JPH01303626A - 磁気ディスク媒体の製造方法 - Google Patents
磁気ディスク媒体の製造方法Info
- Publication number
- JPH01303626A JPH01303626A JP13503288A JP13503288A JPH01303626A JP H01303626 A JPH01303626 A JP H01303626A JP 13503288 A JP13503288 A JP 13503288A JP 13503288 A JP13503288 A JP 13503288A JP H01303626 A JPH01303626 A JP H01303626A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- magnetic disk
- abrasive grains
- disk medium
- annular
- tape
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 11
- 239000006061 abrasive grain Substances 0.000 claims abstract description 27
- 238000005498 polishing Methods 0.000 claims abstract description 13
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 claims abstract description 7
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 18
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 claims description 6
- 230000000994 depressogenic effect Effects 0.000 claims description 4
- 229920003002 synthetic resin Polymers 0.000 claims description 3
- PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N aluminium oxide Inorganic materials [O-2].[O-2].[O-2].[Al+3].[Al+3] PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 2
- 239000000203 mixture Substances 0.000 claims description 2
- 229920006254 polymer film Polymers 0.000 claims description 2
- 229920005989 resin Polymers 0.000 claims description 2
- 239000011347 resin Substances 0.000 claims description 2
- 239000000057 synthetic resin Substances 0.000 claims description 2
- 229920001187 thermosetting polymer Polymers 0.000 claims description 2
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 claims 1
- 239000000843 powder Substances 0.000 abstract description 7
- 239000000463 material Substances 0.000 abstract 1
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 14
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 14
- 239000010408 film Substances 0.000 description 11
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 7
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 6
- 238000007517 polishing process Methods 0.000 description 6
- 230000003746 surface roughness Effects 0.000 description 5
- 235000012489 doughnuts Nutrition 0.000 description 3
- KAKZBPTYRLMSJV-UHFFFAOYSA-N Butadiene Chemical compound C=CC=C KAKZBPTYRLMSJV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- MCMNRKCIXSYSNV-UHFFFAOYSA-N Zirconium dioxide Chemical compound O=[Zr]=O MCMNRKCIXSYSNV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-N acrylic acid group Chemical group C(C=C)(=O)O NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 238000007730 finishing process Methods 0.000 description 2
