JP2005153129A - ノッチ付ウェーハのノッチ部の面取り方法 - Google Patents

Abstract

【課題】ノッチ付ウェーハのノッチ部の面取り加工において、良好な加工面粗さを得ることのできるノッチ部の面取り方法を提供すること。
【解決手段】ウェーハＷの中心とノッチ部中心とを結ぶ方向をＹ方向とした時に、ノッチ面取り砥石５８の軸心をＹ方向に所定量傾斜させて面取り加工し、ノッチ面取り砥石５８の砥粒の運動方向をウェーハＷの回転方向と交差させるようにして、加工面粗さの向上を図るようにした。
【選択図】 図４

Description

本発明はウェーハの面取り方法に関し、特に半導体装置や電子部品等のウェーハでノッチ付ウェーハのノッチ部の面取り方法に関する。

半導体装置や電子部品等の素材となるシリコン等のウェーハは、インゴットの状態から内周刃やワイヤーソー等のスライシング装置でスライスされた後、その周縁の割れや欠け等を防止するために外周部に面取り加工が施される。ところで、これらのウェーハの外周には、その結晶方位の判別及びウェーハの整列を容易にするためにオリフラ（オリエンテーションフラットの略称）又はノッチが形成されていることが多い。そして、これらのウェーハについては、オリフラ又はノッチについても同様に面取り加工を施す必要がある。

従来、ウェーハの周縁の面取り加工において、良好な加工面の面粗さを得るために、面取り砥石の軸心をウェーハ外周の接線方向に所定角度傾斜させて面取り加工することが提案されている（例えば、特許文献１参照。）。

この技術によれば、ウェーハの回転方向に対して砥石の砥粒の運動方向が斜め方向となり、加工面の面粗さが改善される。
特開平５−１５２２５９号公報

ところが、この特開平５−１５２２５９号公報に記載された面取り方法では、ウェーハの外周部及びオリフラ部については適応可能で、良好な結果が得られているが、ウェーハのノッチ部については、ノッチ部輪郭線の各位置における接線方向に一定角度面取り砥石を傾斜させることができない。このため従来は、ノッチ部については面取り砥石を傾斜させずに面取り加工を行っていたので、ノッチ部の加工面粗さは外周部に比べて劣っていた。

本発明はこのような事情に鑑みてなされたもので、ノッチ付ウェーハのノッチ部の面取り加工において、良好な加工面粗さを得ることのできるノッチ部の面取り方法を提供することを目的とする。

前記目的を達成するために、請求項１に記載の発明は、ノッチ付ウェーハのノッチ部の面取り方法において、前記ウェーハの中心とノッチ部中心とを結ぶ方向をＹ方向とした時に、ノッチ面取り砥石の軸心をＹ方向に所定量傾斜させて前記ノッチ部を面取り加工することを特徴とする。

請求項１の発明によれば、ウェーハの中心とノッチ部中心とを結ぶ方向をＹ方向とした時に、ノッチ面取り砥石の軸心がＹ方向に所定量傾斜しているので、ノッチ面取り砥石の砥粒の運動方向がウェーハの回転方向と交差するので、加工面粗さの向上が図れる。また、ノッチ面取り砥石自体も研磨面の型崩れが少なくなって、砥石の寿命が延びる。

請求項２に記載の発明は、ノッチ付ウェーハのノッチ部の面取り方法において、ノッチ面取り砥石の軸心を、前記ノッチ部の輪郭接触面と直交する面内において所定量傾斜するように、傾斜方向を変化させながら前記ノッチ部を面取り加工することを特徴とする。

請求項２の発明においても、ノッチ面取り砥石の砥粒の運動方向がウェーハの回転方向と交差するので、加工面粗さの向上が図れる。また、ノッチ面取り砥石自体も研磨面の型崩れが少なくなって、砥石の寿命が延びる。

また請求項３に記載の発明は、ノッチ付ウェーハのノッチ部の面取り方法において、前記ウェーハを前記ノッチ面取り砥石に対して相対的に往復移動させながら面取り加工を行うことを特徴とする。

請求項３の発明によれば、ノッチ面取り砥石の砥粒の運動軌跡が加工面に均一に作用し、加工面粗さが向上する。

また請求項４に記載の発明は、請求項１の発明において、前記ノッチ面取り砥石が溝付き砥石であり、前記ウェーハを前記ノッチ面取り砥石に対してウェーハの厚さ方向に相対的に移動させながら面取り加工を行い、面取り部の面幅を一定にすることを特徴とする。

