JPH01109084A

JPH01109084A - 研磨フィルム

Info

Publication number: JPH01109084A
Application number: JP26322187A
Authority: JP
Inventors: Norimichi Kawashima; 徳道川島; Yoshiaki Miwa; 三輪　義昭; Kazuya Orii; 一也折井; Shigeru Sakai; 茂酒井
Original assignee: Tokyo Magnetic Printing Co Ltd
Current assignee: Toppan Infomedia Co Ltd
Priority date: 1987-10-19
Filing date: 1987-10-19
Publication date: 1989-04-26
Anticipated expiration: 2012-07-02
Also published as: JP2626982B2

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】産業上の利用分野本発明は、ポリッシング、ラッピング加工、特に、精密
機器、精密部品の仕上げ加工に使用するのに適した研磨
フィルムに関するものである。

従来の技術この種の研磨フィルムとしては、従来、プラスチックフ
ィルム上に、研磨材を分散させた塗料を塗布して、連続
あるいは不連続な研磨層を形成させたようなものがあり
、この場合において、研磨層は１層にコーティングする
のが普通であるが、特開昭６１−６５７８０号公報や実
開昭６１−１７８６７１号公報に開示されたような２層
にコーティングすることも提案されている。

発明が解決しようとする問題点このような従来の研磨層を１層にコーティングした研磨
フィルムでは、研削力の大きいものは高精密仕上げ性に
劣り、逆に、高精密仕上げ性に優れたものは研削力が低
くいのが普通であった。すなわち、同一の研磨フィルム
で研削力が大きく高精密仕上げ性にも優れたものはない
ので、研削工程に合わせて適当な研削特性を有する研磨
フィルムに交換して、研削作業をしているのが現状であ
った。例えば、できるだけ短時間にて所定の研削量およ
び表面粗さの研削作業を行うためには、従来、最初は研
削力の大きな＃１０００の研磨フィルムを用いて表面粗
さは所定より大きくなるが短時間にて研削量の多い研削
を行い、中間工程においては、＃４０００の研磨フィル
ムに交換して研削量も表面粗さも中くらいの研削を行い
、最後に、＃８０００の研磨フィルムに交換して研削量
は小さいが所定の高い精密仕上げ表面粗さの１尋られる
研削を行うようにしている。このように、１つの研削作
業中において何度も研磨フィルムを交換しなければなら
ないのでは、不便であり、研削作業時間もそれだけ長く
なり、特に、研削作業を自動化するような場合には問題
となる。

また、前述の特開昭６１−６５７８０号公報や実開昭６
１−１７８６７１号公報に開示されたような２層コーテ
ィング研磨層を有する研磨布も、特にこのような問題点
の解決に向けられたものではなかった。

本発明の目的は、このような従来の問題点を解消しうる
研磨フィルムを提供することである。

問題点を解決するための手段本発明による研磨フィルムは、フィルム基体上に、研削
特性の異なる少なくとも２つの研磨層を重ねて有するこ
とを特徴とする。

実施例次に、添付図面に基づいて、本発明の実施例について、
本発明をより詳細に説明する。

第１図は、本発明の一実施例として研磨フィルムの一部
を示す断面図であり、この実施例の研磨フィルムは、プ
ラスチックフィルム１の上に、バインダー樹脂３中に砥
粒３を分散させてなる第１の研磨層と、パイグー樹脂５
中に砥粒４を分散させてなる第２の研磨層とを重ねて連
続的にコーティングしたものである。第２図は、本発明
の別の実施例の研磨フィルムの一部を示す断面図であり
、この実施例の研磨フィルムは、第１の研磨層と第２の
研磨層とを不連続または島状に形成した以外は、第１図
の実施例のものと同一である。第３図は、本発明のさら
に別の実施例の研磨フィルムの一部を示す断面図であり
、この実施例の研磨フィルムは、第１の研磨層を不連続
または島状に形成した以外は、第１図の実施例の研磨フ
ィルムと同じである。

さらにまた、第４図、第５図および第６図は、それぞれ
、本発明の別の実施例の研磨フィルムの一部を示す断面
図であり、プラスチックフィルムｌの裏面に粘着層６お
よび離型紙７を設けた以外は、第１図、第２図および第
３図の実施例の研磨フィルムとそれぞれ同様の構造を有
するものである。また、これら研磨フィルムは、テープ
シート、ディスク状等任意の形に加工して使用できるも
のである。

