JPH1190836A - 研磨布 - Google Patents
研磨布Info
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- JPH1190836A JPH1190836A JP27052997A JP27052997A JPH1190836A JP H1190836 A JPH1190836 A JP H1190836A JP 27052997 A JP27052997 A JP 27052997A JP 27052997 A JP27052997 A JP 27052997A JP H1190836 A JPH1190836 A JP H1190836A
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- polishing
- nonwoven fabric
- thermoplastic resin
- resin
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Abstract
(57)【要約】
【課題】研磨布において、硬質の樹脂は合成繊維との接
着性が十分でないことから耐磨耗性が不十分であり、樹
脂が硬質であるが故に、ドレッシング作業によって表面
の粗さが増加し、被研磨物であるシリコンウエハーの表
面粗さが生じる欠点をも有している。 【解決手段】本発明は、以上の課題を解決すべく種々検
討し、合成繊維からなる不織布と熱可塑性樹脂から成る
研磨布において、不織布と同一組成の熱可塑性樹脂が、
熱可塑性樹脂比率３０重量％以上含む組成にて構成され
た研磨布によって本課題を解決した。
着性が十分でないことから耐磨耗性が不十分であり、樹
脂が硬質であるが故に、ドレッシング作業によって表面
の粗さが増加し、被研磨物であるシリコンウエハーの表
面粗さが生じる欠点をも有している。 【解決手段】本発明は、以上の課題を解決すべく種々検
討し、合成繊維からなる不織布と熱可塑性樹脂から成る
研磨布において、不織布と同一組成の熱可塑性樹脂が、
熱可塑性樹脂比率３０重量％以上含む組成にて構成され
た研磨布によって本課題を解決した。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、半導体基板、例え
ば高純度シリコンや化合物半導体からなるウエハーある
いは、ガラスディスク、フォトマスク等の鏡面仕上げ研
磨に好適な研磨布に係わり、研磨布の組成に関するもの
である。
ば高純度シリコンや化合物半導体からなるウエハーある
いは、ガラスディスク、フォトマスク等の鏡面仕上げ研
磨に好適な研磨布に係わり、研磨布の組成に関するもの
である。
【０００２】
【従来の技術】合成繊維からなる不織布に樹脂類を結合
させた研磨布は、その高い研磨能力を応用して、半導体
基板例えば、高純度シリコンや、化合物半導体ウエハー
の鏡面研磨、レンズ、板ガラス、フォトマスクのガラス
製品の仕上げ研磨等、広い分野で用いられている。さら
には近年、Ｄｙｎａｍｉｃ Ｒａｎｄａｍ Ａｃｃｅｓ
ｓ Ｍｅｍｏｒｙ（ＤＲＡＭ）に用いられる回路におい
ては、その集積度が向上しているが故に、基板となるウ
エハーにはより高い平坦度が要求されている。
させた研磨布は、その高い研磨能力を応用して、半導体
基板例えば、高純度シリコンや、化合物半導体ウエハー
の鏡面研磨、レンズ、板ガラス、フォトマスクのガラス
製品の仕上げ研磨等、広い分野で用いられている。さら
には近年、Ｄｙｎａｍｉｃ Ｒａｎｄａｍ Ａｃｃｅｓ
ｓ Ｍｅｍｏｒｙ（ＤＲＡＭ）に用いられる回路におい
ては、その集積度が向上しているが故に、基板となるウ
エハーにはより高い平坦度が要求されている。
【０００３】高い平坦度を実現するために硬い研磨布を
用いる事が有効であり、特開平２−２１８５６２では、
不織布にポリウレタン溶剤を含浸、湿式法にて凝固、水
洗、乾燥した後に反応性メラミン水溶液を２次含浸する
方法が提案されている。特開平５−８１７８では、１次
含浸の熱可塑性ポリウレタンより硬質の熱硬化性ポリウ
レタンを２次含浸する方法が提案されている。特公平８
−５０１４では不織布にポリサルホン酸多孔体を結合し
た研磨布が提案されている。
用いる事が有効であり、特開平２−２１８５６２では、
不織布にポリウレタン溶剤を含浸、湿式法にて凝固、水
洗、乾燥した後に反応性メラミン水溶液を２次含浸する
方法が提案されている。特開平５−８１７８では、１次