- 239000006247 magnetic powder Substances 0.000 description 2
- 239000003973 paint Substances 0.000 description 2
- 239000004925 Acrylic resin Substances 0.000 description 1
- 229920000178 Acrylic resin Polymers 0.000 description 1
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 1
- 229920002678 cellulose Polymers 0.000 description 1
- 239000001913 cellulose Substances 0.000 description 1
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 1
- 239000003795 chemical substances by application Substances 0.000 description 1
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 1
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 1
- 230000002950 deficient Effects 0.000 description 1
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 description 1
- 238000000635 electron micrograph Methods 0.000 description 1
- 239000003822 epoxy resin Substances 0.000 description 1
- NBVXSUQYWXRMNV-UHFFFAOYSA-N fluoromethane Chemical compound FC NBVXSUQYWXRMNV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000010687 lubricating oil Substances 0.000 description 1
- 238000001000 micrograph Methods 0.000 description 1
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 1
- TWNQGVIAIRXVLR-UHFFFAOYSA-N oxo(oxoalumanyloxy)alumane Chemical compound O=[Al]O[Al]=O TWNQGVIAIRXVLR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 1
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 1
- 229920000647 polyepoxide Polymers 0.000 description 1
- 229920006267 polyester film Polymers 0.000 description 1
- 239000002952 polymeric resin Substances 0.000 description 1
- 229910052814 silicon oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 1
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 1
- -1 urethane ester Chemical class 0.000 description 1
- 125000000391 vinyl group Chemical group [H]C([*])=C([H])[H] 0.000 description 1
- 229920002554 vinyl polymer Polymers 0.000 description 1
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔概要〕
塗膜型の磁気ディスク媒体の製造方法、特に磁性塗膜面
の仕上げ加工方法に関し、 テープボリッシュ工程において傷の発生しない精密な仕
上加工を実現することを目的とし、接着剤用の合成樹脂
に砥粒を混合し、基材フィルムの表面に塗布し加熱して
成るラッピングテープにおいて、 各砥粒を、中央部が陥没した環状とし、このラッピング
テープを用いて、磁気ディスク媒体の表面を研磨する方
法を採っている。
の仕上げ加工方法に関し、 テープボリッシュ工程において傷の発生しない精密な仕
上加工を実現することを目的とし、接着剤用の合成樹脂