第１図から第６図にその構造を示した各実施例において
、第１の研磨層は、ワークの仕上り表面粗さは大きいが
、研削力が高いものとされており、第２の研磨層は、研
削力は低いがワークの仕上げ表面粗さは小さくなるよう
なものとされている。

すなわち、第１の研磨層では、高い研削量が得られ、第
２の研磨層では、精密研磨仕上げが行えるようなものと
されている。

第１の研磨層および第２の研磨層に前述したような研磨
特性を与えるためには、本発明によれば、次のような方
法を採りうる。

先ず、第１の研磨層と第２の研磨層とに同一の砥粒を用
いるとして、次の２つの組合せがある。

（Ａ）　バインダー樹脂を第１の研磨層と第２の研磨層
とで同じとする場合第１の研磨層の砥粒濃度と第２の研磨層の砥粒濃度とを
異ならせ、例えば、第１の研磨層の砥粒濃度を臨界砥粒
濃度（Ｃｒｉｔｉｃａｌ　ＧｒａｉｎＶｏｌｕｍｅ　Ｃ
ｏｎｃｅｎｔｒａｔｉｏｎ：　ＣＧ　Ｖ　Ｃ）とし、第
２の研磨層の砥粒濃度をその臨界砥粒濃度以下または以
上とする。

（Ｂ）砥粒濃度を第１の研磨層と第２の研磨層とで同じ
とする場合第１の研磨層のバインダー樹脂と第２の研磨層のバイン
ダー樹脂とを異ならせ、例えば、第１の研磨層のバイン
ダー樹脂は、第２の研磨層のバインダー樹脂より抗張力
が高く、破断伸びの低いものとする。主として、第１の
研磨層のバインダー樹脂は、熱硬化性樹脂とし、第２の
研磨層のバインダー樹脂は、熱可塑性樹脂とする。

前述したような本発明の研磨フィルムにおいて、使用で
きる砥粒としては、ダイヤモンド、アルミナ、シリコン
カーバイド、チッ化ホウ素、酸化クロム、酸化鉄、酸化
ケイ素、水酸化アルミニウム等がある。

また、バインダー樹脂としては、熱硬化性樹脂および熱
可塑性樹脂が使用でき、熱硬化性樹脂としては、２液硬
化型ウレタン、ｌ液硬化型ウレタン樹脂、エポキシ・ポ
リアミド樹脂、不飽和ポリエステル樹脂等、１００℃以
下で反応（架橋＝硬化）するものが適している。熱可塑
性樹脂としては、各種アクリル樹脂、ビニル系樹脂、セ
ルロース系樹脂、エポキシ樹脂、エステル系樹脂等が使
用でき、また、ゴム系樹脂であるウレタンエラストマー
、ニトリルゴム、シリコーンゴム、アクリルゴム、エチ
レン酢ビゴム、フッ素ゴム等モ使用できる。

フィルム基体であるプラスチックフィルムとしては、ポ
リエチレンテレフタレート、ポリイミド、ポリカーボネ
イトおよびそれらを表面処理したもの、その地合成紙、
不織布等を使用することができる。

次に、本発明の具体的実験例について説明する。

具体的実験例（１）この実験例は、本発明による研磨フィルムを試作実験す
るため、各研磨層のバインダー樹脂を同じものとし、各
研磨層の砥粒濃度を異ならせた場合の例であり、先ず、
次の表１および２に示すような組成の塗工剤を準備する
。

表　　１表　　２但し、数値は、重量部を示し、ＩＲＭ８−２０は、ダイ
ヤモンドパウダー（東名ダイヤモンド製粒径ｄ、。＝１
１．４μｍ）であり、この場合の砥粒濃度は、表１の組
成では、砥粒／樹脂＝３．３　／　ｌであり、表２の組
成では、砥粒／樹脂＝２．０である。

