JP6204848B2 - 研磨装置および研磨方法 - Google Patents
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Description
本発明の好ましい態様は、前記研磨ユニットは、前記研磨テープを前記円盤ヘッドの外周面に押し付けて前記研磨テープを前記外周面に沿って湾曲させるニップローラーをさらに備えたことを特徴とする。
本発明の好ましい態様は、前記研磨ユニットは、前記ニップローラーを前記円盤ヘッドの軸心まわりに移動させるニップローラー移動装置をさらに備えたことを特徴とする。
本発明の好ましい態様は、前記研磨ユニットは、前記円盤ヘッドをその軸心まわりに回転させるヘッドモータをさらに有することを特徴とする。
本発明の好ましい態様は、複数の研磨ユニットは、第1の研磨テープが取り付けられた第1の研磨ユニットと、前記第1の研磨テープよりもきめの細かい研磨面を有する第2の研磨テープが取り付けられた第2の研磨ユニットを少なくとも含むことを特徴とする。
図1は、研磨装置の一実施形態を示す正面図であり、図2は、研磨装置の側面図である。研磨装置は、基板の一例であるウェハWを保持して回転させる基板保持部1と、研磨具である研磨テープ5を用いてウェハWのエッジ部を研磨する研磨ユニット7とを備えている。基板保持部1は、ウェハWの下面を保持し、ウェハWをその中心軸まわりに水平に回転させるように構成されている。
5,5A,5B 研磨テープ
7,7A,7B 研磨ユニット
10 研磨液供給ノズル
12 円盤ヘッド
14 ニップローラー
18 ヘッドモータ
20 エアシリンダ(ニップローラー付勢装置)
25 基台
26 軸受アーム
29 旋回モータ
30 水平リニアガイド
32 旋回アーム
41 第1のテンションリール
42 第2のテンションリール
43 第1のテンションモータ
44 第2のテンションモータ
47 第1のガイドローラー
48 第2のガイドローラー
50 エアシリンダ(ヘッド移動装置)
51 ピストンロッド
60 昇降機構
62 昇降テーブル
64 昇降アクチュエータ
65 鉛直リニアガイド
67 ボールねじ
68 サーボモータ
Claims (8)
- 基板を保持して回転させる基板保持部と、
前記基板のエッジ部を研磨テープを用いて研磨する少なくとも1つの研磨ユニットとを備え、
前記研磨ユニットは、
前記研磨テープを支持する外周面を有する円盤ヘッドと、
前記円盤ヘッドを前記基板の接線方向に移動させ、前記円盤ヘッドの外周面上の前記研磨テープを前記基板のエッジ部に接触させるヘッド移動装置とを有し、
前記円盤ヘッドの軸心は、前記基板の表面と平行であり、かつ前記接線方向に対して垂直であることを特徴とする研磨装置。 - 前記研磨ユニットは、
前記研磨テープの両端部をそれぞれ保持した第1のリールおよび第2のリールと、
前記第1のリールおよび前記第2のリールを互いに反対方向に回転させるトルクを発生する第1のモータおよび第2のモータをさらに有することを特徴とする請求項1に記載の研磨装置。 - 前記研磨ユニットは、前記研磨テープを前記円盤ヘッドの外周面に押し付けて前記研磨テープを前記外周面に沿って湾曲させるニップローラーをさらに備えたことを特徴とする請求項1に記載の研磨装置。
- 前記研磨ユニットは、前記ニップローラーを前記円盤ヘッドの軸心まわりに移動させるニップローラー移動装置をさらに備えたことを特徴とする請求項3に記載の研磨装置。
- 前記研磨ユニットは、前記円盤ヘッドをその軸心まわりに回転させるヘッドモータをさらに有することを特徴とする請求項1に記載の研磨装置。
- 前記少なくとも1つの研磨ユニットは、複数の研磨ユニットであることを特徴とする請求項1に記載の研磨装置。
- 複数の研磨ユニットは、第1の研磨テープが取り付けられた第1の研磨ユニットと、前記第1の研磨テープよりもきめの細かい研磨面を有する第2の研磨テープが取り付けられた第2の研磨ユニットを少なくとも含むことを特徴とする請求項6に記載の研磨装置。
- 基板をその軸心まわりに回転させ、
第1の円盤ヘッドを前記基板の接線方向に移動させながら、前記第1の円盤ヘッドの外周面で第1の研磨テープを前記基板のエッジ部に押し付けて前記エッジ部に段部を形成し、
第2の円盤ヘッドを前記基板の接線方向に移動させながら、前記第2の円盤ヘッドの外周面で第2の研磨テープを前記段部に押し付けて前記段部を研磨する工程を含み、
前記第2の研磨テープは、前記第1の研磨テープの研磨面よりもきめの細かい研磨面を有していることを特徴とする研磨方法。
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