に砥粒を混合し、基材フィルムの表面に塗布し加熱して
成るラッピングテープにおいて、 各砥粒を、中央部が陥没した環状とし、このラッピング
テープを用いて、磁気ディスク媒体の表面を研磨する方
法を採っている。
コンピュータシステムにおける外部記憶装置として使用
される磁気ディスク装置は、記憶媒体として、塗膜型と
薄膜型とが使用されている。本発明は、前者の塗膜型の
磁気ディスク媒体の製造方法、特に磁性塗膜面の仕上げ
加工方法に関する。
される磁気ディスク装置は、記憶媒体として、塗膜型と
薄膜型とが使用されている。本発明は、前者の塗膜型の
磁気ディスク媒体の製造方法、特に磁性塗膜面の仕上げ
加工方法に関する。
[従来の技術]
第6図は塗膜型の磁気ディスク媒体の製造方法を工程順
に示す図である。(a)は磁性塗料の塗布工程であり、
アクリルやエポキシ系の樹脂に磁性粉を混合してなる磁
性塗料を、アルミニウムなどのような非磁性の基板(円
板)に、スピンコードする。
に示す図である。(a)は磁性塗料の塗布工程であり、
アクリルやエポキシ系の樹脂に磁性粉を混合してなる磁
性塗料を、アルミニウムなどのような非磁性の基板(円
板)に、スピンコードする。
次に■)のように、磁性塗膜が乾燥しないうちに、強力
な磁石で磁性粉を配向させた状態で、乾燥、焼き付けを
行なう。
な磁石で磁性粉を配向させた状態で、乾燥、焼き付けを
行なう。
そして(C)のように、ラッピングテープによって表面
をポリッシュ加工した後、(d)の工程で、フロロカー
ボンなどの潤滑油を塗布する。
をポリッシュ加工した後、(d)の工程で、フロロカー
ボンなどの潤滑油を塗布する。
最後に(e)の工程で、バーニンシュ加工を行ない、単
板試験を行なった結果、良品のみを磁気ディスク装置に
組み込み、磁気ディスク媒体とする。
板試験を行なった結果、良品のみを磁気ディスク装置に
組み込み、磁気ディスク媒体とする。
〔発明が解決しようとする課題]
(C)におけるポリッシュ加工は、ラッピングテープを
用いてテープポリッシュによって行なわれるが、従来の
方法では傷が多発し、歩留りを低下さぜる要因となって
いる。
用いてテープポリッシュによって行なわれるが、従来の
方法では傷が多発し、歩留りを低下さぜる要因となって
いる。
特に最近のように、磁気記録媒体が高記録密度化するに
伴ない、テープポリッシュ工程で発生する小さな傷も、
媒体欠陥によるエラーや電磁変換特性の低下の原因とな
っている。
伴ない、テープポリッシュ工程で発生する小さな傷も、
媒体欠陥によるエラーや電磁変換特性の低下の原因とな
っている。
本発明の技術的課題は、従来の磁気ディスク媒体の製造
方法におけるこのような問題を解消し、テープポリッシ
ュ工程において傷の発生しない精密な仕上加工を実現す
ることにある。
方法におけるこのような問題を解消し、テープポリッシ
ュ工程において傷の発生しない精密な仕上加工を実現す
ることにある。
第1図は、本発明による磁気ディスク媒体の製造方法の
基本原理を説明する図である。第1図の(a)は、ラッ
ピングテープにおける砥粒の形状および基材フィルムへ
の付着状態を示す平面図、(b)は本発明ラッピングテ
ープで磁気ディスク媒体のテープポリッシュ加工を行な
っている状態を示す断面図である。
基本原理を説明する図である。第1図の(a)は、ラッ
ピングテープにおける砥粒の形状および基材フィルムへ
の付着状態を示す平面図、(b)は本発明ラッピングテ
ープで磁気ディスク媒体のテープポリッシュ加工を行な
っている状態を示す断面図である。
1…は、ラッピングテープの砥粒であり、環状になって
いる。すなわち、中央部2が陥没し、周囲部3が隆起し
ている。このような環状砥粒1…が、接着剤4を介して
基材フィルム5に接着されている。
いる。すなわち、中央部2が陥没し、周囲部3が隆起し
ている。このような環状砥粒1…が、接着剤4を介して
基材フィルム5に接着されている。
このラッピングテープを用いて、磁気ディスク媒体6の
磁性塗膜7をテープポリッシュすると、環状砥粒1…の
環状隆起部3…によって、磁性塗膜7が研磨される。
磁性塗膜7をテープポリッシュすると、環状砥粒1…の
環状隆起部3…によって、磁性塗膜7が研磨される。
[作用]
このように環状隆起部3を有する砥粒1…によって、磁
性塗膜面が研磨されると、磁性塗膜7の研磨粉が、8…
で示すように、砥粒1…の陥没部2や各環状砥粒1…間
の隙間の窪みに入り込んで、 逃げるため、研磨面から発生した研磨粉が円滑に排除さ
れる。
性塗膜面が研磨されると、磁性塗膜7の研磨粉が、8…
で示すように、砥粒1…の陥没部2や各環状砥粒1…間
の隙間の窪みに入り込んで、 逃げるため、研磨面から発生した研磨粉が円滑に排除さ
れる。
なおラッピングテープは、陥没部2…が目詰まりしない
うちに、次の新たな面が供給される。
うちに、次の新たな面が供給される。
環状砥粒l…は、表面が環状に隆起し、ドーナツ状にな
っているため、鋭い突起などが存在する従来の砥粒と違
って、磁性塗膜面を傷つけたりすることはない。
っているため、鋭い突起などが存在する従来の砥粒と違
って、磁性塗膜面を傷つけたりすることはない。
また砥粒の鋭い突起は欠は易いため、欠落物がラッピン
グテープと磁性塗膜との間に挟まり、磁性塗膜面を傷つ
けることがあったが、本発明のラッピングテープは、鋭
い突起が無いため、欠落しにくく、磁性塗膜面の傷も発
生しにくい。
グテープと磁性塗膜との間に挟まり、磁性塗膜面を傷つ
けることがあったが、本発明のラッピングテープは、鋭
い突起が無いため、欠落しにくく、磁性塗膜面の傷も発
