JP2020104189A - 研磨方法および研磨装置 - Google Patents

Abstract

【課題】滑らかな面から構成された段部をウェーハなどの基板のエッジに形成することができ、かつ高いスループットを達成することができる研磨方法を提供する。【解決手段】本方法は、基板Ｗを回転させ、基板Ｗ上の研磨点において該基板Ｗの半径方向に延びる第１研磨テープ１２を基板Ｗのエッジに押し付けることで、エッジに窪みを形成し、第２研磨テープ６０を基板Ｗのエッジに押し付けることで、直角の断面形状を有する段部をエッジに形成する工程を含む。第１研磨テープ１２は、第２研磨テープ６０の研磨面よりも粗い研磨面を有する。【選択図】図２

Description

本発明は、ウェーハなどの基板のエッジを研磨するための研磨方法および研磨装置に関し、特に研磨テープまたは砥石などの研磨具を基板のエッジに押し付けて、直角な断面形状を有する段部を該エッジに形成するための研磨方法および研磨装置に関する。

ウェーハのエッジを研磨するために、研磨テープを備えた研磨装置が使用されている。この種の研磨装置は、ウェーハを回転させながら、ウェーハのエッジに研磨テープを接触させることで該エッジを研磨する（例えば特許文献１参照）。ＳＯＩ（Silicon on Insulator）ウェーハの製造工程では、図１９に示すように、直角な断面形状を有する段部５００をウェーハＷのエッジに形成することが要請されている。直角な断面形状を有する段部５００は、ウェーハＷの平坦面５０５に平行な第１面５０１と、平坦面５０５に垂直な第２面５０２とから基本的に構成される。第１面５０１と第２面５０２とは互いに垂直である。

図１９に示すような断面形状を有する段部５００は、図２０に示す研磨装置によって作成することができる。すなわち、ウェーハＷを回転させながら、ウェーハＷの接線方向に延びる研磨テープ６０１を押圧部材６００でエッジに押し付けることにより、ウェーハＷのエッジを研磨し、直角な断面形状を有する段部５００をウェーハＷのエッジに形成するする。研磨テープ６０１の下面は、砥粒を保持した研磨面を構成しており、この研磨面はウェーハＷの平坦面５０５と平行に配置される。

特開２０１２−２１３８４９号公報 特開２０１４−１４４５２５号公報

図２０に示す研磨装置のスループットを上げるためには、粗い研磨面を有する研磨テープを用いることが好ましい。ウェーハＷの研磨レート（除去レートともいう）が上がるからである。しかしながら、粗い研磨面を有する研磨テープをウェーハＷのエッジに押し当てると、段部５００を構成する面５０１，５０２が粗くなる。細かい研磨面を有する研磨テープを用いれば、滑らかな面５０１，５０２をエッジに形成することは可能である。しかしながら、細かい研磨面を有する研磨テープを用いると、ウェーハＷの研磨レートが低下し、スループットが低下する。

そこで、本発明は、滑らかな面から構成された段部をウェーハなどの基板のエッジに形成することができ、かつ高いスループットを達成することができる研磨方法および研磨装置を提供する。

一態様では、基板を回転させ、前記基板上の研磨点において該基板の半径方向に延びる第１研磨テープを前記基板のエッジに押し付けることで、前記エッジに窪みを形成し、第２研磨テープを前記基板のエッジに押し付けることで、直角の断面形状を有する段部を前記エッジに形成する工程を含み、前記第１研磨テープは、前記第２研磨テープの研磨面よりも粗い研磨面を有する、研磨方法が提供される。

一態様では、前記窪みの深さは、少なくとも１０μｍである。
一態様では、前記段部を形成する工程は、前記第２研磨テープを前記窪みに押し付けることで、直角の断面形状を有する段部を前記エッジに形成する工程である。
一態様では、前記第２研磨テープは、前記基板上の研磨点において該基板の接線方向に延びている。
一態様では、前記第１研磨テープの幅は、前記第２研磨テープの幅よりも大きい。

一態様では、基板を回転させ、研磨具を前記基板のエッジに押し付けながら、前記研磨具を前記基板の外側に向かって移動させることで、前記エッジに窪みを形成し、研磨テープを前記エッジに押し付けることで、直角の断面形状を有する段部を前記エッジに形成する工程を含み、前記研磨具は、前記研磨テープの研磨面よりも粗い研磨面を有する、研磨方法が提供される。

一態様では、前記窪みの深さは、少なくとも１０μｍである。
一態様では、前記段部を形成する工程は、前記研磨テープを前記窪みに押し付けることで、直角の断面形状を有する段部を前記エッジに形成する工程である。
一態様では、前記研磨テープは、前記基板上の研磨点において該基板の接線方向に延びている。
一態様では、前記研磨具は、前記基板上の研磨点において該基板の半径方向に延びる研磨テープである。
一態様では、前記研磨具は砥石である。

一態様では、基板保持面を有し、該基板保持面を回転させる基板回転装置と、第１研磨テープおよび第２研磨テープと、前記基板保持面の半径方向に延びる前記第１研磨テープを支持する第１テープ支持装置と、前記第１研磨テープを前記基板保持面上の基板のエッジに押し付ける第１押圧部材と、前記第１押圧部材を前記基板保持面に向かって移動させる第１アクチュエータと、前記第２研磨テープを前記基板保持面上の前記基板のエッジに押し付ける第２押圧部材と、前記第２押圧部材を前記基板保持面に向かって移動させる第２アクチュエータを備えており、前記第１研磨テープは、前記第２研磨テープの研磨面よりも粗い研磨面を有する、研磨装置が提供される。

一態様では、前記第１テープ支持装置は、前記基板保持面の半径方向に沿って配列された複数のガイドローラーを含む。
一態様では、前記研磨装置は、前記第１研磨テープによって前記基板のエッジに形成された窪みの深さを測定する深さ測定器と、前記窪みの深さが目標値に達したことを検出する動作制御部をさらに備えており、前記目標値は、少なくとも１０μｍである。
一態様では、前記研磨装置は、前記基板上の研磨点において該基板の接線方向に延びる前記第２研磨テープを支持する第２テープ支持装置をさらに備えている。

一態様では、基板保持面を有し、該基板保持面を回転させる基板回転装置と、研磨具および研磨テープと、前記研磨具を前記基板保持面上の基板のエッジに押し付ける第１アクチュエータと、前記研磨具を、前記基板保持面の半径方向に移動させる研磨具移動機構と、前記研磨テープを前記基板保持面上の前記基板のエッジに押し付ける押圧部材と、前記押圧部材を前記基板保持面に向かって移動させる第２アクチュエータを備えており、前記研磨具は、前記研磨テープの研磨面よりも粗い研磨面を有する、研磨装置が提供される。

一態様では、前記研磨装置は、前記研磨具によって前記基板のエッジに形成された窪みの深さを測定する深さ測定器と、前記窪みの深さが目標値に達したことを検出する動作制御部をさらに備えており、前記目標値は、少なくとも１０μｍである。
一態様では、前記研磨装置は、前記基板上の研磨点において該基板の接線方向に延びる前記研磨テープを支持するテープ支持装置をさらに備えている。
一態様では、前記研磨具は、前記基板保持面の半径方向に延びる研磨テープである。
一態様では、前記研磨具は砥石である。

本発明によれば、粗い研磨面を有する研磨具または第１研磨テープは、高い研磨レート（すなわち高い除去レート）で基板のエッジに深い窪みを形成することができる。その後、細かい研磨面を有する研磨テープは、既に窪みが形成されたエッジを研磨するので、滑らかな面から構成された段部を基板のエッジに速やかに形成することができる。結果として、高いスループットが達成できる。

