JP2586913B2

JP2586913B2 - 研磨フィルム

Info

Publication number: JP2586913B2
Application number: JP62263220A
Authority: JP
Inventors: 徳道川島; 義昭三輪; 一也折井; 酒井　　茂
Original assignee: Tokyo Magnetic Printing Co Ltd
Current assignee: Toppan Infomedia Co Ltd
Priority date: 1987-10-19
Filing date: 1987-10-19
Publication date: 1997-03-05
Anticipated expiration: 2012-03-05
Also published as: JPH01109083A

Description

【発明の詳細な説明】産業上の利用分野本発明は、ポリッシング、ラッピング加工、特に、精
密機器、精密部品の仕上げ加工に使用するのに適した研
磨フィルムに関するものである。

従来の技術この種の研磨フィルムとしては、従来、プラスチック
フィルム上に、研磨材を分散させた塗料を塗布して、連
続あるいは不連続な研磨層を形成させたようなものがあ
り、その研磨材として、電融アルミナを粉砕して得られ
たアルミナ砥粒（WA）を用いるものがあった。

発明が解決しようとする問題点このような従来の粉砕アルミナ砥粒を研磨材として用
いた研磨フィルムでは、その研削力、表面仕上げ性能は
充分でなかった。すなわち、研削力を得るためには、研
磨材として粒度の大きい粉砕アルミナ砥粒を用いなけれ
ばならず、この場合には、表面仕上げ粗さが大きくなっ
てしまい、逆に、表面仕上げ粗さを小さくするために
は、研磨材として粒度の小さな粉砕アルミナ粉を用いな
ければならず、この場合には、研削力が低下してしまっ
ていた。従って、従来では、初めに研削力の大きい研磨
フィルムにて粗い研削を行い、次に、仕上げ工程として
仕上げ表面粗さの小さい別の研磨フィルムを用いて研削
を行うという、２つの別々の工程が必要となっていた。

本発明の目的は、このような従来の問題点を解消しう
る研磨フィルムを提供することである。

問題点を解決するための手段本発明による研磨フィルムは、フィルム基体上に、単
結晶多面体アルミナ粉をバインダー樹脂中に分散させて
なる研磨層を形成したことを特徴とする。

実施例次に、添付図面に基づいて、本発明の実施例につい
て、本発明をより詳細に説明する。

第１図は、本発明の一実施例として研磨フィルムの一
部を示す断面図であり、この実施例の研磨フィルムは、
プラスチックフィルム１の上に、バインダー樹脂３中に
多面体アルミナ砥粒２を分散させてなる研磨層を連続的
に形成したものである。第２図は、本発明の別の実施例
としての研磨フィルムの一部を示す断面図であり、この
実施例の研磨フィルムは、裏面に粘着剤層４および離型
紙５を有したプラスチックフィルム１の表面上に、バイ
ンダー樹脂３中に多面体アルミナ砥粒２を分散させてな
る研磨層を連続的に形成したものである。第３図は、本
発明のさらに別の実施例としての研磨フィルムの一部を
示す断面図であり、この実施例の研磨フィルムは、研磨
層が不連続または島状に形成されている以外は、第１図
の実施例と同様である。第４図は、本発明のさらに別の
実施例としての研磨フィルムの一部を示す断面図であ
り、この実施例の研磨フィルムは、研磨層が不連続また
は島状である以外は、第２図の実施例と同様である。ま
た、これら研磨フィルムは、テープシート、ディスク状
等任意の形に加工して使用できるものである。

前述したような本発明の研磨フィルムにおいて、多面
体アルミナ砥粒として使用するのに適したものとして
は、例えば、アルフィットシリーズ（昭和電工株式会社
製）、ショーライトシリーズ（昭和電工株式会社製）等
がある。これら昭和電工株式会社製のアルフィットシリ
ーズおよびショーライトシリーズのアルミナ粉は、単結
晶多面体である。この場合において、実験によれば、使
用する単結晶多面体アルミナ砥粒の粒径は、0.1μ〜100
μｍの範囲が適当であり、最も望ましい粒径としては、
0.5μｍ〜30μｍである。