生しにくい。
次に本発明による磁気ディスク媒体の製造方法が実際上
どのように具体化されるかを実施例で説明する。本発明
の方法に実施するラッピングテープは、基材フィルム5
として、高分子フィルムが適している。また環状砥粒l
…とじては、酸化アルミナやジルコニア、酸化シリコン
等が適している。
どのように具体化されるかを実施例で説明する。本発明
の方法に実施するラッピングテープは、基材フィルム5
として、高分子フィルムが適している。また環状砥粒l
…とじては、酸化アルミナやジルコニア、酸化シリコン
等が適している。
接着剤としては、熱硬化性樹脂を用いるのが良い。例え
ば、アクリル系、エポキシフェノキシ系、ブタジェン系
、ウレタンエステル系、セルローズ系、ビニル系などが
ある。なお硬化剤を併用することもできる。
ば、アクリル系、エポキシフェノキシ系、ブタジェン系
、ウレタンエステル系、セルローズ系、ビニル系などが
ある。なお硬化剤を併用することもできる。
第2図は、本発明の方法に実施するラッピングテープの
表面の顕微鏡写真であり、200倍に拡大されている。
表面の顕微鏡写真であり、200倍に拡大されている。
このラッピングテープは、厚さ25μmのポリエステル
フィルムに、平均粒径2μmの酸化アルミニウムを砥粒
とし、硬化型高分子系樹脂に分散させ、塗布して作製さ
れたものである。
フィルムに、平均粒径2μmの酸化アルミニウムを砥粒
とし、硬化型高分子系樹脂に分散させ、塗布して作製さ
れたものである。
各環状砥粒の大きさが2μm程度の場合、ドーナツ状の
直径は0.05〜0.1 mm程度が有効である。
直径は0.05〜0.1 mm程度が有効である。
このラッピングテープを用いて磁気ディスク媒体の表面
仕上加工を行なった結果、傷の発生は殆ど見られなかっ
た。すなわち、ラッピングテープによって仕上加工した
ときに媒体表面に発生した傷を、光学顕微鏡で観察した
。その結果、本発明方法でテープポリッシュ加工した媒
体には大きい傷は見られなかった。一方、市販テープで
仕上加工した媒体には、大きな傷が確認された。またこ
の媒体につき、単板試験機でリード波形を見ると、傷の
部分において出力が低下しており、媒体欠陥になること
を示している。
仕上加工を行なった結果、傷の発生は殆ど見られなかっ
た。すなわち、ラッピングテープによって仕上加工した
ときに媒体表面に発生した傷を、光学顕微鏡で観察した
。その結果、本発明方法でテープポリッシュ加工した媒
体には大きい傷は見られなかった。一方、市販テープで
仕上加工した媒体には、大きな傷が確認された。またこ
の媒体につき、単板試験機でリード波形を見ると、傷の
部分において出力が低下しており、媒体欠陥になること
を示している。
第3図、第4図は、従来の方法で製造された磁気ディス
ク媒体と本発明の方法で製造された磁気ディスク媒体と
の表面粗さを示す図で、表面状態を表面粗さ計で調べた
結果である。
ク媒体と本発明の方法で製造された磁気ディスク媒体と
の表面粗さを示す図で、表面状態を表面粗さ計で調べた
結果である。
(a)はテープポリッシュ工程において本発明のラッピ
ングテープで仕上加工を行なった媒体、(b)は従来の
ラッピングテープで仕上加工を行なった媒体である。横
軸はラッピングテープの砥粒の径、縦軸は表面粗さであ
る。
ングテープで仕上加工を行なった媒体、(b)は従来の
ラッピングテープで仕上加工を行なった媒体である。横
軸はラッピングテープの砥粒の径、縦軸は表面粗さであ
る。
第3図は媒体表面の最大粗さを示し、第4図は媒体表面
の平均粗さを示す。本発明の方法で製造した磁気ディス
ク媒体は、最大粗さ(Rmax) 、平均粗さ(Ra)
ともに、従来の方法で製造された媒体に比べて約2倍程
度向上している。
の平均粗さを示す。本発明の方法で製造した磁気ディス
ク媒体は、最大粗さ(Rmax) 、平均粗さ(Ra)
ともに、従来の方法で製造された媒体に比べて約2倍程
度向上している。
第5図は媒体表面の微小うねり(表面粗さより広い領域
におけるうねり)を示す図である。(a)に示す本発明
方法で製造した媒体の方が、(b)に示す従来方法で製
造した媒体より微少うねりが小さいことを示している。
におけるうねり)を示す図である。(a)に示す本発明
方法で製造した媒体の方が、(b)に示す従来方法で製
造した媒体より微少うねりが小さいことを示している。
第3図〜第5図は砥粒の大きさが2μmの例と3μmの
例であるが、1μmおよび5μmのラッピングテープで
研磨した媒体も顕著な効果が得られた。ドーナツ型の直
径は0.05mmから0.1mmの範囲が有効である。
例であるが、1μmおよび5μmのラッピングテープで
研磨した媒体も顕著な効果が得られた。ドーナツ型の直
径は0.05mmから0.1mmの範囲が有効である。
〔発明の効果]
以上のように本発明によれば、ラッピングテープの砥粒
の形状を、中央部が陥没した環状とし、このラッピング
テープを用いて、磁気ディスク媒体の表面を研磨する方
法を採っている。その結果、鋭い突起がなく、また研磨
粉の排除が円滑に行なわれるため、媒体表面を傷つける
ことなしに、かつ円滑に仕上加工できる。
の形状を、中央部が陥没した環状とし、このラッピング
テープを用いて、磁気ディスク媒体の表面を研磨する方
法を採っている。その結果、鋭い突起がなく、また研磨
粉の排除が円滑に行なわれるため、媒体表面を傷つける
ことなしに、かつ円滑に仕上加工できる。
第1図は本発明による磁気ディスク媒体の製造方法の基
本原理を説明する図、第2図は本発明の方法で製造され
