JP2007044817A

JP2007044817A - ウェーハ面取り装置、ウェーハ面取り用砥石、及びツルーイング砥石

Info

Publication number: JP2007044817A
Application number: JP2005232221A
Authority: JP
Inventors: Ichiro Katayama; 一郎片山
Original assignee: Tokyo Seimitsu Co Ltd
Current assignee: Tokyo Seimitsu Co Ltd
Priority date: 2005-08-10
Filing date: 2005-08-10
Publication date: 2007-02-22

Abstract

【課題】
ウェーハ面取り装置の機構を簡略化するとともに、精度の高い安定した面取り加工を行なうウェーハ面取り装置を提供する。
【解決手段】
回転するウェーハテーブル３４に載置されたウェーハＷの外周部を、回転する砥石により所定の形状に加工する面取り装置１０において、ウェーハＷ外周部の粗研削を行なう粗研削砥石５１、９０、９１、９２と、ツルーイング砥石５２、８５、８６、８７とが一体に形成された兼用砥石８０により、面取り装置１０の機構が簡略化するとともに、精度の高い安定した面取り加工を行なうことが可能になる。
【選択図】図１

Description

本発明は、半導体材料や電子部品材料等のウェーハ外周部の面取り加工を行なう面取り装置、及び面取り砥石と、面取り砥石にツルーイングを行なうツルーイング砥石とに関するものである。

半導体装置や電子部品等の素材となるシリコン等のウェーハは、インゴットの状態から内周刃やワイヤーソー等のスライシング装置でスライスされた後、その周縁の割れや欠け等を防止するために外周部に面取り加工が施される。

面取り加工に使用される面取り装置には、外周部、ノッチ部等を加工する各種の砥石が複数取り付けられている。これらの砥石は、装置に取り付けた後に加工を行なう為の表面形状を形成する必要があり、面取り装置には表面形状を形成する為のツルーイング砥石が備えられている。

しかし、ツルーイング砥石によりツルーイングを行なうには別途ツルーイング機構が必要であり、ツルーイング機構を別に面取り装置内に設けた場合、装置が大型かつ複雑化する欠点があった。この問題に対して、ツルーイング砥石をウェーハテーブルと同軸上に装着することにより、面取り装置の機構を簡略化するウェーハ面取り装置が提案されている（例えば、特許文献１参照。）。
特開平１１−３４７９０１号公報

特許文献１に記載されたウェーハ面取り装置では、ウェーハを加工する際、ウェーハテーブルを回転させるスピンドルは、高分解能かつ低速度で回転させる必要があり、ツルーイングを行なう際には高速で回転させる必要がある。しかし、高分解能かつ低速度な回転と高速の回転とを一つのスピンドルで行なうことは困難である。また、高速に回転させることによる発熱でスピンドルの軸が膨張し、ウェーハの加工精度に影響が出る問題があった。

本発明はこのような問題に対してなされたもので、ウェーハ面取り装置の機構を簡略化するとともに、精度の高い安定した面取り加工を行なうウェーハ面取り装置、ウェーハ面取り砥石、及びツルーイング砥石を提供することを目的としている。

本発明は前記目的を達成するために、ウェーハを保持するウェーハテーブルと、前記ウェーハの外周部を研削する1つ以上の砥石と、前記ウェーハテーブルを前記砥石に対して相対的に移動させる移動手段と、前記砥石のうちのいずれかに対して前記ウェーハの外周を研削する為の形状を形成するツルーイング砥石と、を備え、前記ウェーハテーブルに載置された前記ウェーハの外周部を、回転する前記砥石により所定の形状に加工する面取り装置において、前記砥石のうち前記ウェーハ外周部の粗研削を行なう粗研削砥石と、前記ツルーイング砥石とが一体に形成されたことを特徴としている。

本発明によれば、ウェーハ外周を粗研削する粗研削砥石とツルーイング砥石とが一つの砥石として形成される。粗研削砥石とツルーイング砥石とが形成された砥石は、高速回転可能なスピンドルの回転軸に取り付けられて各砥石のツルーイングとウェーハ外周の加工とを行なう。

これにより、ツルーイングに必要な機構を別に設ける必要がなく、ウェーハ面取り装置の機構を簡略化することが出来る。更に、高速回転が必要な粗研削砥石とツルーイング砥石とが一体で同じスピンドルの回転軸に取り付けられるので、回転による熱によって精度が狂う問題が起きない。

