JP2008288599A - 研磨パッドを使用して基板のノッチを研磨する方法及び装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】基板の縁部においてノッチの全ての部分を洗浄または研磨するための効率的な方法および装置が要求されている。研磨テープを使用して基板のノッチを研磨する方法及び装置が提供される。
【解決手段】一部の実施形態において、基板のノッチ116に研磨テープ318を付けるように適合された研磨ヘッドが設けられ、上記研磨ヘッドは、圧力制御媒体で充てんされるように適合された空洞と、ノッチの形状に対応する形状を有した先端領域とを含み、研磨パッド316は、研磨テープ318に接触して、ノッチ116に研磨テープ318を押し付けるように適合される。多数の他の態様が提供される。
【選択図】図10A
【解決手段】一部の実施形態において、基板のノッチ116に研磨テープ318を付けるように適合された研磨ヘッドが設けられ、上記研磨ヘッドは、圧力制御媒体で充てんされるように適合された空洞と、ノッチの形状に対応する形状を有した先端領域とを含み、研磨パッド316は、研磨テープ318に接触して、ノッチ116に研磨テープ318を押し付けるように適合される。多数の他の態様が提供される。
【選択図】図10A
Description
[0001]本出願は、下記の米国出願に対して優先権を主張しており、それらの出願のそれぞれは、その全体が参照によって本明細書に組み込まれる。
発明の名称は、「膨張式研磨ホイールを使用して基板のノッチを研磨する方法及び装置」であり、2007年5月21日付で出願された米国仮特許出願番号第60/939,351号(代理人整理番号:10674/L);
発明の名称は、「成形されたバッキングパッドを使用して基板のノッチを研磨する方法及び装置」であり、2007年5月21日付で出願された米国仮特許出願番号第60/939,219号(代理人整理番号:11483/L);及び、
発明の名称は、「研磨ホイールを使用して基板のノッチを研磨する装置及び方法」であり、2008年4月21日付で出願された米国仮特許出願番号第61/046,799号(代理人整理番号:11540/L)。
発明の名称は、「成形されたバッキングパッドを使用して基板のノッチを研磨する方法及び装置」であり、2007年5月21日付で出願された米国仮特許出願番号第60/939,219号(代理人整理番号:11483/L);及び、
発明の名称は、「研磨ホイールを使用して基板のノッチを研磨する装置及び方法」であり、2008年4月21日付で出願された米国仮特許出願番号第61/046,799号(代理人整理番号:11540/L)。
[0002]本出願は、同一出願人による、共に係属中である以下の米国特許出願に関連しており、それらの出願のそれぞれは、全ての目的で、その全体が参照によって本明細書に組み込まれる。
[0003]発明の名称は、「基板を処理する方法及び装置」であり、2005年12月9日付で出願された米国特許出願番号第11/299,295号(代理人整理番号:10121/PPC/CMP/CKIM);
[0004]発明の名称は、「基板を処理する方法及び装置」であり、2005年12月9日付で出願された米国特許出願番号第11/298,555号(代理人整理番号:10414/PPC/CMP/CKIM);
[0005]発明の名称は、「基板ノッチの中心を見つける方法及び装置」であり、2007年5月21日付で出願された米国特許出願番号第60/939,353号(代理人整理番号:11244/L);
[0006]発明の名称は、「エピタキシャル膜の基板斜面及び縁部の研磨プロファイルを制御する方法及び装置」であり、2007年5月21日付で出願された米国特許出願番号第60/939,343号(代理人整理番号:11417/L);
[0007]発明の名称は、「バッキングパッドを使用して基板の両面の縁部から膜及び薄片を除去する方法及び装置」であり、2007年5月21日付で出願された米国特許出願番号第60/939,342号(代理人整理番号:11564/L);
[0008]発明の名称は、「効率的なテープのルーティング配置を有する斜面研磨ヘッドを使用する方法及び装置」であり、2007年5月21日付で出願された米国特許出願番号第60/939,350号(代理人整理番号:11565/L);
[0009]発明の名称は、「基板研磨のためにローリングバッキングパッドを使用する方法及び装置」であり、2007年5月21日付で出願された米国特許出願番号第60/939,344号(代理人整理番号:11566/L);
[0010]発明の名称は、「研磨アームを使用して基板の縁部を研磨する方法及び装置」であり、2007年5月21日付で出願された米国特許出願番号第60/939,333号(代理人整理番号:11567/L);
[0011]発明の名称は、「基板縁部のプロファイルを識別し、その識別された縁部のプロファイルによって基板の処理を調整する方法及び装置」であり、2007年5月21日付で出願された米国特許出願番号第60/939,212号(代理人整理番号:11695/L);
[0012]発明の名称は、「半導体の製造における高性能の基板斜面及び縁部の研磨のための方法及び装置」であり、2007年5月21日付で出願された米国特許出願番号第60/939,337号(代理人整理番号:11809/L);
[0013]発明の名称は、「基板の振動により基板のノッチを研磨する方法及び装置」であり、2007年5月21日付で出願された米国特許出願番号第60/939,228号(代理人整理番号:11952/L);及び、
[0014]発明の名称は、「基板の縁部除外領域の大きさを制御する方法及び装置」であり、2007年5月21日付で出願された米国特許出願番号第60/939,209号(代理人整理番号:11987/L)。
[0004]発明の名称は、「基板を処理する方法及び装置」であり、2005年12月9日付で出願された米国特許出願番号第11/298,555号(代理人整理番号:10414/PPC/CMP/CKIM);
[0005]発明の名称は、「基板ノッチの中心を見つける方法及び装置」であり、2007年5月21日付で出願された米国特許出願番号第60/939,353号(代理人整理番号:11244/L);
[0006]発明の名称は、「エピタキシャル膜の基板斜面及び縁部の研磨プロファイルを制御する方法及び装置」であり、2007年5月21日付で出願された米国特許出願番号第60/939,343号(代理人整理番号:11417/L);
[0007]発明の名称は、「バッキングパッドを使用して基板の両面の縁部から膜及び薄片を除去する方法及び装置」であり、2007年5月21日付で出願された米国特許出願番号第60/939,342号(代理人整理番号:11564/L);
[0008]発明の名称は、「効率的なテープのルーティング配置を有する斜面研磨ヘッドを使用する方法及び装置」であり、2007年5月21日付で出願された米国特許出願番号第60/939,350号(代理人整理番号:11565/L);
[0009]発明の名称は、「基板研磨のためにローリングバッキングパッドを使用する方法及び装置」であり、2007年5月21日付で出願された米国特許出願番号第60/939,344号(代理人整理番号:11566/L);