図１（ａ）および図１（ｂ）は、基板の周縁部を示す拡大断面図である。 研磨装置の一実施形態を示す模式図である。 図２に示す研磨装置の平面図である。 第１研磨ヘッドの拡大図である。 第２研磨ヘッドおよび第２研磨テープ供給機構をウェーハ側から見た図である。 図６（ａ）は第１研磨テープがウェーハのエッジに押し付けられている様子を示す図であり、図６（ｂ）は第１研磨テープによって形成された窪み一例を示す断面図である。 図７（ａ）は第２研磨テープの研磨面が窪みに押し付けられている状態を示す図であり、図７（ｂ）は、第２研磨テープによって形成された段部の一例を示す断面図である。 図８（ａ）および図８（ｂ）は、第２研磨テープの一部が折り曲げられた状態で、第２研磨テープがウェーハのエッジを研磨している様子を示す図である。 図９（ａ）は、第１研磨テープによって形成された窪みよりも内側の部位に第２研磨テープを押し付けている様子を示す図であり、図９（ｂ）は、第２研磨テープによって形成された段部の一例を示す断面図である。 第１研磨ユニットの他の実施形態を示す図である。 図１０に示す第１押圧部材を示す拡大図である。 研磨装置の他の実施形態を示す側面図である。 第１研磨ヘッドを円運動させるための円運動機構の一実施形態を示す模式図である。 研磨装置の他の実施形態を示す上面図である。 図１５（ａ）は、ウェーハのエッジを研磨している外側研磨テープおよび内側研磨テープを示す断面図であり、図１５（ｂ）は、外側研磨テープおよび内側研磨テープによって形成された段部を示す断面図である。 研磨装置のさらに他の実施形態を示す上面図である。 図１７（ａ）は、砥石でウェーハのエッジを研磨している様子を示す図であり、図１７（ｂ）は、砥石によって形成された窪みの一例を示す断面図である。 研磨装置のさらに他の実施形態を示す上面図である。 ウェーハのエッジに形成された直角な断面形状を有する段部を示す断面図である。 従来の研磨装置を示す模式図である。

以下、本発明の実施形態について図面を参照して説明する。
図１（ａ）および図１（ｂ）は、基板の周縁部を示す拡大断面図である。より詳しくは、図１（ａ）はいわゆるストレート型の基板の断面図であり、図１（ｂ）はいわゆるラウンド型の基板の断面図である。基板の例としては、ウェーハが挙げられる。基板の周縁部は、ベベルおよびエッジを含む領域として定義される。図１（ａ）のウェーハＷにおいて、ベベルは、上側傾斜部（上側ベベル）Ｐ、下側傾斜部（下側ベベル）Ｑ、および側部（アペックス）Ｒから構成されるウェーハＷの最外周面（符号Ｓで示す）である。図１（ｂ）のウェーハＷにおいては、ベベルは、ウェーハＷの最外周面を構成する、湾曲した断面を有する部分（符号Ｓで示す）である。エッジは、ベベルＳよりも半径方向内側に位置する環状の平坦部Ｔ１であり、かつデバイス面Ｖの最も外側の領域である。エッジＴ１は、ベベルＳに接続されている。エッジＴ１は、トップエッジとも呼ばれる。

図２は、研磨装置の一実施形態を示す模式図であり、図３は、図２に示す研磨装置の平面図である。研磨装置は、基板の一例であるウェーハＷを保持し、回転軸心ＣＬを中心にウェーハＷを回転させるウェーハ回転装置（基板回転装置）３と、ウェーハＷのエッジを粗研磨する第１研磨ユニット１０と、ウェーハＷのエッジを仕上げ研磨する第２研磨ユニット２０を備えている。本実施形態では１つの第１研磨ユニット１０が設けられているが、複数の第１研磨ユニット１０が設けられてもよい。同様に、本実施形態では１つの第２研磨ユニット２０が設けられているが、複数の第２研磨ユニット２０が設けられてもよい。

研磨装置は、ウェーハ回転装置３、第１研磨ユニット１０、および第２研磨ユニット２０の動作を制御する動作制御部１をさらに備えている。動作制御部１は、ウェーハ回転装置３、第１研磨ユニット１０、および第２研磨ユニット２０に電気的に接続されている。動作制御部１は、プログラムが格納された記憶装置１ａと、プログラムに従って演算を実行する処理装置１ｂを備えている。処理装置１ｂは、記憶装置１ａ格納されているプログラムに従って演算を行うＣＰＵ（中央処理装置）またはＧＰＵ（グラフィックプロセッシングユニット）などを含む。記憶装置１ａは、処理装置１ｂがアクセス可能な主記憶装置（例えばランダムアクセスメモリ）と、データおよびプログラムを格納する補助記憶装置（例えば、ハードディスクドライブまたはソリッドステートドライブ）を備えている。動作制御部１は、専用のコンピュータまたは汎用のコンピュータから構成されている。

ウェーハ回転装置３は、ウェーハＷの下面を保持するためのウェーハ保持面（基板保持面）４ａを有する保持ステージ４と、ウェーハ保持面４ａを回転軸心ＣＬを中心に回転させるモータ８を有している。ウェーハ保持面４ａには、溝４ｂが形成されており、溝４ｂは真空ライン９に連通している。ウェーハＷがウェーハ保持面４ａに置かれた状態で溝４ｂに真空が形成されると、ウェーハＷは真空吸引によりウェーハ保持面４ａに保持される。ウェーハ保持面４ａは、ウェーハＷの直径と同じか、またはウェーハＷの直径よりも大きい直径を持つ円形である。したがって、ウェーハ保持面４ａは、ウェーハＷの下面の全体を支持することができる。

第１研磨ユニット１０は、ウェーハＷのエッジを第１研磨テープ１２で研磨する第１研磨ヘッド１４と、第１研磨テープ１２を第１研磨ヘッド１４に供給し、第１研磨ヘッド１４から回収する第１研磨テープ供給機構１６を備えている。第１研磨ヘッド１４は、ウェーハ保持面４ａの上方に位置している。すなわち、第１研磨ヘッド１４は、ウェーハ保持面４ａに保持されたウェーハＷのエッジの上方に位置している。第１研磨ヘッド１４は、ウェーハ保持面４ａの外周部を向いた状態で配置されている。

第１研磨テープ供給機構１６は、第１研磨テープ１２を巻き出す第１巻き出しリール１７と、第１研磨テープ１２を巻き取る第１巻き取りリール１８とを備えている。第１巻き出しリール１７および第１巻き取りリール１８にはテンションモータ２１，２２がそれぞれ連結されている。それぞれのテンションモータ２１，２２は、第１巻き出しリール１７および第１巻き取りリール１８に所定のトルクを与え、第１研磨テープ１２に所定のテンションを掛けることができるようになっている。

第１研磨テープ１２は、第１研磨テープ１２の研磨面がウェーハＷを向くように第１研磨ヘッド１４に供給される。すなわち、第１研磨テープ１２は、第１巻き出しリール１７から第１研磨ヘッド１４に供給され、研磨に使用された第１研磨テープ１２は第１巻き取りリール１８に回収される。第１研磨テープ１２の片面は、砥粒が固定された研磨面を構成している。第１研磨テープ１２は、その上方から見たときに、ウェーハＷ上の研磨点（すなわち、第１研磨テープ１２とウェーハＷとの接触点）において、ウェーハ保持面４ａの半径方向、すなわちウェーハＷの半径方向に延びている。図３に示すように、第１研磨テープ１２は、その上方から見たときに、ウェーハ保持面４ａの回転軸心ＣＬから半径方向外側に延びる直線（想像線）Ｌ１に沿って延びている。