また、本発明では、ウェーハを保持するウェーハテーブルと、前記ウェーハの外周部を研削する１つ以上の砥石と、前記ウェーハテーブルを前記砥石に対して相対的に移動させる移動手段と、前記砥石のうちのいずれかに対して前記ウェーハの外周を研削する為の形状を形成するツルーイング砥石と、を備え、前記ウェーハテーブルに載置された前記ウェーハの外周部を、回転する前記砥石により所定の形状に加工する面取り装置において、前記砥石のうち前記ウェーハ外周部の粗研削を行なう粗研削砥石と、前記ツルーイング砥石とが同じ回転軸上に設けられていることを特徴としている。

本発明によれば、粗研削砥石とツルーイング砥石とが、高速回転可能なスピンドルの同じ回転軸に取り付けられて各砥石のツルーイングとウェーハ外周の加工とを行なう。

これにより、ツルーイングに必要な機構を別に設ける必要がなく、必要に応じて砥石の交換を容易に行なうことが可能であって、ウェーハ面取り装置の機構を簡略化することが出来る。更に、高速回転が必要な粗研削砥石と同じスピンドルの回転軸にツルーイング砥石が取り付けられるので、回転による熱によって精度が狂う問題が起きない。

更に、本発明では、ウェーハテーブルに載置されたウェーハの外周部を所定の形状に加工する面取り装置に備えられた複数の砥石のうちのいずれかに対し、前記ウェーハの外周を研削する為の溝を形成するツルーイング砥石において、前記ツルーイング砥石は、希望する前記溝の形状にそれぞれ合わせて形成された複数のツルーイング砥石が、該溝を加工する位置に合わせられて一体に形成されたこも特徴としている。

本発明によれば、異なる形状、又は同等の形状の複数のツルーイング砥石が、面取り砥石の面取り加工用溝を形成するべき各位置に合わせて一体に形成されている。

これにより、複数の形状の異なる、又は同等の面取り加工用溝を一度にツルーイングすることが可能となる。よって、希望する形状ごとにツルーイング砥石を別の回転機構に取り付ける、又は同じ砥石に対して場所を移動させながら何度もツルーイングをする必要はなくなり、ウェーハ面取り装置の機構を簡略化するとともに、精度の高い安定した面取り加工が可能となる。

以上説明したように、本発明のウェーハ面取り装置、ウェーハ面取り砥石、及びツルーイング砥石によれば、装置の機構が簡略化するとともに、精度の高い安定した面取り加工を行なうことが可能になる。

以下添付図面に従って本発明に係るウェーハ面取り装置、ウェーハ面取り砥石、及びツルーイング砥石の好ましい実施の形態について詳説する。

最初に、本発明に係るウェーハ面取り装置について説明する。図１は、面取り装置の主要部を示す正面図である。面取り装置１０は、ウェーハ送りユニット２０、砥石移動回転ユニット４０、砥石切り替えユニット５０、図示しないウェーハ供給／収納部、ウェーハ洗浄／乾燥部、ウェーハ搬送手段、及び面取り装置各部の動作を制御するコントローラ等から構成されている。

ウェーハ送りユニット２０は、本体ベース１１上に載置されたＸ軸ベース２１、２本のＸ軸ガイドレール２２、２２、４個のＸ軸リニアガイド２３、２３、…、ボールスクリュー及びステッピングモータから成るＸ軸駆動手段２５によって図のＸ方向に移動されるＸテーブル２４を有している。

Ｘテーブル２４には、２本のＹ軸ガイドレール２６、２６、４個のＹ軸リニアガイド２７、２７、…、図示しないボールスクリュー及びステッピングモータから成るＹ軸駆動手段によって図のＹ方向に移動されるＹテーブル２８が組込まれている。

Ｙテーブル２８には、２本のＺ軸ガイドレール２９、２９と図示しない４個のＺ軸リニアガイドによって案内され、ボールスクリュー及びステッピングモータから成るＺ軸駆動手段３０によって図のＺ方向に移動されるＺテーブル３１が組込まれている。

Ｚテーブル３１には、θ軸モータ３２、θスピンドル３３が組込まれ、θスピンドル３３にはウェーハＷを吸着載置するウェーハテーブル（載置台）３４が取り付けられており、ウェーハテーブル３４はウェーハテーブル回転軸心ＣＷを中心として図のθ方向に回転される。

