JPH01109083A

JPH01109083A - 研磨フィルム

Info

Publication number: JPH01109083A
Application number: JP26322087A
Authority: JP
Inventors: Norimichi Kawashima; 徳道川島; Yoshiaki Miwa; 三輪　義昭; Kazuya Orii; 一也折井; Shigeru Sakai; 茂酒井
Original assignee: Tokyo Magnetic Printing Co Ltd
Current assignee: Toppan Infomedia Co Ltd
Priority date: 1987-10-19
Filing date: 1987-10-19
Publication date: 1989-04-26
Anticipated expiration: 2012-03-05
Also published as: JP2586913B2

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】産業上の利用分野本発明は、ポリッシング、ラッピング加工、特に、精密
機器、精密部品の仕上げ加工に使用するのに適した研磨
フィルムに関するものである。

従来の技術この種の研磨フィルムとしては、従来、プラスチックフ
ィルム上に、研磨材を分散させた塗料を塗布して、連続
あるいは不連続な研磨層を形成させたようなものがあり
、その研磨材として、電融アルミナを粉砕して得られた
アルミナ砥粒（ｗＡ）を用いるものがあった。

発明が解決しようとする問題点このような従来の粉砕アルミナ砥粒を研磨材として用い
た研磨フィルムでは、その研削力、表面仕上げ性能は充
分でなかった。すなわち、研削力を得るためには、研磨
材として粒度の大きい粉砕アルミナ砥粒を用いなければ
ならず、この場合には、表面仕上げ粗さが大きくなって
しまい、逆に、表面仕上げ粗さを小さくするためには、
研磨材として粒度の小さな粉砕アルミナ粉を用いなけれ
ばならず、この場合には、研削力が低下してしまってい
た。従って、従来では、初めに研削力の大きい研摩フィ
ルムにて粗い研削を行い、次に、仕上げ工程として仕上
げ表面粗さの小さい別の研磨フィルムを用いて研削を行
うという、２つの別々の工程が必要となっていた。

本発明の目的は、このような従来の問題点を解消しうる
研摩フィルムを提供することである。

問題点を解決するための手段本発明による研摩フィルムは、フィルム基体上に、多面
体アルミナ粉をバインダー樹脂中に分散させてなる研磨
層を形成したことを特徴とする。

実施例次に、添付図面に基づいて、本発明の実施例について、
本発明をより詳細に説明する。

第１図は、本発明の一実施例として研摩フィルムの一部
を示す断面図であり、この実施例の研摩フィルムは、プ
ラスチックフィルム１の上に、バインダー樹脂３中に多
面体アルミナ砥粒２を分散させてなる研摩層を連続的に
形成したものである。

第２図は、本発明の別の実施例としての研摩フィルムの
一部を示す断面図であり、この実施例の研磨フィルムは
、裏面に粘着剤層４および離型紙５を有したプラスチッ
クフィルム１の表面上に、バインダー樹脂３中に多面体
アルミナ砥粒２を分散させてなる研磨層を連続的に形成
したものである。

第３図は、本発明のさらに別の実施例としての研磨フィ
ルムの一部を示す断面図であり、この実施例の研磨フィ
ルムは、研磨層が不連続または島状に形成されている以
外は、第１図の実施例と同様である。第４図は、本発明
のさらに別の実施例としての研磨フィルムの一部を示す
断面図であり、この実施例の研磨フィルムは、研磨層が
不連続または島状である以外は、第２図の実施例と同様
である。また、これら研磨フィルムは、テープシート、
ディスク状等任意の形に加工して使用できるものである
。

前述したような本発明の研磨フィルムにおいて、多面体
アルミナ砥粒として使用するのに適したものとしては、
例えば、アルフィツトシリーズ（昭和電工株式会社製）
、ショーライトシリーズ（昭和電工株式会社製）等があ
る。この場合において、実験によれば、使用する多面体
アルミナ砥粒の粒径は、０，１μｍ〜１００μｍの範囲
が適当であり、最も望ましい粒径としては、０．５μｍ
〜３０μｍである。