[0010]発明の名称は、「研磨アームを使用して基板の縁部を研磨する方法及び装置」であり、2007年5月21日付で出願された米国特許出願番号第60/939,333号(代理人整理番号:11567/L);
[0011]発明の名称は、「基板縁部のプロファイルを識別し、その識別された縁部のプロファイルによって基板の処理を調整する方法及び装置」であり、2007年5月21日付で出願された米国特許出願番号第60/939,212号(代理人整理番号:11695/L);
[0012]発明の名称は、「半導体の製造における高性能の基板斜面及び縁部の研磨のための方法及び装置」であり、2007年5月21日付で出願された米国特許出願番号第60/939,337号(代理人整理番号:11809/L);
[0013]発明の名称は、「基板の振動により基板のノッチを研磨する方法及び装置」であり、2007年5月21日付で出願された米国特許出願番号第60/939,228号(代理人整理番号:11952/L);及び、
[0014]発明の名称は、「基板の縁部除外領域の大きさを制御する方法及び装置」であり、2007年5月21日付で出願された米国特許出願番号第60/939,209号(代理人整理番号:11987/L)。
[0015]本発明は、一般的に、基板の処理に関し、より詳細には、基板の縁部においてノッチを洗浄する方法及び装置に関する。
[0016]ノッチを洗浄するために、研磨用フィルムまたはテープを基板の縁部においてノッチに接触させる従来のシステムは、研磨用テープをノッチの全ての部分に接触させることができないときがある。その結果、このような従来のシステムは、ノッチの全ての部分を洗浄または研磨することができないおそれがある。したがって、基板の縁部においてノッチの全ての部分を洗浄または研磨するための効率的な方法及び装置が要求されている。
[0017]本発明の一態様において、研磨テープを使用して基板のノッチを研磨するための装置が提供される。この装置は、基板のノッチに研磨テープを付けるように適合された研磨ヘッドを備え、研磨ヘッドは、圧力制御媒体で充てんされるように適合された空洞と、ノッチの形状に対応する形状を有した先端領域とを有する研磨パッドを含み、研磨パッドは、研磨テープに接触して、ノッチに研磨テープを押し付けるように適合される。
[0018]本発明の他の態様において、研磨テープを使用して基板のノッチを研磨する装置が提供される。この装置は、基板のノッチに研磨テープを付けるように適合された研磨ヘッドを備え、研磨ヘッドは、ノッチの形状に対応する形状を有した先端領域を有し、研磨テープに接触して、ノッチに研磨テープを押し付けるように適合された研磨パッドと、研磨テープが、研磨パッドとノッチとの間から抜け出ることを防止するように適合された1つ以上のガイドとを備える。
[0019]本発明のさらに他の態様において、研磨テープを使用して基板のノッチを研磨する装置が提供される。この装置は、基板のノッチに研磨テープを付けるように適合された研磨ヘッドを備え、研磨ヘッドは、研磨テープを案内する1つ以上のスロットを含む研磨パッドと、研磨パッドに埋め込まれ、研磨テープに接触して、ノッチに研磨テープを押し付けるように適合されたノッチ研磨パッドとを含む。
[0020]本発明の更なる特徴及び態様は、後述する詳細な説明、添付の特許請求の範囲及び添付の図面に基づいてより明らかになる。
[0041]半導体の処理に使用される基板は、典型的に後続の処理ステップの前に除去されなければならない膜及び/または表面欠陷を有することが多い。一部の場合において、このような膜及び欠陷は、その上に形成されたノッチを含めて、基板の縁部に生じることがある。
[0042]本発明は、多数の基板から発見される多様な形態のノッチに効率的に適合化されて、基板のノッチ領域の全ての部分に対して研磨テープまたはフィルムとの良好な接触を保証し、基板ノッチにおいて薄膜及び表面欠陷を除去する装置及び方法を提供する。
[0043]1つ以上の実施形態において、研磨ホイールまたはパッドが提供されることがある。研磨ホイールまたはパッドは、基板ノッチに移動する研磨テープを押し付けるように適合することができる。研磨ホイールまたはパッドは、基板ノッチの形状に実質的に合致するような先端領域を含むことができる。
[0044]一部の実施形態では、研磨ホイールまたはパッドは、中空であり、弾性のある材料で充てんされていてもよく、または、全体が弾性のある材料で作製されていてもよい。一部の実施形態において、研磨パッドは、例えば、PTFE、PEEK、デルリン(Delrin)、セラミックスまたはステンレス鋼から作製されていてもよい。また、その他の適合な材料が使用されることもある。一部の実施形態では、例えば、研磨パッドは、約60〜70ショアAデュロメータの硬度を有することもできる。それより大きいか、より小さい硬度を有する材料が使用されることもある。代替の実施形態において、研磨ホイールまたはパッドは、中空であり、圧力制御流体で充てんされていて、基板ノッチの全ての部分に対して研磨テープを効率的に押し付けることもできる。
[0045]図1をみると、基板100は、2個の主面102、102’、及び縁部104を含むことができる。基板100のそれぞれの主面102、102’は、デバイス領域106、106’及び除外(exclusion)領域108、108’を含むことができる(しかしながら、典型的に、2個の主面102、102’のうちの1つだけが、デバイス領域及び除外領域を含むようになる)。除外領域108、108’は、デバイス領域106、106’と縁部104との間のバッファとして機能することもできる。基板100の縁部104は、外縁部110及び斜面112、114を含むことができる。斜面112、114は、2個の主面102、102’の除外領域108、108’と外縁部110との間に位置することができる。ノッチ116は、基板100の縁部104に位置して、多様な処理ステップ(例えば、リソグラフィー、堆積、エッチング、洗浄等)の間に、基板100を整列/位置決めすることに使用することができる。本発明は、ノッチ116を研磨するように適合されている。
[0046]図2は、主面102、102’、縁部104、及び/またはノッチ116を含む、基板100の一部を研磨するシステム200の例示的な実施形態の概略的な平面図である。図2のシステム200は、3個の研磨装置202を含み、それぞれは、研磨ヘッド204を含む。しかし、任意の個数及び任意の種類の装置202/ヘッド204が、任意の実行可能な組み合わせで使用されていてもよい。また、そのようなマルチヘッドの実施形態において、それぞれのヘッド204は、異なる構成であったり、異なる種類の研磨テープ(例えば、異なる研磨材、材料、張力、圧力等)を使用して、基板ノッチ116に接触し、研磨することができる。任意の個数のヘッド204が、同時に且つ個別的に、及び/または任意の順序で使用されてもよい。ヘッド204は、多様な位置及び多様な配向(例えば、基板ノッチ116に整列されるか、基板ノッチ116に垂直であるか、基板ノッチ116に対して角度を有する等)に配置されて、一部の実施形態(図3)では、研磨テープがパッドによって押し付けられ、基板100のノッチ116の多様な部分を研磨することができる。