このウェーハ送りユニット２０によって、ウェーハＷは図のθ方向に回転されるとともに、Ｘ、Ｙ、及びＺ方向に移動される。

砥石移動回転ユニット４０は、ウェーハ送りユニット２０と同様に、本体ベース１１上に載置されたＸ軸ベース４１、２本のＸ軸ガイドレール４２、４２、４個のＸ軸リニアガイド４３、４３、…、ボールスクリュー及びステッピングモータから成るＸ軸駆動手段４５によって図のＸ方向に移動されるＸテーブル４４を有している。

Ｘテーブル４４には、２本のＹ軸ガイドレール４６、４６、４個のＹ軸リニアガイド４７、４７、…、図示しないボールスクリュー及びステッピングモータから成るＹ軸駆動手段によって図のＹ方向に移動されるＹテーブル４８が組込まれている。

Ｙテーブル４８には、２本のＺ軸ガイドレール４９、４９と図示しない４個のＺ軸リニアガイドによって案内され、ボールスクリュー及びステッピングモータから成るＺ軸駆動手段７０によって図のＺ方向に移動されるＺテーブル７１が組込まれている。

Ｚテーブル７１には、θ軸モータ７２、θスピンドル７３が組込まれ、θスピンドル７３には、本発明に係わるウェーハ面取り砥石としての兼用砥石８０が取り付けられている。兼用砥石８０は、ウェーハＷの外周を加工する砥石と、外周精研削砥石５５やノッチ精研削砥石５８等に対してツルーイングを行なうツルアーとからなり、θスピンドル７３により軸心ＣＨを中心に回転駆動される。

θスピンドル７３は、ボールベアリングを用いたビルトインモータ駆動のスピンドルで、兼用砥石８０によりウェーハＷの外周を加工する際には回転速度８，０００ｒｐｍで回転され、兼用砥石８０によりツルーイングを行なう際には回転速度５，０００ｒｐｍで回転される。

兼用砥石８０は、砥石移動回転ユニット４０によって、軸心ＣＨを中心に回転されるとともに、Ｘ、Ｙ、及びＺ方向に移動される。

砥石切り替えユニット５０は、外周加工砥石５１の上方に配置されたターンテーブル５３に取付けられた外周精研スピンドル５４及び外周精研モータ５６、ノッチ粗研スピンドル６０及びノッチ粗研モータ６２、ノッチ精研スピンドル５７及びノッチ精研モータ５９を有している。

外周精研スピンドル５４は、回転軸がウェーハＷの接線方向（図１に示すＸ軸方向）に向かって（本実施例においては８度）傾斜している。外周精研スピンドル５４にはウェーハＷの外周を仕上げ研削する面取り用砥石である外周精研削砥石５５が取付けられている。

ノッチ粗研スピンドル６０にはノッチ粗研削砥石６１が、またノッチ精研スピンドル５７には、ノッチ部を仕上げ研削する面取り砥石であるノッチ精研削砥石５８が取付けられている。ノッチ精研削砥石５８は、任意の方向に所定量傾斜させることができるように保持されている。

面取り装置１０のその他の構成部分については、一般的によく知られた機構であるため、詳細な説明は省力する。

次に本発明に係るウェーハ面取り砥石としての兼用砥石８０の構成について説明する。図２は兼用砥石８０の第１の実施の形態を表したものである。兼用砥石８０は、一体に形成された外周加工砥石５１とツルーイング砥石５２とからなり、θスピンドル７３に対して取り付けられる。

外周加工砥石５１は、メタルボンド砥石、レジンボンド砥石、又はビトリファイドボンド砥石が用いられ、同形状の外周粗研削用溝５１ａ、５１ｂ、５１ｃが形成されている。

ツルーイング砥石５２は、メタルボンド砥石が用いられ、外周精研削砥石５５やノッチ精研削砥石５８等に対してウェーハＷの外周を研削する為の溝をツルーイングする同形状、又は異なる形状の凸部５２ａ、５２ｂ、５２ｃが、溝を加工する位置に合わせて形成されている。

これにより、ウェーハ面取り装置の機構が簡略化されるとともに、安定した高精度の面取り加工が可能となる。また、砥石には同形状の溝が形成されているので、一つの溝が劣化しても別の場所で加工を行なうことが可能であり、砥石の交換の手間が削減され効率的な面取り加工が行なえる。

