JP2007242902A - ウエーハの加工方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】ウエーハ1の裏面に、該ウエーハ1と同等以上の硬度を有し、かつ、平均粒径が5μm以下のブロッキー形状の砥粒43がベース材44に分散された研磨部材42を押圧しながら回転させて、ウエーハ1の裏面を研磨し、研磨部材42によって形成されたダメージ層をゲッタリング層とし機能させる。
【選択図】図3
Description
[1]半導体ウエーハ
図1は、一実施形態の方法および装置によって裏面にゲッタリング層が付与される円盤状の半導体ウエーハ(以下ウエーハと略称)を示している。このウエーハ1はシリコンウエーハ等であり、その表面には、格子状の分割予定ライン2によって複数の矩形状の半導体チップ(デバイス)3が区画されている。これら半導体チップ3の表面には、ICやLSI等の図示せぬ電子回路が形成されている。
図2は、本実施形態の加工方法を好適に実施し得る研磨装置を示しており、該装置は、直方体状の基台10を備えている。この基台10の長手方向一端部(図2の奥側の端部)には、鉛直方向上方に延びる壁部12が一体に形成されている。図2では、基台10の長手方向、幅方向および鉛直方向を、それぞれY方向、X方向およびZ方向で示している。基台10上は、長手方向のほぼ中間部分から壁部12側がウエーハ1の裏面を研磨する加工エリア11Aとされ、この反対側が、加工エリア11Aに加工前のウエーハ1を供給し、かつ、加工後のウエーハ1を回収する着脱エリア11Bとされている。
以下、各種機構を加工エリア11Aに設けられるものと着脱エリア11Bに設けられものとに分けて説明する。
図2に示すように、加工エリア11Aには矩形状のピット13が形成されている。このピット13内には、テーブルベース14を介して真空チャック式の円盤状のチャックテーブル17がY方向に移動自在に設けられている。テーブルベース14は、ピット13内に配されたY方向に延びるガイドレールに摺動自在に設けられており、適宜な駆動機構(いずれも図示略)によって同方向を往復動させられる。
図2に示すように、着脱エリア11Bの中央には矩形状のピット18が形成されており、このピット18の底部には、上下移動する2節リンク式の移送ロボット60が設置されている。そしてこの移送ロボット60の周囲には、上から見た状態で反時計回りに、供給カセット61、位置合わせ台62、旋回アーム式の供給アーム63、供給アーム63と同じ構造の回収アーム64、スピンナ式の洗浄装置65、回収カセット66が、それぞれ配置されている。
次に、上記研磨装置によってウエーハ1の裏面を研磨する動作を説明する。
まず、研磨加工されるウエーハ1の裏面には、図3に示すように、電子回路を保護するための保護テープ9が貼られる。なお、保護テープ9は、上記の裏面研削の工程でウエーハ1の裏面に貼られる保護テープをそのまま流用してもよい。保護テープ9としては、例えば、厚さ17〜200μm程度のポリオレフィン等の基材の片面に厚さ5〜20μm程度のアクリル系等の粘着剤を塗布したテープなどが好適に用いられる。
以上が1枚のウエーハ1に対して裏面を研磨し、この後、洗浄して回収するサイクルであり、このサイクルが繰り返し行われる。
3…半導体チップ(デバイス)
17…チャックテーブル(保持テーブル)
42…研磨部材
43…砥粒
44…ベース材
Claims (5)
- 表面にデバイスが形成されたウエーハの裏面を研磨部材で研磨するウエーハの加工方法において、
前記研磨部材は、前記ウエーハと同等以上の硬度を有し、かつ、平均粒径が5μm以下のブロッキー形状の砥粒が分散されたものであることを特徴とするウエーハの加工方法。 - 前記研磨部材は、研磨布、ゴムまたはエラストマー等の柔軟性を有するベース材に前記砥粒が分散されたものであることを特徴とする請求項1に記載のウエーハの加工方法。
- 前記砥粒が一般砥粒であることを特徴とする請求項1または2に記載のウエーハの加工方法。
- 回転可能な保持テーブルの上に、前記ウエーハを裏面が露出する状態に保持して回転させ、このウエーハに対面させた前記研磨部材を回転させながらウエーハに押圧して研磨することを特徴とする請求項1〜3のいずれかに記載のウエーハの加工方法。
- 前記ウエーハの厚さが100μm以下であることを特徴とする請求項1〜4のいずれかに記載のウエーハの加工方法。
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Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2013247132A (ja) * | 2012-05-23 | 2013-12-09 | Disco Abrasive Syst Ltd | 板状物の加工方法 |
WO2015002199A1 (ja) * | 2013-07-02 | 2015-01-08 | 富士紡ホールディングス株式会社 | 研磨パッド及びその製造方法 |
CN107403738A (zh) * | 2016-05-19 | 2017-11-28 | 株式会社迪思科 | 去疵性的评价方法 |
JP2018032833A (ja) * | 2016-08-26 | 2018-03-01 | 株式会社東京精密 | ウェハの表面処理装置 |
WO2018221290A1 (ja) * | 2017-06-01 | 2018-12-06 | 東京エレクトロン株式会社 | ゲッタリング層形成装置、ゲッタリング層形成方法及びコンピュータ記憶媒体 |