含浸の熱可塑性ポリウレタンより硬質の熱硬化性ポリウ
レタンを２次含浸する方法が提案されている。特公平８
−５０１４では不織布にポリサルホン酸多孔体を結合し
た研磨布が提案されている。
【０００４】これらの硬質研磨布を使用し一般的な研磨
方法、すなわち研磨布を研磨機定盤に圧着し、ＳｉＯ2
微粒子を含有する研磨液を供給しながら被研磨物を研磨
する方法に於いて、初期段階は目的の平坦度は達成され
るものの、加工時間が長くなるに従い平坦度の悪化が顕
著となる。
方法、すなわち研磨布を研磨機定盤に圧着し、ＳｉＯ2
微粒子を含有する研磨液を供給しながら被研磨物を研磨
する方法に於いて、初期段階は目的の平坦度は達成され
るものの、加工時間が長くなるに従い平坦度の悪化が顕
著となる。
【０００５】これは、研磨布の研磨液の目詰まりによる
研磨性能の低下を防止するために、研磨加工の合間に、
研磨布表面をナイロン製のブラシあるいはダイヤモンド
を埋め込んだ砥石などにより研削し、研磨液の目詰まり
部を除去する作業（ドレッシング作業）を行うが、それ
に伴い不織布と樹脂の結合が徐々に破壊されることで研
磨布表面の平滑性が損なわれ、その結果被研磨物の平坦
度が悪化するのである。
研磨性能の低下を防止するために、研磨加工の合間に、
研磨布表面をナイロン製のブラシあるいはダイヤモンド
を埋め込んだ砥石などにより研削し、研磨液の目詰まり
部を除去する作業（ドレッシング作業）を行うが、それ
に伴い不織布と樹脂の結合が徐々に破壊されることで研
磨布表面の平滑性が損なわれ、その結果被研磨物の平坦
度が悪化するのである。
【０００６】特に、硬質の樹脂は合成繊維との接着性が
十分でなく、ドレッシング作業によってこの傾向が顕著
に発現する欠点を有している。更に、樹脂が硬質である
が故に、ドレッシング作業によって表面の粗さが増加
し、後工程研磨での付加がかかりすぎる欠点をも有して
いる。
十分でなく、ドレッシング作業によってこの傾向が顕著
に発現する欠点を有している。更に、樹脂が硬質である
が故に、ドレッシング作業によって表面の粗さが増加
し、後工程研磨での付加がかかりすぎる欠点をも有して
いる。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】本発明者等は、上述の
如き問題点に鑑み、鋭意研究した結果、本発明を完成し
たものであり、本発明の目的は、不織布と樹脂が強固に
接着、結合し、耐摩耗性に優れ、被研磨物の高い平坦
度、低い表面粗さを長く維持する研磨布を提供するもの
である。
如き問題点に鑑み、鋭意研究した結果、本発明を完成し
たものであり、本発明の目的は、不織布と樹脂が強固に
接着、結合し、耐摩耗性に優れ、被研磨物の高い平坦
度、低い表面粗さを長く維持する研磨布を提供するもの
である。
【０００８】
【課題を解決するための手段】合成繊維からなる不織布
と熱可塑性樹脂から成る研磨布において、不織布と同一
組成の熱可塑性樹脂が、熱可塑性樹脂比率３０重量％以
上含む組成にて構成された研磨布により、課題を解決し
た。
と熱可塑性樹脂から成る研磨布において、不織布と同一
組成の熱可塑性樹脂が、熱可塑性樹脂比率３０重量％以
上含む組成にて構成された研磨布により、課題を解決し
た。
【０００９】
【発明の実施の形態】上記目的を達成するための不織布
としては、研磨に必要な硬度を達成できる範囲内の合成
繊維であれば特にこれを限定しないが、ポリエステル、
ナイロン、アクリル繊維などが好適であり、変性繊維や
異型断面繊維の使用も可能であり、この時単独で用いて
も混合で用いてもよい。
としては、研磨に必要な硬度を達成できる範囲内の合成
繊維であれば特にこれを限定しないが、ポリエステル、
ナイロン、アクリル繊維などが好適であり、変性繊維や
異型断面繊維の使用も可能であり、この時単独で用いて
も混合で用いてもよい。
【００１０】また、本発明に係る不織布の製造方法は特
に限定されるものでは無く、例えばランダムウェーバー
方式、クロスラッピング方式等のニードルパンチングに
て絡合させる方法、ウォータージェットニードリング方
法、あるいはスパンボンド方法等の公知の適宜名方法で
可能である。
に限定されるものでは無く、例えばランダムウェーバー
方式、クロスラッピング方式等のニードルパンチングに
て絡合させる方法、ウォータージェットニードリング方
法、あるいはスパンボンド方法等の公知の適宜名方法で
可能である。
【００１１】本発明は、不織布を結合させる熱可塑性樹
脂として、合成繊維と強固に接着、結合する合成繊維と
