KR20090063804A - 연삭 휠 트루잉 공구 및 그 제작방법, 이를 이용한 트루잉장치, 연삭 휠의 제작방법, 및 웨이퍼 에지 연삭장치 - Google Patents

Abstract

본 발명은 연삭 휠 트루잉 공구 및 그 제작방법, 이를 이용한 트루잉 장치, 연삭 휠의 제작방법, 및 웨이퍼 에지 연삭장치에 관한 것이다. 본 발명의 트루잉 공구는, 웨이퍼 에지의 노치(notch)구간을 정삭하기 위한 노치 정삭 휠의 그루브를 보정하기 위한 트루잉 공구(truing tool)로서, 에지가 사다리꼴 형상으로 이루어지며, 상기 노치 정삭 휠의 그루브의 경사면과 동일한 경사를 갖도록 이루어지되, 상기 그루브의 단면 형상과 대응되는 형상으로 형성된 제1트루어로 이루어진다. 또한, 본 발명의 다른 트루잉 공구는 웨이퍼 에지의 라운드(round)구간을 정삭하기 위한 라운드 정삭 휠의 그루브를 보정하기 위한 트루잉 공구(truing tool)로서, 에지가 반타원형 형상으로 라운드지도록 이루어지고, 웨이퍼 에지의 품질규격과 동일하도록, 상기 라운드 정삭 휠의 그루브의 경사면과 동일한 경사를 갖도록 형성된 제2트루어로 이루어진다. 본 발명에 따르면, 상기 트루잉 공구를 이용함으로써 웨이퍼 에지를 연삭하는 휠의 그루브를 용이하게 가공할 수 있다.

트루잉 공구, 웨이퍼 에지, 트루어, 휠, 그루브

Description

연삭 휠 트루잉 공구 및 그 제작방법, 이를 이용한 트루잉 장치, 연삭 휠의 제작방법, 및 웨이퍼 에지 연삭장치{Grinding wheel truing tool and manufacturing method thereof, truing apparatus, manufacturing method of grinding wheel, and wafer edge grinding apparatus using the same}

본 발명은 연삭 휠 트루잉 공구 및 그 제작방법, 이를 이용한 트루잉 장치, 연삭 휠의 제작방법, 및 웨이퍼 에지 연삭장치에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 웨이퍼 에지를 정삭하는 연삭 휠 그루브의 형상을 용이하게 보정하거나 성형함으로써 연삭 휠의 수명을 향상시키고, 웨이퍼 에지를 품질규격에 적합하도록 가공할 수 있는 연삭 휠 트루잉 공구 및 그 제작방법, 이를 이용한 트루잉 장치, 연삭 휠의 제작방법, 및 웨이퍼 에지 연삭장치에 관한 것이다.

일반적으로, 반도체 웨이퍼 에지의 라운드 구간을 연삭 가공하는 방식은 크게 버티컬 연삭 방식과 헬리컬 연삭 방식으로 나뉜다. 버티컬 연삭 방식은 그루브(groove)가 구비된 연삭 휠을 반도체 웨이퍼의 표면과 수평으로 회전시키면서 반도체 웨이퍼의 에지를 그루브의 표면과 접촉시켜 휠 그루브 형상 및 거칠기로 절삭 가공하는 방식이다. 그리고 헬리컬 연삭 방식은 그루브가 구비된 연삭 휠을 반도체 웨이퍼의 표면과 일정한 각도로 기울여 회전시키면서 반도체 웨이퍼의 에지를 그루브의 표면과 접촉시켜 절삭 가공하는 방식이다.

상기와 같은 방식을 이용하여 반도체 웨이퍼의 에지를 가공함에 있어, 상기 연삭 휠은 정해진 품질 규격에 맞도록 반도체 웨이퍼의 에지 형상에 대응되는 그루브를 갖는다.

연삭 휠(보다 엄밀하게는 그루브 부분)의 재질은 금속 본드(metal bond)와 레진 본드(resin bond)로 구분된다.

상기 금속 본드 그루브가 구비된 연삭 휠은 내마모성이 우수하므로 웨이퍼의 연삭 매수가 증가하여도 마모에 의한 그루브의 형상 변화가 작고 웨이퍼의 연삭 가공 중에 금속 본드 그루브의 트루잉(truing)이나 드레싱(dressing)을 시행할 필요가 없는 장점이 있지만, 연삭이 이루어진 에지 표면 기준으로 일정 깊이 만큼 손상층을 형성하고, 휠 마크(wheel mark)와 같은 미세 스크래치가 발생하여 고객이 요구하는 웨이퍼의 표면 품질을 만족시키기 어려운 단점이 있다.

또한, 레진 본드 그루브가 구비된 연삭 휠은 양호한 연삭 품질을 보장한다는 장점은 있지만 연삭 속도가 느리고 그루브의 내마모성이 좋지 않아 웨이퍼의 연삭 가공 중에 그루브의 형상 변화가 빠르게 나타나므로, 이를 보완해 주기 위해 일정한 주기로 트루잉이나 드레싱을 시행해야 한다. 또한 헬리컬 연삭 방식의 경우에는 연삭 휠을 일정한 각도로 기울여서 연삭 공정을 시행해야 하므로 공정이 번거롭고, 휠 밸런스 문제로 인한 휠 직경 제한, 스핀들 수명 단축 등의 단점이 있다.

여기서, 트루잉은 그루브의 형상이 변화되었을 때 그루브의 표준 형상에 대 응되는 에지 형상을 갖는 트루잉 공구(이하, 트루어라 하며, 종래의 트루어는 웨이퍼와 유사한 두께 및 직경을 갖는 형상으로 이루어짐)를 이용하여 그루브의 형상을 복원시켜주는 작업을 의미하고, 드레싱은 외부로 노출된 트루어 지립(砥粒)간의 눈막힘의 원인이 되는 융착 절설(癤屑)을 제거하여 주며, 외부로 노출된 기공에 칩이 끼었을 때 다이아몬드 드레서를 이용하여 입자를 제거, 새로운 지립을 표면에 노출시켜 연삭, 절삭성을 회복하는 목적으로 행하는 작업을 의미한다.

따라서, 종래에는 금속 본드 그루브가 구비된 연삭 휠을 이용하여 반도체 웨이퍼의 에지를 상당량 연삭 가공(황삭(荒削) 공정)한 후, 레진 본드 그루브가 구비된 연삭 휠을 이용하여 반도체 웨이퍼의 에지에 존재하는 휠 마크 등의 미세 스크래치 등을 연삭 제거(정삭(精削), 마무리 공정)하는 2중 연삭 공정을 적용하였다. 이러한 방법은 금속 본드 그루브의 단점으로 지적되는 연삭 품질 저하 문제와 레진 본드 그루브의 단점으로 지적되는 낮은 내마모성으로 인한 수명 저하 문제를 동시에 보완할 수 있는 장점이 있다.

이와 같은, 종래의 연삭장치에 대하여 도 1 내지 도 5를 참조하여 간략히 설명하기로 한다. 여기서, 도 1에 도시된 도면은 웨이퍼 에지의 노치 구간과 라운드 구간을 설명하기 위한 참조도이다.

도 2 내지 도 5를 참조하면, 연삭장치(10)는 웨이퍼(W)를 고정하여 회전시키는 척 구동부(20), 상기 웨이퍼(W)의 에지를 연삭하는 연삭 휠(30) 및 연삭 휠(30)의 그루브(32'),(34')를 보정하는 트루어(S)를 구비한다. 이때, 연삭 휠(30)은 웨이퍼(W)의 노치 및 라운드를 황삭하도록 금속 본드 그루브가 형성된 황삭 연삭 휠(31),(33)과 웨이퍼(W)의 노치 및 라운드를 정삭하도록 레진 본드 그루브가 형성된 정삭 연삭 휠(32),(34)로 이루어진다. 보다 구체적으로, 연삭 휠(30)은 웨이퍼(W)의 라운드 구간을 황삭하는 라운드 황삭 휠(31)과 노치 구간을 황삭하는 노치 황삭 휠(33)로 구성된 황삭 연삭 휠과, 웨이퍼(W)의 노치 구간을 정삭하는 노치 정삭 휠(32)과 라운드 구간을 정삭하는 라운드 정삭 휠(34)로 구성된 정삭 연삭 휠로 이루어진다. 이때, 상기 웨이퍼(W)의 라운드를 정삭하는 휠은 소정 각도의 기울기를 갖도록 형성되어 웨이퍼(W)의 에지를 정삭하므로 헬리컬 휠(34)이라고도 한다.

이와 같은 연삭 휠(30)은 웨이퍼(W)의 회전 방향과 동일 또는 반대방향으로 회전되면서 웨이퍼(W)의 에지와 접촉하여 휠 그루브의 형상 및 거칠기로 절삭 가공이 이루어진다.

한편, 상기 노치 정삭 휠(32)과 라운드 정삭 휠(34)은 일정 시간 또는 일정수 웨이퍼(W)를 가공한 후 마모된 그루브(32'),(34')의 형상이 재성형 되어야 한다. 이는, 전술된 바와 같이 웨이퍼(W)의 두께 및 직경과 동일한 형상 및 크기를 갖는 트루어(S)를 사용함으로써 재성형된다.

상기와 같은 연삭 장치(10)를 이용하여 웨이퍼(W) 에지를 연삭하는 가공순서와 트루어(S)를 이용한 트루잉 작업순서에 대해 간략히 살펴보기로 한다.

웨이퍼 가공순서에 대해 살펴보면, 먼저, 상기 웨이퍼(W)의 중심, 두께 및 노치 정보를 측정한다. 다음으로, 정보가 측정된 웨이퍼(W)를 회전가능한 척(21)에 안착(가공 스테이지 상에 장착)한 후, 웨이퍼(W)의 라운드 구간을 황삭한다. 이어서, 순차적으로 웨이퍼(W)의 노치 구간을 황삭하고, 노치 구간을 정삭하며, 마지막 으로 라운드 구간을 정삭한다. 라운드 구간이 정삭된 웨이퍼(W)는 언로딩된다.