[0047]一部の実施形態において、基板ノッチ116の多くの部分を研磨するために、1つ以上のヘッド204は、基板ノッチ116に沿うか、或いはその周りで振動または移動(例えば、基板100の接線の軸を中心に、及び/または基板100に対して円周方向に、角をなしながら平行移動)するように適合されることができる。一部の実施形態において、1つ以上のヘッド204は、多様な位置の間で連続的に或いは断続的に振動するように適合されていてもよい。別の方法では、基板100は回転することなく、1つ以上のヘッド204が固定されたり、及び/または調整されるだけであってもよい。他の実施形態において、1つ以上のヘッド204は、基板100の周りの円周を回転するだけでなく、(前述したように)振動しながら、基板100が固定されて、保持されることもできる。このような運動は、後述する、プログラミングされたり、或いはユーザが操作するコントローラ205の指示下で行われることができる。異なる基板100または異なる種類の基板100に対して、異なるヘッド204が使用されることもある。
[0048]前述したように、システム200は、さらに、基板100を回転させることに使用された駆動装置、及び/または基板ノッチ116に対して研磨パッド(図3)を押し付けることに使用されたアクチュエータを制御することができるコントローラ205(例えば、プログラミングされたコンピューター、プログラミングされたプロセッサ、マイクロコントローラ、ゲートアレイ、論理回路、埋め込まれたリアルタイムプロセッサ等)を含んでいてもよい。コントローラ205は、複数のアクチュエータのそれぞれに結合(例えば、電気的、機械的、空気圧で、又は水圧で、など)されていてもよい。同様に、コントローラ205は、基板100を回転(例えば、基板100を保持する真空チャックを回転)させたり、基板100に対して研磨パッドを押し付けるようにアクチュエータを動作させるために発揮されるエネルギーの量を表示する、1つ以上の駆動装置及び/またはアクチュエータからのフィードバック信号を受信するように適合されることもできる。このようなフィードバック信号が採用されたことにより、膜の特定の層がいつ除去されたのか、及び/または十分な量で研磨が行われたのかを判断することができる。
[0049]前述したように、基板研磨は、1つ以上の研磨装置202を使用して行うことができる。1つ以上の実施形態において、複数の研磨装置202が採用されて、それぞれの研磨装置202は、類似の、或いは異なる特徴及び/またはメカニズムを有することができる。後者の場合には、特定の動作のために特定の研磨装置202が採用されることがある。例えば、1つ以上の研磨装置202は、相対的に粗い研磨及び/または調整を行うように適合されながら、その一方で、1つ以上の他の研磨装置202は、相対的に細かい研磨及び/または調整を行うように適合されることができる。研磨装置202は、例えば、まず先に粗い研磨処理が行われて、必要に応じて、または研磨方法に従って、細かい研磨処理がその後に続けて行われるような順序で使用されることもできる。示されているように、複数の研磨装置202は、単一チャンバまたはモジュールに位置することができ、さらに、別の方法では、1つ以上の研磨装置202が、別個のチャンバまたはモジュールに位置することもできる。複数のチャンバが採用される場合は、チャンバ同士の間で基板を移動させるためにロボットまたは別の種類の移送メカニズムが採用されて、別個のチャンバにおける研磨装置202が、連続的にまたは他の方式で使用されることもできる。
[0050]図3は、基板ノッチ116を研磨する研磨装置300の第2の例示的な実施形態の概略的斜視図である。研磨装置300は、ペデスタル304に組み込むことのできる基板駆動装置302(例えば、サーボモータ、ギア、ベルト、チェーン等)を含むことができる。支持体306(例えば、真空チャック)は、基板駆動装置302の軸(図示せず)に結合(例えば、強固に)することができる。支持体306は、例えば、基板100を支持することができる。基板駆動装置302は、支持体306を介して、基板100の中心308または他の適切な軸を中心にして基板100を回転させることができる。基板駆動装置302は、例えば、基板100の角変位、角速度、及び/または角加速度を制御することができる、コントローラ205のような基板駆動装置制御ユニットに接続することができる。研磨装置300は、さらに、基板100の縁部に対してほぼ接線を有する水平面に整列されて、フレーム312により支持される研磨アーム310を含むことができる。フレーム312は、研磨ヘッド駆動装置309に対して、一端部において結合することができる。他の実施形態において、研磨アーム310は、例えば、垂直で、または水平面に対して角度を有しながら、異なるように整列されることもできる。研磨アーム310は、研磨ヘッド部314(「ヘッド」)を含むことができる。研磨ヘッド314は、バッキングまたは研磨パッド316を含んでいてもよい。研磨パッド316は、本明細書に示されているようにホイール状であってもよく、あるいは、図4に示されているように、研磨パッド416は、比較的または実質的に平面の形状であってもよい。その他の形状が使用されることもできる。研磨パッド316は、アクチュエータ(例えば、水圧アクチュエータ、空気圧アクチュエータ、サーボモータ等)(図示せず)により、基板100に向かって、または基板100から離れるように移動することができる。研磨テープ318は、研磨ヘッド314、及びガイドローラー320、322の周りを包み、研磨パッド316を越えて、スプール324、326の間で張力を受けることができる。スプール324、326は、スプール駆動装置328、330(例えば、サーボモータ)によってそれぞれ駆動されることができる。スプール駆動装置328、330は、基板ノッチ116を研磨するために、例えば、スプール324、326から研磨ヘッド314を越えて前進する研磨テープ318の量を精密に制御するように段階的に移動(index)したり、或いは連続的に移動することができる。
[0051]1つ以上の実施形態において、研磨テープ318の研磨構成要素は、ダイヤモンド、アルミニウム酸化物、シリコン酸化物、シリコン炭化物等のようなさまざまな異なる材料から作製することができる。また、他の材料が使用されていてもよい。一部の実施形態において、使用される研磨材は、例えば、約0.5ミクロン〜約3ミクロンの大きさに及ぶか、または0.1ミクロン〜10ミクロンの大きさに及ぶもの、若しくは、他のサイズのものが使用されることができる。約0.2インチ〜約1.5インチの範囲内の多様な幅の研磨テープ318が使用されることができ、或いは、別の幅の研磨テープが使用されることもできる。1つ以上の実施形態において、研磨テープ318は、約0.002〜約0.02インチの厚さであり、1〜5lbsの張力に耐えることができる。異なる厚さ及び張力強度を有するその他のテープが使用されることもある。スプール324、326は、約4インチの直径を有して、約5000インチの研磨テープ318を保持することができるか、または、約10インチの直径を有して、約35、000インチの研磨テープ318を保持することができる。異なる寸法のスプールが使用されることもできる。スプール324、326は、ナイロン、ポリウレタン、ポリビニルジフルオライド(PVDF)等のような材料から作製することができる。また、他の材料が使用されてもよい。