同一組成の樹脂を使用することを特徴とする。接着力は
分子構造に依存し、その構造が近いものは極めて強固に
結合する。他樹脂との混合使用した場合、少なくとも熱
可塑性樹脂比率３０重量％以上の同一組成熱可塑性樹脂
が必要である。例えば、他樹脂としてポリエステル系ポ
リウレタン樹脂を用い、それに対し不織布と同じ素材の
ポリエステル樹脂（商品名バイロン）を用いた場合、固
形分比にて７０：３０以上の割合、即ち少なくとも３０
重量％以上の同一組成熱可塑性樹脂が必要である。３０
重量％以下では接着力が不十分であり摩耗性が悪く、研
磨加工やドレッシング作業で繊維と樹脂が剥がれ、早期
に研磨布の表面平滑性が悪化し、被研磨物の平坦度が低
下する。
脂として、合成繊維と強固に接着、結合する合成繊維と
同一組成の樹脂を使用することを特徴とする。接着力は
分子構造に依存し、その構造が近いものは極めて強固に
結合する。他樹脂との混合使用した場合、少なくとも熱
可塑性樹脂比率３０重量％以上の同一組成熱可塑性樹脂
が必要である。例えば、他樹脂としてポリエステル系ポ
リウレタン樹脂を用い、それに対し不織布と同じ素材の
ポリエステル樹脂（商品名バイロン）を用いた場合、固
形分比にて７０：３０以上の割合、即ち少なくとも３０
重量％以上の同一組成熱可塑性樹脂が必要である。３０
重量％以下では接着力が不十分であり摩耗性が悪く、研
磨加工やドレッシング作業で繊維と樹脂が剥がれ、早期
に研磨布の表面平滑性が悪化し、被研磨物の平坦度が低
下する。
【００１２】熱可塑性樹脂における不織布の素材と同一
でない他の混合樹脂としては、ポリウレタン、ポリカー
ボネート、ポリ塩化ビニル、ナイロン他、特に限定され
る物ではないが、研磨性能面からポリウレタンが好適で
ある。
でない他の混合樹脂としては、ポリウレタン、ポリカー
ボネート、ポリ塩化ビニル、ナイロン他、特に限定され
る物ではないが、研磨性能面からポリウレタンが好適で
ある。
【００１３】本発明の製造方法は、公知の製造方法で製
造可能であり、特に限定されない。一般的には、不織布
を、それと同一素材の熱可塑性樹脂とポリウレタンの混
合溶剤溶液を含浸、被溶媒中にて凝固、水洗、乾燥する
いわゆる湿式方、不織布に直接含浸の後、乾燥するいわ
ゆる乾式法、湿式法と乾式法の２段方法等、目的の硬度
が達成できる範囲で選択が可能である。
造可能であり、特に限定されない。一般的には、不織布
を、それと同一素材の熱可塑性樹脂とポリウレタンの混
合溶剤溶液を含浸、被溶媒中にて凝固、水洗、乾燥する
いわゆる湿式方、不織布に直接含浸の後、乾燥するいわ
ゆる乾式法、湿式法と乾式法の２段方法等、目的の硬度
が達成できる範囲で選択が可能である。
【００１４】本発明の内、合成繊維からなる不織布と熱
可塑性樹脂の構成重量比は特に限定しないが、好ましく
は２０：８０〜８０：２０、さらに好ましくは４０：６
０〜６０：４０である。
可塑性樹脂の構成重量比は特に限定しないが、好ましく
は２０：８０〜８０：２０、さらに好ましくは４０：６
０〜６０：４０である。
【００１５】さらに、製品密度は０．２０ｇ／ｃｍ3 〜
０．６０ｇ／ｃｍ3 、さらに好ましくは０．３０ｇ／ｃ
ｍ3 〜０．５０ｇ／ｃｍ3 である。製品密度が０．２０
ｇ／ｃｍ3 以下では研磨布としての硬度を達成できず、
また、０．６０ｇ／ｃｍ3 以上では研磨砥粒が目詰まり
を起こし、長時間に渡る研磨が困難である。
０．６０ｇ／ｃｍ3 、さらに好ましくは０．３０ｇ／ｃ
ｍ3 〜０．５０ｇ／ｃｍ3 である。製品密度が０．２０
ｇ／ｃｍ3 以下では研磨布としての硬度を達成できず、
また、０．６０ｇ／ｃｍ3 以上では研磨砥粒が目詰まり
を起こし、長時間に渡る研磨が困難である。
【００１６】
【発明の効果】本発明の研磨布は、不織布と熱可塑性樹
脂が強固に接着、結合することで、耐摩耗性に優れ、高
い平坦度及び低い面粗さが長く維持され、そのことによ
って、被研磨物の品質の均一性を低下させる事無く大量
に研磨できる。
脂が強固に接着、結合することで、耐摩耗性に優れ、高
い平坦度及び低い面粗さが長く維持され、そのことによ
って、被研磨物の品質の均一性を低下させる事無く大量
に研磨できる。
【００１７】
【実施例】以下、本発明を実施例および比較例により更
に具体的に説明する。この時、実施例及び比較例の
「部」及び「％」は特に断らない限り「重量部」及び
「重量％」を意味する。また、以下の測定法で研磨布を
評価した。
に具体的に説明する。この時、実施例及び比較例の