트루잉 작업순서에 대해 살펴보면, 먼저 트루어(S)의 중심 및 두께의 정보를 측정한다. 다음으로, 트루어(S)를 척(21)에 안착한 후, 웨이퍼 라운드 황삭용 휠에 내장된 트루어 형상보정 공구를 이용하여 형상보정한다. 형상보정된 트루어(S)를 이용하여 선택적으로 노치 정삭 휠(32) 또는 라운드 정삭 휠(34)의 그루브(32'),(34')를 재성형한다.

상기 노치 정삭 휠(32)은 도 4에 도시된 바와 같이, 표면에 복수의 그루브(32')가 형성된다. 상기 그루브(32')는 웨이퍼(W)를 연삭하거나 트루어(S)에 의해 형상보정된다. 상기 노치 정삭 휠(23)은 웨이퍼(W)의 상부/하부 베벨(bevel)을 두 단계로 나누어 가공하는 방식과 휠(32)을 장착하는 스핀들 구동특성에 따른 내장 에어 베어링 방식으로 인해, 웨이퍼(W)의 에지 가공 및 트루잉 횟수가 일정 시점을 지나게 되면 마모 불균형 현상이 초래하게 된다. 이에 두 단계 가공방식과 관련하여, 1 단계 시점(웨이퍼의 하부베벨을 가공)에서 가공량이 많아지는 현상에 대하여 장비자체에 마모불균형 현상을 최소화 하기 위한 방안으로 교번 가공방식을 사용하여 가공하였다. 상기 교번 가공방식은 1 단계에서 빗금체적(도 4의 (a) 참조)만큼 가공량이 많음에 따라 발생되는 마모 불균형을 최소화하기 위해 가공순서를 첫번째 웨이퍼(W)에 대해 하부 베벨가공을 먼저 실시했다면, 두번째 웨이퍼(W)에 대해 상부 베벨가공(도 4의 (b)참조)을 먼저 실시하여 줌으로써 가공순서를 교대로 바꿔어주어 가공량 균형을 맞추어 마모편차 발생을 줄이도록 하고 있다. 그러나, 교번 가공방식을 채용하더라도 스핀들 내장 베어링 특성으로 인해 동일한 마모 불균일 현상이 나타나게 된다. 즉, 도 6에 도시된 바와 같이, 첫번째 웨이퍼(W)와 두번째 웨이퍼(W)의 노치 영역 가공형상이 달라지게 된다. 즉, 홀수번째 웨이퍼와 짝수번째 웨이퍼간 가공치수에 일정한 편차가 유지되어 불균형이 발생된다.

상기 라운드 정삭 휠(34)의 경우 일정한 기울기, 예컨대 스핀들을 8°정도 기울여서 장착함에 따라 라운드 정삭 휠(34)의 교체 또는 그루브(34')의 전환 시 웨이퍼(W) 품질 규격에 부합되는 휠 그루브(34') 형상을 가지고 있지 않기 때문에, 라운드 정삭 휠(34)의 교체 후에는 반드시 트루어(S)에 의해 라운드 정삭 휠 그루브(34')의 형상 보정이 선행하여 이루어져야 한다. 이러한 절차없이 웨이퍼(W) 가공이 이루어지게 되면 도 7에 도시된 바와 같이, 그루브(34') 형상과 같은 웨이퍼(W) 에지 형상이 만들어지게 되어 웨이퍼(W) 형상품질을 맞추지 못해 불량품으로 취급된다. 이에, 트루어(S)에 의한 형상보정 작업후 휠 그루브(34') 형상이 웨이퍼(W) 에지 형상 품질규격을 충족시키도록 하여야 한다.

그러나, 도 8에 도시된 바와 같이, 웨이퍼(W)에 대한 가공과 트루어(S)에 의한 형상복원 실행 횟수가 증가함에 따라 그루브(34')의 직경이 감소되어 일정 마모량에 도달(반경 기준 1mm이며, 트루잉 횟수 기준 약 30회)되면, 오버 그라인딩(over-grinding)에 대한 위험 때문에 해당 그루브(34')에 대한 사용을 중단하고 그루브(34')를 전환하거나 휠(33)을 교체한다. 즉, 트루어(S)와 웨이퍼(W)의 두께 차이로 인해 약간의 가공 여유는 있으나, Z축 또는 웨이퍼의 평탄도의 미세변동, 척 평탄도의 미세변동, 척 표면 이물질 등에 의한 평탄도 변동 등에도 웨이퍼 에지의 영역을 벗어나 웨이퍼(W) 표면 영역에 까지 가공이 이루어지는 오버 그라인딩 현상이 발생될 수 있어, 그루브의 전환 또는 휠의 교체를 행하게 된다.

상기 오버 그라인딩 문제는 기본적으로 노치 정삭 휠(32)과 라운드 정삭 휠(34) 모두에서 문제가 되는 현상으로써 오버 그라인딩의 인식은 측정장치(edge profiler) 또는 눈금있는 마이크로스코프(microscope)로 상/하 베벨 값을 측정하여 범위를 벗어난 값이 측정되면 오버 그라인딩 문제가 나타난 것으로 판단하여 그루브(32'),(34') 전환 또는 휠(32),(34) 교체와 같은 후속조치를 실시한다. 이는, 휠 레진 본드 부분이 많이 남아있음에도 불구하고 그루브 전환 또는 휠을 교체해야함으로 휠의 수명이 단축되는 문제점이 있다.

한편, 트루어(S)는 세라믹 소재를 기본으로 여러가지 필수 불순물(다이아몬드 입자 포함)과 함께 분말소결하여 제작된다. 이와 같은, 트루어(S)는 형상보정용으로 사용상 문제는 없으나, 휠(32),(34) 가공 중 미세하게 함께 마모되는 문제, 즉 웨이퍼(W) 가공치수를 변동시키는 문제로 인해 보정에 따른 웨이퍼 가공조건 확보시간을 증가시키는 요인으로 작용될 수 있다.

정삭 휠(32),(34)은 페놀수지, 폴리아미드 수지와 같은 열경화성 수지를 본드로 하여 다이아몬드 입자와 함께 소결하여 제작된다. 라운드 정삭 휠은 웨이퍼 가공시 대략 선속도 5000m/min(약 30000rpm 내지 40000rpm)으로, 노치 정삭 휠은 대략 선속도 500m/min(약 150000rpm)으로 고속 회전하게 되는데, 이때 외부 환경상의 문제 등으로 인하여 마찰열이 해소되지 않아 버닝(burning) 현상이 발생할 수 있다. 즉, 열경화성 수지 특성상 버닝 현상에 의해 해당 부위가 경화되면 경도가 휠씬 커지게 되며, 이로 인해 기존 트루어(S)를 이용하여도 버닝 부위를 제거할 수 없게 된다. 또한 버닝된 휠로 웨이퍼를 가공하면 경화된 레진본드 그루브로 인해 다이아몬드 입자가 웨이퍼에 작용할 수 없어 웨이퍼 에지의 연삭이 안되는 문제점이 있다. 결과적으로 트루어의 재질 및 웨이퍼 연삭의 불가능으로 인해 버닝된 연삭 휠은 복원이 불가능하거나 실효성이 없다고 볼 수 있다. 즉, 연삭 휠을 교체해야 함으로 연삭 휠의 수명단축 문제점이 발생하게 된다.

본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위해 창안된 것으로서, 트루어의 재질 및 형상을 변경함으로써 연삭 휠의 그루브의 형상 보정 및 그루브의 성형이 용이하게 이루어질 수 있으며, 균일한 그루브의 보정에 의해 마모 불균형의 문제를 해소하고, 휠의 사용 수명을 향상시킬 수 있는 연삭 휠 트루잉 공구 및 그 제작방법, 이를 이용한 트루잉 장치, 및 연삭 휠의 제작방법을 제공하는데 그 목적이 있다.

본 발명의 또 다른 목적에 따르면, 연삭의 동일한 기준 수치를 적용하여 연삭 및 성형되는 휠 및 트루어의 좌표를 미리 설정함으로써 체계화된 자동 공정으로 인하여, 휠의 교체 작업 및 작업 다운 시간을 단축할 수 있는 연삭 휠 트루잉 공구 및 그 제작방법, 이를 이용한 트루잉 장치, 연삭 휠의 제작방법, 및 웨이퍼 에지 연삭장치를 제공하는데 있다.

상기 목적을 달성하기 위하여, 본 발명은 종래의 웨이퍼와 동일한 형상의 단일 트루어 대신에, 노치 정삭 휠과 라운드 정삭 휠의 그루브를 각각 성형 또는 재성형 할 수 있도록 각각의 트루어를 제공한다.

즉, 본 발명의 트루잉 공구는 웨이퍼 에지의 노치(notch)구간을 정삭하기 위한 노치 정삭 휠의 그루브를 보정하기 위한 트루잉 공구(truing tool)로서, 에지가 사다리꼴 형상으로 이루어지며, 상기 노치 정삭 휠의 그루브의 경사면과 동일한 경 사를 갖도록 이루어지되, 상기 그루브의 단면 형상과 대응되는 형상으로 형성된 제1트루어로 이루어진 것을 특징으로 한다.

상기 제1트루어는 그 에지의 경사면이 연장 형성되어 상기 노치 정삭 휠의 그루브의 폭보다 크게 형성된 것이 바람직하다.

상기 제1트루어는 전착 방식으로 형성되거나 메탈본드 재질의 다이아몬드 휠로 이루어진 것이 바람직하다.