図２に示すように、第１研磨ヘッド１４は、ヘッド支持部材２５に固定されている。ヘッド支持部材２５は、第１研磨ヘッド移動機構２６に連結されている。この第１研磨ヘッド移動機構２６は、第１研磨ヘッド１４および第１研磨テープ１２を、ウェーハ保持面４ａの半径方向、すなわちウェーハＷの半径方向に移動させるように構成されている。より具体的には、第１研磨ヘッド移動機構２６は、ヘッド支持部材２５に連結されたボールねじ機構２８と、ボールねじ機構２８を作動させるモータ２９を備えている。ボールねじ機構２８は、ヘッド支持部材２５に固定されたナット機構２８ａと、ナット機構２８ａに螺合するねじ軸２８ｂを備えている。ねじ軸２８ｂは軸受３０によって回転可能に支持されており、かつモータ２９に連結されている。モータ２９には、サーボモータまたはステッピングモータが使用される。

第１研磨ヘッド移動機構２６は、動作制御部１に電気的に接続されており、第１研磨ヘッド移動機構２６の動作は動作制御部１によって制御される。動作制御部１が第１研磨ヘッド移動機構２６に指令を発して、モータ２９およびねじ軸２８ｂを一方向に回転させると、ナット機構２８ａおよびヘッド支持部材２５が外側に移動し、第１研磨ヘッド１４および第１研磨テープ１２は、ウェーハＷの半径方向（ウェーハ保持面４ａの半径方向）において外側に移動する。動作制御部１が第１研磨ヘッド移動機構２６に指令を発して、モータ２９およびねじ軸２８ｂを逆方向に回転させると、ナット機構２８ａおよびヘッド支持部材２５が内側に移動し、第１研磨ヘッド１４および第１研磨テープ１２は、ウェーハＷの半径方向（ウェーハ保持面４ａの半径方向）において内側に移動する。

第１研磨ヘッド移動機構２６は、第１研磨ヘッド１４と、研磨具である第１研磨テープ１２を、ウェーハ保持面４ａの半径方向（すなわちウェーハＷの半径方向）に移動させる研磨具移動機構を構成する。

図４は第１研磨ヘッド１４の拡大図である。図４に示すように、第１研磨ヘッド１４は、第１研磨テープ１２をウェーハＷのエッジに押し付ける第１押圧部材３５と、第１押圧部材３５をウェーハ保持面４ａに対して垂直な方向（すなわちデバイス面ＶであるウェーハＷの上面に対して垂直な方向）に移動させるエアシリンダ３７とを備えている。第１研磨ヘッド１４は、ウェーハ保持面４ａに対して垂直に配置されている。第１押圧部材３５の前面は、ウェーハ保持面４ａと平行（すなわちウェーハＷの平坦なデバイス面Ｖと平行）である。第１押圧部材３５は、ウェーハ保持面４ａの外周部の上方に位置している。すなわち、第１押圧部材３５は、ウェーハ保持面４ａに保持されたウェーハＷのエッジに対向している。

エアシリンダ３７は、第１気体導入ライン４０および第２気体導入ライン４１に接続されている。第１気体導入ライン４０および第２気体導入ライン４１は、気体切換弁４２に接続されており、この気体切換弁４２は気体供給ライン４４を通じて気体供給源４６に接続されている。第１気体導入ライン４０および第２気体導入ライン４１は、エアシリンダ３７内に設けられた第１室および第２室（図示せず）にそれぞれ連通している。第１室および第２室は、エアシリンダ３７内のピストン（図示せず）によって仕切られている。

気体切換弁４２は、第１気体導入ライン４０および第２気体導入ライン４１のうちの一方を気体供給ライン４４に接続し、かつ第１気体導入ライン４０および第２気体導入ライン４１のうちの他方を大気に連通させるように構成されている。気体切換弁４２は、動作制御部１に接続されており、気体切換弁４２の動作は、動作制御部１によって制御される。

動作制御部１が気体切換弁４２に指令を発して、第１気体導入ライン４０を気体供給ライン４４に接続し、かつ第２気体導入ライン４１を大気に連通させると、エアシリンダ３７は、第１押圧部材３５をウェーハ保持面４ａに向かって（すなわち、ウェーハＷのエッジに向かって）移動させる。第１押圧部材３５は、第１研磨テープ１２の研磨面をウェーハＷのエッジに対して押し付けることができる。

動作制御部１が気体切換弁４２に指令を発して、第２気体導入ライン４１を気体供給ライン４４に接続し、かつ第１気体導入ライン４０を大気に連通させると、エアシリンダ３７は、第１押圧部材３５をウェーハ保持面４ａから離れる方向に（すなわち、ウェーハＷのエッジから離れる方向に）移動させる。第１研磨テープ１２の研磨面は、ウェーハＷのエッジから離れ、第１研磨テープ１２によるウェーハＷのエッジの研磨が停止される。

本実施形態では、エアシリンダ３７と気体切換弁４２の組み合わせは、第１押圧部材３５をウェーハ保持面４ａに向かって移動させ、かつ第１押圧部材３５をウェーハ保持面４ａから離れる方向に移動させる第１アクチュエータ４８を構成する。一実施形態では、第１アクチュエータ４８は、モータとボールねじ機構との組み合わせから構成されてもよい。

第１研磨ユニット１０は、第１研磨テープ１２を第１巻き出しリール１７から第１巻き取りリール１８へ送る第１テープ送り機構５１を備えている。第１テープ送り機構５１は第１研磨ヘッド１４に設けられている。一実施形態では、第１テープ送り機構５１は、第１研磨ヘッド１４から離れて設けられてもよい。

第１テープ送り機構５１は、第１研磨テープ１２をその長手方向に送るテープ送りローラー５１ａと、第１研磨テープ１２をテープ送りローラー５１ａに対して押し付けるニップローラー５１ｂと、テープ送りローラー５１ａを回転させるテープ送りモータ５１ｃとを備えている。テープ送りモータ５１ｃは第１研磨ヘッド１４の側面に設けられ、テープ送りモータ５１ｃの回転軸にテープ送りローラー５１ａが取り付けられている。ニップローラー５１ｂはテープ送りローラー５１ａに隣接して配置されている。ニップローラー５１ｂは、図４の矢印ＮＦで示す方向（テープ送りローラー５１ａに向かう方向）に力を発生するように図示しない機構で支持されており、第１研磨テープ１２をテープ送りローラー５１ａに対して押し付けるように構成されている。

第１研磨テープ１２はニップローラー５１ｂとテープ送りローラー５１ａとの間に挟まれている。テープ送りモータ５１ｃが図４に示す矢印方向に回転すると、テープ送りローラー５１ａが回転して第１研磨テープ１２を第１巻き出しリール１７から第１研磨ヘッド１４を経由して第１巻き取りリール１８へ送る。ニップローラー５１ｂはそれ自身の軸心まわりに回転することができるように構成されている。

第１研磨ヘッド１４は、第１研磨テープ１２を支持する複数のガイドローラー５３Ａ，５３Ｂ，５３Ｃ，５３Ｄ，５３Ｅ，５３Ｆを有している。第１研磨テープ１２の進行方向は、これらガイドローラー５３Ａ，５３Ｂ，５３Ｃ，５３Ｄ，５３Ｅ，５３Ｆによってガイドされる。第１押圧部材３５の両側に配置された２つのガイドローラー５３Ｄ，５３Ｅは、ウェーハ保持面４ａの半径方向に沿って配列されている。これらガイドローラー５３Ｄ，５３Ｅは、ウェーハＷ上の研磨点において、第１研磨テープ１２がウェーハ保持面４ａの半径方向（すなわちウェーハＷの半径方向）に延びるように第１研磨テープ１２を支持する第１テープ支持機構を構成する。