[0052]図4を見ると、図3に示された装置300の代替の実施形態が提供される。図3及び図4の相違は、図3に示されたホイール状の研磨パッド316と、図4に示された、実質的に平面である研磨パッド416とである。異なる研磨パッド316及び416に対しては、後でより詳しく説明することにする。
[0053]図5に関して、ノッチ116を含む基板100の一部が、実際の寸法に比例せず、概略的に図示されている。ノッチ116は、1つ以上のノッチサイド500を含むことができる。ノッチ116は、さらに、第1のノッチコーナーまたはノード502、及び第2のノッチコーナーまたはノード504を含むことができる。それぞれのノッチコーナー502、504は、ノッチサイド500と基板100の外周との交差点に位置することができる。ノッチ116は、また、1つ以上のノッチサイド500の交差点に位置したノッチ中心506を含むこともできる。ノッチの中心506は、処理中に基板100を整列するために使用されることができる。また、ノッチの深さ508が表示される。図面から明らかなように、ノッチ116は、ノッチサイド500とノッチ中心506とを通って、第1のノッチコーナー502から第2のノッチコーナー504まで追跡されるとき、曲率における大きな変化を呈することがある。このような理由から、ノッチ洗浄を向上するためには、研磨テープ318と上記のノッチ116の全ての領域との間で一貫した接触を維持することが有利である。
[0054]図6は、実際の寸法に比例しない、図3に示されたノッチ研磨装置300の実施形態の一部に対する概略的斜視図である。明瞭にするために、基板100、バッキングパッド316、研磨テープ318、及びスプール324、326のみが示されている。さらに、本明細書に示されたスプール324、326の位置は、図3に示されたノッチ研磨装置300の実施形態の場合とは異なることを指摘しなければならない。
[0055]しかし、スプール324、326の位置は、異なる方式で配置することができ、ノッチ116の研磨に大きな影響を及ぼさないこともある。また、本明細書に示されているように、研磨パッド316は、研磨パッド軸332が基板100に接線方向である軸を中心に自由に回転することができるような方式で、研磨ヘッド314または支持アーム310に組み込まれる研磨パッド軸332上で支持されることができる。研磨パッド軸332は、不図示の研磨パッド駆動装置(例えば、サーボモータ)により駆動することができる。研磨パッド軸332は、ステンレス鋼またはPEEKのような材料で作製することができる。その他の材料が使用されることもできる。一部の実施形態において、研磨パッド316は、中空であり、加圧可能な気体(例えば、空気、窒素、二酸化炭素等)または液体(例えば、水圧流体)、並びにその他の適切な流体で充てんすることができる。
[0056]一部の実施形態において、研磨パッド316は、例えば、ポリウレタンフォームまたはシリコーンゴムのような弾性材料で充てんすることができる。その他の適切な材料が使用されてもよい。いずれの場合であっても、研磨パッド316は、例えば、ポリウレタン、シリコーンゴムまたはバイトン(Viton)のような弾性材料で作製される外皮334(図7)を含むことができる。その他の適切な材料が使用されてもよい。図3に関して前述したように、研磨パッド316は、アクチュエータ(図示せず)により基板100の方に向かって移動するか、基板100から離れるように移動することができる。アクチュエータにより基板100の方に向かって移動するとき、研磨パッド316は、研磨テープ318をノッチ116内に押し付けて、研磨テープ318がノッチ116(図5)の全ての領域と接触することができるようにする。アクチュエータは、アクチュエータにより研磨パッド316に加えられる力または圧力を測定するためのアクチュエータ力センサー(図示せず)またはアクチュエータ圧力センサー(図示せず)を含んでいてもよい。アクチュエータは、また、アクチュエータ制御ユニット(図示せず)に結合されていてもよい。アクチュエータ制御ユニットは、アクチュエータにより研磨パッド316に加えられる力または圧力を表示するアクチュエータ力センサーまたはアクチュエータ圧力センサーからの信号を受信することができる。アクチュエータ制御ユニットは、さらに、この信号の関数として、アクチュエータにより加えられる力または圧力を調整することもできる。
[0057]図7は、研磨パッド軸332上で支持される、図6の研磨パッド316の実施形態の概略的な断面図である。研磨パッド軸332は、軸A−Aを中心に回転することができる。研磨パッド316は、研磨パッド軸332に固定して、或いは回転可能に組み込むことができる。研磨パッド316が気体または液体で充てんされた実施形態において、研磨パッド316及び研磨パッド軸332は、連結されて、それらの間にシールを形成することもできる。シールは、研磨パッド316の内部領域336が、例えば、漏出しや破裂することなく、約80lb/in2までの流体圧力に耐えることができるようにする。別の圧力が使用されることもできる。研磨パッド軸332は、加圧された液体またはガス貯蔵所(図示せず)から研磨パッド316の内部領域336まで通じられる流体チャネル338を含むことができる。圧力センサー(図示せず)は、内部領域336または流体チャネル338、或いは液体またはガス貯蔵所に設置することができる。圧力制御ユニット(図示せず)は、圧力センサー及び液体またはガス貯蔵所に電気的に連結されることができる。圧力制御ユニットは、液体またはガス貯蔵所の圧力、流体チャネル338の圧力、または研磨パッド316の内部領域336の圧力を表示する、圧力センサーからの信号を受信することができる。圧力制御ユニットは、この信号の関数として、このような領域の一部または全部の圧力を調整することができる。
[0058]一部の実施形態において、外皮334の下の研磨パッド316の一部は、隆起(ridge)領域340を含むことがある。隆起領域340は、後述する先端領域342(図8)を含んでいてもよい。隆起領域340は、研磨パッドの残りの部分及び先端領域342と比較するとき、実質的にリリーフを有する(in relief)(より薄い)。リリーフ部分は、研磨パッド316がノッチ116、とりわけノッチ116の第1及び第2のノード502、504によりよく合致されるようにすることができる。他の実施形態において、外皮334は、別の方式で研磨テープ318及びノッチ116に力を加えるために、隆起または他のプロファイル(図10B)を含むことができる。研磨テープ318は、スプール324、326の間で段階的に移動したり、或いは連続的に移動しながら、この隆起領域340の少なくとも一部にわたって移動することができる。
[0059]図8は、破線に囲まれて且つ図8と表示された図7の領域における、図7の研磨パッド316の拡大された概略的な断面図である。この図面から見られるように、研磨パッド316が基板100の方向に向かって移動するとき、研磨テープ318は、ノッチ116の形状に対応する形状を有していてもよい隆起領域340、特に隆起領域340の先端領域342によってノッチ116内に押し付けられることができる。また、先端領域342は、研磨テープ318と図5に示されたノッチ116の全ての部分との間の十分な接触を保証できる半径を有することができる。例えば、最小ノッチ半径r1が0.035インチであり、研磨テープ318の厚さtが約0.004インチであれば、研磨テープ318とノッチ116との間の十分な接触を保証するための先端領域342の最大半径r2は、約0.03インチである。この接触は、研磨テープ318がスプール324、326の間で段階的に移動するとき、基板ノッチ116を効率的に研磨することができるようにする。異なる先端領域の半径が使用されることもできる。