また、バインダー樹脂としては、熱硬化性樹脂および熱
可塑性樹脂が使用でき、熱硬化性樹脂としては、２液硬
化型ウレタン、１液硬化型ウレタン樹脂、エポキシ・ポ
リアミド樹脂、不飽和ポリエステル樹脂等、１００℃以
下で反応（高分子化−硬化）するものが適している。熱
可塑性樹脂としては、各種アクリル樹脂、ビニル系樹脂
、セルロース系樹脂、エポキシ樹脂、エステル系樹脂等
が使用でき、また、ゴム系樹脂であるウレタンエラスト
マー、ニトリノーゴム、シリコーンゴム、アクリルゴム
、エチレン酢ビゴム、フッ素ゴム等も使用できる。

フィルム基体であるプラスチックフィルムとしては、ポ
リエチレンテレフタレート、ポリイミド、ポリカーボネ
イトおよびそれらを表面処理したもの、その地合成紙、
不織布等を使用することができる。

また、実験によれば、使用する多面体アルミナ砥粒の研
磨層中における砥粒濃度は、１０％〜９０％の範囲が適
当である。

次に、本発明の具体的実験例について説明する。

具体的実験例（１）この実験例は、本発明による研磨フィルムを試作実験す
るため、研磨層のバインダー樹脂として熱硬化型樹脂を
使用した場合の例であり、先ず、次の表１に示すような
組成の塗工剤を準備する。

表　　１但し、数値は、重量部を示し、Ｒ−９は、粒径ｄｓｏ　
　＝　１０．０　μｍ　のものである。

表１の組成の塗工剤をメイヤーバーコーター、グラビヤ
コーク−、リバースロールコータ−、ナイフコーター等
で、７５μｍ厚さのポリエチルシンテレフタレートフィ
ルム上に、１０μｍ〜１００μｍの厚さに塗布し、溶剤
を乾燥後、６０℃で４８時間硬化して研磨シートを製造
した。その研磨シートを用いて圧力１４０ｇ／ｃｄ、回
転数２０　Ｑｒｐｍ　、ワーク回転数１２５ｒｐｍで、
アルミを研磨し、一定時間毎に研磨されたアルミの表面
粗さおよび体積を測定した。

比較実験例（１）一方、前述した本発明による具体的実験例（１）の研磨
フィルムとの作用効果を確認するために、これと比較し
ろる従来の研磨フィルムを作製するため、次の表２に示
すような組成の塗工剤を準備し、具体的実験例（１）と
同様に塗布し、具体的実験例（１）と同一の研磨および
評価を行った。

表　　２但し、数値は、重量部を示し、ＷＡ１５００は、粒径ｄ
ｓｏ　　＝９．９μｍのものである。

具体的実験例（１）における研磨フィルムの研磨時間対
表面粗さの関係を示すと、第５図の曲線Ａの如くなり、
比較実験例（１）における研磨フィルムの研磨時間対表
面粗さの関係を示すと、第５図の曲線Ｂの如くなった。

また、具体的実験例（１）における研磨フィルムの研磨
時間対累積研削量の関係を示すと、第６図の曲線Ａの如
くなり、比較実験例（１）における研磨フィルムの研磨
時間対累積研削量の関係を示すと、第６図の曲線Ｂの如
くなった。

これらの曲線を比較すると明らかなように、本発明によ
って研磨材として多面体アルミナ砥粒を使用することに
より、従来の如く粉砕アルミナ砥粒を用いる場合より、
表面粗さをほぼ同等に保ちつつ、研削力をきわめて高く
することができる。

具体的実験例（２）この実験例は、本発明による研磨フィルムを試作実験す
るため、研磨層のバインダー樹脂として熱可塑性樹脂を
使用した場合の例であり、先ず、次の表３に示すような
組成の塗工剤を準備する。

表　　３但し、数値は、重量部を示し、Ｒ−９は、粒径ｄ、。＝
９．５μｍのものである。

表３の組成の塗工剤をメイヤーバーコーター、グラビヤ
コーター、リバースロールコータ−、ナイフコーター等
で、７５μｍ厚さのポリエチレンテレフタレートフィル
ム上に、１０μｍ〜１００μｍの厚さに塗布し、溶剤を
乾燥後、６０℃で４８時間硬化して研磨シートを製造し
た。その研磨シートを用いて圧力１４０ｇ／ｃ＋＋！、
回転数２０Ｏｒｐｍ、ワーク回転数１２５ｒｐｍ　で、
アルミを研磨し、一定時間毎に研磨されたアルミの表面
粗さおよび体債を測定した。