第１押圧部材３５は、第１研磨テープ１２の裏側に配置されている。第１アクチュエータ４８を構成するエアシリンダ３７はこの第１押圧部材３５をウェーハ保持面４ａ上のウェーハＷのエッジに向かって移動させ、第１押圧部材３５は第１研磨テープ１２をウェーハＷのエッジに押し付ける。エアシリンダ３７へ供給する気体の圧力を制御することによって、ウェーハＷへの研磨圧力が調整される。

第１押圧部材３５は、第１研磨テープ１２の裏側に接触する研磨ブレード３５ａを有している。第１研磨テープ１２の研磨面は、研磨ブレード３５ａによってウェーハＷのエッジに対して押し付けられる。研磨ブレード３５ａは、ウェーハＷのエッジの周方向に沿って湾曲している。したがって、研磨ブレード３５ａが第１研磨テープ１２をウェーハＷのエッジに対して押し付けているとき、研磨ブレード３５ａはウェーハＷのエッジに沿って延びる。このような形状を有する研磨ブレード３５ａは、第１研磨テープ１２とウェーハＷとの接触箇所の全体において、研磨レートを均一にすることができる。

図４に示すように、第１研磨ユニット１０は、第１アクチュエータ４８によって移動された第１押圧部材３５の移動距離を測定する距離センサ５８を備えている。距離センサ５８は、第１研磨ヘッド１４に固定されている。距離センサ５８は、第１押圧部材３５の変位を測定する変位センサであってもよい。この距離センサ５８は、第１研磨テープ１２によってウェーハＷのエッジに形成された窪み（後述する）の深さを測定するために設けられている。すなわち、ウェーハＷを回転させながら、第１押圧部材３５が第１研磨テープ１２をウェーハＷのエッジに押し付けると、第１研磨テープ１２はウェーハＷのエッジに窪みを形成する。この窪みの深さは、第１押圧部材３５の移動距離から求めることができる。したがって、第１押圧部材３５の移動距離を測定する距離センサ５８は、第１研磨テープ１２によってウェーハＷのエッジに形成された窪みの深さを測定する深さ測定器として機能する。距離センサ５８は動作制御部１に電気的に接続されており、第１押圧部材３５の移動距離の測定値（すなわち、窪みの深さの測定値）は、動作制御部１に送られようになっている。

ウェーハＷのエッジの研磨中、動作制御部１は、窪みの深さ（第１押圧部材３５の初期位置からの移動距離）を監視し、窪みの深さが目標値に達したことを検出する。動作制御部１は、第１研磨ヘッド１４、第１研磨ヘッド移動機構２６、およびウェーハ回転装置３に指令を発して、窪みの深さが少なくとも目標値に達するまで、第１研磨テープ１２を用いたウェーハＷのエッジの研磨を継続させる。窪みの深さの目標値は、少なくとも１０μｍである。一例では、窪みの深さの目標値は、３０μｍ〜１００μｍである。

次に、第２研磨ユニット２０について説明する。図２および図３に示すように、第２研磨ユニット２０は、ウェーハＷのエッジを第２研磨テープ６０で研磨する第２研磨ヘッド６２と、第２研磨テープ６０を第２研磨ヘッド６２に供給し、第２研磨ヘッド６２から回収する第２研磨テープ供給機構６５を備えている。第２研磨ヘッド６２は、第２研磨テープ６０をウェーハＷのエッジに押し付ける第２押圧部材６７と、第２押圧部材６７をウェーハ保持面４ａに対して垂直な方向（すなわちウェーハＷの上面に対して垂直な方向）に移動させる第２アクチュエータ７０を備えている。

第２研磨ユニット２０は、第２押圧部材６７および第２アクチュエータ７０を含む第２研磨ヘッド６２の全体を、回転軸心ＣＬに向かう方向および回転軸心ＣＬから離れる方向に移動させる第２研磨ヘッド移動機構７６を備えている。さらに、第２研磨ユニット２０は、第２研磨テープ６０および第２研磨テープ供給機構６５を、回転軸心ＣＬに向かう方向および回転軸心ＣＬから離れる方向に移動させる第２研磨テープ移動機構７３（図３参照）をさらに備えている。

第２研磨ヘッド移動機構７６および第２研磨テープ移動機構７３は、互いに独立に動作可能となっている。したがって、第２押圧部材６７の第２研磨テープ６０に対する相対位置は、第２研磨ヘッド移動機構７６および第２研磨テープ移動機構７３によって調整することができる。第２アクチュエータ７０、第２研磨ヘッド移動機構７６、および第２研磨テープ移動機構７３としては、エアシリンダの組み合わせ、またはモータとボールねじ機構との組み合せなどを使用することができる。

図３に示すように、第２研磨テープ供給機構６５は、第２研磨テープ６０を巻き出す第２巻き出しリール７１と、第２研磨テープ６０を巻き取る第２巻き取りリール７２
と、第２研磨テープ６０を支持する第１ガイドローラー７４および第２ガイドローラー７５を備えている。第２巻き出しリール７１および第２巻き取りリール７２は、基台８１に回転可能に支持されている。第２巻き出しリール７１および第２巻き取りリール７２にはテンションモータ７７，７８がそれぞれ連結されている。それぞれのテンションモータ７７，７８は、第２巻き出しリール７１および第２巻き取りリール７２に所定のトルクを与え、第２研磨テープ６０に所定のテンションを掛けることができるようになっている。

第１ガイドローラー７４および第２ガイドローラー７５も、基台８１に回転可能に支持されている。第１ガイドローラー７４および第２ガイドローラー７５は、第２押圧部材６７の両側に配置されている。すなわち、第１ガイドローラー７４は、第２巻き出しリール７１と第２押圧部材６７との間に配置され、第２ガイドローラー７５は、第２押圧部材６７と第２巻き取りリール７２との間に配置されている。これら２つのガイドローラー７４，７５は、ウェーハＷの研磨点（すなわち第２研磨テープ６０とウェーハＷとの接触点）において、第２研磨テープ６０がウェーハＷの接線方向に延びるように第２研磨テープ６０を支持する第２テープ支持機構を構成する。第１ガイドローラー７４および第２ガイドローラー７５は、ウェーハＷの接線方向に沿って配列されている。

図５は、第２研磨ヘッド６２および第２研磨テープ供給機構６５をウェーハ側から見た図である。図５に示すように、第２巻き出しリール７１と第２巻き取りリール７２との間には、第２研磨テープ送り機構８４が設けられている。第２研磨テープ送り機構８４は、第２研磨テープ６０をその長手方向に送るテープ送りローラー８５と、第２研磨テープ６０をテープ送りローラー８５に対して押し付けるニップローラー８６と、テープ送りローラー８５を回転させるテープ送りモータ８７とを備えている。第２研磨テープ６０はニップローラー８６とテープ送りローラー８５との間に挟まれている。テープ送りモータ８７がテープ送りローラー８５を回転させると、第２研磨テープ６０は第２巻き出しリール７１から第２研磨ヘッド６２を経由して第２巻き取りリール７２に所定の速度で送られる。

第２研磨テープ６０は、その研磨面がウェーハＷのエッジに対向するように第２研磨テープ供給機構６５によって支持されている。第２研磨テープ６０の片面は、砥粒が固定された研磨面を構成している。第２研磨テープ６０は、ウェーハＷの研磨点（すなわち第２研磨テープ６０とウェーハＷとの接触点）において、ウェーハＷの接線方向に延びている。第２押圧部材６７は、第２研磨テープ６０をウェーハＷのエッジに押し付けるための構造体であり、ウェーハ保持面４ａの外周部の上方に位置している。第２押圧部材６７は、ウェーハ保持面４ａに保持されたウェーハＷのエッジに対向している。