次に、兼用砥石８０の第２の実施の形態を説明する。図３は兼用砥石８０の第２の実施の形態を表したものである。兼用砥石８０は、外周加工砥石９０とツルーイング砥石８５とが交互に重ねられて一体に製作され、θスピンドル７３に対して取り付けられる。

外周加工砥石９０は、メタルボンド砥石、レジンボンド砥石、又はビトリファイドボンド砥石が用いられ、形状の異なる外周粗研削用溝９０ａ、９０ｂ、９０ｃがそれぞれ形成されている。

ツルーイング砥石８５は、メタルボンド砥石が用いられ、外周精研削砥石５５やノッチ精研削砥石５８等に対して、ウェーハＷの外周を研削する為の溝をツルーイングする形状の異なる凸部８５ａ、８５ｂ、８５ｃがそれぞれ形成されている。

これにより、ウェーハ面取り装置の機構の簡略化、及び安定した高精度の面取り加工が可能となる。また、砥石には異なる形状の溝、異なる形状の凸部が形成されているので、面取り形状の異なるウェーハを加工する際、砥石交換の必要がない効率的な面取り加工が行なえる。

次に、兼用砥石８０の第３の実施の形態を説明する。図４は兼用砥石８０の第３の実施の形態を表したものである。兼用砥石８０は、一体に製作された外周加工砥石９１とツルーイング砥石８６とからなり、θスピンドル７３に対して取り付けられる。

外周加工砥石９１は、メタルボンド砥石、レジンボンド砥石、又はビトリファイドボンド砥石が用いられ、同形状の外周粗研削用溝９１ａ、９１ｂ、９１ｃが形成されている。

ツルーイング砥石８６は、メタルボンド砥石が用いられ、ウェーハＷの外周を平坦に研削する場合の外周精研削砥石５５やノッチ精研削砥石５８等の表面をストレート形状に形成するストレート面８６ａを有している。

次に、兼用砥石８０の第４の実施の形態を説明する。図５は兼用砥石８０の第４の実施の形態を表したものである。兼用砥石８０は、一体に製作された外周加工砥石９２とツルーイング砥石８７とからなり、θスピンドル７３に対して取り付けられる。

外周加工砥石９２は、メタルボンド砥石、レジンボンド砥石、又はビトリファイドボンド砥石が用いられ、ウェーハＷの外周粗研削時に外周を平坦に研削するストレート面９２ａが形成されている。

ツルーイング砥石８７は、メタルボンド砥石が用いられ、外周精研削砥石５５やノッチ精研削砥石５８等に対してウェーハＷの外周を研削する為の溝をツルーイングする同形状の凸部８７ａ、８７ｂ、８７ｃが形成されている。

これらにより、外周粗研削とツルーイングを同じ軸上で行なうことが可能となり、装置の機構が簡略化するとともに、高速回転が可能であるθスピンドル７３に外周加工砥石５１、９０、９１、９２とツルーイング砥石５２、８５、８６、８７とが同時に取り付けられるので、精度の高い安定した面取り加工を行なうことが可能になる。

また、外周加工砥石５１、９０、９１、９２と、ツルーイング砥石５２、８５、８６、８７とは、一体ではなく、別々に製作されたものをそれぞれθスピンドル７３に対して取り付けても好適に実施可能である。

更に、外周加工砥石５１、９０、９１と、ツルーイング砥石５２、８５、８７に形成された溝や凸部の個数は示された個数に限らず、加工条件、砥石のライフ等により適宜設定可能である。

次に、第１の実施の形態の兼用砥石８０が取り付けられた、本発明に係るウェーハ面取り装置の作用について説明する。図１に示すように、面取り装置１０は、ウェーハ送りユニット２０、砥石移動回転ユニット４０、砥石切り替えユニット５０、図示しないウェーハ供給／収納部、ウェーハ洗浄／乾燥部、ウェーハ搬送手段、及び面取り装置各部の動作を制御するコントローラ等から構成されている。

砥石移動回転ユニット４０には、図２に示す第１の実施の形態の兼用砥石８０が取り付けられ、兼用砥石８０は軸心ＣＨを中心に回転されるとともに、Ｘ、Ｙ、及びＺ方向に移動される。