表２の組成の塗工剤をメイヤーバーコーター、グラビヤ
コーター、リバースロールコータ−、ナイフコーター等
で、７５μｍ厚さのポリエチレンテレフタレートフィル
ム上に、１０μｍ〜１００μｍの厚さに塗布し第２の研
磨層を形成し、その後、表１の組成の塗工剤をその第２
の研磨層の上に同様の方法で１０μｍ〜１００μｍの厚
さに塗布して第１の研磨層を形成して、研磨シートを製
造した。この場合において、第１の研磨層の厚さと、第
２の研磨層との厚さは、その研出フィルムの使用目的に
応じて適当に選定する必要があり、特に、第１の研磨層
は、その第１の研磨層による目的の研削工程の完了時に
丁度、摩滅消滅したその下の第２の研磨層が表に表れる
ような厚さに選定する必要がある。その研磨シートを用
いて、圧力１４０ｇ／ｃＩ１１．回転数２０　Ｏｒｐｍ
　、ワーク回転数１２５ｒｐｍで、アルミを研磨し、一
定時間毎に研磨されたアルミの表面粗さおよび体積を測
定した。このときに測定された研磨特性、すなわち、研
削時間対累積研削量の関係および研削時間対表面粗さの
関係を第７図に示している。この第７図に示された関係
から明らかなように、１０分間の研削による累積研削量
は、１６０（Ｘ１０’ｃｎｆ）であり、表面粗さは、０
．２０（μＲ，）であった。

比較実験例（１）一方、前述した本発明による具体的実験例（１）の研出
フィルムとの作用効果をｌｉｔ！認するために、これと
比較しろる従来の如き研磨層が１層のみの研磨フィルム
を作製するため、表１の組成の塗工液を用いて１層の研
磨層のみを有する研出フィルムと、表２の組成の塗工液
を用いて１層の研β層のみを有する研出フィルムとを製
造し、具体的実験例（１）と同様の実験測定を行った。

このときの、表１の組成の塗工液で研磨層を形成した研
出フィルムの研削時間対累積研削量の関係および研削時
間対表面粗さの関係を、第８図に示し、表２の組成の塗
工液で研磨層を形成した研磨フィルムの研削時間対累積
研削量の関係および研削時間対表面粗さの関係を、第９
図に示している。これら第８図および第９図から明らか
なように、表１の組成の塗工液で形成した研磨層のみを
有する研磨フィルムで１０分間研磨した場合には、累積
研削量は、２１０　（Ｘ　ｌ　Ｏ””ｃ＋＋ｆ）で、表
面粗さは、０．２５（μＲ，）であった。これを、具体
的実験例（１）のものと比較すると、累積研削量は、多
いが、仕上り面の表面粗さは大きくなってしまうことが
分かる。一方、表２の組成の塗工液で形成した研磨層の
みを有する研磨フィルムで　１０分間研磨した場合には
、累積研削量は、１４０　（Ｘ　１０−’ｃａｔ）で、
表面粗さは、０．１０（μＲ，）であった。これを、具
体的実験例（１）のものと比較すると、仕上り表面粗さ
は小さいが、累積研削量が少なくなってしまうことが分
かる。従って、具体的実験例（１）の研磨フィルムと同
程度の累積研削量を得るためには、第１の研磨層だけで
は、表面粗さが大きすぎてしまい、第２の研磨層のみで
は、研削時間が１０分間以上かかってしまうことになる
。

具体的実験例（２）この実験例は、本発明による研磨フィルムを試作実験す
るため、各研磨層の砥粒濃度を同じものとし、各研磨層
のバインダー樹脂を異ならせた場合の例であり、先ず、
次の表３および４に示すような組成の塗工剤を準備する
。

表　　３表　　４但し、数値は、重量部を示し、ＩＲＭ８−２０は、ダイ
ヤモンドパウダー（東名ダイヤモンド製粒径ｄ、。＝１
１．４μｍ）であり、この場合の砥粒濃度は、表３およ
び４の組成において共に、同じく、砥粒／樹脂＝２．０
　／　１である。

表４の組成の塗工剤をメイヤーバーコーター、グラビヤ
コーター、リバースロールコータ−、ナイフコーター等
で、７５μｍ厚さのポリエチレンテレフタレートフィル
ム上に、１０μｆｆ１〜１００μｍの厚さに塗布し第２
の研磨層を形成し、その後、表３の組成の塗工剤をその
第２の研磨層の上に同様の方法で１０μｍ−１００μｍ
の厚さに塗布して第１の研磨層を形成して、研磨シート
を製造した。この場合形成された第１の研磨層の塗膜物
性は、抗張力が３００ｋｇ／ｃｕｔ、破断伸びが１％で
あり、第２の研磨層の塗膜物性は、抗張力が１０ｋｇ／
ｃｒＩ、破断伸びが３００％であった。このような研暦
シートを用いて、圧力１４０ｇ／ｃａｔ。