본 발명의 다른 트루잉 공구는, 웨이퍼 에지의 라운드(round)구간을 정삭하기 위한 라운드 정삭 휠의 그루브를 보정하기 위한 트루잉 공구(truing tool)로서, 에지가 반타원형 형상으로 라운드지도록 이루어지고, 웨이퍼 에지의 품질규격과 대응되도록 형성되며, 상기 라운드 정삭 휠의 그루브의 경사면과 동일한 경사를 갖도록 형성된 제2트루어로 이루어진 것을 특징으로 한다.

상기 제2트루어는 그 에지의 경사면이 연장 형성되어 상기 라운드 정삭 휠의 그루브의 폭보다 크게 형성된 것이 바람직하다.

상기 제2트루어는 전착 방식으로 형성되거나 메탈본드 재질의 다이아몬드 휠로 이루어진 것이 바람직하다.

본 발명이 이루고자하는 기술적 과제의 달성을 위한 연삭 휠 트루잉 공구 즉, 상기 제2트루어를 제작하는 방법으로서, (a) 3차원 작도 프로그램 상에서, 그루브가 형성되어 있지 않은 상태의 라운드 정삭 휠의 형상 치수를 가지는 원통형 객체의 중심축을 일정 각도 기울인 상태에서, 기울여진 상기 원통형 객체의 외주면 일부에 완성된 웨이퍼의 에지 형상의 홈을 형성하는 단계; (b) 컴퓨터 시뮬레이션 을 통하여, 상기 원통형 객체를 그 중심축을 중심으로 회전시켜 상기 완성된 웨이퍼의 에지 형상의 홈을 상기 원통형 객체의 외주면 둘레에 걸쳐 확장시키는 단계; (c) 상기 원통형 객체의 외주면 둘레에 걸쳐 확장된 홈의 형상 및 치수를 상기 제2트루어의 에지 형상 치수로 얻는 단계; 및 (d) 상기 제2트루어의 에지 형상 치수를 이용하여 상기 제2트루어를 제작하는 단계;를 포함하여 진행하는 것을 특징으로 한다.

이때, 상기 (c) 단계에서, 상기 원통형 객체의 외주면 둘레에 걸쳐 확장된 홈의 경사면을, 그 경사면을 따라 연장함으로써, 상기 제2트루어의 두께를 상기 홈의 폭보다 크게 하여 제2트루어의 에지 형상 치수를 얻는 것이 바람직하다.

한편, 상기 (d) 단계에서, 상기 제2트루어는 전착 방식으로 제작하거나, 메탈본드 재질의 다이아몬드 휠로 제작하는 것이 바람직하다.

본 발명이 이루고자하는 기술적 과제의 달성을 위한 트루잉 장치는, 전술된 제1트루어; 및 제2트루어;를 구비하는 것을 특징으로 한다.

본 발명이 이루고자하는 기술적 과제의 달성을 위한 웨이퍼 에지 연삭 휠의 제작방법은, 상기의 제1트루어를 이용하여 그루브가 형성되어 있지 않은 노치 정삭 휠의 외주면에 그루브를 성형함으로써 노치 정삭 휠을 제작하는 것을 특징으로 한다.

본 발명이 이루고자하는 기술적 과제의 달성을 위한 웨이퍼 에지 연삭 휠의 제작방법은, 상기의 제2트루어를 이용하여 그루브가 형성되어 있지 않은 라운드 정삭 휠의 외주면에 그루브를 성형함으로써 라운드 정삭 휠을 제작하는 것을 특징으 로 한다.

본 발명이 이루고자하는 기술적 과제의 달성을 위한 웨이퍼 에지 연삭장치는, 웨이퍼를 장착하여 회전시키는 척; 상기 웨이퍼의 에지를 연삭하도록 각각 그루브가 형성된 라운드 황삭 휠, 노치 황삭 휠, 노치 정삭 휠 및 라운드 정삭 휠을 구비하는 연삭 휠; 상기 연삭 휠을 장착하고 회전시키며, 척에 장착된 웨이퍼의 에지와 연삭 휠의 그루브가 접촉되도록 이동시키는 연삭구동부; 상기 노치 정삭 휠의 그루브를 보정하도록 그 에지가 노치 정삭 휠 그루브의 단면 형상과 대응되도록 형성된 제1트루어; 상기 라운드 정삭 휠의 그루브를 보정하도록 그 에지가 웨이퍼 에지의 품질규격과 대응되도록 이루어지고, 라운드 정삭 휠 그루브의 경사면과 동일한 경사를 갖도록 형성된 제2트루어; 및 상기 제1트루어와 제2트루어를 각각 장착하여 회전시키며 제1트루어와 제2트루어의 에지가 각각 연삭 휠의 그루브와 수평 방향으로 접촉되도록 이동시키는 트루잉구동부;를 포함한다.

상기 제1트루어는 그 에지의 경사면이 연장 형성되어 노치 정삭 휠 그루브의 폭보다 크게 형성되고, 상기 제2트루어는 그 에지의 경사면이 연장 형성되어 라운드 정삭 휠 그루브의 폭보다 크게 형성된 것이 바람직하다.

상기 제1트루어와 제2트루어는 전착 방식으로 형성되거나 메탈본드 재질의 다이아몬드 휠로 이루어진 것이 바람직하다.

한편, 상기 웨이퍼 에지 가공결과로 연삭 휠 내의 그루브의 마모를 예측하고, 상기 그루브의 사용 횟수 및 공정 시간을 설정하여, 웨이퍼 가공결과로 그루브의 마모가 예측되거나 설정된 그루브의 사용 횟수 및 공정 시간이 경과하면 웨이퍼 에지의 연삭 공정을 중단시키도록 이루어진 제어부를 더 구비하는 것이 바람직하다.

아울러, 상기 연삭공정의 중단에 반응하여 제어부는, 연삭 휠의 그루브를 보정하도록 상기 제1트루어 또는 제2트루어를 각각 노치 정삭 휠 그루브 또는 라운드 정삭 휠 그루브와 접촉시키도록 상기 트루잉구동부를 제어하거나, 노치 정삭 휠에 형성된 마모되지 않은 또 다른 그루브 또는 라운드 정삭 휠에 형성된 마모되지 않은 또 다른 그루브로 웨이퍼 에지가 접촉되도록 상기 연삭 구동부를 제어하는 것이 바람직하다.

상기 트루잉구동부는 제1트루어 및 제2트루어의 이동량 제어를 위한 전자 자(linear scale) 및 서보모터(survo motor)를 구비하는 것이 바람직하다.

한편, 상기 라운드 정삭 휠은 상기 웨이퍼의 표면이 이루는 평면과 일정 각도 기울여서 장착되고 회전되는 헬리컬 휠일 수 있다.

이 경우, 상기 트루잉구동부는, 상기 제1트루어가 상기 노치 정삭 휠의 그루브와 수평방향으로 장착되고, 제1트루어를 회전시키며 노치 정삭 휠의 그루브와 접촉되도록 이동시키는 제1트루잉구동부; 및 상기 제2트루어가 상기 라운드 정삭 휠의 그루브와 수평방향으로 장착되고, 제2트루어를 회전시키며 라운드 정삭 휠의 그루브와 접촉되도록 이동시키는 제2트루잉구동부;를 구비한다.

또한, 상기 연삭구동부는, 상기 노치 황삭 휠, 노치 정삭 휠 및 라운드 정삭 휠을 장착하고 회전시키는 제1연삭구동부; 및 상기 라운드 황삭 휠을 장착하고 회전시키는 제2연삭구동부;를 구비한다.

한편, 상기 라운드 정삭 휠은 상기 웨이퍼의 표면이 이루는 평면과 수평방향으로 장착되고 회전되는 버티컬 휠일 수 있다.

이 경우, 상기 트루잉구동부에는 상기 제1트루어와 제2트루어가 동일 회전축에 서로 평행하게 장착되는 것이 바람직하다.

또한, 상기 연삭구동부는, 상기 노치 황삭 휠 및 노치 정삭 휠을 장착하고 회전시키는 제1연삭구동부; 및 상기 라운드 황삭 휠 및 라운드 정삭 휠을 장착하고 회전시키는 제2연삭구동부;를 구비한다.

이때, 상기 제2연삭구동부에는 상기 라운드 황삭 휠과 라운드 정삭 휠이 동일 회전축에 서로 평행하게 장착되는 것이 바람직하다.

아룰러, 상기 라운드 황삭 휠과 라운드 정삭 휠이 일체로 형성된 것이 바람직하다.

상술한 바와 같이, 본 발명에 따른 연삭 휠 트루잉 공구 및 그 제작방법, 이를 이용한 트루잉 장치, 연삭 휠의 제작방법, 및 웨이퍼 에지 연삭장치는 다음과 같은 효과를 가진다.

첫째, 휠 그루브의 마모양상을 초기 형상 그대로 유지시킴으로써, 마모 불균형에 의한 웨이퍼 가공 형상의 변동 가능성 문제를 해소할 수 있다. 또한, 버닝 현상이 발생된 그루브를 트루잉하여 복원시킴으로써 휠의 수명을 향상시킬 수 있다.

둘째, 그루브에 대한 보정시, 그루브의 깊이와 폭이 증가할 뿐 형상 치수(라운드 구간의 골률 반경 및 경사면의 각도)는 변경되지 않음으로써, 그루브와 웨이 퍼 표면이 접촉할 가능성을 배제할 수 있으므로 오버 그라인딩의 문제를 해소할 수 있다.

셋째, 오버 그라인딩의 문제를 해결함으로, 휠의 수명이 향상된다.