第１研磨テープ１２は、ウェーハＷのエッジを粗研磨するための粗研磨具であり、第２研磨テープ６０はウェーハＷのエッジを仕上げ研磨するための仕上げ研磨具である。第１研磨テープ１２は、第２研磨テープ６０よりも粗い研磨面を有している。したがって、第１研磨テープ１２は、第２研磨テープ６０よりも高い研磨レート（除去レートともいう）でエッジを研磨することができる。第１研磨テープ１２の幅は、第２研磨テープ６０の幅よりも大きい。一例では、第１研磨テープ１２の幅は、第２研磨テープ６０の幅の約１０倍である。

ウェーハＷのエッジの研磨は、第１研磨工程と第２研磨工程に分けられる。第１研磨工程は第１研磨ユニット１０によって実行される粗研磨であり、第２研磨工程は第２研磨ユニット２０によって実行される仕上げ研磨である。ウェーハＷのエッジの研磨は、次のようして行われる。図２に示すように、ウェーハＷの下面はウェーハ保持面４ａに保持され、ウェーハＷは回転軸心ＣＬを中心に回転される。図示しないノズルから液体（例えば純水）がウェーハＷの上面の中心に供給される。液体は、遠心力によりウェーハＷの上面の全体に広がる。

第１研磨ヘッド１４は、第１研磨テープ１２をウェーハＷのエッジに押し付け、該エッジを研磨する。より具体的には、図４に示すように、第１アクチュエータ４８のエアシリンダ３７は、第１押圧部材３５をウェーハＷのエッジに向かって移動させ、第１押圧部材３５の研磨ブレード３５ａは第１研磨テープ１２をウェーハＷのエッジに押し付ける。ウェーハＷのエッジの研磨中は、第１研磨テープ１２は、その長手方向に所定の速度で第１研磨テープ送り機構５１により送られる。さらに、第１研磨ヘッド移動機構２６（図２参照）は、第１研磨ヘッド１４および第１研磨テープ１２をウェーハＷの半径方向において外側に移動させる。一実施形態では、第１研磨ヘッド移動機構２６は、第１研磨ヘッド１４および第１研磨テープ１２をウェーハＷの半径方向に往復させてもよい。

図６（ａ）に示すように、第１研磨テープ１２および第１押圧部材３５は、ウェーハＷの外側に移動しながら、第１押圧部材３５の研磨ブレード３５ａは第１研磨テープ１２の研磨面をウェーハＷのエッジに押し付ける。第１研磨テープ１２の研磨面は、液体の存在下でウェーハＷのエッジに摺接し、ウェーハＷのエッジに窪み３００を形成する。

深さ測定器としての距離センサ５８は、ウェーハＷのエッジの研磨中に、第１押圧部材３５の移動距離を測定する。第１押圧部材３５の移動距離は、ウェーハＷの平坦なデバイス面Ｖ（本実施形態ではウェーハＷの上面）に対して垂直な方向への第１押圧部材３５の移動距離である。窪みの深さ３００は、第１研磨テープ１２がウェーハＷのエッジに接触した瞬間の初期位置からの第１押圧部材３５の移動距離に相当する。一例では、初期位置は、ウェーハＷが回転していないときに第１押圧部材３５が第１研磨テープ１２をウェーハＷのエッジに接触させたときの第１押圧部材３５の位置とすることができる。第１押圧部材３５の移動距離の測定値は、距離センサ５８から動作制御部１に送信される。

図６（ｂ）は、第１研磨テープ１２によって形成された窪み３００の一例を示す断面図である。第１研磨テープ１２によって形成される窪み３００の深さＤは、少なくとも１０μｍである。窪み３００の深さＤは、ウェーハＷのデバイス面Ｖ（本実施形態ではウェーハＷの上面）から窪み３００の最深点までの距離を表す。一例では、窪み３００の深さＤは、３０μｍ〜１００μｍである。

窪み３００が形成された後、第１アクチュエータ４８は、第１押圧部材３５をウェーハＷから離れる方向に移動させ、第１研磨テープ１２はウェーハＷのエッジから離れる。

次に、第２研磨テープ６０を用いたウェーハＷのエッジが開始される。より具体的には、図７（ａ）に示すように、第２アクチュエータ７０は、第２押圧部材６７をウェーハＷのデバイス面Ｖに向かって移動させ、第２押圧部材６７で第２研磨テープ６０の研磨面を窪み３００に押し付ける。ウェーハＷのエッジの研磨中は、第２研磨テープ６０は、その長手方向に所定の速度で第２研磨テープ送り機構８４（図３参照）により送られる。第２研磨テープ６０の研磨面は、液体の存在下で窪み３００に摺接し、ウェーハＷのエッジに、直角の断面形状を有する段部を形成する。

図７（ｂ）は、第２研磨テープ６０によって形成された段部の一例を示す断面図である。段部３０５は、ウェーハＷのデバイス面Ｖ（本実施形態ではウェーハＷの上面）に平行な第１面３０６と、デバイス面Ｖに垂直な第２面３０７から構成される。第１面３０６と第２面３０７は互いに垂直である。

本実施形態によれば、粗い研磨面を有する第１研磨テープ１２は、高い研磨レート（すなわち高い除去レート）でウェーハＷのエッジに深い窪み３００を形成することができる。その後、細かい研磨面を有する第２研磨テープ６０は、既に窪み３００が形成されたエッジを研磨するので、滑らかな面３０６，３０７から構成された段部３０５をウェーハＷのエッジに速やかに形成することができる。結果として、高いスループットが達成できる。

一実施形態では、図８（ａ）および図８（ｂ）に示すように、第２研磨テープ６０は、その一部が第２押圧部材６７の内側角部上で折り曲げられた状態で、ウェーハＷのエッジを研磨してもよい。第２研磨テープ６０の折り曲げられた部分６０ａは、第２面３０７に接触し、第２面３０７をより滑らかに研磨することができる。第２研磨テープ６０の折り曲げられた部分６０ａの幅は、第２面３０７の高さよりも大きいことが好ましい。

さらに、一実施形態では、図９（ａ）に示すように、第１研磨テープ１２によって形成された窪み３００よりも内側の部位に第２研磨テープ６０を押し付けてもよい。この場合も、図９（ｂ）に示すように、第２研磨テープ６０は、ウェーハＷのデバイス面Ｖに平行な第１面３０６と、デバイス面Ｖに垂直な第２面３０７からなる段部３０５を形成することができる。段部３０５の深さは、窪み３００の深さよりも小さく、ウェーハＷのエッジには窪み３００の一部が残る。図８（ａ）および図８（ｂ）を参照して説明した実施形態は、図９（ａ）および図９（ｂ）に示す実施形態にも適用してもよい。

図１０は、第１研磨ユニット１０の他の実施形態を示す図である。図１０に示す第１研磨ユニット１０は、第１押圧部材３５が研磨ブレード３５ａを備えていない点、および第１研磨ヘッド移動機構２６が設けられていない点で、図２に示す実施形態と相違する。その他の構成および動作は、先に説明した実施形態と同じであるので、その重複する説明を省略する。

図１１は、図１０に示す第１押圧部材３５を示す拡大図である。第１押圧部材３５の平坦な前面は、第１研磨テープ１２の裏側に接触し、第１研磨テープ１２の研磨面をウェーハＷのエッジに押し付ける。図６に示す実施形態に比べて、第１研磨テープ１２の研磨面とウェーハＷとの接触面積は大きいので、ウェーハＷのエッジの研磨中に第１押圧部材３５および第１研磨テープ１２を、ウェーハＷの半径方向において外側に移動させる必要はない。