[0060]図9A及び図9Bを見ると、実際の寸法に比例しない、図3に示されたノッチ研磨装置300の実施形態の一部の概略的な斜視図が提供される。図6と同様、明瞭にするために、基板100、研磨ヘッド314、研磨パッド316、研磨テープ318、及びスプール324、326のみが示されている。また、図3に示された研磨装置300の実施形態とは異なり、図9A及び図9Bに示された研磨装置300の実施形態のスプール324、326は、研磨ヘッド314の一部としてみなすことができる。しかし、ノッチ研磨装置300が動作中に、他の位置のスプール324、326は使用されなくてもよい。また、図9A及び図9Bと関連して、研磨ヘッド314は、支持アーム310とフレーム312(図3を参照)を介して研磨ヘッド駆動装置309に連結されることができる。研磨ヘッド駆動装置309は、基板100の主面102、102’にほぼ直交する平面で、基板ノッチ116を中心に研磨ヘッド314及び研磨パッド316(そして、一部の実施形態では、スプール324、326)を回転させることができる。このような基板ノッチ116を中心にする研磨ヘッド314の回転は、基板100の主面102、102’に直交する平面で、研磨ヘッド314の垂直、水平及び回転変位の組み合わせを使用して達成することができる。また、基板ノッチ116に向かう方向に、そして、基板ノッチ116から離れる方向に研磨パッド316を移動させるために使用されるアクチュエータ(図示せず)が、研磨ヘッド314が回転中に、研磨パッド316を水平に位置させるために使用されていてもよい。前述した研磨ヘッド314の回転は、研磨装置300が、基板100の主面、すなわち上部及び下部の主面102、102’に隣接したノッチ116の一部を効率的に洗浄及び研磨することができるようにする。
[0061]具体的に、図9Aには、基板100の下部の主面102’に隣接したノッチ116の一部が洗浄及び研磨されるようにする位置内で回転する研磨ヘッド314が示されている。次に、図9Bには、基板100の上部の主面102に隣接したノッチ116の一部が洗浄及び研磨されるようにする位置内で回転する研磨ヘッド314が示されている。
[0062]図10Aは、本発明の研磨装置の実施形態の(必ずしも実際の寸法に比例するものではない)概略的な平面図である。研磨パッド316は、一対の支持ブロック900、902によって支持され得る研磨パッド軸332上に支持されることができる。本明細書に示されているように、一部の実施形態において、研磨パッド316は、例えば、図7及び図8に関して前述した研磨パッド316と比較して、異なるプロファイルを有することもできる。隆起領域を覆う外皮334の「突出した」部分により表示されているように、隆起領域は、図7及び図8に示されたリリーフ部分及び先端領域の代わりに、単に先端領域のみを含んでいてもよい。(研磨テープ318の長さがページ全体に拡張されるように断面で描写された)研磨テープ318は、研磨パッド316と基板100との間に介在され、研磨パッド316が、研磨テープ318をノッチ116内に及び/またはノッチ116に対して押し付けることができるようになる。支持ブロック900、902は、それぞれ、研磨テープ318が通ることのできるガイド904、906を有していてもよい。ガイド904、906は、研磨テープ318の側面移動(例えば、研磨パッド316の回転の平面に直交し、ページの平面内での移動)を防止することができ、それにより、研磨パッド316とノッチ116との間から研磨テープ318が滑って抜け出ることを防止することができる。そのような側面移動の防止は、それぞれ、ガイド904及び906の底部904a及び906aによって達成することができる。研磨テープ318の側面移動は、研磨テープ318と底部904a、906aのうちのいずれかとの接触により止めることができる。支持ブロック900、902は、金属、重合体材料、及び/または他の材料で作製することができるが、これらの材料は、研磨パッド軸332を保持するのに十分強く、所定の時間の間に好ましくない摩耗量を持続させることなく、研磨テープ318がガイド904、906の表面を通じて自由に移動可能となるように、十分滑らかに作製することができる。そのような所定の時間は、例えば、研磨テープ318の研磨表面上の研磨材の有効寿命であってもよい。
[0063]図10Bは、図10Aの研磨装置の他の実施形態を描写している。この実施形態において、ガイド904、906は、支持ブロック900、902内に形成されることの代わりに、支持ブロック900、902に取り付けることができる。さらに別の実施形態(図示せず)においては、ガイド904、906は、支持ブロック900、902から分離(例えば、その上に組み込まれるのではなく)されていてもよい。ガイド904及び906は、研磨テープ318が、研磨パッド316とノッチ116との間から抜け出ることを防止するのに有効な、適切な位置及び/または方向に組み込まれることができ、それにより、研磨パッド316が、ノッチ116と直接接触することを防止する。
[0064]図10A及び図10Bに描写されたガイド904、906は、基板100の主面102の平面がガイド904、906と交差するように位置しているが、ガイド904、906は、研磨テープ318が、研磨パッド316とノッチ116との間から抜け出ることを防止するのに有効である、任意の平面及び任意の位置に位置することもできる。他の実施形態においては、2個以上のガイドが、1個以上の平面で使用されることができる。
[0065]図10Cは、図10Aに描写された研磨装置の一実施形態の概略的な側面図である。図10Cから、研磨テープ318は、図3に示されたスプール324のようなテープのソースから延びて、研磨パッド316の周りで、図3に示されたスプール326のようなテープ巻取機まで延在可能であることが見られる。研磨テープ318は、図10Cにおいて、研磨テープの半分だけが見られ、残りの半分は、研磨テープ318の可視部分及び研磨パッド316によって隠されるように、研磨パッド316に対して折り曲げられていると描写される。研磨テープ318によって隠された研磨パッド316の縁部は、点線316aにより表示される。図10Cから、研磨テープ318の縁部318aは、ガイド906を通じて通過することができることも分かる。研磨テープの縁部318aは、研磨テープの縁部318aが通過し、ガイド906によって隠れた点線の形態で描写される。ガイド906の底部は、破線906aで表示される。