請求項４の発明によれば、ウェーハをノッチ面取り砥石に対してウェーハの厚さ方向に相対的に移動させながら面取りするので、ノッチ部の各部において面取り幅が変化するのが防止され、一定の面取り幅で面取り加工することができる。

また請求項５に記載の発明は、請求項１又は請求項２の発明において、前記ウェーハを前記ノッチ面取り砥石に対して相対的に往復移動させながら面取り加工を行うことを特徴とする。

請求項５の発明によれば、ノッチ面取り砥石の砥粒の運動軌跡が更に加工面に均一に作用し、加工面粗さが一層向上する。

請求項６に記載の発明は、請求項１、２、又は３の発明において、前記ウェーハ又は前記ノッチ面取り砥石に振動を付与しながら面取り加工することを特徴とする。

請求項６の発明によれば、振動研削を併用しているので、より一層加工面粗さが向上する。

また、請求項７に記載の発明は、請求項３又は請求項５の発明において、前記往復移動が、前記ウェーハの面取り斜面方向の往復移動であることを特徴とする。

請求項７の発明によれば、ノッチ面取り砥石の砥粒が回転しながらウェーハの面取り斜面方向に往復移動するので、面取り斜面の粗さが一層向上する。

また、請求項８に記載の発明は、請求項３又は請求項５の発明において、前記往復移動が、前記ウェーハの厚さ方向の往復移動であることを特徴とする。

請求項８の発明によれば、ノッチ面取り砥石の砥粒が回転しながらウェーハの厚さ方向に往復移動するので、ウエーハ側面の粗さが一層向上する。

また、請求項９に記載の発明は、請求項７の発明において、前記往復移動時に、往路と復路とで前記ノッチ面取り砥石と前記ウェーハとの相対的傾斜角度を変化させることを特徴とする。

請求項９の発明によれば、往復移動時に、往路と復路とでノッチ面取り砥石とウェーハとの接触状態を変化させることができ、例えばウェーハが砥石から離れる方向では強く研削し、近寄る方向のときは弱い研削にするようなコントロールをすることができるので、面粗さを一層改善することができる。

以上説明したように本発明のノッチ付ウェーハのノッチ部の面取り方法によれば、ノッチ面取り砥石の軸心を傾斜させているので、ノッチ面取り砥石の砥粒の運動方向がウェーハの回転方向と交差し、加工面粗さの向上が図れる。また、ノッチ面取り砥石自体も研磨面の型崩れが少なくなって、砥石の寿命が延びる。

以下添付図面に従って本発明に係るノッチ付ウェーハのノッチ部の面取り方法の好ましい実施の形態について詳説する。尚、各図において同一部材には同一の番号または記号を付している。

先ず最初に、本発明に係るノッチ付ウェーハのノッチ部の面取り方法で使用するウェーハの面取り装置について説明する。図１は、面取り装置の主要部を示す正面図である。面取り装置１０は、ウェーハ送りユニット２０、砥石回転ユニット５０、図示しないウェーハ供給／収納部、ウェーハ洗浄／乾燥部、ウェーハ搬送手段、及び面取り装置各部の動作を制御するコントローラ等から構成されている。

ウェーハ送りユニット２０は、本体ベース１１上に載置されたＸ軸ベース２１、２本のＸ軸ガイドレール２２、２２、４個のＸ軸リニアガイド２３、２３、…、ボールスクリュー及びステッピングモータから成るＸ軸駆動手段２５によって図のＸ方向に移動されるＸテーブル２４を有している。

Ｘテーブル２４には、２本のＹ軸ガイドレール２６、２６、４個のＹ軸リニアガイド２７、２７、…、図示しないボールスクリュー及びステッピングモータから成るＹ軸駆動手段によって図のＹ方向に移動されるＹテーブル２８が組込まれている。

Ｙテーブル２８には、２本のＺ軸ガイドレール２９、２９と図示しない４個のＺ軸リニアガイドによって案内され、ボールスクリュー及びステッピングモータから成るＺ軸駆動手段３０によって図のＺ方向に移動されるＺテーブル３１が組込まれている。

Ｚテーブル３１には、θ軸モータ３２、θスピンドル３３が組込まれ、θスピンドル３３にはウェーハＷを吸着載置するウェーハテーブル３４が取り付けられており、ウェーハテーブル３４はウェーハテーブル回転軸心ＣＷを中心として図のθ方向に回転される。