넷째, 휠 그루브의 형상은 유지된 채 그루브의 깊이 치수와 폭만 증가하는 방식이기 때문에 휠 마모에 따른 웨이퍼 가공 조건 파라미터(parameter)가 저립 방향(Y축) 한가지로 한정됨에 따라 웨이퍼 가공조건 확보가 용이해진다.

다섯째, 트루잉구동부에 의하여 휠 그루브 보정시 웨이퍼가 저립해 들어갈 위치 좌표를 미리 알 수 있음으로, 트루잉 시점부터 정상 가동시간까지의 장비 다운(down) 시간을 단축할 수 있다. 이에, 연삭 휠의 수동 보정방식에서 자동 보정방식의 전환이 가능해진다.

여섯째, 트루잉 공구를 활용할 수 있는 트루잉 장치를 이용하여, 그루브가 형성되지 않은 휠 또는 보정을 필요로 하는 휠 등을 동일 기준의 조건으로 그루브를 성형 및 재성형 함으로써, 그루브의 전환 또는 휠 교체에 따른 초기 설정 시간을 단축할 수 있다.

일곱째, 연삭 휠 트루잉 공구의 에지 형상치수를 이용하여 트루잉 공구를 제조함으로써 트루잉 공구의 교체 또는 연삭 휠의 교체에 따른 시점부터 정상 가동시간까지의 장비 다운 시간을 단축할 수 있다.

이하 첨부된 도면을 참조로 본 발명의 바람직한 실시예를 상세히 설명한다. 이에 앞서, 본 명세서 및 청구범위에 사용된 용어나 단어는 통상적이거나 사전적인 의미로 한정해서 해석되어서는 아니되며, 발명자는 그 자신의 발명을 가장 최선의 방법으로 설명하기 위해 용어의 개념을 적절하게 정의할 수 있다는 원칙에 입각하여 본 발명의 기술적 사상에 부합하는 의미와 개념으로 해석되어야만 한다. 따라서, 본 명세서에 기재된 실시예와 도면에 도시된 구성은 본 발명의 가장 바람직한 일 실시예에 불과할 뿐이고 본 발명의 기술적 사상을 모두 대변하는 것은 아니므로, 본 출원시점에 있어서 이들을 대체할 수 있는 다양한 균등물과 변형예들이 있을 수 있음을 이해하여야 한다.

도 9는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 노치 정삭 휠 트루잉 공구를 나타내는 부분 측면도이다.

도면을 참조하면, 상기 트루잉 공구(T1)는 웨이퍼 에지의 노치(notch)구간을 정삭하기 위한 노치 정삭 휠(132)의 그루브(132')를 보정하기 위한 제1트루어(S1)로 이루어진다.

상기 제1트루어(S1)는 그 에지가 노치 정삭 휠(132)의 그루브(132') 단면 형상과 대응되도록 형성된다. 즉, 도시된 바와 같이, 제1트루어(S1)의 에지는 사다리꼴 형상으로 이루어진다. 보다 구체적으로, 제1트루어(S1)의 에지는 노치 정삭 휠(132)의 그루브(132')의 경사면과 동일한 경사를 갖도록 이루어지며, 제1트루어(S1) 에지의 경사면이 연장 형성되어 노치 정삭 휠(132)의 그루브(132')의 폭보다 크게 형성된다. 따라서, 상기 그루브(132')는 보정되더라도 동일한 경사면을 갖도록 이루어지게 된다. 이때, 제1트루어(S1)의 폭이 그루브(132')의 폭보다 크게 형성되는 것은, 노치 정삭 휠(132)을 이용하여 웨이퍼 에지를 연삭시 웨이퍼 표면 이 그루브(132')의 상,하부 베벨에 마찰되는 오버 그라인딩(Over Grinding) 현상을 방지하기 위함이다.

이와 같은 제1트루어(S1)는 전착 방식으로 형성되거나 메탈본드 재질의 다이아몬드 휠로 이루어진 것이 바람직하다. 즉, 트루잉 공구(T1)는 상기 노치 정삭 휠(132)의 레진 본드 그루브(132')의 경도(硬度)보다 큰 경도를 갖도록 형성됨으로써 노치 정삭 휠(132)의 그루브(132')를 용이하게 보정할 수 있게 된다.

도 10은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 라운드 정삭 휠 트루잉 공구를 나타내는 부분 단면도이다.

도면을 참조하면, 상기 트루잉 공구(T2)는 웨이퍼 에지의 라운드(round)구간을 정삭하기 위한 라운드 정삭 휠(134)의 그루브(134')를 보정하기 위한 제2트루어(S2)로 이루어진다.

상기 제2트루어(S2)는 그 에지가 라운드 정삭 휠(134)의 그루브(134') 단면 형상과 대응되도록 형성된다. 즉, 도시된 바와 같이, 제2트루어(S2)의 에지는 반타원형 형상으로 라운드지도록 이루어진다. 보다 구체적으로, 제2트루어(S2)의 에지는 라운드 정삭 휠(134)의 그루브(134')에 의한 웨이퍼 가공기준 웨이퍼 형상 품질에 적합하도록 보정된 그루브의 경사면과 동일한 경사와 곡률을 갖도록 이루어지며, 제2트루어(S2) 에지의 경사면이 연장 형성되어 라운드 정삭 휠(134)의 그루브(134')의 폭보다 크게 형성된다. 따라서, 상기 그루브(134')는 보정되더라도 동일한 경사면을 갖도록 이루어지게 된다. 이때, 상기 제2트루어(S2)의 폭이 그루브(134')의 폭보다 크게 형성되는 것은, 라운드 정삭 휠(134)을 이용하여 웨이퍼 에지를 연삭시 웨이퍼 표면이 그루브(134')의 상,하부 베벨에 마찰되는 오버 그라인딩 현상을 방지하기 위함이다.

이와 같은 제2트루어(S2)는 전착 방식으로 형성되거나 메탈본드 재질의 다이아몬드 휠로 이루어진 것이 바람직하다. 즉, 트루잉 공구(T2)는 상기 라운드 정삭 휠(134)의 레진 본드 그루브(134')의 경도(硬度)보다 큰 경도를 갖도록 형성됨으로써 라운드 정삭 휠(134)의 그루브(134')를 용이하게 보정할 수 있게 된다.

한편, 상기와 같은 웨이퍼 에지의 목표 품질형상이 확보되기 위해선 트루잉 공구(T2) 및 트루잉 공구(T2)에 의해 보정되는 그루브(134')가 웨이퍼 에지의 목표 품질형상과 대응되는 형상을 갖도록 이루어져야 한다. 특히, 라운드 정삭 휠이 헬리컬 휠인 경우에 본 발명의 연삭 휠 트루잉 공구(T2) 즉 제2트루어(S2)는, 종래의 단일 트루어(웨이퍼와 동일한 형상 치수를 갖는 트루어)와 달리, 라운드 정삭 휠과 수평방향으로 접촉됨에 반해, 라운드 정삭 휠과 웨이퍼는 일정 각도 만큼 기울여져서 접촉한다. 따라서, 라운드 정삭 휠의 그루브의 형상 치수는 종래의 단일 트루어 및 웨이퍼의 형상 치수와 대응은 하지만 동일하지는 않다. 더욱이, 통상의 신규 헬리컬 휠의 그루브의 형상치수는, 전술된 바와 같이, 웨이퍼의 에지 품질 형상치수와 대응되지 않아 신규 헬리컬 휠은 반드시 그 그루브의 형상보정을 실시한 후에 사용하게 된다. 따라서, 통상의 헬리컬 휠의 그루브 형상치수를 그대로 본따서 본 발명의 제2트루어를 제작하면, 결과적으로 웨이퍼 에지의 목표 품질형상과 대응되지 않는 헬리컬 휠의 그루브 형상치수를 초래하게 된다. 이에, 본 발명의 연삭 휠 트루잉 공구(T2) 제작방법에 대해 도 11을 참조하여 설명하기로 한다.

본 발명의 연삭 휠 트루잉 공구(T2)의 제작 방법은 크게, 컴퓨터 시뮬레이션을 통해 제2트루어(S2)의 에지 형상 치수를 구하는 과정과, 이렇게 구해진 에지 형상 치수를 가지고 제2트루어를 제작하는 과정을 포함한다.

구체적으로 먼저, 도 11의 (a)에 도시된 바와 같이, 3차원 작도 프로그램 상에서, 그루브가 형성되어 있지 않은 상태의 라운드 정삭 휠의 형상 치수를 가지는 원통형 객체(1)에 대하여, 원통형 객체(1)의 중심축을 일정 각도 기울인다. 이 상태에서, 원통형 객체(1)의 외주면 일부에 완성된 웨이퍼의 에지 형상의 홈을 작도한다. 그러면, 도 11의 (b)에 도시된 바와 같이, 윈통형 객체(1)의 외주면 일측에는 일정 각도 기울어진 훼이퍼 에지 형상의 홈(2)이 형성된다. 여기서, 상기 3차원 작도 프로그램은 오토 캐드(Auto CAD) 프로그램, 퀵익스프레스 편집 프로그램 등의 널리 알려진 프로그램이므로 그 사용법 등의 상세한 설명은 생략한다.

이어서, 컴퓨터 시뮬레이션을 통하여, 상기 원통형 객체(1)를 그 중심축을 중심으로 회전시켜 상기 기울여진 웨이퍼의 에지 형상의 홈(2)을 상기 원통형 객체(1)의 외주면 둘레에 걸쳐 확장시킨다. 그러면, 도 11의 (c)에 도시된 바와 같은 원통형 객체(1)에 홈(3)이 형성된다.