回転数２０　Ｏｒｐｍ　、ワーク回転数１２５ｒｌ１ｍ
で、アルミを研暦し、一定時間毎に研暦されたアルミの
表面粗さおよび体積を測定した。このときに測定された
研出特性、すなわち、研削時間対累積研削量の関係およ
び研削時間対表面粗さの関係を第１Ｏ図に示している。

この第１０図に示された関係から明らかなように、１０
分間の研削による累積研削量は、１００　（Ｘｉ　Ｏ−
’ｃｆｆｌ）であり、表面粗さは、６．０３　＜μＲ，
）であった。

比較実験例（２）一方、前述した本発明による具体的実験例（２）の研暦
フィルムとの作用効果を確認するために、これと比較し
ろる従来の如き研磨層が１層のみの研暦フィルムを作製
するため、表３の組成の塗工液を用いて１層の研磨層の
みを有する研暦フィルムと、表４の組成の塗工液を用い
て１層の研磨層のみを有する研暦フィルムとを製造し、
具体的実験例（２）と同様の実験測定を行った。このと
きの、表１の組成の塗工液で研磨層を形成した研暦フィ
ルムの研削時間対累積研削量の関係および研削時間対表
面粗さの関係を、第１１図に示し、表４の組成の塗工液
で研磨層を形成した研暦フィルムの研削時間対累積研削
量の関係および研削時間対表面粗さの関係を、第１２図
に示している。これら第１１図および第１２図から明ら
かなように、表３の組成の塗工液で形成した研磨層のみ
を有する研暦フィルムでｌＯ分間研研摩た場合には、累
積研削量は、１５０　（Ｘ　１０−’ｃＩＩｌ）で、表
面粗さは、０、０９　（μＲ，）であった。これを、具
体的実験例（２）のものと比較すると、累積研削量は、
多いが、仕上り面の表面粗さは大きくなってしまうこと
が分かる。一方、表４の組成の塗工液で形成した研磨層
のみを有する研暦フィルムで１０分間研研摩た場合には
、累積研削量は、４５　（Ｘ　１０−’ｃｆｌｌ）で、
表面粗さは、０．０２　（μＲ，）であった。これを、
具体的実験例（２）のものと比較すると、仕上り表面粗
さは小さいが、累積研削量が少なくなってしまうことが
分かる。従って、具体的実験例（１）の研磨フィルムと
同程度の累積研削量を得るためには、第１の研磨層だけ
では、表面粗さが大きすぎてしまい、第２の研磨層のみ
では、研削時間が１０分間以上かかってしまうことにな
る。