た磁気ディスク媒体の表面の電子顕微鏡写真、第3図〜
第5図は従来の方法で製造された媒体と本発明の方法で
製造された媒体の表面状態を比較する図、第6図は磁気
ディスク媒体の製造方法を工程順に示す図である。 図において、1は環状砥粒、2は中央の陥没部、3は環
状隆起部、4は接着剤、5は基材フィルム、7は磁性塗
膜をそれぞれ示す。 木発四月の基本原理 第1因 本発明ラッヒ゛シグテーア表命の顕鍬鏡厚真第2図 媒体の表そ最大粗さ 第3図 媒OKの表面半均オl之 第4図 手続争甫正書(方式)
本原理を説明する図、第2図は本発明の方法で製造され
た磁気ディスク媒体の表面の電子顕微鏡写真、第3図〜
第5図は従来の方法で製造された媒体と本発明の方法で
製造された媒体の表面状態を比較する図、第6図は磁気
ディスク媒体の製造方法を工程順に示す図である。 図において、1は環状砥粒、2は中央の陥没部、3は環
状隆起部、4は接着剤、5は基材フィルム、7は磁性塗
膜をそれぞれ示す。 木発四月の基本原理 第1因 本発明ラッヒ゛シグテーア表命の顕鍬鏡厚真第2図 媒体の表そ最大粗さ 第3図 媒OKの表面半均オl之 第4図 手続争甫正書(方式)
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 1、接着剤用の合成樹脂に砥粒を混合し、基材フィルム
の表面に塗布し加熱して成るラッピングテープにおいて
、 各砥粒(1…)を、中央部(2)が陥没した環状とし、
このラッピングテープを用いて、磁気ディスク媒体の表
面を研磨することを特徴とする磁気ディスク媒体の製造
方法。 2、前記の基材フィルムとして高分子フィルムを用い、
砥粒として酸化アルミナを用い、接着剤として熱硬化性
樹脂を用いることを特徴とする請求項1記載の磁気ディ
スク媒体の製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP13503288A JPH01303626A (ja) | 1988-06-01 | 1988-06-01 | 磁気ディスク媒体の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP13503288A JPH01303626A (ja) | 1988-06-01 | 1988-06-01 | 磁気ディスク媒体の製造方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH01303626A true JPH01303626A (ja) | 1989-12-07 |
Family
ID=15142350
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP13503288A Pending JPH01303626A (ja) | 1988-06-01 | 1988-06-01 | 磁気ディスク媒体の製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH01303626A (ja) |
Cited By (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2011528998A (ja) * | 2008-07-22 | 2011-12-01 | サンーゴバン アブレイシブズ,インコーポレイティド | 凝集体を含有する被覆研磨製品 |
JP2012512047A (ja) * | 2008-12-17 | 2012-05-31 | スリーエム イノベイティブ プロパティズ カンパニー | 開口部を有する成形された研磨粒子 |
US8888878B2 (en) | 2010-12-30 | 2014-11-18 | Saint-Gobain Abrasives, Inc. | Coated abrasive aggregates and products containg same |
US8968435B2 (en) | 2012-03-30 | 2015-03-03 | Saint-Gobain Abrasives, Inc. | Abrasive products and methods for fine polishing of ophthalmic lenses |
US9138867B2 (en) | 2012-03-16 | 2015-09-22 | Saint-Gobain Abrasives, Inc. | Abrasive products and methods for finishing surfaces |
US9168638B2 (en) | 2011-09-29 | 2015-10-27 | Saint-Gobain Abrasives, Inc. | Abrasive products and methods for finishing hard surfaces |
US9321947B2 (en) | 2012-01-10 | 2016-04-26 | Saint-Gobain Abrasives, Inc. | Abrasive products and methods for finishing coated surfaces |
US11767454B2 (en) | 2008-12-17 | 2023-09-26 | 3M Innovative Properties Company | Production tool to make abrasive particles with grooves |
