法であって、
前記ロッドレンズアレイを、円柱状のロッドレンズの軸方向端面が側方を向いた状態で経路に沿って搬送する搬送工程と、
該経路に沿って搬送される前記ロッドレンズアレイの端面に接するように前記経路を挟んで対向した対として配置された回転バフにより、前記端面を研磨する研磨工程と、
前記回転バフに研磨液を吐出する研磨液供給工程と、を備えることを特徴とする、ロッドレンズアレイの製造方法。 - 前記回転バフの回転軸が、前記経路に沿って搬送されるロッドレンズアレイの搬送方向に沿って、鉛直線から10ないし45度傾斜していることを特徴とする、請求項4に記載のロッドレンズアレイの製造方法。
- 前記研磨液供給工程中は、前記回転バフの回転速度が低下することを特徴とする、請求項4または5のいずれかにロッドレンズアレイの製造方法。
- 前記研磨工程において、前記回転バフが上下方向に移動され、
前記研磨液供給工程において、前記回転バフが前記研磨工程における上下方向の移動速度よりも早い速度で上下方向に移動することを特徴とする、
請求項請求項4乃至6のいずれか一項に記載のロッドレンズアレイの製造方法。 - 前記研磨液供給工程において、前記回転バフの上方に向いた側の外周面に前記研磨液が供給されることを特徴とする、請求項4乃至7のいずれか一項に記載のロッドレンズアレイの製造方法。
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JP2010151200A JP5578319B2 (ja) | 2010-07-01 | 2010-07-01 | 研磨液供給装置及びロッドレンズアレイの製造方法 |
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JP2010151200A JP5578319B2 (ja) | 2010-07-01 | 2010-07-01 | 研磨液供給装置及びロッドレンズアレイの製造方法 |
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JP2012011512A JP2012011512A (ja) | 2012-01-19 |
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CN113894682B (zh) * | 2021-11-03 | 2022-12-02 | 江苏集萃华科智能装备科技有限公司 | 一种环保型物理抛光装置及其方法 |
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JP5021996B2 (ja) * | 2005-12-08 | 2012-09-12 | 三菱レイヨン株式会社 | 端面研磨装置および端面研磨方法 |
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2010
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