「部」及び「％」は特に断らない限り「重量部」及び
「重量％」を意味する。また、以下の測定法で研磨布を
評価した。
【００１８】摩耗性評価：ＪＩＳ−Ｌ１０９６テーハー
摩耗試験方法に準じた。この時、砥石はＨ−２２を使用
し、研磨布表面を１０００回摩耗して、摩耗前と摩耗後
の、厚み減量（減厚み：単位ｍｍ）、重量減量（減量：
単位ｇ）を測定した。
摩耗試験方法に準じた。この時、砥石はＨ−２２を使用
し、研磨布表面を１０００回摩耗して、摩耗前と摩耗後
の、厚み減量（減厚み：単位ｍｍ）、重量減量（減量：
単位ｇ）を測定した。
【００１９】研磨レート評価：減厚みを研磨時間で割り
かえし、単位当たりの研削量（単位μｍ／ｍｉｎ）を求
めた。
かえし、単位当たりの研削量（単位μｍ／ｍｉｎ）を求
めた。
【００２０】平坦度評価：ＺＹＧＯ ＧＰＩ／ＸＰ 平
坦度測定機（ザイゴ社製）を用い、実際に研磨したウエ
ハーの全面の厚みを測定して、その最大値、最小値の差
（平坦度：単位μｍ）を求めた。
坦度測定機（ザイゴ社製）を用い、実際に研磨したウエ
ハーの全面の厚みを測定して、その最大値、最小値の差
（平坦度：単位μｍ）を求めた。
【００２１】表面粗さ：ＺＹＧＯ ＮＥＷ ＶＩＥＷ２
００（×５０倍レンズ）表面粗さ計（ザイゴ社製）に
て、表面粗さ（Ｒａ：単位、オングストローム（Ａ））
を測定した。
００（×５０倍レンズ）表面粗さ計（ザイゴ社製）に
て、表面粗さ（Ｒａ：単位、オングストローム（Ａ））
を測定した。
【００２２】（実施例１〜４）まず、ポリエチレンアジ
ペートとジフェニルメタン−４，４’−ジイスシアネー
トを原料としたポリエステル系ポリウレタン樹脂に対
し、ポリエステル樹脂（商品名バイロン）を、固形分比
にて７０：３０、５０：５０、３０：７０、０：１００
の割合、即ち熱可塑性樹脂比率（％）が３０（実施例
１）、５０（実施例２）、７０（実施例３）、１００
（実施例４）となる様に混合し、各実施例に用いる樹脂
を調製した。
ペートとジフェニルメタン−４，４’−ジイスシアネー
トを原料としたポリエステル系ポリウレタン樹脂に対
し、ポリエステル樹脂（商品名バイロン）を、固形分比
にて７０：３０、５０：５０、３０：７０、０：１００
の割合、即ち熱可塑性樹脂比率（％）が３０（実施例
１）、５０（実施例２）、７０（実施例３）、１００
（実施例４）となる様に混合し、各実施例に用いる樹脂
を調製した。
【００２３】調製した各樹脂を、ジメチルホルムアミド
（以下ＤＭＦと略記）にて樹脂固形分２０％溶液に調整
し、その中へ３．０デニール、５１ｍｍのポリエステル
短繊維からなるニードリング不織布（目付け３００ｇ／
ｍ2 、厚さ２．０ｍｍ、密度０．１５ｇ／ｃｍ3 ）を含
浸させた。樹脂に含浸した不織布を非溶媒浴（水：ＤＭ
Ｆ＝９５：５）により凝固させ、その後水洗した。乾燥
の後、表皮層を＃１２０のサンドペーパーにて研削し、
厚さ１．３ｍｍ、４５０ｇ／ｍ2 、密度０．３５ｇ／ｃ
ｍ3 の各実施例の研磨布を作製した。作製した研磨布
の、減厚み、減量を表１に示す。
（以下ＤＭＦと略記）にて樹脂固形分２０％溶液に調整
し、その中へ３．０デニール、５１ｍｍのポリエステル
短繊維からなるニードリング不織布（目付け３００ｇ／
ｍ2 、厚さ２．０ｍｍ、密度０．１５ｇ／ｃｍ3 ）を含
浸させた。樹脂に含浸した不織布を非溶媒浴（水：ＤＭ
Ｆ＝９５：５）により凝固させ、その後水洗した。乾燥
の後、表皮層を＃１２０のサンドペーパーにて研削し、
厚さ１．３ｍｍ、４５０ｇ／ｍ2 、密度０．３５ｇ／ｃ
ｍ3 の各実施例の研磨布を作製した。作製した研磨布
の、減厚み、減量を表１に示す。
【００２４】（比較例１、２）ポリエステル樹脂比率が
０％（比較例１）、２０％（比較例２）の樹脂を用い
て、実施例１と同様の方法で、各比較例の研磨布を作製
した。作製した研磨布の、減厚み、減量を表１に示す。
０％（比較例１）、２０％（比較例２）の樹脂を用い
て、実施例１と同様の方法で、各比較例の研磨布を作製
した。作製した研磨布の、減厚み、減量を表１に示す。
【００２５】
【表１】
【００２６】実施例１〜４に示す如く、ポリエステル樹
脂率が３０％以上である研磨布（実施例１〜４）は、磨
耗による減厚み及び減量は、含有していないもの（比較
例１）と比べ、半分以下であり、良好な耐磨耗性を示
す。
脂率が３０％以上である研磨布（実施例１〜４）は、磨
耗による減厚み及び減量は、含有していないもの（比較
例１）と比べ、半分以下であり、良好な耐磨耗性を示
す。
【００２７】さらに、実施例１〜４、及び比較例１、２