図１２は、研磨装置の他の実施形態を示す側面図である。特に説明しない本実施形態の構成および動作は、図２を参照して説明した実施形態と同じであるので、その重複する説明を省略する。本実施形態では、第１研磨ユニット１０は、第１研磨ヘッド１４をウェーハ保持面４ａと平行な平面内で円運動させる円運動機構９１をさらに備えている。円運動機構９１は、ヘッド支持部材２５と第１研磨ヘッド１４との間に配置されている。すなわち、円運動機構９１は、ヘッド支持部材２５と第１研磨ヘッド１４の両方に連結されている。円運動機構９１は、動作制御部１に接続されており、円運動機構９１の始動および停止は、動作制御部１によって制御される。

図１３は、第１研磨ヘッド１４を円運動させるための円運動機構９１の一実施形態を示す模式図である。図１３に示す円運動機構９１は、モータ９２と、モータ９２の回転軸９３に固定された偏心回転体９５と、偏心回転体９５に軸受９７を介して連結されたテーブル９９と、テーブル９９を支持する複数のクランク１００を備えている。図１３では１つのクランク１００のみが図示されているが、少なくとも３つのクランク１００が偏心回転体９５の周りに配列されている。モータ９２は、基台１０１に固定されている。

偏心回転体９５の軸心９５ａは、モータ９２の回転軸９３の軸心９３ａから距離ｅだけ離れている。よって、モータ９２が作動すると、偏心回転体９５は半径ｅの円運動を行う。クランク１００は、互いに固定された第１軸体１０２と第２軸体１０３を有する。第１軸体１０２の軸心１０２ａと第２軸体１０３の軸心１０３ａも、同様に、距離ｅだけ離れている。第１軸体１０２は、テーブル９９に保持された軸受１０５によって回転可能に支持されており、第２軸体１０３は軸受１０７によって回転可能に支持されている。軸受１０７は、基台１０１に固定された支持部材１０９に固定されている。

上記構成によれば、モータ９２が回転すると、偏心回転体９５が半径ｅの円運動を行い、軸受９７を介して偏心回転体９５に連結されたテーブル９９も半径ｅの円運動を行う。本明細書において、円運動は、対象物が円軌道上を移動する運動と定義される。

テーブル９９は、複数のクランク１００によって支持されているので、テーブル９９が円運動を行っているとき、テーブル９９自体は回転しない。このようなテーブル９９の運動は、並進回転運動とも呼ばれる。本明細書において、対象物自体は回転せずに、対象物が円軌道上を移動する運動は、並進回転運動と定義される。この並進回転運動は、円運動の１つの具体例である。

テーブル９９はウェーハ保持面４ａと平行な面９９ａを有している。本実施形態では、第１研磨ヘッド１４は、テーブル９９の面９９ａに固定され、基台１０１はヘッド支持部材２５に固定される。よって、研磨ヘッド５０は、テーブル９９とともに円運動（並進回転運動）を行う。本実施形態では、円運動機構９１は、第１研磨ヘッド１４を並進回転運動させる並進回転機構である。

本実施形態によれば、第１研磨ヘッド１４に含まれる第１押圧部材３５、および第１押圧部材３５に支持されている第１研磨テープ１２は円運動しながら、第１押圧部材３５は第１研磨テープ１２をウェーハＷのエッジに押し付ける。第１研磨テープ１２は、より高い研磨レートでウェーハＷのエッジを研磨することができる。

図１２および図１３に示す実施形態は、図１０に示す実施形態にも適用することができる。

図１４は、研磨装置の他の実施形態を示す上面図である。特に説明しない本実施形態の構成および動作は、図２乃至図５を参照して説明した実施形態と同じであるので、その重複する説明を省略する。本実施形態では、第２研磨テープ６０は、外側研磨テープ６０Ａと、内側研磨テープ６０Ｂから構成される。外側研磨テープ６０Ａと内側研磨テープ６０Ｂは、隣り合わせに配置される。より具体的には、内側研磨テープ６０Ｂは、外側研磨テープ６０Ａの内側に配置されている。内側研磨テープ６０Ｂは、外側研磨テープ６０Ａよりも、ウェーハ保持面４ａの回転軸心ＣＬの近くに位置している。

第２研磨テープ供給機構６５は、外側研磨テープ６０Ａを巻き出す外側巻き出しリール７１と、外側研磨テープ６０Ａを巻き取る外側巻き取りリール７２と、内側研磨テープ６０Ｂを巻き出す内側巻き出しリール１１１と、内側研磨テープ６０Ｂを巻き取る内側巻き取りリール１１２と、外側研磨テープ６０Ａおよび内側研磨テープ６０Ｂを支持する第１ガイドローラー７４および第２ガイドローラー７５を備えている。外側巻き出しリール７１と内側巻き出しリール１１１は、テンションモータ７７に連結され、外側巻き取りリール７２と内側巻き取りリール１１２は、テンションモータ７８に連結されている。

外側研磨テープ６０Ａおよび内側研磨テープ６０Ｂは、第２テープ送り機構７６のニップローラー８６とテープ送りローラー８５との間に挟まれており、第２テープ送り機構７６は、外側研磨テープ６０Ａおよび内側研磨テープ６０Ｂを同じ速度で同じ方向に送り出すように構成されている。

第２研磨テープ供給機構６５は、内側研磨テープ６０Ｂを９０度に捻る２つの捻りローラー１２０，１２１をさらに備えている。２つの捻りローラー１２０，１２１は、第１ガイドローラー７４と第２ガイドローラー７５との間に配置され、かつ第２押圧部材６７の両側に配置されている。捻りローラー１２０，１２１は、基台８１に固定された図示しない保持部材に回転可能に保持されている。捻りローラー１２０，１２１はその軸心を中心に回転可能である。捻りローラー１２０，１２１の軸心は、ウェーハ保持面４ａに対して垂直である。

第１ガイドローラー７４と第２ガイドローラー７５との間を延びる内側研磨テープ６０Ｂは、２つの捻りローラー１２０，１２１によって捻られ、内側研磨テープ６０Ｂの研磨面はウェーハ保持面４ａに対して垂直となり、かつウェーハ保持面４ａの回転軸心ＣＬを向く。一方、外側研磨テープ６０Ａの研磨面は、ウェーハ保持面４ａと平行である。したがって、第２押圧部材６７に接触している外側研磨テープ６０Ａの研磨面と内側研磨テープ６０Ｂの研磨面は、互いに垂直である。

第１ガイドローラー７４と第２ガイドローラー７５は、ウェーハＷ上の研磨点（すなわち、外側研磨テープ６０ＡとウェーハＷとの接触点）において、外側研磨テープ６０ＡがウェーハＷの接線方向に延びるように、外側研磨テープ６０Ａを支持する第２テープ支持機構を構成する。同様に、２つの捻りローラー１２０，１２１も、ウェーハＷ上の研磨点（すなわち、内側研磨テープ６０ＢとウェーハＷとの接触点）において、内側研磨テープ６０ＢがウェーハＷの接線方向に延びるように、内側研磨テープ６０Ｂを支持する第２テープ支持機構を構成する。

図１５（ａ）は、ウェーハＷのエッジを研磨している外側研磨テープ６０Ａおよび内側研磨テープ６０Ｂを示す断面図であり、図１５（ｂ）は、外側研磨テープ６０Ａおよび内側研磨テープ６０Ｂによって形成された段部を示す断面図である。図１５（ａ）に示すように、外側研磨テープ６０Ａは、第１研磨テープ１２によって形成された窪み３００に第２押圧部材６７の下面によって押し付けられ、同時に内側研磨テープ６０Ｂは、第２押圧部材６７の内側面によって窪み３００に押し付けられる。

図１５（ｂ）に示すように、外側研磨テープ６０Ａは、ウェーハＷのデバイス面Ｖに対して平行な第１面３０６を形成し、内側研磨テープ６０Ｂは、ウェーハＷのデバイス面Ｖに垂直な第２面３０７を形成する。結果として、外側研磨テープ６０Ａおよび内側研磨テープ６０Ｂは、直角の断面形状を持つ段部３０５をウェーハＷのエッジに形成することができる。