面取り装置１０では、最初に外周精研削砥石５５やノッチ精研削砥石５８に対して、ウェーハＷの加工を行なう為の溝を形成するツルーイングが行なわれる。ツルーイングでは、ターンテーブル５３が回転して外周精研削砥石５５が加工位置にセットされる。続いて、図６（ａ）で示すように、砥石移動回転ユニット４０のＸテーブル４４、Ｙテーブル４８、及びＺテーブル７１の移動により、ツルーイング砥石５２の凸部５２ａ、５２ｂ、５２ｃが、外周精研削砥石５５の加工用溝形成位置に合わせられる。

この状態でθスピンドル７３が回転して兼用砥石８０が回転速度５，０００ｒｐｍで回転するとともに、図６（ｂ）に示すように、Ｙテーブル４８、Ｘテーブル４４が移動してツルーイング砥石５２により外周精研削砥石５５へツルーイングが開始される。これにより、ウェーハＷの外周、又はオリフラ部を精研削するための溝が外周精研削砥石５５へ複数同時に形成される。

外周精研削砥石５５へのツルーイングが終了すると、Ｙテーブル４８が移動して外周精研削砥石５５がツルーイング砥石５２から離れ、ターンテーブル５３が回転してノッチ精研削砥石５８が加工位置に移動しノッチ精研削砥石５８のツルーイングが同様に開始される。

砥石のツルーイングが終了すると、ウェーハテーブル３４へウェーハＷを載置して面取り加工が開始される。まず、ウェーハテーブル３４がＺ方向に移動し、ウェーハＷの高さが外周加工砥石５１の外周粗研削用溝５１ａ、５１ｂ、５１ｃのいずれかに合わされる。

この状態でθスピンドル７３が回転して兼用砥石８０が回転速度８，０００ｒｐｍで回転するとともにＹテーブル２８が移動し、θ軸モータ３２により回転するウェーハＷの外周が外周加工砥石５１により粗研削される。

ウェーハＷの外周粗研削が終了すると、続いて外周精研削砥石５５、ノッチ粗研削砥石６１、又はノッチ精研削砥石５８のいずれかでウェーハＷ外周の研削を行ない、ウェーハＷの外周が加工される。

これにより、ツルーイング砥石５２と外周加工砥石５１とが同軸上にあるため、ツルーイング用の別機構を設ける必要がなく装置の機構が簡略化される。更に、高速回転が必要な粗研削とツルーイングとが同じスピンドルで行なえるため、精度の高い安定した面取り加工を行なうことが可能になる。

次に、第２の実施の形態の兼用砥石８０が取り付けられた、本発明に係るウェーハ面取り装置の作用について説明する。

面取り装置１０の砥石移動回転ユニット４０には、図３に示す第２の実施の形態の兼用砥石８０が取り付けられ、兼用砥石８０は軸心ＣＨを中心に回転されるとともに、Ｘ、Ｙ、及びＺ方向に移動される。

面取り装置１０では、最初に外周精研削砥石５５やノッチ精研削砥石５８に対してツルーイングが行なわれる。ツルーイングでは、まずターンテーブル５３が回転して外周精研削砥石５５が加工位置にセットされる。続いて砥石移動回転ユニット４０のＸテーブル４４、Ｙテーブル４８、及びＺテーブル７１の移動により、ツルーイング砥石８５の凸部８５ａ、８５ｂ、８５ｃのうち、加工を行なうウェーハＷの面取り加工形状と同じものが、外周精研削砥石５５の加工用溝形成位置に合わせられる。

この状態で兼用砥石８０と外周精研削砥石５５とがツルーイング条件に合わせて回転するとともに、Ｙテーブル４８、Ｘテーブル４４が移動して外周精研削砥石５５へツルーイングが開始され、ウェーハＷの外周、又はオリフラ部を精研削するための溝が形成される。外周精研削砥石５５へのツルーイングが終了すると、続けてノッチ精研削砥石５８のツルーイングが同様に開始される。

砥石のツルーイングが終了すると、ウェーハテーブル３４へウェーハＷを載置して面取り加工が開始される。まず、ウェーハＷの高さが外周加工砥石９０の外周粗研削用溝９０ａ、９０ｂ、９０ｃのうち、加工を行なうウェーハＷの面取り加工形状と同じものに合わせられる。高さをあわせた後、兼用砥石８０とウェーハＷとが加工条件に合わせて回転してウェーハＷの外周が粗研削される。