の研磨布を用いて、４インチシリコンウエハーの研磨試
験を行った。即ち、研磨試験を行う各研磨布を３６ＳＰ
ＡＷ（スピードファーム社製）研磨機に装着し、平均粒
径０．０５μｍのコロイダルシリカ／スノーテックス
（日産化学社製）を水で１０倍に希釈した研磨剤を用
い、定盤回転数１００ｒｐｍ、加工温度４５℃、加工圧
力２８０ｇ／ｃｍ2 の条件下で、１回に５枚の４インチ
シリコンウエハーを３０分間研磨した。１回目の研磨作
業はダミー研磨として研磨性能評価せず、２回目を初期
の研磨性能とし、初期の研磨性能と、３０時間後の研磨
性能を、各研磨したシリコンウエハーの表面の状態よ
り、研磨レート、平坦度、表面粗さで評価した。研磨レ
ートは、１枚のウエハーに付き５箇所の減厚みの平均値
を得、その値の５枚分の平均値とした。平坦度は、１枚
のウエハーにおける最大値と最小値の差を求め、その差
の５枚分の平均値とした。表面粗さは、１枚のウエハー
に付き５箇所の表面粗さの平均値を得、その値の５枚分
の平均値とした。その結果を表２に示す。
の研磨布を用いて、４インチシリコンウエハーの研磨試
験を行った。即ち、研磨試験を行う各研磨布を３６ＳＰ
ＡＷ（スピードファーム社製）研磨機に装着し、平均粒
径０．０５μｍのコロイダルシリカ／スノーテックス
（日産化学社製）を水で１０倍に希釈した研磨剤を用
い、定盤回転数１００ｒｐｍ、加工温度４５℃、加工圧
力２８０ｇ／ｃｍ2 の条件下で、１回に５枚の４インチ
シリコンウエハーを３０分間研磨した。１回目の研磨作
業はダミー研磨として研磨性能評価せず、２回目を初期
の研磨性能とし、初期の研磨性能と、３０時間後の研磨
性能を、各研磨したシリコンウエハーの表面の状態よ
り、研磨レート、平坦度、表面粗さで評価した。研磨レ
ートは、１枚のウエハーに付き５箇所の減厚みの平均値
を得、その値の５枚分の平均値とした。平坦度は、１枚
のウエハーにおける最大値と最小値の差を求め、その差
の５枚分の平均値とした。表面粗さは、１枚のウエハー
に付き５箇所の表面粗さの平均値を得、その値の５枚分
の平均値とした。その結果を表２に示す。
【００２８】
【表２】
【００２９】実施例１〜４の研磨布は、３０時間研磨加
工使用後におけるものを用いてシリコンウエハーを研磨
しても、そのシリコンウエハーの平坦度や表面粗さを高
める事はなく良好な研磨性能を示す。それに対し、比較
例１、２の研磨布は、３０時間研磨加工使用後における
ものを用いてシリコンウエハーを研磨すると、研磨した
シリコンウエハーの平坦度や表面粗さは高値を示し、研
磨状態は低下する。
工使用後におけるものを用いてシリコンウエハーを研磨
しても、そのシリコンウエハーの平坦度や表面粗さを高
める事はなく良好な研磨性能を示す。それに対し、比較
例１、２の研磨布は、３０時間研磨加工使用後における
ものを用いてシリコンウエハーを研磨すると、研磨した
シリコンウエハーの平坦度や表面粗さは高値を示し、研
磨状態は低下する。
【００３０】（実施例５、６）まず、ポリエチレンアジ
ペートとジフェニルメタン−４，４’−ジイスシアネー
トを原料としたポリエステル系ポリウレタン樹脂に対
し、ナイロン樹脂（商品名ラッカマイド）を、固形分比
にて７０：３０、５０：５０の割合、即ち熱可塑性樹脂
比率（％）が３０（実施例５）、５０（実施例６）とな
る様に混合し、各実施例に用いる樹脂を調製した。
ペートとジフェニルメタン−４，４’−ジイスシアネー
トを原料としたポリエステル系ポリウレタン樹脂に対
し、ナイロン樹脂（商品名ラッカマイド）を、固形分比
にて７０：３０、５０：５０の割合、即ち熱可塑性樹脂
比率（％）が３０（実施例５）、５０（実施例６）とな
る様に混合し、各実施例に用いる樹脂を調製した。
【００３１】調製した各樹脂を、ジメチルホルムアミド
（以下ＤＭＦと略記）にて樹脂固形分１８％溶液に調整
し、その中へ１．５デニール、５１ｍｍのポリエステル
短繊維からなるウオータージェットニードリング不織布
（目付け３００ｇ／ｍ 2 、厚さ１．５ｍｍ、密度０．２
０ｇ／ｃｍ 3 ）を含浸させた。樹脂に含浸した不織布を
非溶媒浴（水：ＤＭＦ＝９０：１０）により凝固させ、
その後水洗した。乾燥の後、表皮層を＃１００のサンド
ペーパーにて研削し、厚さ１．２ｍｍ、４６０ｇ／
ｍ 2 、密度０．３８ｇ／ｃｍ 3 の各実施例の研磨布を作
製した。作製した研磨布の、減厚み、減量を表３に示
す。
（以下ＤＭＦと略記）にて樹脂固形分１８％溶液に調整
し、その中へ１．５デニール、５１ｍｍのポリエステル