[0066]作動中、研磨テープ318の前後移動(例えば、研磨パッド316の回転平面に直交する構成要素を有する移動)は、ガイド906の底部906a及び研磨パッド316(によって隠される)の他の面上のミラーイメージである底部及びガイドによって停止及び/または制限されることができる。この前後移動は、さらに、研磨パッド316が基板100のノッチ116に直接接触するように、研磨パッドの縁部316aとノッチ116との間で、研磨テープ318の研磨テープ縁部318a(または図10Cにおいて隠されたミラーイメージの縁部)を移動させる傾向のある移動として記述することもできる。そのような移動の制限は、研磨テープ318が、研磨パッド316と基板116のノッチ116との間から移動することを防止することができる。ガイド906、908の表面は、研磨テープ318上及びガイド904、906上の摩耗を減少するように、滑らかにされたり、研磨されることができる。一部の実施形態において、研磨テープ318の移動の方向は、研磨テープのソースが研磨テープの巻取機となり、研磨テープの巻取機が研磨テープのソースとなるように、可逆的であってもよい。他の実施形態において、研磨テープは、連続したループ状の研磨テープであることもできる。
[0067]図11を見ると、図4に示された研磨パッド416の例示的な実施形態の概略的な斜視図が描写されている。研磨パッド416は、また、ノッチ研磨パッド418を含むことができる。ノッチ研磨パッド418は、その形状が基板ノッチ116の形状にほぼ対応するような突出部420を有することができる。ノッチ研磨パッド418は、例えば、ポリウレタンのような柔らかい材料で作製された輪郭を有するパッドであってもよい。他の適当な材料が使用されることもできる。一部の実施形態において、ノッチ研磨パッド418を作製する材料は、例えば、略ショアA70デュロメータ未満の硬度を有することができる。しかし、その他の硬度を有する材料が採用されていてもよい。研磨パッド416は、柔らかい材料または剛性の材料で作製することができる。ノッチ研磨パッド418は、研磨パッド416に対して押し込まれるか、他の適切な方式で研磨パッド416に取り付けることができる。ノッチ研磨パッド418は、本明細書に示されたようなノッチ116とは異なる形状のノッチを研磨するために、多様な形状のノッチ研磨パッドに容易に置き換えることができる。他の実施形態において、ノッチ研磨パッド418及び研磨パッド416は、単一の連続したパッドとして一体に形成することができる。研磨パッド416は、また、研磨テープ318が基板ノッチ116を経由して進行するとき、研磨テープ318を案内するように適合されたスロット422、424を含むことができる。ノッチ研磨パッド418の突出部420は、ノッチ116内に押し付けられるとき、ノッチ116の形状に合致されることができる。したがって、その合致により、研磨テープ318は、図5に示されたノッチコーナー502、504、ノッチサイド500、及びノッチ中心506に接触することができるようになる。
[0068]図12を見ると、図4に示された研磨装置400の実施形態の一部の概略的な斜視図が提供される。前述したように、支持アーム310により支持することのできる研磨ヘッド314は、研磨パッド416及びノッチ研磨パッド418(図12では、研磨テープ318により隠されており、図11では、上方に示される)、そしてガイドローラー320、322を含むことができる。研磨テープ318は、研磨ヘッド314の周り、すなわち、ガイドローラー320、ノッチ研磨パッド418、及びガイドローラー322の周りを包むことができ、スプール324とスプール326との間で同時に張力が受けられる。図面から明らかなように、ノッチ研磨パッド418の突出部420は、基板ノッチ116と形状が類似した断面を有することができる。前述したように、そして本明細書に示されているように、研磨テープ318は、研磨ヘッド314の周りに巻かれて、スプール324、326との間で張力を受けるとき、この突出部420を覆うことができる。
[0069]図3に関して前述したように、研磨パッド416は、アクチュエータ(図示せず)により基板100の方に向かって、または基板100から離れる方向に移動することができる。作動中、研磨パッド416がアクチュエータにより基板100の方に向かって移動するとき、ノッチパッド突出部420は、基板ノッチ116に接触することができる。突出部420がノッチ116に接触するとき、研磨テープ318の突出部420を覆う部分がノッチ116の形状に合致され、ノッチ116の全ての部分(すなわち、ノッチサイド500、第1及び第2のコーナー502、504、並びにノッチ中心506)に接触するようにさせる。研磨テープ318がノッチ116の形状に合致することにより、研磨テープ318が、ノッチ116を効率的に洗浄及び研磨することができるようになる。
[0070]図13を見ると、図11及び図12に示された研磨パッド416の例示的な実施形態の概略的な断面図が提供される。本明細書には、ノッチ研磨パッド418の突出部420が基板ノッチ116の形状に合致することがより明確に示されている。
[0071]図14を見ると、比較的または実質的に平面である研磨パッド516の代替の実施形態の概略的な断面図が提供される。図13に示された実施形態と同様に、研磨パッド516は、研磨テープ318を案内するように適合されたスロット518、520を含むことができる。ノッチ研磨パッド522及び研磨パッド516は、図11に関して前述したノッチ研磨パッド418及び研磨パッド416と同一または類似の材料で作製することができる。また、他の材料が使用されることもできる。前述したように、ノッチ研磨パッド522は、ノッチ研磨パッド522が基板ノッチ116内に押し付けられるとき、基板ノッチ116の形状に合致することができる突出部524を含むことが出来る。本明細書に示された実施形態において、ノッチ研磨パッド522はまた、ボア526または貫通孔を含んでいてもよい。一部の実施形態において、ボア526は、ノッチ研磨パッド522の全長の寸法に沿って延出されてもよく、及び/または、ボア526は、円形の断面を有していてもよい。
[0072]適切な形状の別の断面が使用されることもできる。一部の実施形態において、ボア526は、中空であってもよい。一部の実施形態において、ボア526は、ノッチ研磨パッド522よりも大きいか、より小さい弾性を有する材料で充てんされることができる。ボア526は、突出部524がノッチ116内に押し付けられたりノッチ116に接触したりするとき、ノッチ研磨パッド522の突出部524が、さらに効率的にノッチ116の形状に合致されるようにすることができる。