また、ウェーハテーブル３４の上面は、図示しない真空源と連通する吸着面になっており、面取り加工されるウェーハＷが載置されて吸着固定される。

また、ウェーハテーブル３４の下部には、ウェーハＷの周縁を仕上げ面取りする砥石のツルーイングに用いるツルーイング砥石４１が、ウェーハテーブル回転軸心ＣＷと同心に取り付けられている。

このウェーハ送りユニット２０によって、ウェーハＷ及びツルーイング砥石４１は図のθ方向に回転されるとともに、図のＸ、Ｙ、及びＺ方向に移動される。

砥石回転ユニット５０は、外周粗研削砥石５２が取り付けられ、図示しない外周砥石モータによって軸心ＣＨを中心に回転駆動される外周砥石スピンドル５１、外周粗研削砥石５２の上方に配置されたターンテーブル５３に取付けられた外周精研スピンドル５４及び外周精研モータ５６、ノッチ粗研スピンドル６０及びノッチ粗研モータ６２、ノッチ精研スピンドル５７及びノッチ精研モータ５９を有している。

外周精研スピンドル５４にはウェーハＷの外周を仕上げ研削する面取り砥石である外周精研削砥石５５が取付けられ、ノッチ粗研スピンドル６０にはノッチ粗研削砥石６１が、またノッチ精研スピンドル５７にはノッチ部を仕上げ研削するノッチ面取り砥石であるノッチ精研削砥石５８が取付けられている。

外周精研削砥石５５、ノッチ精研削砥石５８、及びノッチ粗研削砥石６１はターンテーブル５３の回転によって夫々加工位置に位置付けられる。

外周精研スピンドル５４は加工位置において、図のＸ方向に所定角度傾斜可能に取付けられている。このため、外周精研削砥石５５でウェーハＷの外周を面取り加工する時に、砥粒の運動軌跡がウェーハＷの回転方向に対して斜めに運動して研削する。

以後、このように砥粒の運動軌跡がウェーハＷの回転方向に対して斜めとなる研削方法をヘリカル研削と称する。ヘリカル研削の場合、通常の研削に比べて加工面粗さが良好になる。

ノッチ面取り砥石であるノッチ精研削砥石５８は、任意の方向に所定量傾斜させることができるように保持されている。

図２は、ノッチ面取り砥石であるノッチ精研削砥石５８が取付けられたノッチ精研スピンドル５７の傾斜駆動機構を表わしたもので、図２（ａ）は平面図で、図２（ｂ）は正面断面図である。

ノッチ精研モータ５９が組込まれたノッチ精研スピンドル５７は、スピンドルホルダ６３に取付けられている。スピンドルホルダ６３は、段付シャフト６３Ａを有しており、段付シャフト６３Ａの下方にはターンテーブル５３に取付けられたユニバーサルジョイント６４のボール６３Ｂが固定され、段付シャフト６３Ａの上方にはユニバーサルジョイント６６のボール６３Ｃが固定されている。

また、ユニバーサルジョイント６６はアーム６５の一端に取付けられ、アーム６５の他端はアーム６７の一端とピン６８で回動可能に連結され、アーム６７の他端はターンテーブル５３に取付けられたモータ６９のシャフト６９Ａに固定されている。

ノッチ精研削砥石５８はこのような機構で保持されているため、モータ６９のシャフト６９Ａを回転させることにより図の揺動支点ＣＮを中心としてスリコギ運動を行う。従ってモータ６９の回転角を制御することにより、ノッチ精研削砥石５８の軸心を任意の方向に所定角度傾斜させることができる。

また、ノッチ精研削砥石５８の軸心の傾斜角度αは、アーム６７とアーム６５の長さを変更することによって任意に設定することができる。

本実施の形態においては、ツルーイング砥石４１は加工されるウェーハＷと略同径、同厚の円盤状ＧＣ砥石が用いられ、砥石の粒度は＃３２０である。また外周粗研削砥石５２は、直径２０２ｍｍのダイヤモンド砥粒のメタルボンド砥石で、粒度＃８００である。