短繊維からなるウオータージェットニードリング不織布
（目付け３００ｇ／ｍ 2 、厚さ１．５ｍｍ、密度０．２
０ｇ／ｃｍ 3 ）を含浸させた。樹脂に含浸した不織布を
非溶媒浴（水：ＤＭＦ＝９０：１０）により凝固させ、
その後水洗した。乾燥の後、表皮層を＃１００のサンド
ペーパーにて研削し、厚さ１．２ｍｍ、４６０ｇ／
ｍ 2 、密度０．３８ｇ／ｃｍ 3 の各実施例の研磨布を作
製した。作製した研磨布の、減厚み、減量を表３に示
す。
【００３２】（比較例３）ナイロン樹脂比率が０％（比
較例３）の樹脂を用いて、実施例５と同様の方法で、比
較例の研磨布を作製した。作製した研磨布の、減厚み、
減量を表３に示す。
較例３）の樹脂を用いて、実施例５と同様の方法で、比
較例の研磨布を作製した。作製した研磨布の、減厚み、
減量を表３に示す。
【００３３】
【表３】
【００３４】実施例５、６に示す如く、ナイロン樹脂率
が３０％以上である研磨布（実施例５、６）は、磨耗に
よる減厚み及び減量は、含有していないもの（比較例
３）と比べ、半分以下であり、良好な耐磨耗性を示す。
が３０％以上である研磨布（実施例５、６）は、磨耗に
よる減厚み及び減量は、含有していないもの（比較例
３）と比べ、半分以下であり、良好な耐磨耗性を示す。
【００３５】
【表４】
【００３６】実施例５、６の研磨布は、３０時間研磨加
工使用後におけるものを用いてシリコンウエハーを研磨
しても、そのシリコンウエハーの平坦度や表面粗さを高
める事はなく、良好な研磨性能を示す。それに対し、比
較例３の研磨布は、３０時間研磨加工使用後におけるも
のを用いてシリコンウエハーを研磨すると、研磨したシ
リコンウエハーの平坦度や表面粗さは高値を示し、研磨
状態は低下する。
工使用後におけるものを用いてシリコンウエハーを研磨
しても、そのシリコンウエハーの平坦度や表面粗さを高
める事はなく、良好な研磨性能を示す。それに対し、比
較例３の研磨布は、３０時間研磨加工使用後におけるも
のを用いてシリコンウエハーを研磨すると、研磨したシ
リコンウエハーの平坦度や表面粗さは高値を示し、研磨
状態は低下する。
【手続補正書】
【提出日】平成９年１１月７日
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３０
【補正方法】変更
【補正内容】
【００３０】（実施例５、６）まず、ポリエチレンアジ
ペートとジフェニルメタン−４，４’−ジイスシアネー
トを原料としたポリエステル系ポリウレタン樹脂に対
し、ナイロン樹脂（商品名ラッカマイド（大日本インキ
株式会社製））を、固形分比にて７０：３０、５０：５
０の割合、即ち熱可塑性樹脂比率（％）が３０（実施例
５）、５０（実施例６）となる様に混合し、各実施例に
用いる樹脂を調製した。
ペートとジフェニルメタン−４，４’−ジイスシアネー
トを原料としたポリエステル系ポリウレタン樹脂に対
し、ナイロン樹脂（商品名ラッカマイド（大日本インキ
株式会社製））を、固形分比にて７０：３０、５０：５
０の割合、即ち熱可塑性樹脂比率（％）が３０（実施例
５）、５０（実施例６）となる様に混合し、各実施例に
用いる樹脂を調製した。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３１
【補正方法】変更
【補正内容】
【００３１】調製した各樹脂を、ジメチルホルムアミド
（以下ＤＭＦと略記）にて樹脂固形分１８％溶液に調製
し、その中へ１．５デニール、５１ｍｍのナイロン短繊
維からなるウオータージェットニードリング不織布（目
付け３００ｇ／ｍ2 、厚さ１．５ｍｍ、密度０．２０ｇ
／ｃｍ3 ）を含浸させた。樹脂に含浸した不織布を非溶
媒浴（水：ＤＭＦ＝９０：１０）により凝固させ、その
後水洗した。乾燥の後、表皮層を＃１００のサンドペー
パーにて研削し、厚さ１．２ｍｍ、４６０ｇ／ｍ2 、密
度０．３８ｇ／ｃｍ3 の各実施例の研磨布を作製した。
作製した研磨布の、減厚み、減量を表３に示す。
（以下ＤＭＦと略記）にて樹脂固形分１８％溶液に調製
し、その中へ１．５デニール、５１ｍｍのナイロン短繊
維からなるウオータージェットニードリング不織布（目
付け３００ｇ／ｍ2 、厚さ１．５ｍｍ、密度０．２０ｇ
／ｃｍ3 ）を含浸させた。樹脂に含浸した不織布を非溶
媒浴（水：ＤＭＦ＝９０：１０）により凝固させ、その
後水洗した。乾燥の後、表皮層を＃１００のサンドペー
パーにて研削し、厚さ１．２ｍｍ、４６０ｇ／ｍ2 、密
度０．３８ｇ／ｃｍ3 の各実施例の研磨布を作製した。
