JP2013247132A - 板状物の加工方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 板状物の加工方法であって、板状物をチャックテーブルで保持する保持ステップと、板状物を保持した該チャックテーブルを回転させつつ、砥粒を含有する研磨パッドを回転させて該チャックテーブルに保持された板状物を押圧するとともにアルカリ性又は酸性の研磨液を板状物と該研磨パッドとに供給しながら、該研磨パッドで板状物を研磨する研磨ステップと、該研磨ステップを実施した後、該チャックテーブルと該研磨パッドとを回転させるとともに該チャックテーブルに保持された板状物と板状物を押圧する該研磨パッドとにリンス液を供給しながら、該研磨パッドで板状物にゲッタリング層を生成するゲッタリング層生成ステップと、を備えたことを特徴とする。
【選択図】図7
Description
12 粗研削ユニット
15 デバイス
16 仕上げ研削ユニット
23 表面保護テープ
48 ターンテーブル
50 チャックテーブル
52 研磨ユニット
74 研磨パッド
78 加工液供給ノズル
80 電磁切替弁
82 研磨液供給源
84 リンス液供給源
Claims (2)
- 板状物の加工方法であって、
板状物をチャックテーブルで保持する保持ステップと、
板状物を保持した該チャックテーブルを回転させつつ、砥粒を含有する研磨パッドを回転させて該チャックテーブルに保持された板状物を押圧するとともにアルカリ性又は酸性の研磨液を板状物と該研磨パッドとに供給しながら、該研磨パッドで板状物を研磨する研磨ステップと、
該研磨ステップを実施した後、該チャックテーブルと該研磨パッドとを回転させるとともに該チャックテーブルに保持された板状物と板状物を押圧する該研磨パッドとにリンス液を供給しながら、該研磨パッドで板状物にゲッタリング層を生成するゲッタリング層生成ステップと、
を備えたことを特徴とする板状物の加工方法。 - 前記板状物はシリコンウエーハから構成され、
前記研磨液はアルカリ性であり、前記リンス液は純水である請求項1記載の板状物の加工方法。
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