外周精研削砥石５５は、直径５０ｍｍのダイヤモンド砥粒のレジンボンド砥石で、粒度＃３０００とした。また、ノッチ粗研削砥石６１は直径１．８ｍｍ〜２．４ｍｍの小径で、ダイヤモンド砥粒のレジンボンド砥石、粒度＃８００が用いられ、ノッチ精研削砥石５８は、直径１．８ｍｍ〜２．４ｍｍの小径で、ダイヤモンド砥粒のレジンボンド砥石、粒度＃４０００が用いられている。

外周砥石スピンドル５１は、ボールベアリングを用いたビルトインモータ駆動のスピンドルで、回転速度８，０００ｒｐｍで回転される。また、外周精研スピンドル５４はエアーベアリングを用いたビルトインモータ駆動のスピンドルで、回転速度３５，０００ｒｐｍで回転される。

ノッチ粗研スピンドル６０は、エアーベアリングを用いたエアータービン駆動のスピンドルで、回転速度８０，０００ｒｐｍで回転され、ノッチ精研スピンドル５７はエアーベアリングを用いたビルトインモータ駆動のスピンドルで、回転速度１５０，０００ｒｐｍで回転される。

面取り装置１０のその他の構成部分については、一般的によく知られた機構であるため、詳細な説明は省略する。

次に、このように構成された面取り装置１０を用いたノッチ付ウェーハのノッチ部の面取り方法について説明する。

最初に、ノッチ部の仕上げ面取りを行う前に実施される外周部の粗研削面取り、精研削面取り、及びノッチ粗研削面取りについて説明する。ウェーハＷをウェーハテーブル３４に芯出しした状態で吸着固定し、Ｙ方向に送って回転する外周粗研削砥石５２に切り込み、１回転させて周縁部を粗研削面取りする。次にターンテーブル５３を回転させ、ノッチ粗研削砥石６１を加工位置に位置付ける。次にウェーハＷをθ回転させて、ノッチ部Ｎのコーナー部をノッチ粗研削砥石６１の方向に合わせ、Ｘ及びＹ方向の送りでノッチ部Ｎを粗研削面取りする。

次いで、外周精研削砥石５５を加工位置に位置付け、ウェーハＷの外周面取り部を仕上げ研削する。この時、外周精研削砥石５５をウェーハ外周の接線方向に傾斜させ、ヘリカル研削で面取り部を仕上げる。以上がノッチ精研削の前に行われる工程である。

次に、ターンテーブル５３を回転させ、ノッチ精研削砥石５８を加工位置に位置付ける。次に、モータ６９を駆動させて、ノッチ精研削砥石５８の軸心をＹ方向に傾斜させる。本実施の形態では、砥石傾斜角度αを約２０°に設定した。

この状態でノッチ精研削砥石５８を高速回転させながら、図３に示すように、ウェーハＷをＸ及びＹ方向に送ってノッチ部Ｎの仕上げ面取りを行う。即ち、図３（ａ）に示すノッチ部Ｎのコーナー部をノッチ精研削砥石５８に接触させ、順次ノッチ部Ｎの輪郭に沿って面取りを行い、図３（ｂ）に示すノッチ部Ｎのボトムを経由し、図３（ｃ）に示す反対側コーナー部まで仕上げ面取りを行う。この間、ウェーハＷのθ回転は行わず、Ｘ及びＹ方向送りでノッチ部Ｎを面取りする。

図４は加工部の拡大図である。図４に示すように、ノッチ精研削砥石５８の軸心をＹ方向に傾斜させた状態（図の実線で記載した状態）で、ノッチ精研削砥石５８の上側傾斜面５８ａでウェーハＷのノッチ部Ｎの上面をヘリカル研削で面取りし、ノッチ精研削砥石５８の溝底面５８ｃでノッチ部Ｎの側面をヘリカル研削する。

ウェーハＷのノッチ部Ｎの下面は、ノッチ精研削砥石５８の軸心をＹ方向の逆向きに傾斜させ（図の２点鎖線で記載した状態）、次いでウェーハＷをＺ方向に移動してノッチ精研削砥石５８の下側傾斜面５８ｂに合わせ、下側傾斜面５８ｂを使用してヘリカル研削する。

なお、ノッチ精研削砥石として、図５（ａ）に示すような形状のノッチ精研削砥石５８Ａを用いると好適である。即ち、ノッチ精研削砥石５８Ａは図５（ａ）に示すように、溝底中央が砥石傾斜角度αだけ盛り上がった鼓型をなしており、砥石傾斜面の角度βはウェーハＷの面取り角度プラスαになっている。