이렇게 얻어진 원통형 객체(1)의 외주면 둘레에 걸쳐 확장된 홈(3)의 형상 및 치수를 상기 제2트루어의 에지 형상 치수로 얻는다. 즉, 상기 제2트루어의 형상 치수는 홈(3)의 곡률 및 경사각으로부터 얻을 수 있다. 이때, 제2트루어는 원통형 객체(1)의 외주면 둘레에 걸쳐 확장된 홈(3)의 경사면을 따라 연장함으로써, 제2트루어의 두께가 상기 홈의 폭보다 크도록 하여 제2트루어의 에지 형상 치수를 얻는 것이 바람직하다.

마지막으로, 상기 제2트루어의 에지 형상 치수를 이용하여 상기 제2트루어를 제작한다. 이와 같은 제2트루어는 전착 방식으로 제작하거나, 메탈본드 재질의 다이아몬드 휠로 제작하는 것이 바람직하다.

부가적으로, 상기 제2트루어의 에지 형상 치수는 무한개의 곡선으로 이루어져 일반적으로 제작이 불가능하다. 그러나, 전술한 방법을 통하여 얻은 홈(3)의 형상치수를 유한개의 곡선을 사용하여 근사함으로써(도 12 참조) 실용적으로 제작이 가능한 형상치수를 얻을 수 있다. 이때, 제2트루어의 이론형상과 근사형상 사이의 설계공차는 웨이퍼 에지의 목표 품질치수를 벗어나지 않는 범위로 설정한다.

이와 같은 과정을 거쳐 웨이퍼 에지의 목표 품질형상에 대응되는 라운드 정삭 휠의 그루브에 동일한 형상치수를 갖는 제2트루어가 제작된다.

한편, 상기와 같이 제2트루어의 에지 형상치수를 얻어 제2트루어를 제작하는 방법을 설명하였으나, 마찬가지 방식으로 제1트루어(S1)를 제작할 수 있음은 물론이다.

이와 같이 제작한 트루잉 공구(T1),(T2)들을 각각 선택적으로 이용함으로써, 도 13 및 도 14에 도시된 바와 같이, 그루브(132'),(134')들의 형상 복원이 용이하고, 오버 그라인딩의 문제점을 해소하여 연삭 휠(노치 정삭 휠(132) 및 라운드 정삭 휠(134))의 수명을 연장시킬 수 있다. 특히, 본 발명의 트루잉 공구(T1),(T2)에 의하면 연삭 휠(132),(134)의 그루브(132'),(134')의 형상이 처음과 동일하게 복원됨으로써 웨이퍼의 가공형상의 불균형을 해소할 수 있게 된다.

나아가, 상기와 같은 트루잉 공구(T1),(T2)를 이용하여 연삭 휠(132),(134)의 그루브(132'),(134')를 보정함은 물론, 그루브(132'),(134')가 형성되지 않은 연삭 휠의 표면에 그루브를 성형할 수도 있다. 즉, 제1트루어(S1)를 이용하여 그루브가 형성되어 있지 않은 노치 정삭 휠(132)의 외주면에 그루브를 성형함으로써 노치 정삭 휠(132)을 제작할 수 있으며, 제2트루어(S2)를 이용하여 그루브가 형성되어 있지 않은 라운드 정삭 휠(134)의 외주면에 그루브를 성형함으로써 라운드 정삭 휠(134)을 제작할 수 있다. 이에, 본 발명에 따른 트루잉 공구(T1),(T2)를 구비하여, 웨이퍼 에지를 연삭하는 연삭 휠(132),(134)의 그루브(132'),(134')를 보정 및 성형하는 웨이퍼 에지 연삭장치에 대해 도 15 내지 도 17을 참조하여 설명하기로 한다.

도 15 내지 도 17을 참조하면, 본 발명의 연삭장치(100)는, 웨이퍼(W)를 장착하여 회전되는 척(120), 웨이퍼(W)의 에지를 연삭하기 위한 연삭 휠(130), 연삭 휠(130)의 그루브(132'),(134')와 웨이퍼 에지를 접촉시키는 연삭구동부(139), 노치 정삭 휠(132)의 그루브(132')를 보정하기 위한 제1트루어(S1), 라운드 정삭 휠(134)의 그루브(134')를 보정하기 위한 제2트루어(S2) 및 상기 제1트루어(S1)와 제2트루어(S2)의 에지가 연삭 휠(130)의 그루브(132'),(134')와 수평방향으로 접촉되도록 이동시키는 트루잉구동부(140)를 구비한다.

상기 척(120)은 웨이퍼(W)가 안착되어 고정되는 진공 척 또는 정전 척으로서 모터(122)에 의해 회전된다.

상기 연삭 휠(130)은 라운드 황삭 휠(131), 노치 황삭 휠(133), 노치 정삭 휠(132) 및 라운드 정삭 휠(134)을 구비한다. 전술된 바와 같이, 라운드 황삭 휠(131)에는 웨이퍼 에지의 라운드 구간을 황삭하기 위한 그루브(미도시)가 형성되고, 노치 활삭 휠(133)에는 웨이퍼 에지의 노치 구간을 황삭하기 위한 그루브(미도시)가 형성되며, 노치 정삭 휠(132)에는 웨이퍼(W) 에지의 노치 구간을 정삭하기 위한 그루브(도 9의 132')가 형성되며, 라운드 정삭 휠(134)에는 웨이퍼(W) 에지의 라운드 구간을 정삭하기 위한 그루브(도 10의 134')가 형성된다. 상기 웨이퍼 에지를 정삭하는 그루브(132'),(134')들은 각각 노치 정삭 휠(132)과 라운드 정삭 휠(134)의 표면에 복수개 형성된다. 이때, 상기 라운드 정삭 휠(134)은 상기 웨이퍼(W)의 표면이 이루는 평면과 일정 각도 기울여져 회전되는 헬리컬 휠(134)이다.

상기 노치 정삭 휠(132)과 라운드 정삭 휠(134)은 각각 모터(135),(136)에 의하여 회전되며, 상기 모터(135),(136)는 연삭장치(100)의 프레임(102)에 설치된 휠헤드 조립체(138)에 개별적으로 설치되어 고정된다. 이때, 비록 도시되지는 않았지만, 라운드 황삭 휠(131) 및 노치 황삭 휠(133)도 각각 모터에 의해 회전된다. 즉, 노치 정삭 휠(132)과 라운드 정삭 휠(134)은 선택적으로 모터(135),(136)에 의하여 회전되며, 상기 연삭 휠(130)이 설치된 휠헤드 조립체(138)는 연삭구동부(139)에 의하여 웨이퍼(W)의 에지와 접촉되도록 전진 및 후퇴하도록 이루어진다. 보다 구체적으로, 휠헤드 조립체(138)에는 노치 정삭 휠(132)과 노치 황삭 휠(133) 및 라운드 정삭 휠(134)이 설치되고, 연삭구동부(139)에 의하여 수직 방향으로 이동될 수 있다.

여기서, 상기 연삭구동부(139)는 제1연삭구동부(139a) 및 제2연삭구동 부(139b)를 구비한다.

제1연삭구동부(139a)는 노치 황삭 휠(133), 노치 정삭 휠(132) 및 라운드 정삭 휠(134)이 장착된 휠헤드 조립체(138)를 구동하여, 상기 웨이퍼(W)의 에지와 상기 노치 황삭 휠(133), 노치 정삭 휠(132) 및 라운드 정삭 휠(134) 중 어느 하나의 그루브가 접촉되도록 이동시킨다.

이와 같은 제1연삭구동부(139a)는 벨트, 공압·유압 실린더, 캠 또는 기어의 회전 운동에 따라 이동되는 서보모터, 유압식모터와 같은 통상적인 구동수단으로서, 휠헤드 조립체(138)와 연결되어 휠헤드 조립체(138)를 구동시키게 된다. 이때, 상기 휠헤드 조립체(138)는 웨이퍼(W)의 에지 측면방향으로 직선 또는 곡선 궤적으로 움직여 웨이퍼(W)의 에지와 연삭 휠(130)에 형성된 그루브(132'),(134')가 접촉되도록 이루어질 수 있다.

또한, 제2연삭구동부(139b)는 라운드 황삭 휠(131)을 장착하고 회전시킨다.

한편, 상기 정삭 휠(132),(134)에 의하여 웨이퍼(W)의 에지의 연삭이 일정 횟수 또는 일정 시간이 지나면 연삭 휠(130) 중 노치 정삭 휠(132)과 라운드 정삭 휠(134)의 그루브(132'),(134')를 보정하게 된다. 이때, 웨이퍼(W) 에지 가공결과로 노치 정삭 휠(132) 및 라운드 정삭 휠(134) 그루브(132'),(134')의 마모를 예측하고, 그루브의 사용 횟수 또는 공정 시간이 설정된 제어부(150)가 구비될 수 있다. 그리하여, 그루브(132'),(134')의 마모로 인한 오버 그라인딩 발생의 위험이 예상되거나, 웨이퍼 에지의 연삭 공정의 횟수(그루브의 사용횟수)가 설정된 횟수에 도달하거나, 일정 시간이 지나면 웨이퍼 에지의 연삭작업을 중단하고 그루 브(132'),(134')를 보정 가공한다. 즉, 상기 그루브(132'),(134')의 마모 예측은 웨이퍼 가공결과 또는 광학 센서에 의해 이루어지거나 또는 그루브의 사용 횟수 및 공정 시간을 임의적으로 설정하여 사용할 수 있다.