ウェーハＷの外周粗研削が終了すると、続いて外周精研削砥石５５、ノッチ粗研削砥石６１、又はノッチ精研削砥石５８のいずれかでウェーハＷの外周が加工される。

次に、第３の実施の形態の兼用砥石８０が取り付けられた、本発明に係るウェーハ面取り装置の作用について説明する。

面取り装置１０の砥石移動回転ユニット４０には、図４に示す第３の実施の形態の兼用砥石８０が取り付けられ、兼用砥石８０は軸心ＣＨを中心に回転されるとともに、Ｘ、Ｙ、及びＺ方向に移動される。

面取り装置１０では、最初にツルーイング砥石８６によりツルーイングが行なわれる。ターンテーブル５３が回転して外周精研削砥石５５が加工位置にセットされるとともに、兼用砥石８０と外周精研削砥石５５とがツルーイング条件に合わせて回転して、外周精研削砥石５５の表面がツルーイング砥石８６のストレート面８６ａにより平坦にツルーイングされる。外周精研削砥石５５へのツルーイングが終了すると、続けてノッチ精研削砥石５８のツルーイングが同様に開始される。

砥石のツルーイングが終了すると、ウェーハテーブル３４へウェーハＷを載置して面取り加工が開始される。まず、ウェーハＷの高さが外周加工砥石９１の外周粗研削用溝９１ａ、９１ｂ、９１ｃのうちのいずれかに合わされる。

高さをあわせた後、兼用砥石８０とウェーハＷとが加工条件に合わせて回転してウェーハＷの外周が粗研削される。

次に、第４の実施の形態の兼用砥石８０が取り付けられた、本発明に係るウェーハ面取り装置の作用について説明する。面取り装置１０の砥石移動回転ユニット４０には、図５に示す第４の実施の形態の兼用砥石８０が取り付けられ、兼用砥石８０は軸心ＣＨを中心に回転されるとともに、Ｘ、Ｙ、及びＺ方向に移動される。

面取り装置１０では、最初にツルーイング砥石８７によりツルーイングが行なわれる。ターンテーブル５３が回転して外周精研削砥石５５の高さがツルーイング砥石８７の凸部８７ａ、８７ｂ、８７ｃのうちいずれかに合わせられる。

砥石のツルーイングが終了すると、ウェーハテーブル３４へウェーハＷを載置して面取り加工が開始される。

まず、ウェーハＷの高さが外周加工砥石９２の高さにあわされるとともに、兼用砥石８０とウェーハＷとが加工条件に合わせて回転してウェーハＷの外周が、外周加工砥石９２のストレート面９２ａにより平坦に粗研削される。ウェーハＷの外周粗研削が終了すると、続いて外周精研削砥石５５、ノッチ粗研削砥石６１、又はノッチ精研削砥石５８のいずれかでウェーハＷの外周が加工される。

以上説明したように、本発明に係るウェーハ面取り装置、ウェーハ面取り砥石、及びツルーイング砥石によれば、外周粗研削とツルーイングを同じ軸上で行なうことが可能となり、装置の機構が簡略化するとともに、高速回転が可能であるθスピンドル７３に外周加工砥石５１、９０、９１、９２とツルーイング砥石５２、８５、８６、８７とが同時に取り付けられるので、精度の高い安定した面取り加工を行なうことが可能になる。

なお、本実施の形態の説明では砥石の回転数、加工手順等を特定した形で説明したが、本発明はこれに限定されるものではなく、ウェーハの形状や材質等、様々な加工条件に応じて変更が可能である。

本発明に係わる面取り装置の主要部を示す正面図。第１の実施の形態に係わる兼用砥石の構成図。第２の実施の形態に係わる兼用砥石の構成図。第３の実施の形態に係わる兼用砥石の構成図。第４の実施の形態に係わる兼用砥石の構成図。外周精研砥石へツルーイングを行なう状態を示した正面図。

符号の説明

１０…面取り装置，２４、４４…Ｘテーブル，２８、４８…Ｙテーブル，３３、７３…θスピンドル，３４…ウェーハテーブル，５１、９０、９１、９２…外周加工砥石，５２、８５、８６、８７…ツルーイング砥石，５４…外周精研スピンドル，５５…外周精研削砥石（面取り用砥石），５８…ノッチ精研削砥石，６１…ノッチ粗研削砥石，８０…兼用砥石，８６ａ、９２ａ…ストレート面，Ｗ…ウェーハ

