JP2008010557A - 半導体ウエーハの研磨加工方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】凹部1Aが形成された裏面を上に向けてウエーハ1をチャックテーブル15上に保持し、ウエーハ1をチャックテーブル15ごと回転させ、ウエーハ1の上方に配した研磨工具50の研磨パッド52を高速回転させながら、凹部1Aの底面4aおよび凹部1Aの周囲の環状凸部5Aの内周面5aに押し付けて、凹部1Aを研磨する。研磨パッド52は凹部1Aの深さよりも厚いものを用い、環状凸部5Aの内周面5aと端面5bがなす角部5cを同時に研磨して、角部5cのチッピングを除去する。
【選択図】図7
Description
[1]半導体ウエーハ
図1の符号1は、一実施形態の方法で研磨加工が施される円盤状の半導体ウエーハ(以下ウエーハと略称)を示している。このウエーハ1はシリコンウエーハ等であって、厚さは例えば600μm程度のものである。ウエーハ1の表面には、格子状の分割予定ライン2によって複数の矩形状の半導体チップ(デバイス)3が区画されている。これら半導体チップ3の表面には、ICやLSI等の図示せぬ電子回路が形成されている。複数の半導体チップ3は、ウエーハ1と同心の概ね円形状のデバイス領域4に形成されており、このデバイス領域4の周囲に、半導体チップ3が形成されない環状の外周余剰領域5が存在している。また、ウエーハ1の周面の所定箇所には、半導体の結晶方位を示すV字状の切欠き(ノッチ)6が形成されている。このノッチ6は、外周余剰領域5内に形成されている。
図1に示したウエーハ1は、この場合、裏面のデバイス領域4に対応する部分のみが研削されて薄化され、断面凹状に加工される。この研削加工を行うにあたっては、図1に示すように、ウエーハ1の表面に、電子回路を保護する目的で予め保護テープ7が貼着される。保護テープ7としては、例えば、厚さ70〜200μm程度のポリオレフィン等の基材の片面に厚さ5〜20μm程度のアクリル系等の粘着剤を塗布したテープなどが好適に用いられる。
加工装置10は、直方体状の基台11を備えている。この基台11の長手方向一端部には、基台11の水平な上面に対して垂直に立設された壁部12が一体に形成されている。図2では、基台11の長手方向、幅方向および鉛直方向を、それぞれY方向、X方向およびZ方向で示している。基台11上は、長手方向のほぼ中間部分から壁部12側がウエーハ1を加工する加工エリア11Aとされ、この反対側が、加工エリア11Aに加工前のウエーハ1を供給し、かつ、加工後のウエーハ1を回収する着脱エリア11Bとされている。
以下、加工エリア11Aと着脱エリア11Bについて説明する。
図2に示すように、加工エリア11Aには矩形状のピット13が形成されている。このピット13内には、テーブルベース14を介して真空チャック式の円盤状のチャックテーブル(保持手段)15がY方向に移動自在に設けられている。テーブルベース14は、ピット13内に配されたY方向に延びるガイドレールに摺動自在に設けられており、適宜な駆動機構(いずれも図示略)によって同方向を往復動させられる。
図2に示すように、着脱エリア11Bの中央には矩形状のピット18が形成されており、このピット18の底部には、上下移動する2節リンク式の移送ロボット60が設置されている。そしてこの移送ロボット60の周囲には、上から見た状態で反時計回りに、供給カセット61、位置合わせ台62、旋回アーム式の供給アーム63、供給アーム63と同じ構造の回収アーム64、スピンナ式の洗浄装置65、回収カセット66が、それぞれ配置されている。
次に、上記加工装置10によってウエーハ1の裏面のデバイス領域4に対応する部分のみを研削加工して薄化し、ウエーハ1を断面凹状に加工する方法を説明する。この研削加工を行うにあたっては、図1に示すように、ウエーハ1の表面に、電子回路を保護する目的で予め保護テープ7を貼着する。
次に、加工装置10に取り付けていた研削工具40を図5に示す研磨工具50に付け替え、この研磨工具50によって凹部1Aの内面を研磨する。研磨工具50は、上記フレーム41と同様のフレーム51の下端面に、環状の研磨パッド(研磨部材)52が固着されたものである。研磨パッド52は不織布等からなる一般的な研磨用布でできており、砥粒等は混入されておらず、上記研磨スラリーを被加工物に押圧することによって研磨するものである。研磨パッド52の外径は、ウエーハ1に形成された凹部1Aの径よりも小径でさえあれば特に求められる条件はないが、加工効率の観点からはできるだけ大径が好ましい。
1A…凹部
3…半導体チップ(デバイス)
4…デバイス領域
4a…凹部の底面
5…外周余剰領域
5A…環状凸部
5a…環状凸部の内周面
5b…環状凸部の端面
5c…角部
10…加工装置
15…チャックテーブル(保持手段)
22…スピンドル(研磨パッドの回転軸)
52…研磨パッド(研磨部材)
t2…研磨パッドの厚さ
t1…凹部の深さ
Claims (2)
- 複数のデバイスが表面に形成されたデバイス領域の周囲に、該デバイス領域よりも厚く裏面側に突出する環状凸部を有する外周余剰領域が形成されることにより断面凹状とされ、その裏面側の円形の凹部が研削加工によって形成されたものである半導体ウエーハの該凹部を、研磨加工する方法であって、
前記半導体ウエーハを、回転可能な保持手段に、前記裏面が露出する状態に保持し、
前記凹部底面の直径と同等以下の直径を有し、かつ前記保持手段の回転軸と平行な回転軸を中心にして回転する研磨部材によって、前記凹部の底面と、前記環状凸部の内周面と、該環状凸部の内周面と環状凸部における該半導体ウエーハの前記裏面と略平行な端面とがなす角部とを、同時に研磨することを特徴とする半導体ウエーハの研磨加工方法。 - 前記研磨部材の回転軸方向の厚さが、少なくとも前記凹部の深さを超える厚さを有していることを特徴とする請求項1に記載の半導体ウエーハの研磨加工方法。