[0073]図15を見ると、研磨パッド616の他の例示的な実施形態の概略的な断面図が提供される。研磨パッド616は、支持アーム614により保持することができる。研磨アーム616は、ノッチ研磨パッド618、及び研磨テープ318を案内するためのスロット620と622を含むことができる。ノッチ研磨パッド618及び研磨パッド616は、図11に関して前述した、ノッチ研磨パッド418及び研磨パッド416と同一の材料で作製することができる。他の材料が使用されることもできる。ノッチ研磨パッド618は、また、突出部624及びプラトー領域626、628を含んでいてもよい。突出部624の形状は、基板ノッチ116の形状に実質的に対応してもよい。突出部624の高さhは、プラトー領域626、628のうちの1つと、突出部624の丸みのある先端630との間の距離でもよい。研磨パッド616は、アクチュエータ(図示せず)により、基板ノッチ116に向かう方向と、離れる方向とに移動することができる。アクチュエータは、突出部624を押し付けて、基板ノッチ116に接触させることができる。突出部624が基板ノッチ116に接触するとき、突出部624は、基板ノッチ116の形状に合致することができ、研磨テープ318を、ノッチコーナー502、504、ノッチサイド500、及びノッチ中心506(図5)に接触させることができる。一部の実施形態において、突出部624の高さhを、典型的なノッチの深さ(図5を参照)よりも若干大きくすることができる。ノッチの深さは、多様な基板100によって変わるため、突出部624の高さhは、ノッチ研磨パッド618が多様な基板ノッチ116の高さに適合することを可能とする。プラトー領域626、628は、基板ノッチ116を2分割する基板100の半径(図示せず)にほぼ直交する方向に配向することができる。しかしながら、プラトー領域626、628は、また、基板ノッチ116を2分割する基板100の半径に直交しない方向に配向することもできる。ノッチ研磨パッド618の突出部624が基板ノッチ116に接触するように押し付けられると、プラトー領域626、628は、研磨テープ318がノッチコーナー502、504(図5)に効率的に接触して、効率的に研磨を行うことができるようにする。
[0074]研磨テープ318が基板ノッチ116を経由して進行するとき、ノッチ研磨パッド618のスロット620、622は、研磨テープ318を案内して、突出部624のほぼ中心に位置させる。スロット620、622は、ノッチ研磨パッド618の突出部624により、研磨テープ318が基板ノッチ116に容易に合致されて、押し付けられて接触することを可能とする。
[0075]図16を見ると、ボアまたはスルーホール720を有するノッチ研磨パッド718を含む研磨パッド716の他の実施形態の概略的な断面図が提供される。本明細書に示されたノッチ研磨パッド718は、図11に示されたノッチ研磨パッド418と実質的に同様の弾性特性を有する、同一または類似の材料で作製することができる。他の材料が使用されることもできる。ノッチ研磨パッド718は、基板ノッチ116に対応する形状を有した突出部722を含むことができ、研磨テープ318をノッチコーナー502、504(図5)に効率的に合致させるために、プラトー領域724、726を有していてもよい。また、研磨パッド716は、図11に関して前述した研磨パッド416と同一または実質的に類似の材料で作製することができる。一部の実施形態において、突出部722の高さhは、ノッチ研磨パッド718が、多様な基板ノッチ116の形状に合わせることができるようにするため、典型的なノッチの深さよりも若干大きくすることができる。図14に示されたボア526と同様に、1つ以上の実施形態において、本明細書に示されたボア720は、ノッチ研磨パッド718の全長の寸法に沿って延出されてもよく、及び/または、ボア720は、円形の断面を有していてもよい。ボア720の断面は、他の適切な形状を有していてもよい。前述したように、一部の実施形態において、ボア720は、中空であってもよい。他の実施形態において、ボア720は、ノッチ研磨パッド718よりも大きいか、より小さい弾性を有する材料で充てんされることができる。ボア720は、突出部722が基板ノッチ116に接触するように押し付けられるとき、ノッチ研磨パッド718上の突出部722が、さらに効率的に基板ノッチ116の形状に合致されるようにすることができる。
[0076]基板ノッチ116を洗浄及び研磨するための例示的な方法1700が、図17に提供されている。ステップS1710において、基板100は、支持体上に固定して、位置することができる。そして、ステップS1720において、基板100は、ノッチ116が研磨ヘッド314に整列されるまで、つまり、研磨パッド316の隆起部分340に整列されるまで回転される。ステップS1730において、研磨パッド316は、研磨パッド316の隆起領域340の先端領域342が基板ノッチ116に接触するところまで、アクチュエータ(図示せず)により基板100の方向へ移動されて、基板ノッチ116に対して研磨テープ318を押し付ける。ステップS1740において、研磨テープ318は、スプール駆動装置328、330によって進行することができ、例えば、スプール324、326のうちの一方は、巻取りスプール及び供給スプールとして使用することができる。研磨テープ318が、研磨パッド316上で基板ノッチ116を経由して進行するとき、一部の実施形態において、研磨パッド316は、研磨テープ318の進行速度と実質的に同一の円周速度で回転することができる。これは、研磨テープ318が、実質的に滑ることなく、研磨パッド316上で進行することができ、研磨パッド316と研磨テープ318との間の摩擦力は、実質的に転がり摩擦力を含み、スライディング摩擦力はほとんど含まないことができるのを意味する。研磨パッド316と研磨テープ318の裏面との間の転がり摩擦力が、それらの間のスライディング摩擦力に対して有する利点には、研磨テープ318に要求される張力がよりと低いという点、研磨テープ318の追跡においてより信頼性があるという点、研磨テープ318の裏面と研磨パッド316に対する摩耗がより少ないという点、熱の発生がより少ないという点、及び過熱に起因する研磨テープ318へのダメージ(例えば、塑性変形)がより少ないという点等が挙げられる。
[0077]さらに、基板ノッチ116を洗浄及び研磨する方法1700と関連して、研磨テープ318が基板ノッチ116に押し付けられて接触し、そして基板ノッチ116に対して加えられる圧力は、アクチュエータにより研磨パッド316に加えられる力や圧力、研磨パッド316における流体の圧力、及び/または研磨テープ318の弾性によって決定されることができる。研磨テープ318が基板ノッチ116を経由して進行するとき、基板ノッチ116上の膜及び欠陷は、磨耗により除去及び消去することができる。アクチュエータにより加えられる力や圧力、及び/または研磨パッド316における流体の圧力は、それぞれ、必要に応じて、アクチュエータ制御ユニット及び圧力制御ユニットにより調整することができる。ステップS1750において、研磨ヘッド駆動装置は、基板100の主面102、102’に隣接した基板ノッチ116の一部を効率的に洗浄及び研磨するために、基板100の主面102、102’にほぼ直交する平面で、基板ノッチ116を中心に研磨ヘッド314を回転させることができる。前述した研磨ヘッド314が回転中に、研磨パッド316における流体の圧力は圧力制御ユニットにより調整されて、隆起領域340及び先端領域342の形状を、基板ノッチ116の変化する形状に対して効率的に合致させることができる。研磨テープ318の速度、方向、張力、圧力等は調整可能であり、基板100を中心とする研磨ヘッド314の回転変位、速度、及び/または加速度も、また調整可能である。例えば、研磨テープ318は、特定の長さに対して1つの速度で進行することができ、その後、別の長さに対して異なる速度で進行することができる。また、研磨テープ318は、一定の、或いは可変の張力及び圧力を介して、平行移動されたり、振動したり、或いは平行移動及び振動することができる。
[0078]図18を見ると、基板ノッチ116を洗浄及び研磨するための第2の方法1800が提供されている。図18の方法は、図17を参照して前述した方法と類似しているが、後述する通りに、研磨パッドのガイドを介して研磨テープを進行させるステップをさらに有している。