Claims

ウェーハを保持するウェーハテーブルと、
前記ウェーハの外周部を研削する1つ以上の砥石と、
前記ウェーハテーブルを前記砥石に対して相対的に移動させる移動手段と、
前記砥石のうちのいずれかに対して前記ウェーハの外周を研削する為の形状を形成するツルーイング砥石と、を備え、
前記ウェーハテーブルに載置された前記ウェーハの外周部を、回転する前記砥石により所定の形状に加工する面取り装置において、
前記砥石のうち前記ウェーハ外周部の粗研削を行なう粗研削砥石と、前記ツルーイング砥石とが一体に形成されたことを特徴とするウェーハ面取り装置。
ウェーハを保持するウェーハテーブルと、
前記ウェーハの外周部を研削する１つ以上の砥石と、
前記ウェーハテーブルを前記砥石に対して相対的に移動させる移動手段と、
前記砥石のうちのいずれかに対して前記ウェーハの外周を研削する為の形状を形成するツルーイング砥石と、を備え、
前記ウェーハテーブルに載置された前記ウェーハの外周部を、回転する前記砥石により所定の形状に加工する面取り装置において、
前記砥石のうち前記ウェーハ外周部の粗研削を行なう粗研削砥石と、前記ツルーイング砥石とが同じ回転軸上に設けられていることを特徴とするウェーハ面取り装置。
前記ツルーイング砥石は、研削を行なう側面形状がストレート形状であることを特徴とする請求項１又は請求項２に記載のウェーハ面取り装置。
前記ツルーイング砥石は、前記砥石のうちのいずれかに対して前記ウェーハの外周を研削する為の溝を形成する一つ以上の凸部が形成されていることを特徴とする請求項１又は請求項２に記載のウェーハ面取り装置。
前記ツルーイング砥石に形成された凸部は、複数の異なる形状であることを特徴とする請求項４に記載のウェーハ面取り装置。
前記粗研削砥石は、研削を行なう側面形状がストレート形状であることを特徴とする請求項１、２、３、４、又は５のうちいずれか１項に記載のウェーハ面取り装置。
前記粗研削砥石は、前記ウェーハの外周部を研削する為の一つ以上の溝が形成されていることを特徴とする請求項１、２、３、４、又は５のうちいずれか１項に記載のウェーハ面取り装置。
前記粗研削砥石に形成された溝は、複数の異なる形状であることを特徴とする請求項７に記載のウェーハ面取り装置。
前記ツルーイング砥石は、メタルボンド砥石であることを特徴とする請求項１、２、３、４、５、６、７、又は８のうちいずれか１項に記載のウェーハ面取り装置。
前記粗研削砥石は、メタルボンド砥石、レジンボンド砥石、又はビトリファイドボンド砥石のいずれか一つであることを特徴とする請求項１、２、３、４、５、６、７、８、又は９のうちいずれか１項に記載のウェーハ面取り装置。
ウェーハテーブルに載置されたウェーハの外周部を所定の形状に加工する面取り装置に備えられた複数の砥石において、
前記砥石のうち前記ウェーハ外周部の粗研削を行なう粗研削砥石と、前記砥石のうちのいずれかに対して前記ウェーハの外周を研削する為の形状を形成するツルーイング砥石とが一体に形成されたことを特徴とするウェーハ面取り用砥石。
前記ツルーイング砥石は、メタルボンド砥石であることを特徴とする請求項１１に記載のウェーハ面取り用砥石。
前記粗研削砥石は、メタルボンド砥石、レジンボンド砥石、又はビトリファイドボンド砥石のいずれか一つであることを特徴とする請求項１１又は請求項１２に記載のウェーハ面取り用砥石。
ウェーハテーブルに載置されたウェーハの外周部を所定の形状に加工する面取り装置に備えられた複数の砥石のうちのいずれかに対し、前記ウェーハの外周を研削する為の溝を形成するツルーイング砥石において、
前記ツルーイング砥石は、希望する前記溝の形状にそれぞれ合わせて形成された複数のツルーイング砥石が、該溝を加工する位置に合わせられて一体に形成されたことを特徴とするツルーイング砥石。
前記ツルーイング砥石は、メタルボンド砥石であることを特徴とする請求項１４に記載のツルーイング砥石。