한편, 상기 정삭 휠(132),(134)의 그루브(132'),(134')의 가공시, 먼저 휠의 표면에 형성된 복수의 그루브(132'),(134')가 전체적으로 보정이 필요할 때 보정작업을 진행하는 것이 바람직하다. 예컨대, 웨이퍼(W) 에지를 연삭하는 라운드 정삭 휠(134)의 그루브(134')가 마모되면, 라운드 정삭 휠(134)에 형성된 또 다른 그루브(134')로 웨이퍼 에지가 연삭될 수 있도록 연삭 위치가 전환되어 연삭작업을 진행하게 된다. 따라서, 상기와 같이 라운드 정삭 휠(134)에 형성된 모든 그루브(134')가 사용되어 마모되면 트루잉 공구(T2)에 의하여 마모된 그루브(134')를 원래의 형상으로 복원하는 작업을 진행하게 된다. 마찬가지로, 노치 정삭 휠(132)의 그루브(132')의 보정이 필요하면, 트루잉 공구(T1)를 이용하여 그루브(132')의 보정을 하게 된다.

즉, 상기 트루잉 공구(T1),(T2)는 전술한 바와 같이, 노치 정삭 휠(132)의 그루브(132')를 보정하기 위한 제1트루어(S1)와 라운드 정삭 휠(134)의 그루브(134')를 보정하기 위한 제2트루어(S2)로 이루어지며, 이와 같은 트루잉 공구(T1),(T2)는 연삭장치 (100)내에 설치된 트루잉구동부(140)에 의해 구동되어진다.

상기 트루잉구동부(140)는 제1트루어(S1) 및 제2트루어(S2)의 에지가 정삭 휠(132),(134)의 그루브(132'),(134')와 정밀하게 접촉될 수 있도록 정렬시키는 역 할을 함과 동시에, 상기 제1트루어(S1)와 제2트루어(S2)를 각각 노치 정삭 휠(132)과 라운드 정삭 휠(134)의 방향으로 이동시키며, 트루잉 공구(T1),(T2)를 회전시키는 역할을 수행하게 된다. 이때, 트루잉구동부(140)는 제1트루어(S1)가 노치 정삭 휠(132)의 그루브(132')와 접촉되도록 구동시키는 제1트루잉구동부(141)와, 제2트루어(S2)가 라운드 정삭 휠(134)의 그루브(134')와 접촉되도록 구동시키는 제2트루잉구동부(142)로 구성된다. 제1 및 제2트루어(S1),(S2)는 제1트루잉구동부(141)와 제2트루잉구동부(142)에 각각 노치 정삭 휠(132)의 그루브(132')와 라운드 정삭 휠(134)의 그루브(134')의 수평방향으로 장착된다. 제1트루어(S1) 및 제2트루어(S2)는 제1 및 제2트루잉구동부(141),(142)에 의해 선택적으로 각각 또는 동시에 정삭 휠(132),(134)의 그루브(132'),(134')를 보정하도록 이루어진다.

상기 제1 및 제2트루잉구동부(141),(142)는 동일한 구성요소로 이루어지므로 하나의 트루잉구동부에 대해 설명하기로 한다. 예컨대, 상기 제2트루잉구동부(142)는 제2트루어(S2)를 장착하는 고정수단(145)과, 제2트루어(S2)를 회전시키는 모터(146), 상기 모터(146)가 고정되도록 설치된 지지대(147), 상기 지지대(147)를 이동시키는 구동수단(148)으로 이루어진다. 즉, 상기 모터(146)에 의해 회전되는 제2트루어(S2)는 구동수단(148)에 의하여 보정을 필요로 하는 라운드 정삭 휠(134)의 그루브(134')로 이동되어 보정하게 된다. 다만, 제2트루잉구동부(142)의 고정수단(145), 모터(146) 및 지지대(147)가 헬리컬 휠(134)과 동일하게 일정 각도 기울어져 있다는 것에 제1트루잉구동부(141)와 차이가 있다.

상기와 같은 방식으로 휠 그루브(134')를 보정할 때 휠 그루브(134')와 제2 트루어(S2)의 에지가 정밀하게 접촉되는 지점의 위치 좌표를 제어부(150)에 저장해 두면, 향후 진행되는 웨이퍼(W) 에지의 연삭공정에서, 상기 저장된 위치 좌표에 의해 연삭의 정상가동까지 걸리는 시간을 줄일 수 있게 된다. 즉, 상기 웨이퍼(W)의 에지와 연삭 휠(130)의 그루브(132'),(134')가 접촉되는 위치(도 8에서의 Y축, Z축) 좌표와, 연삭 휠(130)의 그루브(132'),(134')와 트루잉 공구(T1),(T2)의 에지가 접촉되는 위치(도 8에서의 Y축) 좌표가 미리 제어부(150)에 저장되어 있으므로, 연삭 휠(130)의 그루브(132')(134')와 접촉되는 웨이퍼(W) 에지 및/또는 트루잉 공구(T1),(T2) 에지의 저립 방향(Y축)에 대한 가공 조건만 필요하기 때문에, 웨이퍼 가공조건 확보가 용이해지고, 따라서 품질변동 가능성을 최소화 할 수 있고, 자동보정기능을 가능하게 한다. 또한, 트루잉 공구(T1),(T2)를 구동시키는 트루잉구동부(139)는 트루잉 공구(T1),(T2)의 에지와 연삭 휠(130)의 그루브(132'),(134')가 보다 정밀하게 접촉되도록 접촉 좌표 위치를 추적하는 전자 자(linear scale) 및 서보모터(survo motor)를 구비하는 것이 바람직하다. 상기 전자 자와 서보모터는 제어부(150)와 연결되어 사용되는 일반적인 부품으로서 상세한 설명은 생략하기로 한다.

상기 트루잉 공구(T1),(T2)에 의해 연삭 휠(130)의 그루브(132'),(134')가 보정되면 다시 웨이퍼(W) 에지를 연삭하는 공정을 진행하게 된다.

또한, 연삭 휠(130)의 그루브(132'),(134')가 마모되어 수명이 다한 경우에, 연삭 휠(130)을 교체하게 된다. 이때, 연삭 휠(130)은 전술된 바와 같이, 저장된 위치 좌표의 데이터에 의하여 용이하게 설치할 수 있으며, 웨이퍼의 저립해 들어갈 좌표를 알 수 있으므로, 기존의 수동방식에서 자동방식으로 전환이 가능하다.

한편, 상기 라운드 정삭 휠(134)은 도시된 바와 같이 일정각도 기울어져 웨이퍼의 라운드 구간을 정삭하는 휠, 즉 헬리컬 휠로서 사용되는 것으로 설명되었으나, 이에 한정되지 않으며, 본 출원인이 출원한 출원번호 제10-2006-0138709호의 "반도체 웨이퍼 엣지 연마 휠(이하, 버티컬 휠이라 한다)"을 이용할 수 있다.

도 18은 본 발명의 바람직한 다른 실시예에 따른 웨이퍼 에지 연삭장치를 나타내는 도면이고, 도 19는 도 18의 A 부분 확대도이다.

도 18 및 도 19를 참조하면, 본 실시예의 연삭장치(200)는 웨이퍼(W)를 장착하여 회전되는 척, 웨이퍼(W)의 에지를 연삭하기 위한 연삭 휠(230), 연삭 휠(230)의 그루브와 웨이퍼 에지를 접촉시키는 연삭구동부(239), 노치 정삭 휠(232)의 그루브를 보정하기 위한 제1트루어(S1), 라운드 정삭 휠(234)의 그루브를 보정하기 위한 제2트루어(S2'), 및 상기 제1트루어(S1)와 제2트루어(S2')의 에지가 연삭 휠(230)의 그루브와 접촉되도록 이동시키는 트루잉구동부(240)를 구비한다. 이때, 도 18 및 도 19에 도시된 연삭장치(200)는 앞선 실시예의 연삭장치(100)의 구조와 유사한 구조로 이루어지며, 다만, 제2트루어(S2')와 제1트루어(S1)가 트루잉구동부(240)에 함께 설치된 구조와, 라운드 황삭 휠(231)과 라운드 정삭 휠(234)이 동일한 회전축에 서로 평행하게 장착되는 점에 있어 앞선 실시에와 다르다.

상기 연삭 휠(230)은 라운드 황삭 휠(231), 노치 황삭 휠(233), 노치 정삭 휠(232) 및 라운드 정삭 휠(234)을 구비한다. 여기서, 노치 황삭 휠(233) 및 노치 정삭 휠(232)는 연삭장치(200)의 휠헤드 조립체(238)에 설치되어 고정되며, 라운드 황삭 휠(231) 및 라운드 정삭 휠(234)은 동일 회전축에 서로 평행하게, 더욱 바람직하게는 일체형으로 장착된다. 즉, 상기 라운드 정삭 휠(234)은 상기 웨이퍼의 표면이 이루는 평면과 수평방향으로 장착되어 회전되는 버티컬 휠이다.

상기 연삭구동부(239)는 상기 노치 황삭 휠(233) 및 노치 정삭 휠(232)이 장착된 휠헤드 조립체(238)를 회전시키며, 상기 웨이퍼의 에지와 노치 황삭 휠(233) 및 노치 정삭 휠(232) 중 어느 하나의 그루브가 접촉되도록 이동시키는 제1연삭구동부(239a), 및 상기 라운드 황삭 휠(231) 및 라운드 정삭 휠(234)을 장착하고 회전시키며, 상기 웨이퍼의 에지와 상기 라운드 황삭 휠(231) 및 라운드 정삭 휠(234) 중 어느 하나의 그루브(231'),(234')가 접촉되도록 이동시키는 제2연삭구동부(239b)를 구비한다. 이때, 상기 제2연삭구동부(239b)에는 라운드 황삭 휠(231)과 라운드 정삭 휠(234)이 동일 회전축에 서로 평행하게 장착되거나 일체로 형성될 수 있다.

이와 같은 연삭구동부(239)는 전술된 바와 같이, 벨트, 공압·유압 실린더, 캠 또는 기어의 회전 운동에 따라 이동되는 서보모터, 유압식모터와 같은 통상적인 구동수단으로 이루어지므로 상세한 설명은 생략하기로 한다.