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Cited By (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2009224622A (ja) * | 2008-03-17 | 2009-10-01 | Shindengen Electric Mfg Co Ltd | 半導体チップの製造方法、半導体ウエハおよび半導体チップ |
KR101236806B1 (ko) * | 2010-02-18 | 2013-02-25 | 세메스 주식회사 | 기판 연마 장치 및 방법 |
JP2014165326A (ja) * | 2013-02-25 | 2014-09-08 | Disco Abrasive Syst Ltd | ウェーハの加工方法 |
WO2016056124A1 (ja) * | 2014-10-10 | 2016-04-14 | 三菱電機株式会社 | 半導体装置の製造方法 |
CN107895693A (zh) * | 2016-10-03 | 2018-04-10 | 株式会社迪思科 | 晶片的加工方法 |
CN109478561A (zh) * | 2016-07-20 | 2019-03-15 | 三菱电机株式会社 | 半导体装置以及其制造方法 |
CN116810528A (zh) * | 2023-08-31 | 2023-09-29 | 江苏京创先进电子科技有限公司 | 晶片研削方法及晶片研削机 |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2001308039A (ja) * | 2000-04-25 | 2001-11-02 | Speedfam Co Ltd | 積層膜除去装置及びその使用方法 |
JP2003332271A (ja) * | 2002-05-15 | 2003-11-21 | Renesas Technology Corp | 半導体ウエハおよび半導体装置の製造方法 |
JP2005153129A (ja) * | 2003-11-28 | 2005-06-16 | Tokyo Seimitsu Co Ltd | ノッチ付ウェーハのノッチ部の面取り方法 |
EP1662560A2 (en) * | 2004-11-26 | 2006-05-31 | Applied Materials, Inc. | Edge removal of silicon-on-insulator transfer wafer |
-
2006
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Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2001308039A (ja) * | 2000-04-25 | 2001-11-02 | Speedfam Co Ltd | 積層膜除去装置及びその使用方法 |
JP2003332271A (ja) * | 2002-05-15 | 2003-11-21 | Renesas Technology Corp | 半導体ウエハおよび半導体装置の製造方法 |
JP2005153129A (ja) * | 2003-11-28 | 2005-06-16 | Tokyo Seimitsu Co Ltd | ノッチ付ウェーハのノッチ部の面取り方法 |
EP1662560A2 (en) * | 2004-11-26 | 2006-05-31 | Applied Materials, Inc. | Edge removal of silicon-on-insulator transfer wafer |
Cited By (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2009224622A (ja) * | 2008-03-17 | 2009-10-01 | Shindengen Electric Mfg Co Ltd | 半導体チップの製造方法、半導体ウエハおよび半導体チップ |
KR101236806B1 (ko) * | 2010-02-18 | 2013-02-25 | 세메스 주식회사 | 기판 연마 장치 및 방법 |
JP2014165326A (ja) * | 2013-02-25 | 2014-09-08 | Disco Abrasive Syst Ltd | ウェーハの加工方法 |
WO2016056124A1 (ja) * | 2014-10-10 | 2016-04-14 | 三菱電機株式会社 | 半導体装置の製造方法 |
CN109478561A (zh) * | 2016-07-20 | 2019-03-15 | 三菱电机株式会社 | 半导体装置以及其制造方法 |
CN107895693A (zh) * | 2016-10-03 | 2018-04-10 | 株式会社迪思科 | 晶片的加工方法 |
CN107895693B (zh) * | 2016-10-03 | 2023-06-20 | 株式会社迪思科 | 晶片的加工方法 |
CN116810528A (zh) * | 2023-08-31 | 2023-09-29 | 江苏京创先进电子科技有限公司 | 晶片研削方法及晶片研削机 |
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