JP6071611B2 - オリエンテーションフラット等切り欠き部を有する、結晶材料から成るウエハの周縁を、研磨テープを使用して研磨することにより円形ウエハを製造する方法 - Google Patents
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Description
ウエハステージに配置されたSiウエハの周縁と研磨体(研磨パッドに配置された研磨テープ)とを当接させ、ウエハステージを一定方向(CW)に回転(1000rpm、3分間)させることにより、ウエハ周縁の研磨が行われた。図5Bに示されているとおり、この研磨方法では、ウエハの外径の形状が大きく変化し、特に、OFの一方の端部(肩部)の摩耗が著しかった。ステージが一定方向に回転したことによって、SiウエハのOFが研磨体に対向する位置においてウエハと研磨体との当接が解除された後、OFの一方の端部に強く当接し、その後、研磨パッドの弾性等により、円弧状の周縁において当接が弱まるなど、当たりムラが大きくなった。このように研磨体がウエハの周縁に追従せず間欠的に当接した結果、真円度は51.563μmと著しく悪化した。
ウエハステージに配置されたSiウエハの周縁と研磨体(研磨パッドに配置された研磨テープ)とを当接させ、ウエハの円弧状の周囲部の一部が直線状に形成されるようウエハステージの回転角度を決定し(図4A参照)、該回転角度においてウエハステージを連続して正回転、逆回転(3000rpm)させることにより、ウエハ周縁の研磨が行われた。図5Cに示されているとおり、外径の形状の変化は小さく、真円度は21.318μmであり、加工仕様を十分に満たすものであった。この後、OFがさらに研磨されてOF両端部近傍の凸部が除去され、円形ウエハが製造された。
W1 ウエハ2
W1’ 設定された円弧
O ウエハの中心
OF オリエンテーションフラット
E、E’ ウエハWのOF上の二点
R 基準線
P、P’ 周囲部の部分
r1 設定された半径
Δr 半径差
θ 正逆回転の回転角度
θp、θp’ 周囲部の部分に対応した角度
Claims (10)
- 結晶材料から成る円板状のウエハの周縁であって、オリエンテーションフラットと周囲部とを有する周縁を、研磨テープを使用して研磨することにより円形ウエハを製造する方法であって、
鉛直な回転軸を有する水平なウエハステージにセンタリングして配置されたウエハの周囲部と研磨体とを当接させながら前記ウエハステージを所定の回転角度の範囲で前記回転軸の周りに交互に正回転及び逆回転させることによりウエハの周囲部を研磨する工程を含み、
前記研磨体が、平坦な研磨パッドに配置されることにより平坦な研磨面を画成する研磨テープを含んで成り、
前記周囲部を研磨する工程において、前記研磨面がウエハの半径方向に垂直に前記周囲部に当接し、
前記所定の回転角度が、前記オリエンテーションフラットと前記研磨面とが対向して平行になることがないように、180度より大きく360度より小さい角度θに決定される、円形ウエハの製造方法。円形ウエハの製造方法。 - 前記所定の回転角度が、前記円板状のウエハのオリエンテーションフラットの両端部、又はその近傍の周囲部にそれぞれ位置する二点と、前記円板状のウエハの中心とによって画成される角度θに決定されることを特徴とする請求項1に記載された円形ウエハの製造方法。
- 前記周囲部を研磨する工程により形成されたウエハのオリエンテーションフラット近傍の周囲部の一部が直線状となるとき、さらに、前記形成されたウエハのオリエンテーションフラットと前記研磨面とを当接させ水平な軸線に沿って直線的に相対揺動させることにより前記オリエンテーションフラットを研磨する工程を含む、請求項1に記載された円形ウエハの製造方法。
- 前記周囲部を研磨する工程で、前記ウエハステージを、形成されるウエハの周囲部全体が円弧状となる回転角度の範囲において正回転及び逆回転させることを特徴とする請求項1に記載された円形ウエハの製造方法。
- 前記ウエハが半導体ウエハであることを特徴とする請求項1に記載された円形ウエハの製造方法。
- 前記周囲部を研磨する工程において、前記研磨面が弾性を有する研磨パッドを介して前記ウエハの周囲部に押圧され、前記研磨面が前記ウエハの周縁から離れることがないことを特徴とする請求項1に記載された円形ウエハの製造方法。
- 前記周囲部を研磨する工程において、前記ウエハステージと前記研磨面とを水平な軸線に沿って相対揺動させることを特徴とする請求項1に記載された円形ウエハの製造方法。
- さらに、前記周囲部を研磨する工程により形成されたウエハの半径を該ウエハの周囲部に沿って測定し、該測定された半径のうちの最小半径以下の半径を設定し、該設定された半径と前記測定された半径との差であるΔrを前記形成されたウエハの周囲部に沿って決定する工程と、
前記Δrが所定の値より大きい周囲部の部分に対応する角度θpであって、前記所定の回転角度の範囲内の角度θpを決定する工程と、を含む請求項1に記載された円形ウエハの製造方法。 - 前記ウエハステージにセンタリングして配置された結晶材料から成るウエハの周囲部と前記研磨体とを当接させながら、前記ウエハステージを、前記所定の回転角度の範囲において、基準の回転速度で、前記回転軸の周りに正回転及び逆回転させることにより前記ウエハの周囲部を研磨する工程を含み、
該研磨する工程において、前記ウエハステージと前記研磨面とを水平な軸線に沿って相対揺動させ、
前記決定された周囲部の部分に対応する角度θpで、前記ウエハステージの回転速度が前記基準の回転速度より低減される、請求項8に記載された円形ウエハの製造方法。 - 前記ウエハステージにセンタリングして配置された結晶材料から成るウエハの前記決定された角度θpに対応する周囲部の部分と前記研磨体とを当接させ、前記ウエハステージを、前記決定された角度θpの範囲で前記回転軸の周りに正回転及び逆回転させて前記周囲部の部分を研磨する工程を含む、請求項8に記載された円形ウエハの製造方法。
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