한편, 상기 제2연삭구동부(239b)에 의해 회전되는 버티컬 휠은 4영역(step)으로 구분되도록 형성된다. 보다 구체적으로, 버티컬 휠은 트루잉 그루브(235')가 형성된 제1영역, 라운드 황삭 공정을 위한 금속 본드 재질의 그루브(231')가 형성된 제2, 제3영역, 라운드 정삭 공정을 위한 레진 본드 재질의 그루브(234')가 형성된 제4영역으로 구분되어, 웨이퍼 에지의 황삭과 정삭을 수행하도록 구성된다. 여 기서, 라운드 정삭 공정을 위한 제4영역의 라운드 정삭 휠(234)의 그루브(234')가 전술한 제2트루어(S2')를 이용하여 보정 또는 성형될 수 있다.

상기 트루잉구동부(240)에는 제1트루어(S1)와 제2트루어(S2')가 동일 회전축에 서로 평행하게 장착된다.

이와 같은 트루잉구동부(240)는 제1트루어(S1) 및 제2트루어(S2')를 각각 노치 정삭 휠(232)의 그루브 및 라운드 정삭 휠(234)의 그루브(234')와 접촉되도록 이동시키며, 트루잉 공구를 회전시키는 역할을 수행한다. 이때, 상기 제1트루어(S1)와 제2트루어(S2')는 트루잉구동부(240)에 의해 서로 독립적으로 각각 회전되어 사용되거나 동시에 회전되어 사용될 수 있다.

부가적으로, 제1, 제2트루어(S1),(S2')를 구동시키는 트루잉구동부(239)는, 앞선 실시예와 마찬가지로, 제트루어(S1) 및 제2트루어(S2')의 에지와 노치 정삭 휠(232) 및 라운드 정삭 휠(234)의 그루브가 보다 정밀하게 접촉되도록 접촉 좌표 위치를 추적하는 전자 자 및 서보모터를 구비할 수 있다.

한편, 상기 연삭장치(200)에서는 라운드 장삭 휠로서 버티컬 휠(234)만을 사용하는 것으로 도시하였으나, 이에 한정되지 않으며, 앞선 실시예의 헬리컬 휠(도 15의 '134' 참조)이 더 설치되어 사용될 수 있다. 이 경우 헬리컬 휘의 그루브를 보정 및 성형하는 제2트루어(도 15의 'S2' 참조)가 더 설치된다.

상기와 같이, 트루잉 공구를 이용한 노치 정삭 휠(132),(232) 또는 라운드 정삭 휠(134),(234)의 그루브의 보정은 연삭장치(100),(200) 내에서 이루어질 수 있으나, 도 20에 도시된 바와 같은 독립된 트루잉 장치(110)에 의해 수행될 수도 있다. 또한, 트루잉 장치(110)는 그루브가 형성되지 않은 노치 정삭 휠(132),(232) 및 라운드 정삭 휠(134),(234)의 표면에 웨이퍼 에지의 가공 조건 범위를 만족하는 그루브를 성형할 수 있다. 이와 같은 그루브의 성형, 재성형은 트루잉 공구에 의하여 이루어진다.

상기 트루잉 장치(110)는 제1트루어(S1) 및 제2트루어(S2),(S2')을 구비한다. 상기 제1트루어(S1)와 제2트루어(S2),(S2')는 전술된 제1트루어(S1) 및 제2트루어(S2),(S2')와 동일한 것이므로, 그 상세한 설명은 생략하기로 한다. 즉, 트루잉 장치(110)는 제1트루어(S1)와 제2트루어(S2),(S2')를 각각 회전시키며, 그루브가 형성되지 않은 노치 정삭 휠 또는 라운드 정삭 휠의 그루브를 성형할 수 있도록, 휠의 표면과 접촉하도록 제1트루어(S1)와 제2트루어(S2),(S2')를 이동시키고 회전시키는 장치이다. 예를 들면, 상기 트루잉 장치(110)는 제1트루어(S1) 및 제2트루어(S2),(S2')를 회전시키는 모터(112)와, 모터(122)를 고정하는 플레이트(114) 및 플레이트(114)를 이동시키는 이동수단(116)으로 이루어진다. 상기 이동수단(116)은 벨트, 공압·유압 실린더, 캠 또는 기어의 회전운동에 따라 이동되는 서보모터, 유압식모터 등으로 이루어져 모터를 고정하는 플레이트(114)를 일정 위치로 이동시키는 장치로 이해되어야 한다. 이와 같은 트루잉 장치(110)의 제1트루어(S1)와 제2트루어(S2),(S2')를 회전시키며 이동시키는 각 구성요소들은 통상적으로 사용되는 것으로서 상세한 설명은 생략하기로 한다. 다만, 상기 구성요소들로 이루어진 트루잉 장치(110)는 웨이퍼 에지를 연삭하는 노치 정삭 휠 및 라운드 정삭 휠의 표면에 그루브를 성형하거나 그루브를 보정하는 장치로서 이해되어야 한 다. 이때, 전술한 바와 같이, 제1트루어(S1)와 제2트루어(S2')가 동일 회전축에 서로 평행하게 장착되어 사용될 수도 있다.

한편, 트루잉 장치(110)에 의하여, 동일한 조건의 그루브가 형성된 노치 정삭 휠(132)(232) 및 라운드 정삭 휠(134),(234)을 미리 제조하여 보관하였다가, 필요시 선택된 휠을 연삭장치(100),(200)에 장착함으로써 그루브의 전환 또는 휠의 교체에 따른 초기 설정 시간을 단축할 수 있게 된다.

이와 같은 트루잉 장치(110)는 각각 독립적으로 사용될 수 있으며, 또한 연삭장치(100),(200)와 결합되어 사용될 수 있음은 자명하다.

한편, 트루잉 장치(110)는 제어부(도 15의 '150' 및 도 18의 '250' 참조)에 의해 제어되는 것이 더욱 바람직하다. 이와 같은 제어부(150),(250)는 수동으로 조작할 수 있도록 버튼이 형성되고, 데이터를 저장하는 저장부와, 각 구동부에 제어신호 및 동력을 공급하고, 스위치, 및 다른 위치/작동/접촉 등의 신호발생 센서로부터의 신호를 수용하기 위한 컴퓨터 기초 제어 시스템으로 구성될 수 있다.

이상과 같이, 본 발명은 비록 한정된 실시예와 도면에 의해 설명되었으나, 본 발명은 이것에 의해 한정되지 않으며 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 본 발명의 기술사상과 아래에 기재될 특허청구범위의 균등범위 내에서 다양한 수정 및 변형이 가능함은 물론이다.

도 1은 웨이퍼 에지의 노치 구간과 라운드 구간을 설명하기 위한 참조도.

도 2는 종래의 연삭장치를 개략적으로 나타내는 사시도.

도 3은 도 2에 도시된 연삭장치의 부분 측면 확대도.

도 4는 종래의 노치 정삭 휠을 이용한 연삭 공정을 나타내는 측면도.

도 5는 종래의 헬리컬 휠을 이용한 연삭 공정을 나타내는 측면도.

도 6은 종래의 웨이퍼 가공시 마모 불균형에 의한 문제점을 나타내는 도면.

도 7은 종래의 웨이퍼 가공시 트루잉 작업없이 실시된 경우의 문제점을 나타내는 도면.

도 8은 종래의 웨이퍼 가공시 마모에 의한 오버 그라인딩 문제점을 나타내는 도면.

도 9는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 노치 정삭 휠 트루잉 공구를 나타내는 부분 측면도.

도 10은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 라운드 정삭 휠 트루잉 공구를 나타내는 부분 측면도.

도 11은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 제2트루어의 제작방법을 설명하기 위한 도면.

도 12는 도 11에 따른 제2트루어의 에지를 유한개의 곡선으로 근사하여 설계하는 과정을 나타내는 예시도.

도 13은 도 9의 트루잉 공구에 의해 노치 정삭 휠의 그루브가 보정되는 상태 를 나타내는 도면.

도 14는 도 10의 트루잉 공구에 의해 헬리컬 휠의 그루브가 보정되는 상태를 나타내는 도면.

도 15는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 웨이퍼 에지 연삭장치를 나타내는 정면도.

도 16은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 웨이퍼 에지 연삭장치를 나타내는 부분확대 측면도.

도 17은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 웨이퍼 에지 연삭장치에 구비된 트루잉구동부를 나타내는 도면.

도 18은 본 발명의 바람직한 다른 실시예에 따른 웨이퍼 에지 연삭장치를 나타내는 도면.

도 19는 도 18의 A 부분 확대도이다.

도 20은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 트루잉 장치를 나타내는 정면도.