図１４に示す実施形態は、図１０に示す実施形態、および図１２および図１３に示す実施形態にも適用することができる。

図１６は、研磨装置のさらに他の実施形態を示す上面図である。特に説明しない本実施形態の構成および動作は、図２乃至図５を参照して説明した実施形態と同じであるので、その重複する説明を省略する。本実施形態では、第１研磨ユニット１０は、第１研磨テープ１２に代えて、砥石１３０を研磨具として備えている。第１押圧部材３５および第１研磨テープ供給機構１６は設けられていない。図１６に示すように、第１研磨ヘッド１４は、砥石１３０を回転させる研磨具モータ１３２と、研磨具モータ１３２に連結された第１アクチュエータ４８を備えている。

砥石１３０は、円盤形状を有している。砥石１３０は、第２研磨テープ６０の研磨面よりも粗い研磨面を有している。研磨具モータ１３２の回転軸１３２ａは、ウェーハ保持面４ａに対して垂直である。第１アクチュエータ４８は、研磨具モータ１３２および砥石１３０を一体にウェーハ保持面４ａと垂直な方向に移動させるように構成されている。第１アクチュエータ４８は、図４を参照して説明したエアシリンダ３７と気体切換弁４２の組み合わせであってもよいし、またはモータとボールねじ機構の組み合わせであってもよい。

第１研磨ユニット１０は、第１アクチュエータ４８によって移動された砥石１３０の移動距離を測定する距離センサ５８を備えている。距離センサ５８は、第１研磨ヘッド１４に固定されている。研磨具モータ１３２には、センサターゲット１３５が固定されている。センサターゲット１３５は、第１アクチュエータ４８によって砥石１３０と一体に移動される。距離センサ５８は、砥石１３０の移動距離に相当するセンサターゲット１３５の移動距離を測定するように構成されている。距離センサ５８は、研磨具モータ１３２の移動距離を測定するように配置されてもよい。この場合は、センサターゲット１３５は省略することができる。

先述した実施形態と同じように、距離センサ５８は、砥石１３０によってウェーハＷのエッジに形成された窪みの深さを測定するために設けられている。距離センサ５８は、砥石１３０によってウェーハＷのエッジに形成された窪みの深さを測定する深さ測定器として機能する。距離センサ５８は動作制御部１に電気的に接続されており、砥石１３０の移動距離の測定値（すなわち、窪みの深さの測定値）は、動作制御部１に送られようになっている。

第１アクチュエータ４８は、ヘッド支持部材２５に支持されている。ヘッド支持部材２５は、第１研磨ヘッド移動機構２６に連結されている。第１研磨ヘッド移動機構２６は、第１研磨ヘッド１４および砥石１３０を、ウェーハ保持面４ａの半径方向、すなわちウェーハＷの半径方向に移動させるように構成されている。

ウェーハＷのエッジの研磨は、次のようして行われる。図１６に示すように、ウェーハＷの下面はウェーハ保持面４ａに保持され、ウェーハＷは回転軸心ＣＬを中心に回転される。図示しないノズルから液体（例えば純水）がウェーハＷの上面の中心に供給される。液体は、遠心力によりウェーハＷの上面の全体に広がる。

図１７（ａ）に示すように、研磨具モータ１３２は、砥石１３０をその軸心を中心に回転させる。第１アクチュエータ４８は、回転する砥石１３０をウェーハＷのエッジに押し付ける。第１アクチュエータ４８が砥石１３０をウェーハＷのエッジに押し付けながら、第１研磨ヘッド移動機構２６は、第１研磨ヘッド１４および砥石１３０をウェーハＷの半径方向において外側に移動させる。砥石１３０の研磨面は、液体の存在下でウェーハＷのエッジに摺接し、ウェーハＷのエッジに窪み３００を形成する。一実施形態では、第１研磨ヘッド移動機構２６は、第１研磨ヘッド１４および砥石１３０をウェーハＷの半径方向において往復移動させてもよい。

深さ測定器としての距離センサ５８は、ウェーハＷのエッジの研磨中に、砥石１３０の移動距離を測定する。砥石１３０の移動距離は、ウェーハＷのデバイス面Ｖ（本実施形態ではウェーハＷの上面）に対して垂直な方向への砥石１３０の移動距離である。窪み３００の深さは、砥石１３０がウェーハＷのエッジに接触した瞬間の初期位置からの砥石１３０の移動距離に相当する。一例では、初期位置は、ウェーハＷおよび砥石１３０が回転していないときに砥石１３０をウェーハＷのエッジに接触させたときの砥石１３０の位置とすることができる。砥石１３０の移動距離の測定値（すなわち、窪み３００の深さの測定値）は、距離センサ５８から動作制御部１に送信される。

ウェーハＷのエッジの研磨中、動作制御部１は、窪み３００の深さ（砥石１３０の初期位置からの移動距離）を監視し、窪み３００の深さが目標値に達したことを検出する。動作制御部１は、第１研磨ヘッド１４、第１研磨ヘッド移動機構２６、およびウェーハ回転装置３に指令を発して、窪み３００の深さが少なくとも目標値に達するまで、砥石１３０を用いたウェーハＷのエッジの研磨を継続させる。窪み３００の深さの目標値は、少なくとも１０μｍである。一例では、窪み３００の深さの目標値は、３０μｍ〜１００μｍである。

図１７（ｂ）は、砥石１３０によって形成された窪みの一例を示す断面図である。砥石１３０によって形成される窪みの深さＤは、少なくとも１０μｍである。一例では、窪みの深さＤは、３０μｍ〜１００μｍである。

窪み３００が形成された後、第１アクチュエータ４８は、砥石１３０をウェーハＷから離れる方向に移動させる。次に、第２研磨テープ６０を用いたウェーハＷのエッジが開始される。第２研磨テープ６０を用いた研磨は、図７（ａ）および図７（ｂ）に示す実施形態と同じようにして行われるので、その重複する説明を省略する。

図１８は、研磨装置のさらに他の実施形態を示す上面図である。特に説明しない本実施形態の構成および動作は、図１６を参照して説明した実施形態と同じであるので、その重複する説明を省略する。図１８に示すように、第１研磨ユニット１０は、第１研磨ヘッド１４および砥石１３０をウェーハ保持面４ａと平行な平面内で円運動させる円運動機構９１をさらに備えている。円運動機構９１は、ヘッド支持部材２５と第１研磨ヘッド１４との間に配置されている。すなわち、円運動機構９１は、ヘッド支持部材２５と第１研磨ヘッド１４の両方に連結されている。円運動機構９１は、動作制御部１に接続されており、円運動機構９１の始動および停止は、動作制御部１によって制御される。円運動機構９１は、図１３に示す円運動機構９１と同じ構成であるので、その重複する説明を省略する。

本実施形態によれば、砥石１３０はその軸心を中心に回転し、かつウェーハＷのエッジに平行な平面内で円運動しながら、砥石１３０はウェーハＷのエッジに押し付けられる。砥石１３０は、より高い研磨レートでウェーハＷのエッジを研磨することができる。

窪みが形成された後、第１アクチュエータ４８は、砥石１３０をウェーハＷから離れる方向に移動させる。次に、第２研磨テープ６０を用いたウェーハＷのエッジが開始される。第２研磨テープ６０を用いた研磨は、図７（ａ）および図７（ｂ）に示す実施形態と同じようにして行われるので、その重複する説明を省略する。