このノッチ精研削砥石５８Ａを用いて図５（ｂ）に示すように、軸心をαだけ傾けた状態でウェーハＷのノッチ部Ｎの上面をヘリカル研削し、次いで図５（ｃ）に示す用に、軸心を反対側にαだけ傾けてノッチ部Ｎの下面をヘリカル研削する。これにより、ウェーハＷのノッチ部Ｎの側面はウェーハＷの表裏両端面に対し直角に仕上がる。

ノッチ精研削砥石５８又は５８Ａの軸心をＹ方向に傾斜させているので、砥粒の運動軌跡はウェーハＷの加工部の移動軌跡にたいして傾斜するため、ウェーハＷのノッチ部Ｎの面取り面は図６に示すように、ヘリカル効果が特にノッチ部Ｎの直線部に強く現れ、直線部に斜めのスジが見られるようになる。このため、面取り面の粗さが良好になり、また複数の砥粒が均一に加工に寄与するので砥石摩耗が少なく、型崩れも発生し難いので、砥石寿命が延びる。

ノッチ精研削砥石５８又は５８Ａの軸心を一定方向（Ｙ方向）に傾斜させてノッチ部Ｎを面取りした場合、図７に示すように、ノッチ部Ｎの部位によって面取り幅が一様でなくなる。即ちノッチ部Ｎのコーナー頂部とノッチ部Ｎの底部では面取り幅が広くなり、直線部では狭くなる。このため本発明においては、ノッチ部Ｎの面取り中にウェーハＷをＺ方向に上下移動させ、面取り幅が変化しないようにコントロールしている。

このように、面取り中にウェーハＷのＺ方向位置をコントロールすることによって、ノッチ部Ｎの面取り幅が一定に維持される。

また本発明においては、ノッチ部Ｎの面取り加工において、図８に示すように、ウェーハＷをノッチ精研削砥石５８又は５８Ａに対して相対的に往復移動（トラバース）させながら面取り加工を行うことを提案している。即ち、ノッチ部の各部位においてウェーハをトラバースさせながら図８の如く研削する。

トラバース方向は、図９（ａ）に示すようなＺ方向のトラバースと、図９（ｂ）に示すような面取り斜面方向とに分けて行う。先ず、図９（ａ）に示すように、ウェーハＷをＺ方向トラバースの振幅Ｌで、ノッチ部側面の水平方向移動速度と同じ速度でトラバースさせる。これによりヘリカル効果と併せて側面の面粗さが一層向上する。

次に、図９（ｂ）に示すように、ウェーハＷをその面取り斜面に沿って、振幅Ｍで、面取り斜面の水平方向移動速度と同じ速度でトラバースさせる。これによりヘリカル効果との相乗効果で、面取り斜面の面粗さが一層向上する。ウェーハＷの下側面取り斜面も同様にトラバースさせる。

なお、面取り斜面に沿ったトラバースでは、ウェーハＷと砥石とが離れる方向（往路）と、戻る方向（復路）とで砥石の傾斜角度を変えることにより、更に面粗さ向上効果が得られる。例えば、往路で研削した方が復路で研削するよりも面粗さが良好になることが実験的に判明しているので、往路で強く研削し、復路では弱い研削か又はほとんど研削しないようにすることもできる。

また、面取り斜面に沿ったトラバースは、Ｙ方向の一定面内で斜めに往復移動させる場合と、ノッチ部の輪郭接触面と直交する面内で斜めに往復移動させる場合とがあり、本発明はこのどちらの場合をも含み、どちらも加工面粗さの向上に有効である。

なお、ウェーハＷを研削砥石に対して相対的に往復移動（トラバース）させながら面取り加工を行う場合、研削砥石の軸心を傾斜させずに、垂直な状態で行ってもよい。この場合も砥石の砥粒の運動軌跡が加工面に均一に作用し、加工面粗さが向上する。

また、ウェーハテーブル３４又はノッチ精研スピンドル５７の保持部に図示しない超音波発生器を組込み、ウェーハＷ或いはノッチ精研削砥石５８又は５８Ａに微振動を付与しながら面取り加工することで、振動研削とヘリカル研削との相乗効果で加工面粗さをより一層向上させることができる。

前述の実施形態では、ノッチ精研削砥石５８又は５８Ａの軸心をＹ方向の一定方向に固定していたが、本発明ではノッチ部Ｎの輪郭接触面と直交する面内に所定量傾斜させてノッチ部Ｎを面取り加工する方法も提案している。