作製した研磨布の、減厚み、減量を表３に示す。
Claims (1)
- 【請求項１】合成繊維からなる不織布と熱可塑性樹脂か
ら成る研磨布において、不織布と同一組成の熱可塑性樹
脂が、熱可塑性樹脂比率３０重量％以上含む組成にて構
成された研磨布
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP27052997A JPH1190836A (ja) | 1997-09-16 | 1997-09-16 | 研磨布 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP27052997A JPH1190836A (ja) | 1997-09-16 | 1997-09-16 | 研磨布 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH1190836A true JPH1190836A (ja) | 1999-04-06 |
Family
ID=17487495
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP27052997A Pending JPH1190836A (ja) | 1997-09-16 | 1997-09-16 | 研磨布 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH1190836A (ja) |
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2003058698A1 (fr) * | 2001-12-28 | 2003-07-17 | Asahi Kasei Emd Corporation | Feutre de polissage, son procede de production et procede de polissage |
| JP2006043811A (ja) * | 2004-08-04 | 2006-02-16 | Nitta Haas Inc | 研磨布 |
| CN102143826A (zh) * | 2008-09-04 | 2011-08-03 | 因诺派德公司 | 含有非卷曲纤维的织物及其制造方法 |
| US8850719B2 (en) | 2009-02-06 | 2014-10-07 | Nike, Inc. | Layered thermoplastic non-woven textile elements |
| US8906275B2 (en) | 2012-05-29 | 2014-12-09 | Nike, Inc. | Textured elements incorporating non-woven textile materials and methods for manufacturing the textured elements |
| US9227363B2 (en) | 2009-02-06 | 2016-01-05 | Nike, Inc. | Thermoplastic non-woven textile elements |
| US9579848B2 (en) | 2009-02-06 | 2017-02-28 | Nike, Inc. | Methods of joining textiles and other elements incorporating a thermoplastic polymer material |
| US11779071B2 (en) | 2012-04-03 | 2023-10-10 | Nike, Inc. | Apparel and other products incorporating a thermoplastic polymer material |
-
1997
- 1997-09-16 JP JP27052997A patent/JPH1190836A/ja active Pending
Cited By (16)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2003058698A1 (fr) * | 2001-12-28 | 2003-07-17 | Asahi Kasei Emd Corporation | Feutre de polissage, son procede de production et procede de polissage |