上述した各実施形態は、適宜組み合わせることができる。例えば、図８、図９、図１４に示す実施形態は、図１６および図１８に示す実施形態に適用することができる。

上述した実施形態は、本発明が属する技術分野における通常の知識を有する者が本発明を実施できることを目的として記載されたものである。上記実施形態の種々の変形例は、当業者であれば当然になしうることであり、本発明の技術的思想は他の実施形態にも適用しうる。したがって、本発明は、記載された実施形態に限定されることはなく、特許請求の範囲によって定義される技術的思想に従った最も広い範囲に解釈されるものである。

１ 動作制御部
３ ウェーハ回転装置（基板回転装置）
４ 保持ステージ
４ａ ウェーハ保持面（基板保持面）
８ モータ
９ 真空ライン
１０ 第１研磨ユニット
１２ 第１研磨テープ
１４ 第１研磨ヘッド
１６ 第１研磨テープ供給機構
１７ 第１巻き出しリール
１８ 第１巻き取りリール
２０ 第２研磨ユニット
２１，２２ テンションモータ
２５ ヘッド支持部材
２６ 第１研磨ヘッド移動機構
２８ ボールねじ機構
２８ａ ナット機構
２８ｂ ねじ軸
２９ モータ
３５ 第１押圧部材
３５ａ 研磨ブレード
３７ エアシリンダ
４０ 第１気体導入ライン
４１ 第２気体導入ライン
４２ 気体切換弁
４４ 気体供給ライン
４６ 気体供給源
４８ 第１アクチュエータ
５１ 第１テープ送り機構
５１ａ テープ送りローラー
５１ｂ ニップローラー
５１ｃ テープ送りモータ
５３Ａ，５３Ｂ，５３Ｃ，５３Ｄ，５３Ｅ，５３Ｆ ガイドローラー
５８ 距離センサ
６０ 第２研磨テープ
６０Ａ 外側研磨テープ
６０Ｂ 内側研磨テープ
６２ 第２研磨ヘッド
６５ 第２研磨テープ供給機構
６７ 第２押圧部材
７０ 第２アクチュエータ
７１ 第２巻き出しリール
７２ 第２巻き取りリール
７３ 第２研磨テープ移動機構
７４ 第１ガイドローラー
７５ 第２ガイドローラー
７６ 第２研磨ヘッド移動機構
８１ 基台
８４ 第２研磨テープ送り機構
８５ テープ送りローラー
８６ ニップローラー
８７ テープ送りモータ
９１ 円運動機構
９２ モータ
９３ 回転軸
９５ 偏心回転体
９７ 軸受
９９ テーブル
１００ クランク
１０１ 基台
１０２ 第１軸体
１０３ 第２軸体
１０５ 軸受
１０７ 軸受
１０９ 支持部材
１１１ 内側巻き出しリール
１１２ 内側巻き取りリール
１２０，１２１ 捻りローラー
１３０ 砥石
１３２ 研磨具モータ
１３５ センサターゲット
３００ 窪み
３０５ 段部
３０６ 第１面
３０７ 第２面

Claims (20)

1. 基板を回転させ、
   前記基板上の研磨点において該基板の半径方向に延びる第１研磨テープを前記基板のエッジに押し付けることで、前記エッジに窪みを形成し、
   第２研磨テープを前記基板のエッジに押し付けることで、直角の断面形状を有する段部を前記エッジに形成する工程を含み、
   前記第１研磨テープは、前記第２研磨テープの研磨面よりも粗い研磨面を有する、研磨方法。
2. 前記窪みの深さは、少なくとも１０μｍである、請求項１に記載の研磨方法。
3. 前記段部を形成する工程は、前記第２研磨テープを前記窪みに押し付けることで、直角の断面形状を有する段部を前記エッジに形成する工程である、請求項１または２に記載の研磨方法。
4. 前記第２研磨テープは、前記基板上の研磨点において該基板の接線方向に延びている、請求項１乃至３のいずれか一項に記載の研磨方法。
5. 前記第１研磨テープの幅は、前記第２研磨テープの幅よりも大きい、請求項１乃至４のいずれか一項に記載の研磨方法。
6. 基板を回転させ、
   研磨具を前記基板のエッジに押し付けながら、前記研磨具を前記基板の外側に向かって移動させることで、前記エッジに窪みを形成し、
   研磨テープを前記エッジに押し付けることで、直角の断面形状を有する段部を前記エッジに形成する工程を含み、
   前記研磨具は、前記研磨テープの研磨面よりも粗い研磨面を有する、研磨方法。
7. 前記窪みの深さは、少なくとも１０μｍである、請求項６に記載の研磨方法。
8. 前記段部を形成する工程は、前記研磨テープを前記窪みに押し付けることで、直角の断面形状を有する段部を前記エッジに形成する工程である、請求項６または７に記載の研磨方法。
9. 前記研磨テープは、前記基板上の研磨点において該基板の接線方向に延びている、請求項６乃至８のいずれか一項に記載の研磨方法。
10. 前記研磨具は、前記基板上の研磨点において該基板の半径方向に延びる研磨テープである、請求項６乃至９のいずれか一項に記載の研磨方法。
11. 前記研磨具は砥石である、請求項６乃至９のいずれか一項に記載の研磨方法。
12. 基板保持面を有し、該基板保持面を回転させる基板回転装置と、
    第１研磨テープおよび第２研磨テープと、
    前記基板保持面の半径方向に延びる前記第１研磨テープを支持する第１テープ支持装置と、
    前記第１研磨テープを前記基板保持面上の基板のエッジに押し付ける第１押圧部材と、
    前記第１押圧部材を前記基板保持面に向かって移動させる第１アクチュエータと、
    前記第２研磨テープを前記基板保持面上の前記基板のエッジに押し付ける第２押圧部材と、
    前記第２押圧部材を前記基板保持面に向かって移動させる第２アクチュエータを備えており、
    前記第１研磨テープは、前記第２研磨テープの研磨面よりも粗い研磨面を有する、研磨装置。
13. 前記第１テープ支持装置は、前記基板保持面の半径方向に沿って配列された複数のガイドローラーを含む、請求項１２に記載の研磨装置。
14. 前記第１研磨テープによって前記基板のエッジに形成された窪みの深さを測定する深さ測定器と、
    前記窪みの深さが目標値に達したことを検出する動作制御部をさらに備えており、
    前記目標値は、少なくとも１０μｍである、請求項１２または１３に記載の研磨装置。
15. 前記基板上の研磨点において該基板の接線方向に延びる前記第２研磨テープを支持する第２テープ支持装置をさらに備えている、請求項１２乃至１４のいずれか一項に記載の研磨装置。
16. 基板保持面を有し、該基板保持面を回転させる基板回転装置と、
    研磨具および研磨テープと、
    前記研磨具を前記基板保持面上の基板のエッジに押し付ける第１アクチュエータと、
    前記研磨具を、前記基板保持面の半径方向に移動させる研磨具移動機構と、
    前記研磨テープを前記基板保持面上の前記基板のエッジに押し付ける押圧部材と、
    前記押圧部材を前記基板保持面に向かって移動させる第２アクチュエータを備えており、
    前記研磨具は、前記研磨テープの研磨面よりも粗い研磨面を有する、研磨装置。
17. 前記研磨具によって前記基板のエッジに形成された窪みの深さを測定する深さ測定器と、
    前記窪みの深さが目標値に達したことを検出する動作制御部をさらに備えており、
    前記目標値は、少なくとも１０μｍである、請求項１６に記載の研磨装置。
18. 前記基板上の研磨点において該基板の接線方向に延びる前記研磨テープを支持するテープ支持装置をさらに備えている、請求項１６または１７に記載の研磨装置。
19. 前記研磨具は、前記基板保持面の半径方向に延びる研磨テープである、請求項１６乃至１８のいずれか一項に記載の研磨装置。
20. 前記研磨具は砥石である、請求項１６乃至１８のいずれか一項に記載の研磨装置。

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