また、バインダー樹脂としては、熱硬化性樹脂および
熱可塑性樹脂が使用でき、熱硬化性樹脂としては、２液
硬化型ウレタン、１液硬化型ウレタン樹脂、エポキシ・
ポリアミド樹脂、不飽和ポリエステル樹脂等、100℃以
下で反応（高分子化＝硬化）するものが適している。熱
可塑性樹脂としては、各種アクリル樹脂、ビニル系樹
脂、セルロース系樹脂、エポキシ樹脂、エステル系樹脂
等が使用でき、また、ゴム系樹脂であるウレタンエラス
トマー、ニトリルゴム、シリコーンゴム、アクリルゴ
ム、エチレン酢ビゴム、フッ素ゴム等も使用できる。

フィルム基体であるプラスチックフィルムとしては、
ポリエチレンテレフタレート、ポリイミド、ポリカーボ
ネイトおよびそれらを表面処理したもの、その他合成
紙、不織布等を使用することができる。

また、実験によれば、使用する単結晶多面体アルミナ
砥粒の研磨層中における砥粒濃度は、10％〜90％の範囲
が適当である。

次に、本発明の具体的実験例について説明する。

具体的実験例（１）この実験例は、本発明による研磨フィルムを試作実験
するため、研磨層のバインダー樹脂として熱硬化型樹脂
を使用した場合の例であり、先ず、次の表Ｉに示すよう
な組成の塗工剤を準備する。

但し、数値は、重量部を示し、Ｒ−９は、粒径d₅₀＝1
0.0μｍのものである。

表１の組成の塗工剤をメイヤーバーコーター、グラビ
ヤコーター、リバースロールコーター、ナイフコーター
等で、75μｍ厚さのポリエチレンテレフタレートフィル
ム上に、10μｍ〜100μｍの厚さに塗布し、溶剤を乾燥
後、60℃で48時間硬化して研磨シートを製造した。その
研磨シートを用いて圧力140g/cm²、回転数200rpm、ワー
ク回転数125rpmで、アルミを研磨し、一定時間毎に研磨
されたアルミの表面粗さおよび体積を測定した。

比較実験例（１）一方、前述した本発明による具体的実験例（１）の研
磨フィルムとの作用効果を確認するために、これと比較
しうる従来の研磨フィルムを作製するため、次の表２に
示すような組成の塗工剤を準備し、具体的実験例（１）
と同様に塗布し、具体的実験例（１）と同一の研磨およ
び評価を行った。

但し、数値は、重量部を示し、WA1500は、粒径d₅₀＝
9.9μｍのものである。

具体的実験例（１）における研磨フィルムの研磨時間
対表面粗さの関係を示すと、第５図の曲線Ａの如くな
り、比較実験例（１）における研磨フィルムの研磨時間
対表面粗さの関係を示すと、第５図の曲線Ｂの如くなっ
た。また、具体的実験例（１）における研磨フィルムの
研磨時間対累積研削量の関係を示すと、第６図の曲線Ａ
の如くなり、比較実験例（１）における研磨フィルムの
研磨時間対累積研削量の関係を示すと、第６図の曲線Ｂ
の如くなった。これらの曲線を比較すると明らかなよう
に、本発明によって研磨材として単結晶多面体アルミナ
砥粒を使用することにより、従来の如く粉砕アルミナ砥
粒を用いる場合より、表面粗さをほぼ同等に保ちつつ、
研削力をきわめて高くすることができる。

具体的実験例（２）この実験例は、本発明による研磨フィルムを試作実験
するため、研磨層のバインダー樹脂として熱可塑性樹脂
を使用した場合の例であり、先ず、次の表３に示すよう
な組成の塗工剤を準備する。