<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명>

W : 웨이퍼 S1 : 제1트루어

S2, S2' : 제2트루어 T1, T2 : 트루잉 공구

100, 200 : 연삭장치 110 : 트루잉 장치

120 : 척 130 : 연삭 휠

133 : 노치 정삭 휠 134, 234 : 라운드 정삭 휠

133', 134', 234' : 그루브 138 : 휠헤드 조립체

139 : 연삭구동부 140, 240 : 트루잉구동부

150 : 제어부

Claims (26)

1. 웨이퍼 에지의 노치(notch)구간을 정삭하기 위한 노치 정삭 휠의 그루브를 보정하기 위한 트루잉 공구(truing tool)에 있어서,

   에지가 사다리꼴 형상으로 이루어지며, 상기 노치 정삭 휠의 그루브의 경사면과 동일한 경사를 갖도록 이루어지되, 상기 그루브의 단면 형상과 대응되는 형상으로 형성된 제1트루어로 이루어진 것을 특징으로 하는 연삭 휠 트루잉 공구.
2. 제1항에 있어서,

   상기 제1트루어는 그 에지의 경사면이 연장 형성되어 상기 노치 정삭 휠의 그루브의 폭보다 크게 형성된 것을 특징으로 하는 연삭 휠 트루잉 공구.
3. 제1항에 있어서,

   상기 제1트루어는 전착 방식으로 형성되거나 메탈본드 재질의 다이아몬드 휠로 이루어진 것을 특징으로 하는 연삭 휠 트루잉 공구.
4. 웨이퍼 에지의 라운드(round)구간을 정삭하기 위한 라운드 정삭 휠의 그루브를 보정하기 위한 트루잉 공구(truing tool)에 있어서,

   에지가 반타원형 형상으로 라운드지도록 이루어지고, 웨이퍼 에지의 품질규격과 대응되도록 형성되며, 상기 라운드 정삭 휠의 그루브의 경사면과 동일한 경사 를 갖도록 형성된 제2트루어로 이루어진 것을 특징으로 하는 연삭 휠 트루잉 공구.
5. 제4항에 있어서,

   상기 제2트루어는 그 에지의 경사면이 연장 형성되어 상기 라운드 정삭 휠의 그루브의 폭보다 크게 형성된 것을 특징으로 하는 연삭 휠 트루잉 공구.
6. 제4항에 있어서,

   상기 제2트루어는 전착 방식으로 형성되거나 메탈본드 재질의 다이아몬드 휠로 이루어진 것을 특징으로 하는 연삭 휠 트루잉 공구.
7. 제4항 내지 제6항 중 어느 한 항에 기재된 연삭 휠 트루잉 공구를 제작하는 방법으로서,

   (a) 3차원 작도 프로그램 상에서, 그루브가 형성되어 있지 않은 상태의 라운드 정삭 휠의 형상 치수를 가지는 원통형 객체의 중심축을 일정 각도 기울인 상태에서, 기울여진 상기 원통형 객체의 외주면 일부에 완성된 웨이퍼의 에지 형상의 홈을 형성하는 단계;

   (b) 컴퓨터 시뮬레이션을 통하여, 상기 원통형 객체를 그 중심축을 중심으로 회전시켜 상기 완성된 웨이퍼의 에지 형상의 홈을 상기 원통형 객체의 외주면 둘레에 걸쳐 확장시키는 단계;

   (c) 상기 원통형 객체의 외주면 둘레에 걸쳐 확장된 홈의 형상 및 치수를 상 기 제2트루어의 에지 형상 치수로 얻는 단계; 및

   (d) 상기 제2트루어의 에지 형상 치수를 이용하여 상기 제2트루어를 제작하는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 연삭 휠 트루잉 공구의 제작방법.
8. 제7항에 있어서,

   상기 (c) 단계에서, 상기 원통형 객체의 외주면 둘레에 걸쳐 확장된 홈의 경사면을, 그 경사면을 따라 연장함으로써, 상기 제2트루어의 두께를 상기 홈의 폭보다 크게 하여 제2트루어의 에지 형상 치수를 얻는 것을 특징으로 하는 연삭 휠 트루잉 공구의 제작방법.
9. 제7항에 있어서,

   상기 (d) 단계에서, 상기 제2트루어는 전착 방식으로 제작하거나, 메탈본드 재질의 다이아몬드 휠로 제작하는 것을 특징으로 하는 연삭 휠 트루잉 공구의 제작방법.
10. 제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 기재된 제1트루어; 및

    제4항 내지 제6항 중 어느 한 항에 기재된 제2트루어;를 구비하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 에지 연삭 휠의 트루잉 장치.
11. 제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 기재된 제1트루어를 이용하여 그루브가 형성되어 있지 않은 노치 정삭 휠의 외주면에 그루브를 성형함으로써 노치 정삭 휠을 제작하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 에지 연삭 휠의 제작방법.
12. 제4항 내지 제6항 중 어느 한 항에 기재된 제2트루어를 이용하여 그루브가 형성되어 있지 않은 라운드 정삭 휠의 외주면에 그루브를 성형함으로써 라운드 정삭 휠을 제작하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 에지 연삭 휠의 제작방법.
13. 웨이퍼를 장착하여 회전시키는 척;

    상기 웨이퍼의 에지를 연삭하도록 각각 그루브가 형성된 라운드 황삭 휠, 노치 황삭 휠, 노치 정삭 휠 및 라운드 정삭 휠을 구비하는 연삭 휠;

    상기 연삭 휠을 장착하고 회전시키며, 척에 장착된 웨이퍼의 에지와 연삭 휠의 그루브가 접촉되도록 이동시키는 연삭구동부;

    상기 노치 정삭 휠의 그루브를 보정하도록 그 에지가 노치 정삭 휠 그루브의 단면 형상과 대응되도록 형성된 제1트루어;

    상기 라운드 정삭 휠의 그루브를 보정하도록 그 에지가 웨이퍼 에지의 품질규격과 대응되도록 이루어지고, 라운드 정삭 휠 그루브의 경사면과 동일한 경사를 갖도록 형성된 제2트루어; 및

    상기 제1트루어와 제2트루어를 각각 장착하여 회전시키며 제1트루어와 제2트루어의 에지가 각각 연삭 휠의 그루브와 수평 방향으로 접촉되도록 이동시키는 트루잉구동부;를 포함하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 에지 연삭장치.
14. 제13항에 있어서,

    상기 제1트루어는 그 에지의 경사면이 연장 형성되어 노치 정삭 휠 그루브의 폭보다 크게 형성되고,

    상기 제2트루어는 그 에지의 경사면이 연장 형성되어 라운드 정삭 휠 그루브의 폭보다 크게 형성된 것을 특징으로 하는 웨이퍼 에지 연삭장치.
15. 제13항에 있어서,

    상기 제1트루어와 제2트루어는 전착 방식으로 형성되거나 메탈본드 재질의 다이아몬드 휠로 이루어진 것을 특징으로 하는 웨이퍼 에지 연삭장치.
16. 제13항에 있어서,

    상기 웨이퍼 에지 가공결과로 연삭 휠 내의 그루브의 마모를 예측하고, 상기 그루브의 사용 횟수 및 공정 시간을 설정하여, 웨이퍼 가공결과로 그루브의 마모가 예측되거나 설정된 그루브의 사용 횟수 및 공정 시간이 경과하면 웨이퍼 에지의 연삭 공정을 중단시키도록 이루어진 제어부를 더 구비하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 에지 연삭장치.
17. 제16항에 있어서,

    상기 연삭 공정의 중단에 반응하여 제어부는, 연삭 휠의 그루브를 보정하도 록 상기 제1트루어 또는 제2트루어를 각각 노치 정삭 휠 그루브 또는 라운드 정삭 휠 그루브와 접촉시키도록 상기 트루잉 구동부를 제어하거나, 노치 정삭 휠에 형성된 마모되지 않은 또 다른 그루브 또는 라운드 정삭 휠에 형성된 마모되지 않은 또 다른 그루브로 웨이퍼 에지가 접촉되도록 상기 연삭 구동부를 제어하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 에지 연삭장치.
18. 제13항 내지 제17항 중 어느 한 항에 있어서,

    상기 트루잉구동부는 제1트루어 및 제2트루어의 이동량 제어를 위한 전자 자(linear scale) 및 서보모터(survo motor)를 구비하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 에지 연삭장치.
19. 제13항 내지 제17항 중 어느 한 항에 있어서,

    상기 라운드 정삭 휠은 상기 웨이퍼의 표면이 이루는 평면과 일정 각도 기울여서 장착되고 회전되는 헬리컬 휠인 것을 특징으로 하는 웨이퍼 에지 연삭장치.
20. 제19항에 있어서,

    상기 트루잉구동부는,

    상기 제1트루어가 상기 노치 정삭 휠의 그루브와 수평방향으로 장착되고, 제1트루어를 회전시키며 노치 정삭 휠의 그루브와 접촉되도록 이동시키는 제1트루잉구동부; 및

    상기 제2트루어가 상기 라운드 정삭 휠의 그루브와 수평방향으로 장착되고, 제2트루어를 회전시키며 라운드 정삭 휠의 그루브와 접촉되도록 이동시키는 제2트루잉구동부;를 구비하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 에지 연삭장치.
21. 제19항에 있어서,

    상기 연삭구동부는,

    상기 노치 황삭 휠, 노치 정삭 휠 및 라운드 정삭 휠을 장착하고 회전시키는 제1연삭구동부; 및

    상기 라운드 황삭 휠을 장착하고 회전시키는 제2연삭구동부;를 구비하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 에지 연삭장치.
22. 제13항 내지 제17항 중 어느 한 항에 있어서,

    상기 라운드 정삭 휠은 상기 웨이퍼의 표면이 이루는 평면과 수평방향으로 장착되고 회전되는 버티컬 휠인 것을 특징으로 하는 웨이퍼 에지 연삭장치.
23. 제22항에 있어서,

    상기 트루잉구동부에는 상기 제1트루어와 제2트루어가 동일 회전축에 서로 평행하게 장착되는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 에지 연삭장치.
24. 제22항에 있어서,

    상기 연삭구동부는,

    상기 노치 황삭 휠 및 노치 정삭 휠을 장착하고 회전시키는 제1연삭구동부; 및

    상기 라운드 황삭 휠 및 라운드 정삭 휠을 장착하고 회전시키는 제2연삭구동부;를 구비하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 에지 연삭장치.
25. 제24항에 있어서,

    상기 제2연삭구동부에는 상기 라운드 황삭 휠과 라운드 정삭 휠이 동일 회전축에 서로 평행하게 장착되는 것을 특징으로 하는 특징으로 하는 웨이퍼 에지 연삭장치.
26. 제24항에 있어서,

    상기 라운드 황삭 휠과 라운드 정삭 휠이 일체로 형성된 것을 특징으로 하는 웨이퍼 에지 연삭장치.

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