その他の具体的実験例およびその比較実験例を次に列挙
する。なお、これらの実験条件は、実験例（１）と同じ
である。

具体的実験例（３）ワークの種類：チッ化ケイ素砥粒の種類：ＩＲＭ８−２０第１の研磨層の組成：バインダー樹脂の種類：　ＶＡＧＨ＝　１００Ｃ−Ｌ＝
１０砥粒濃度：　５　Ｑｖｏ１％第２の研磨層の組成：バインダー樹脂の種類：　ＶＡＧＨ＝　１００Ｃ−Ｌ＝
　１０砥粒濃度：　ｌ　Ｑｖｏ１％測定結果：１０分間の累積研削量：８０Ｘ１０−’ｃ＋＋１表面粗
さ：０．０９μＲ１比較実験例（３）（Ａ）　　ワークの種類：チッ化ケイ素砥粒の種類：Ｉ
ＲＭ８−２０単一研磨層の組成：バインダー樹脂の種類：　ＶＡＧＨ＝　１００Ｃ−Ｌ＝
　　１　０砥粒濃度：　５　Ｑｖｏ１％測定結果：１０分間の累積研削量：１００ＸＩＯ−’ｃｄ表面粗さ
：０．２８μＲ１（Ｂ）　　ワークの種類：チッ化ケイ素砥粒の種類：　
ＩＲＭ８−２０単一研磨層の組成：バインダー樹脂の種類：　ＶＡＧＨ＝　１００Ｃ−Ｌ＝
　１０砥粒濃度：　ｌ　Ｑｖｏ１％測定結果：１０分間の累積研削量：５０Ｘ１０−’ｃａｔ表面粗さ
：０．０８μＲ６具体的実験例（４）ワークの種類：ポリメチルメタクリレート砥粒の種類：
ＷＡ１５ＱＱ（昭和電工製）第１の研磨層の組成：バインダー樹脂の種類：　ＶＡＧＨ＝　１００Ｃ−Ｌ＝
１０砥粒濃度：　５　Ｑｖｏ１％第２の研磨層の組成：バインダー樹脂の種類：　ＶＡＧＨ＝　１００Ｃ−Ｌ＝
　１０砥粒濃度：　ｌ　Ｑｖｅ１％測定結果：１０分間の累積研削量：１８０Ｘ１０−’ｃａｔ表面粗
さ：０．２０μＲ１比較実験例（４）（＾）ワークの種類：ポリメチルメタクリレート砥粒の
種類：ＷＡ１５００単一研磨層の組成：バインダー樹脂の種類：　ＶＡＧＨ＝　１００Ｃ−Ｌ＝
　ｌ　Ｏ砥ｒＬ濃度：　５０ｖｏ１％測定結果：１０分間の累積研削量：２１０Ｘ１０−’ｃｆｆ１表面
粗さ：０．２５μＲ１（Ｂ）　　ワークの種類：ポリメチルメタクリレート砥
粒の種類：ＷＡ１５００単一研磨層の組成：バインダー樹脂の種類：　ＶＡＧＨ＝１００Ｃ−Ｌ＝　
１０砥粒濃度：　１０ｖｏ１％測定結果：１０分間の累積研削量：９０Ｘ１０−’ｃａ１表面粗さ
：Ｏ，ｔａμＲａ具体的実験例（５〕ワークの種類：チッ化ケイ素砥粒の種類：ＩＲＭ８−２０第１の研磨層の組成：バインダー樹脂の種類：　ＶＡＧＨ＝　１００Ｃ−Ｌ＝
　１０砥粒濃度：　５　Ｑｖｏ１％第２の研磨層の組成：バインダー樹脂の種類：Ｎ２３０４砥粒濃度：　５　Ｑｖｏ１％測定結果：１０分間の累積研削量ニア０Ｘ１０−’ｃＩ！１表面粗
さ：０．０８μＲ１比較実験例（５）（＾）　ワークの種類：チッ化ケイ素砥粒の種類：　ＩＲＭ８−２０単一研磨層の組成：バインダー樹脂の種類：　ＶＡＧＨ＝　１００Ｃ−Ｌ＝
　１０砥粒濃度：　５　Ｑｖｏ１％測定結果：１０分間の累積研削量：１００Ｘ１０−’ａｎｔ表面粗
さ：０．２８μＲ２（Ｂ）　　ワークの種類：チッ化ケイ素砥粒の種類：　
ＩＲＭ８−２０単一研磨層の組成：バインダー樹脂の種類：Ｎ２３０４砥粒濃度：　５０ｖｏ１％測定結果：１０分間の累積研削！：２ＱＸ１０−’ｃｆｆ１表面粗
さ：０．０６μＲ１具体的実験例（６）ワークの種類：ポリメチルメタクリレ一十砥粒の種類：
ＷＡ１５００（昭和電工製）第１の研出層の組成：バインダー樹脂の種類：　ＶＡＧＨ＝　１００Ｃ−Ｌ＝
　ｌ　Ｏ砥粒濃度：　３　Ｑｖｏ１％第２の研磨層の組成：バインダー樹脂の種類二Ｎ２３０４砥粒濃度：　３　Ｑｖｏ１％測定結果：１０分間の累積研削ｆｆｉ：１００ＸＩＯ−″４ｃ［１
１表面粗さ：０．１９μＲ６比較実験例（６）（Ａ）　　ワークの種類；ポリメチルメタクリレート砥
粒の種類：ＷＡ１５００単一研出層の組成：バインダー樹脂の種類：　ＶＡＧＨ＝　１００Ｃ−Ｌ＝
１０砥粒濃度：　３　Ｑｖｏ１％測定結果：１０分間の累積研削量：１８０Ｘ１０−’ｃｕｔ表面粗
さ：０．２２μＲ６（Ｂ）　　ワークの種類：ポリメチルメタクリレート砥
粒の種類：ＷＡ１５００単一研出層の組成：バインダー樹脂の種類：Ｎ２３０４砥粒濃度：　３　Ｑｖｏ１％測定結果：１０分間の累積研削塁ニア０ｘｌＯ−’ｃｆｆ１表面粗
さ：０．１０μＲ１発明の効果前述の説明から明らかなように、本発明による研出フィ
ルムは、研削作業の目的に合わせて研削特性の異なる研
＠層を設けるようにすることにより、１つの研出フィル
ムにて所望の研削作業を短時間にて完了させることがで
きる。例えば、本発明の研出フィルムは、第１の研出層
を研削力の高いものとし、第２の研出層を仕上げ精度の
優れたものとしておくことにより、同一の研磨フィルム
にて高研削と高精密仕上げを行うことができ、作業性を
著し、く向上させることができる。つまり、研出フィル
ムを交換することなく、初期に第１の研磨層にて所定の
高い研削量を達成し、丁度、第１の研出層の摩滅消滅後
に表面に出てくる第２の研磨層にて精密仕上げ研磨を達
成することができる。