比較実験例（２）一方、前述した本発明による具体的実験例（２）の研磨
フィルムとの作用効果を確認するために、これと比較し
うる従来の研磨フィルムを作製するため、次の表４に示
すような組成の塗工剤を準備し具体的実験例（２）と同
様に塗布し、具体的実験例（２）と同一の研磨および評
価を行った。

表　　４但し、数値は、重量部を示し、ＷＡ１５００は、粒径ｄ
ｓｏ　　＝９．９μｍのものである。

具体的実験例（２）における研磨フィルムの研磨時間対
表面粗さの関係を示すと、第７図の曲線への如くなり、
比較実験例（２）における研磨フィルムの研磨時間対表
面粗さの関係を示すと、第７図の曲線Ｂの如くなった。

また、具体的実験例（２）における研磨フィルムの研磨
時間対累積研削量の関係を示すと、第８図の曲線への如
くなり、比較実験例（２）における研磨フィルムの研磨
時間対累積研削量の関係を示すと、第８図の曲線Ｂの如
くなった。

これらの曲線を比較すると明らかなよ）に、本発明によ
って研磨材として板状アルミナ砥粒を使用することによ
り、従来の如く粉砕アルミナ砥粒を用いる場合より、表
面粗さをほぼ同等に保ちつつ、研削力をきわめて高くす
ることができる。

その他の具体的実験例を次の表５および６にまとめて示
し、それにそれぞれ対応する比較実験例を同じＮＯ，に
てまと°めて示す。実験条件は、実験例（１）と同じで
ある。

表　　５表　　６但し、表５および６において、Ａは、アルミ、Ｂは、ポ
リメチルメタクリレート、Ｃは、アルミナを示し、Ｄは
、５）ＩＤＬＩＴＥ　Ｒ−９を示し、Ｅは、ＶＡＧＨ（
ｔＪｃｃ社製　塩ビ、酢ビ、ビニルアルコ−ルポリウレタン工業製　コロネートＬ）＝１２．５を示し
、Ｆは、Ｎ２３０４＝１００を示しており、Ｇは、Ｗ　
Ａ　１　５　０　０を示している。

発明の効果前述の説明から明らかなように、本発明による多面体ア
ルミナ粉を研磨材として使用した研磨フィルムは、同じ
粒径の粉砕アルミナ粉を研磨材として使用する従来の研
磨フィルムに比較して、同等の仕上げ表面粗さを有し、
且つ研削力をきわめて高くすることができる。従って、
本発明の研磨フィルムは、高能率研磨に適し、１つの研
磨フィルムで重研削から表面仕上げまで行うことができ
、工程短縮を行うことができ、また、寿命が長いので、
研磨フィルムの使用量を減らすことができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は、本発明の一実施例としての研磨フィルムの一
部分を示す断面図、第２図は、本発明の別の実施例とし
ての研磨フィルムの一部分を示す断面図、第３図は、本
発明のさらに別の実施例としての研磨フィルムの一部分
を示す断面図、第４図は、本発明のさらに別の実施例と
しての研磨フィルムの一部分を示す断面図、第５図は、
本発明の一実施例の研磨フィルムと従来の研磨フィルム
との仕上げ表面粗さ特性を比較して示す図、第６図は、
本発明の一実施例の研磨フィルムと従来の研磨フィルム
との研削力を比較して示す図、第７図は、本発明の別の
実施例の研磨フィルムと従来の研磨フィルムとの仕上げ
表面粗さ特性を比較して示す図、第８図は、本発明の別
の実施例の研磨フィルムと従来の研磨フィルムとの研削
力を比較して示す図である。１・・・・・・プラスチックフィルム、２・・・・・・
多面体アルミナ砥粒、３・・・・・・バインダー樹脂。第１図　　　　　　第２図第３図　　　　　第４図研Ｓ＠間　（分）研磨時間　（分）第７図研磨時間　（分）研磨時間　（分）

Claims

【特許請求の範囲】

（１）フィルム基体上に、多面体アルミナ粉をバインダ
ー樹脂中に分散させてなる研磨層を形成したことを特徴
とする研磨フィルム。
（２）前記バインダー樹脂は、熱硬化性である特許請求
の範囲第（１）項記載の研磨フィルム。
（３）前記バインダー樹脂は、熱可塑性である特許請求
の範囲第（１）項記載の研磨フィルム。
（４）前記研磨層における前記多面体アルミナ粉の濃度
は、１０％から９０％の範囲である特許請求の範囲第（
１）項または第（２）項または第（３）項記載の研磨フ
ィルム。