| JP2006043811A (ja) * | 2004-08-04 | 2006-02-16 | Nitta Haas Inc | 研磨布 |
| CN102143826A (zh) * | 2008-09-04 | 2011-08-03 | 因诺派德公司 | 含有非卷曲纤维的织物及其制造方法 |
| US10625472B2 (en) | 2009-02-06 | 2020-04-21 | Nike, Inc. | Methods of joining textiles and other elements incorporating a thermoplastic polymer material |
| US9227363B2 (en) | 2009-02-06 | 2016-01-05 | Nike, Inc. | Thermoplastic non-woven textile elements |
| US9579848B2 (en) | 2009-02-06 | 2017-02-28 | Nike, Inc. | Methods of joining textiles and other elements incorporating a thermoplastic polymer material |
| US9682512B2 (en) | 2009-02-06 | 2017-06-20 | Nike, Inc. | Methods of joining textiles and other elements incorporating a thermoplastic polymer material |
| US9732454B2 (en) | 2009-02-06 | 2017-08-15 | Nike, Inc. | Textured elements incorporating non-woven textile materials and methods for manufacturing the textured elements |
| US10131091B2 (en) | 2009-02-06 | 2018-11-20 | Nike, Inc. | Methods of joining textiles and other elements incorporating a thermoplastic polymer material |
| US10138582B2 (en) | 2009-02-06 | 2018-11-27 | Nike, Inc. | Thermoplastic non-woven textile elements |
| US10174447B2 (en) | 2009-02-06 | 2019-01-08 | Nike, Inc. | Thermoplastic non-woven textile elements |
| US8850719B2 (en) | 2009-02-06 | 2014-10-07 | Nike, Inc. | Layered thermoplastic non-woven textile elements |
| US10982364B2 (en) | 2009-02-06 | 2021-04-20 | Nike, Inc. | Thermoplastic non-woven textile elements |
| US10982363B2 (en) | 2009-02-06 | 2021-04-20 | Nike, Inc. | Thermoplastic non-woven textile elements |
| US11779071B2 (en) | 2012-04-03 | 2023-10-10 | Nike, Inc. | Apparel and other products incorporating a thermoplastic polymer material |
| US8906275B2 (en) | 2012-05-29 | 2014-12-09 | Nike, Inc. | Textured elements incorporating non-woven textile materials and methods for manufacturing the textured elements |
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