また、本発明の実施例の如く、研出特性の異なる研磨層
を同一の砥粒を用いて形成するようにすれば、研出フィ
ルムの製造工程、研出工程（使用時）で、異なる粒径の
砥粒が不所望に混入することがな（、非常に良質の研磨
フィルムを作製することができる。また、本発明によっ
て、同一の砥粒、同一のバインダー樹脂を使用する場合
には、研出フィルムの製造工程において、第１の研磨層
、第２の研出層の各々の桧工剤の砥粒濃度を調整するだ
けで形成できるので、材料の損失量を少なくすることが
でき経済的であり、結局は安価な研出フィルムを製造す
ることができる。

【図面の簡単な説明】

第１図から第６図は、本発明の種々な実施例の研磨フィ
ルムの一部分をそれぞれ示す断面図、第７図は、本発明
の一実施例の研出フィルムの研出特性の一例を示す図、
第８図および第９図は、第７図に示した研磨特性を有す
る研磨フィルムと比較対象となるような研出フィルムの
研出特性を示す図、第１０図は、本発明の別の実施例の
研出フィルムの研磨特性の一例を示す図、第１１図およ
び第１２図は、第１０図に示した研出特性ををする研磨
フィルムと比較対象となる研出フィルムの研磨特性を示
す図である。１・・・・・・プラスチックフィルム、２．４・・・・
・・砥粒、３．５・・・・・！バインダー樹脂。第１図鋼４図第２図　　　第３図第５図　　　第６図研磨時間　（分）研磨時間　（分）研磨時間　（分）研磨時間　（分）研磨時間　（分）研Ｓ時間　（分）

Claims

【特許請求の範囲】

（１）フィルム基体上に、研削特性の異なる少なくとも
２つの研磨層を重ねて有することを特徴とする研磨フィ
ルム。
（２）前記研磨層のうち上層の研磨層は、下層の研磨層
より高研削性を有しており、下層の研磨層は、上層の研
磨層より高精密仕上げ特性を有する特許請求の範囲第（
１）項記載の研磨フィルム。
（３）前記研磨層の各々は、同一のバインダー樹脂中に
同一の砥粒を異なる砥粒濃度にて分散させてなる特許請
求の範囲第（１）項または第（２）項記載の研磨フィル
ム。
（４）前記砥粒濃度は、上層の方が大きい特許請求の範
囲第（３）項記載の研磨フィルム。
（５）前記研磨層の各々は、異なるバインダー樹脂中に
、同一の砥粒を同一の砥粒濃度にて分散させてなる特許
請求の範囲第（１）項または第（２）項記載の研磨フィ
ルム。
（６）前記研磨層のうち上層の研磨層の前記バインダー
樹脂は、下層の研磨層の前記バインダー樹脂より、抗張
力が高く破断伸びが低いものである特許請求の範囲第（
５）項記載の研磨フィルム。
（７）前記研磨層のうち上層の研磨層の前記バインダー
樹脂は、熱硬化性樹脂であり、下層の研磨層の前記バイ
ンダー樹脂は、熱可塑性樹脂である特許請求の範囲第（
６）項記載の研磨フィルム。