KR20210030198A (ko) | 2019-09-09 | 2021-03-17 | 가부시기가이샤 디스코 | 가공 장치 |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP7175698B2 (ja) | 2018-10-03 | 2022-11-21 | 株式会社ディスコ | ウェーハの加工方法 |
JP7304708B2 (ja) | 2019-02-15 | 2023-07-07 | 株式会社ディスコ | ウェーハの加工方法 |
Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH01109083A (ja) * | 1987-10-19 | 1989-04-26 | Tokyo Jiki Insatsu Kk | 研磨フィルム |
JP2003500229A (ja) * | 1999-05-28 | 2003-01-07 | サンーゴバン アブレイシブズ,インコーポレイティド | 電子部品を研削するための研摩工具 |
JP2005072150A (ja) * | 2003-08-21 | 2005-03-17 | Sumitomo Mitsubishi Silicon Corp | 片面鏡面ウェーハおよびその製造方法 |
JP2005317846A (ja) * | 2004-04-30 | 2005-11-10 | Disco Abrasive Syst Ltd | 半導体デバイス及び半導体デバイスの加工方法 |
WO2006008824A1 (ja) * | 2004-07-16 | 2006-01-26 | Renesas Technology Corp. | 半導体集積回路装置の製造方法 |
JP2006043782A (ja) * | 2004-07-30 | 2006-02-16 | Hitachi Maxell Ltd | 固定砥粒研削研磨用工具とその製造方法、および固定砥粒研削研磨用工具を用いた被研磨体の研削研磨方法 |
-
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Patent Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH01109083A (ja) * | 1987-10-19 | 1989-04-26 | Tokyo Jiki Insatsu Kk | 研磨フィルム |
JP2003500229A (ja) * | 1999-05-28 | 2003-01-07 | サンーゴバン アブレイシブズ,インコーポレイティド | 電子部品を研削するための研摩工具 |
JP2005072150A (ja) * | 2003-08-21 | 2005-03-17 | Sumitomo Mitsubishi Silicon Corp | 片面鏡面ウェーハおよびその製造方法 |
JP2005317846A (ja) * | 2004-04-30 | 2005-11-10 | Disco Abrasive Syst Ltd | 半導体デバイス及び半導体デバイスの加工方法 |
WO2006008824A1 (ja) * | 2004-07-16 | 2006-01-26 | Renesas Technology Corp. | 半導体集積回路装置の製造方法 |
JP2006043782A (ja) * | 2004-07-30 | 2006-02-16 | Hitachi Maxell Ltd | 固定砥粒研削研磨用工具とその製造方法、および固定砥粒研削研磨用工具を用いた被研磨体の研削研磨方法 |
Cited By (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2013247132A (ja) * | 2012-05-23 | 2013-12-09 | Disco Abrasive Syst Ltd | 板状物の加工方法 |
WO2015002199A1 (ja) * | 2013-07-02 | 2015-01-08 | 富士紡ホールディングス株式会社 | 研磨パッド及びその製造方法 |
KR20160027084A (ko) | 2013-07-02 | 2016-03-09 | 후지보홀딩스가부시끼가이샤 | 연마 패드 및 그의 제조 방법 |
US10213895B2 (en) | 2013-07-02 | 2019-02-26 | Fujibo Holdings, Inc. | Polishing pad and method for manufacturing same |
CN107403738A (zh) * | 2016-05-19 | 2017-11-28 | 株式会社迪思科 | 去疵性的评价方法 |
CN107403738B (zh) * | 2016-05-19 | 2022-10-11 | 株式会社迪思科 | 去疵性的评价方法 |
JP2018032833A (ja) * | 2016-08-26 | 2018-03-01 | 株式会社東京精密 | ウェハの表面処理装置 |
WO2018221290A1 (ja) * | 2017-06-01 | 2018-12-06 | 東京エレクトロン株式会社 | ゲッタリング層形成装置、ゲッタリング層形成方法及びコンピュータ記憶媒体 |
JPWO2018221290A1 (ja) * | 2017-06-01 | 2020-03-26 | 東京エレクトロン株式会社 | ゲッタリング層形成装置、ゲッタリング層形成方法及びコンピュータ記憶媒体 |
KR20210030198A (ko) | 2019-09-09 | 2021-03-17 | 가부시기가이샤 디스코 | 가공 장치 |
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