即ち、ウェーハＷのノッチ部Ｎの各部位における仮想接触面と直交する面内でノッチ精研削砥石５８又は５８Ａの軸心が所定量傾斜するように、モータ６９の回転を制御しながら研削する。従ってこの場合は、ノッチ部Ｎの各部位に合わせて傾斜方向を変化させながら面取り加工することになる。

この場合は、傾斜方向をＹ方向の一定方向に固定する方法に比べて、ヘリカル効果は減少するが、ノッチ部Ｎの各部位で面取り幅が変化することはない。従って面取り幅を一定にするためのＺ軸コントロールは必要ない。

以上説明した実施の形態では、ノッチ面取り砥石であるノッチ精研削砥石５８を上側傾斜面５８ａ、ウェーハＷの厚さに対して十分な幅を有する溝底面５８ｂ、及び下側傾斜面５８ｃが形成された溝付砥石で説明したが、ウェーハＷの面取り形状に適合した溝形状を有する総形砥石を用いても、本発明の砥石軸傾斜ノッチヘリカル研削は実施可能である。

本発明に係るノッチ付ウェーハのノッチ部の面取り方法で使用する面取り装置を表わす正面図 砥石軸傾斜機構を表わす平面図（ａ）、及び正面図（ｂ） ノッチ加工動作を表わす平面図 ノッチ加工状態を表わす拡大図 好適なノッチ加工砥石を表わす概念図 ヘリカル効果を説明する概念図 面取り幅を説明する概念図 トラバース動作を説明する概念図 トラバース方向を説明する概念図

符号の説明

１０…面取り装置、３４…ウェーハテーブル、５２…外周粗研削砥石、５５…外周精研削砥石、５８…ノッチ精研削砥石（ノッチ面取り砥石）、６１…ノッチ粗研削砥石、α…砥石傾斜角度、Ｎ…ノッチ部、Ｗ…ウェーハ

Claims (9)

1. ノッチ付ウェーハのノッチ部の面取り方法において、
   前記ウェーハの中心とノッチ部中心とを結ぶ方向をＹ方向とした時に、ノッチ面取り砥石の軸心をＹ方向に所定量傾斜させて前記ノッチ部を面取り加工することを特徴とするノッチ付ウェーハのノッチ部の面取り方法。
2. ノッチ付ウェーハのノッチ部の面取り方法において、
   ノッチ面取り砥石の軸心を、前記ノッチ部の輪郭接触面と直交する面内において所定量傾斜するように、傾斜方向を変化させながら前記ノッチ部を面取り加工することを特徴とするノッチ付ウェーハのノッチ部の面取り方法。
3. ノッチ付ウェーハのノッチ部の面取り方法において、
   前記ウェーハをノッチ面取り砥石に対して相対的に往復移動させながら面取り加工を行うことを特徴とするノッチ付ウェーハのノッチ部の面取り方法。
4. 前記ノッチ面取り砥石が溝付き砥石であり、前記ウェーハを前記ノッチ面取り砥石に対してウェーハの厚さ方向に相対的に移動させながら面取り加工を行い、面取り部の面幅を一定にすることを特徴とする、請求項１に記載のノッチ付ウェーハのノッチ部の面取り方法。
5. 前記ウェーハを前記ノッチ面取り砥石に対して相対的に往復移動させながら面取り加工を行うことを特徴とする、請求項１又は請求項２に記載のノッチ付ウェーハのノッチ部の面取り方法。
6. 前記ウェーハ又は前記ノッチ面取り砥石に振動を付与しながら面取り加工することを特徴とする、請求項１、２、又は３のうちいずれか１項に記載のノッチ付ウェーハのノッチ部の面取り方法。
7. 前記往復移動が、前記ウェーハの面取り斜面方向の往復移動であることを特徴とする、請求項３又は請求項５に記載のノッチ付ウェーハのノッチ部の面取り方法。
8. 前記往復移動が、前記ウェーハの厚さ方向の往復移動であることを特徴とする、請求項３又は請求項５に記載のノッチ付ウェーハのノッチ部の面取り方法。
9. 前記往復移動時に、往路と復路とで前記ノッチ面取り砥石と前記ウェーハとの相対的傾斜角度を変化させることを特徴とする、請求項７に記載のノッチ付ウェーハのノッチ部の面取り方法。

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