JP5335448B2 - 加工装置 - Google Patents
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Description
[1]研削装置の全体構成および動作
図1は、一実施形態に係る研削装置を示している。この研削装置10は、円板状のワークを負圧吸着式のチャックテーブル(保持手段)30に吸着して保持し、2台の研削ユニット(粗研削用と仕上げ研削用)40A,40Bによりワークに対し粗研削と仕上げ研削を順次行ってワークを薄化加工するものである。ワークとしては、例えば電子回路を有する多数のチップが表面に格子状に形成されたシリコンウェーハ等の半導体ウェーハであって、研削装置10により、チップが形成された表面とは反対側の裏面が研削されて所定の厚さに加工されるものなどが挙げられる。以下、研削装置10の構成ならびに動作を説明する。
次に、本発明に係る上記チャックテーブル30について説明する。
図2はチャックテーブル30を示しており、同図で符号310はチャックテーブル本体である。このチャックテーブル本体310は、大径部311の上に小径部312が同心状に形成された円板状のもので、ステンレス等の中実材料からできている。小径部312の上面の大部分には、外周縁部312aを残して円形の凹所312bが同心状に形成されており、この凹所312bに、無数の気孔を有する多孔質材からなる吸着部313が嵌合されている。吸着部313の上面は水平で外周縁部312aの上面と面一となっており、この吸着部313の上面が、ワークを吸着して保持する保持面313aとして構成されている。
上記一実施形態に係るチャックテーブル30によれば、モータ350の回転力がタイミングベルト353を介して伝達される駆動軸341と可動エアベアリング部320の回転軸323とをフレキシブルに連結するカップリング部340が、可動エアベアリング部320の下面320aに形成された凹部322に収容されている。したがって、カップリング部340は可動エアベアリング部320の下面320aから下方に突出していない。このため、チャックテーブル30の保持面313aからタイミングベルト353までのチャックテーブル30が占める高さを小さくすることができ、装置全体の小型化が図られる。
Claims (3)
- 上面にワークを保持する保持面を有する保持手段と、
該保持手段に保持された前記ワークを加工する加工手段とを含む加工装置であって、
前記保持手段は、
前記保持面を回転可能に支持する回転軸を備えた可動エアベアリング部および該可動エアベアリング部を回転可能に支持する固定エアベアリング部と、
前記保持面を回転させる回転力を起こすモータと、
該モータによる前記回転力を前記保持面に伝達する駆動軸と前記回転軸とを連結するカップリング部とを含み、
前記可動エアベアリング部は前記回転軸を軸心とした円筒状であって、外周部に周溝が形成されているとともに、前記保持面とは反対側の下面に凹部を有し、
該凹部に前記カップリング部の少なくとも一部が収容されており、
前記固定エアベアリング部は、前記周溝に係合し、かつ、エア噴出口を有するリング部を備えており、
該リング部から噴出するエアによって、該リング部と前記周溝の内面との間にエア層が形成されることにより、前記可動エアベアリング部が前記固定エアベアリング部に回転可能に支持されることを特徴とする加工装置。 - 前記モータの回転力が伝達ベルトを介して前記駆動軸に伝達されることを特徴とする請求項1に記載の加工装置。
- 前記加工手段は研削手段および/または研磨手段であることを特徴とする請求項1または2に記載の加工装置。
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2009
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