但し、数値は、重量部を示し、Ｒ−９は、粒径d₅₀＝
9.5μｍのものである。

比較実験例（２）一方、前述した本発明による具体的実験例（２）の研
磨フィルムとの作用効果を確認するために、これと比較
しうる従来の研磨フィルムを作製するため、次の表４に
示すような組成の塗工剤を準備し、具体的実験例（２）
と同様に塗布し、具体的実験例（２）と同一の研磨およ
び評価を行った。

具体的実験例（２）における研磨フィルムの研磨時間
対表面粗さの関係を示すと、第７図の曲線Ａの如くな
り、比較実験例（２）における研磨フィルムの研磨時間
対表面粗さの関係を示すと、第７図の曲線Ｂの如くなっ
た。また、具体的実験例（２）における研磨フィルムの
研磨時間対累積研削量の関係を示すと、第８図の曲線Ａ
の如くなり、比較実験例（２）における研磨フィルムの
研磨時間対累積研削量の関係を示すと、第８図の曲線Ｂ
の如くなった。これらの曲線を比較すると明らかなよう
に、本発明によって研磨材として単結晶多面体アルミナ
砥粒を使用することにより、従来の如く粉砕アルミナ砥
粒を用いる場合より、表面粗さをほぼ同等に保ちつつ、
研削力をきわめて高くすることができる。

その他の具体的実験例を次の表５および６にまとめて
示し、それにそれぞれ対応する比較実験例を同じNO.に
てまとめて示す。実験条件は、実験例（１）と同じであ
る。

但し、表５および６において、Ａは、アルミ、Ｂは、
ポリメチルメタクリレート、Ｃは、アルミナを示し、Ｄ
はSHOLITE R−９を示し、Ｅは、VAGH（UCC社製塩ビ、
酢ビ、ビニルアルコール・トリポリマー）＝100、Ｃ−
Ｌ（日本ポリウレタン工業製コロネートＬ）＝12.5を
示し、Ｆは、N2304＝100を示しており、Ｇは、WA1500を
示している。

発明の効果前述の説明から明らかなように、本発明による単結晶
多面体アルミナ粉を研磨材として使用した研磨フィルム
は、同じ粒径の粉砕アルミナ粉を研磨材として使用する
従来の研磨フィルムに比較して、同等の仕上げ表面粗さ
を有し、且つ研削力をきわめて高くすることができる。
従って、本発明の研磨フィルムは、高能率研磨に適し、
１つの研磨フィルムで重研削から表面仕上げまで行うこ
とができ、工程短縮を行うことができ、また、寿命が長
いので、研磨フィルムの使用量を減らすことができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は、本発明の一実施例としての研磨フィルムの一
部分を示す断面図、第２図は、本発明の別の実施例とし
ての研磨フィルムの一部分を示す断面図、第３図は、本
発明のさらに別の実施例としての研磨フィルムの一部分
を示す断面図、第４図は、本発明のさらに別の実施例と
しての研磨フィルムの一部分を示す断面図、第５図は、
本発明の一実施例の研磨フィルムと従来の研磨フィルム
との仕上げ表面粗さ特性を比較して示す図、第６図は、
本発明の一実施例の研磨フィルムと従来の研磨フィルム
との研削力を比較して示す図、第７図は、本発明の別の
実施例の研磨フィルムと従来の研磨フィルムとの仕上げ
表面粗さ特性を比較して示す図、第８図は、本発明の別
の実施例の研磨フィルムと従来の研磨フィルムとの研削
力を比較して示す図である。１……プラスチックフィルム２……多面体アルミナ砥粒、３……バインダー樹脂。

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者酒井茂東京都台東区台東１―５―１東京磁気印刷株式会社内 (56)参考文献特開昭60−127973（ＪＰ，Ａ) 特開昭62−224579（ＪＰ，Ａ)

Claims

(57)【特許請求の範囲】

【請求項１】フィルム基体上に、単結晶多面体アルミナ
粉をバインダー樹脂中に分散させてなる研磨層を形成し
たことを特徴とする研磨フィルム。
【請求項２】前記研磨層における前記単結晶多面体アル
ミナ粉の濃度は、10％から90％の範囲である特許請求の
範囲第（１）項記載の研磨フィルム。