[0079]ステップS1802において、基板100は、支持体上に固定して位置することができる。そして、ステップS1804において、基板100は、基板ノッチ116が研磨ヘッド314に整列されるまで、つまり、研磨パッド316の隆起部分340に整列されるまで回転される。ステップS1808より以前の任意の時点で行うことができるステップS1806において、研磨テープ318は、ガイド904及び906を通じて研磨パッド316の周りに進行することができるようになる。そのような進行は、手動でまたは自動的に行うことができる。ステップS1808において、研磨パッド316は、研磨パッド316の隆起領域340の先端領域342が基板ノッチ116内にあり、基板ノッチ116に対して研磨テープ318を押し付けるときまで、アクチュエータにより基板100の方向に向かって移動することができる。ステップS1810において、研磨テープ318は、スプール駆動装置328、330によって進行することができ、例えば、スプール324、326のうちの一方は、巻取りスプール及び供給スプールとして使用されることができる。図17のステップS1740に関して前述した全ての変形は、図18の方法1800と共に使用されることができる。ステップS1812で、研磨ヘッド駆動装置は、基板100の主面102、102’に隣接したノッチ116の一部をさらに効率的に洗浄及び研磨するために、基板100の主面102、102’にほぼ直交する平面で、基板ノッチ116を中心に研磨ヘッド314を回転させることができる。もう一度、方法ステップS1750(図17)に関して前述した全ての変形は、図18の方法1800に対して使用することが可能である。
[0080]上述した説明は、単に本発明の例示的な実施形態を開示したものである。本発明の範囲に含まれるべきの、以上で開示した装置及び方法の変形は、当業界における通常の技術を有する者にとっては非常に明らかなことである。例えば、一部の実施形態において、研磨テープガイドは、研磨パッド316の近傍から外皮334まで突出することができ、先端領域342と同一の中心を有して進行することができる。研磨テープガイドは、研磨テープ318が基板ノッチ116を経由して段階的に移動する間に、研磨テープ318が隆起部分340の先端部分342に対して略中心に置かれるように、保持することができる。また、ノッチ研磨中に、研磨テープ318の裏面と研磨パッド316との間の摩擦系数を増加させ、研磨パッド316上で研磨テープ318がすべる可能性を減少させるために、隆起領域340を覆うように外皮334に対してコーティングを塗工するステップ、隆起領域340を覆う外皮334を粗面化するステップ、または、さらに、隆起領域340を覆う外皮334の粘着性を増加させるステップ、等が行われてもよい。
[0081]したがって、本発明は、例示的な実施形態に基づいて開示されているが、次の特許請求の範囲により画成されているとおり、その他の実施形態であっても本発明の精神及び範囲内に含まれることができるのを理解しなければならない。
100…基板、102,102’…主面、104…縁部、106,106’…デバイス領域、108,108’…除外領域、110…外縁部、116…ノッチ、200…システム、300研磨装置、204…ヘッド、302…基板駆動装置、310…研磨アーム、312…フレーム、314…研磨ヘッド、316,416…研磨パッド、318…研磨テープ、320,322…ガイドローラー、324,326…スプール、332…研磨パッド軸、334…外皮、338…流体チャネル、340…隆起領域、500…ノッチサイド、502…第1のノッチコーナー、504…第2のノッチコーナー、506…ノッチ中心、620,622…スロット、624…突出部、904,906…ガイド、900,902…支持ブロック
Claims (23)
- 研磨テープを使用して基板のノッチを研磨する装置であって、
前記基板のノッチに前記研磨テープを付けるように適合された研磨ヘッドを備え、
前記研磨ヘッドが、
圧力制御媒体で充てんされるように適合された空洞と、
前記ノッチの形状に対応する形状を有した先端領域と
を有する研磨パッドを含み、
前記研磨パッドが、前記研磨テープに接触し、前記ノッチに前記研磨テープを押し付けるように適合された装置。 - 前記圧力制御媒体が、加圧可能な気体である、請求項1に記載の装置。
- 前記研磨パッドが、ホイール状である、請求項1に記載の装置。
- 前記研磨パッドが、研磨テープの進行速度と実質的に同一の円周速度で回転するように適合された、請求項3に記載の装置。
- 前記研磨パッドが、実質的に平面形状である、請求項1に記載の装置。
- 前記研磨パッドが、外皮層を含む、請求項1に記載の装置。
- 研磨テープを使用して基板のノッチを研磨する装置であって、
前記基板のノッチに前記研磨テープを付けるように適合された研磨ヘッドを備え、
前記研磨ヘッドが、
前記ノッチの形状に対応する形状を有した先端領域を有し、前記研磨テープに接触して、前記ノッチに前記研磨テープを押し付けるように適合された研磨パッドと、
前記研磨テープが、前記研磨パッドと前記ノッチとの間から抜け出ることを防止するように適合された1つ以上のガイドと
を備える装置。 - 前記研磨パッドが、ホイール状である、請求項7に記載の装置。
- 前記研磨パッドが、回転するように適合された、請求項8に記載の装置。
- 前記研磨パッドが、研磨テープの進行速度と実質的に同一の円周速度で回転するように適合された、請求項9に記載の装置。
- 前記研磨パッドが、実質的に平面形状である、請求項7に記載の装置。
- 前記研磨パッドが、外皮層を含む、請求項7に記載の装置。
- 前記外皮層が、隆起領域を覆うように適合された、請求項12に記載の装置。
- 前記研磨テープが、前記研磨テープを前記ノッチに付ける間に、前記隆起領域にわたって移動するように適合された、請求項12に記載の装置。
- 研磨テープを使用して基板のノッチを研磨する装置であって、
前記基板のノッチに前記研磨テープを付けるように適合された研磨ヘッドを備え、
前記研磨ヘッドが、
前記研磨テープを案内する1つ以上のスロットを含む研磨パッドと、
前記研磨パッドに埋め込まれ、前記研磨テープに接触して、前記ノッチに前記研磨テープを押し付けるように適合されたノッチ研磨パッドと
を含む装置。 - 前記研磨パッドが、ホイール状である、請求項15に記載の装置。
- 前記研磨パッドが、実質的に平面形状である、請求項15に記載の装置。
- 前記ノッチ研磨パッドが、前記ノッチの形状に対応する形状を有した突出部を含む、請求項15に記載の装置。
- 前記突出部が、ボアを含む、請求項18に記載の装置。
- 前記ノッチ研磨パッドが、少なくとも1つのプラトー領域を含む、請求項18に記載の装置。
- 前記少なくとも1つのプラトー領域が、前記研磨テープを前記ノッチの少なくとも1つのコーナーに合致させるように適合された、請求項20に記載の装置。
- 前記突出部が高さを有して、且つ前記ノッチが深さを有し、前記突出部の高さが、前記ノッチの深さよりも大きいものである、請求項18に記載の装置。
- 前記研磨パッドが、約70ショアAデュロメータ未満の硬さを有する、請求項15に記載の装置。
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