-
1988
- 1988-06-01 JP JP13503288A patent/JPH01303626A/ja active Pending
Cited By (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2011528998A (ja) * | 2008-07-22 | 2011-12-01 | サンーゴバン アブレイシブズ,インコーポレイティド | 凝集体を含有する被覆研磨製品 |
JP2012512047A (ja) * | 2008-12-17 | 2012-05-31 | スリーエム イノベイティブ プロパティズ カンパニー | 開口部を有する成形された研磨粒子 |
US8845773B2 (en) | 2008-12-17 | 2014-09-30 | 3M Innovative Properties Company | Shaped abrasive particles with an opening |
US11767454B2 (en) | 2008-12-17 | 2023-09-26 | 3M Innovative Properties Company | Production tool to make abrasive particles with grooves |
US8888878B2 (en) | 2010-12-30 | 2014-11-18 | Saint-Gobain Abrasives, Inc. | Coated abrasive aggregates and products containg same |
US9168638B2 (en) | 2011-09-29 | 2015-10-27 | Saint-Gobain Abrasives, Inc. | Abrasive products and methods for finishing hard surfaces |
US9931733B2 (en) | 2011-09-29 | 2018-04-03 | Saint-Gobain Abrasives, Inc. | Abrasive products and methods for finishing hard surfaces |
US9321947B2 (en) | 2012-01-10 | 2016-04-26 | Saint-Gobain Abrasives, Inc. | Abrasive products and methods for finishing coated surfaces |
US9138867B2 (en) | 2012-03-16 | 2015-09-22 | Saint-Gobain Abrasives, Inc. | Abrasive products and methods for finishing surfaces |
US8968435B2 (en) | 2012-03-30 | 2015-03-03 | Saint-Gobain Abrasives, Inc. | Abrasive products and methods for fine polishing of ophthalmic lenses |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US3607528A (en) | Magnetic memory members and methods of making the same | |
CN103153538B (zh) | 磨料制品 | |
JPH01303626A (ja) | 磁気ディスク媒体の製造方法 | |
JP3924252B2 (ja) | 研磨フィルム及びその製造方法 | |
JP2007326175A (ja) | クリーニングテープ及び方法 | |
JPH01252366A (ja) | ラッピングテープ | |
CN1138187A (zh) | 磁盘及其制造方法和相应的磁盘单元 | |
JP3288529B2 (ja) | 光ファイバコネクタ端面研磨用ダイヤモンド研磨フィルム | |
JPH04129660A (ja) | 磁気ディスクおよびその基板の表面加工方法 | |
JPH05228845A (ja) | 磁気ディスク基板テクスチャリング用研磨フィルム | |
JPH0573550B2 (ja) | ||
JP2856783B2 (ja) | 研磨具 | |
JPH06278037A (ja) | 磁気ディスクのテクスチャリング用研磨フィルム | |
JPS61224137A (ja) | 磁気記録媒体のバニツシユ方法 | |
JPS63222327A (ja) | 磁気デイスクの製造方法 | |
JPH03201231A (ja) | 光磁気デイスクとその作製方法 | |
JPS6040528A (ja) | 磁気ディスクの製造方法 | |
JPH05177554A (ja) | 研磨材及び該研磨材の製造方法 | |
JPH0373275A (ja) | 研磨フィルム | |
JPH04210383A (ja) | 磁気記録媒体用表面研磨テープ及びその製造方法 | |
JPS58194131A (ja) | 磁気記憶体の製造方法 | |
JPH01224921A (ja) | 磁気デイスク媒体 | |
JPH0768470A (ja) | リジッド磁気ディスクテクスチャリング用研磨フィルム | |
JPH0366732B2 (ja) | ||
JPH01109083A (ja) | 研磨フィルム |