JP2010251603A - 研削装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】研削済みのウェーハ1を洗浄装置70で洗浄する際には、可動カバー76を退避位置に下降させ、回収手段60により、ウェーハ1をチャックテーブル30から洗浄装置70のスピンナテーブル71に搬送する。次に、可動カバー76を作用位置に上昇させてから、洗浄水を供給しながらスピンナテーブル71を回転させてウェーハ1を洗浄する。次に、シャッター80を作用位置に上昇させて洗浄装置70とターンテーブル17上の空間とを該シャッター80で遮断してから、可動カバー76を開け、ロボット15によりウェーハ1をスピンナテーブル71から回収カセット14Bに搬送して収納する。加工位置から飛散する研削水等がスピンナテーブル71上のウェーハ1に飛散するのをシャッター80で遮り、ウェーハ1の汚染を防ぐ。
【選択図】図4
Description
[1]半導体ウェーハ(ワーク)
一実施形態では、図1に示す円板状の半導体ウェーハ(以下、ウェーハ)1を被研削物であるワークとしている。ウェーハ1はシリコンウェーハ等であって、研削前の厚さは例えば700μm程度である。このウェーハ1の表面には、格子状の分割予定ライン2によって複数の矩形状のチップ3が区画されている。これらチップ3の表面には、ICやLSI等の図示せぬ電子回路が形成されている。また、ウェーハ1の周面の所定箇所には、半導体の結晶方位を示すV字状の切欠き(ノッチ)4が形成されている。
図2に示す研削装置10は、上記ウェーハ1を負圧吸着式のチャックテーブル(保持手段)30に吸着して保持し、2台の研削ユニット(粗研削用と仕上げ研削用の研削手段)40A,40Bによりウェーハ1に対し粗研削と仕上げ研削を順次行ってウェーハ1を薄化加工するものである。以下、該研削装置10の構成ならびに動作を説明する。
上記一実施形態の研削装置10においては、洗浄装置70で洗浄したウェーハ1を搬送ロボット15で回収カセット14Bに搬送するために可動カバー76を開けた時、シャッター80が作用位置に上昇しており、該シャッター80により、洗浄装置70におけるカバー73内の空間と、チャックテーブル30が配列されているターンテーブル17上の空間とが遮断されている。
図5および図6は、上記可動カバー76の変更例を示している。この場合の可動カバー76は、図2でY方向に2分割されており、Y方向奥側すなわち回収手段60側が第1の可動カバー部76A、Y方向手前側すなわち搬送ロボット15側が第2の可動カバー部76Bとされている。これら可動カバー部76A,76Bの境界をなす先端の合わせ目は、洗浄水が外部に漏れないように、かつ、上下方向に相対的に摺動可能に接触している。そして各可動カバー部76A,76Bは、それぞれ独自に上下動するようになされている。
10…研削装置
13A,13B…カセット載置台(カセット載置部)
14A…供給カセット
14B…回収カセット
15…搬送ロボット(第2の搬送手段)
30…チャックテーブル(保持手段)
30a…ワーク保持面
40A,40B…研削ユニット(研削手段)
60…回収手段(第1の搬送手段)
70…洗浄装置(洗浄手段)
71…スピンナテーブル
72…洗浄水供給ノズル
73A…第1の可動カバー部(遮断手段)
73B…第2の可動カバー部
76…可動カバー
80…シャッター(遮断手段)
Claims (2)
- ワークを保持する保持手段と、
該保持手段に保持された前記ワークを研削する研削手段と、
該研削手段で研削された前記ワークを洗浄する洗浄手段と、
該洗浄手段で洗浄された前記ワークを収納するカセットが着脱可能に載置されるカセット載置部と、
前記保持手段から前記洗浄手段に前記ワークを搬送する第1の搬送手段と、
前記洗浄手段から前記カセット載置部に載置された前記カセットに前記ワークを搬送する第2の搬送手段と、
を備える研削装置であって、
前記洗浄手段は、
前記ワークを保持する水平な保持面を有し、かつ、鉛直方向を回転軸として回転可能に支持されたスピンナテーブルと、
該スピンナテーブルに保持された前記ワークに洗浄水を供給する洗浄水供給ノズルと、
少なくとも前記スピンナテーブルと前記洗浄水供給ノズルとを囲む可動カバーと、
前記ワークを保持した前記スピンナテーブルが回転している間は、前記可動カバーを、該スピンナテーブルと前記洗浄水供給ノズルとを囲む作用位置に位置付け、かつ、前記第1の搬送手段が前記保持手段から該スピンナテーブルに前記ワークを搬送する際と、前記第2の搬送手段が該スピンナテーブルから前記カセットに前記ワークを搬送する際には、前記可動カバーを、該第1の搬送手段および該第2の搬送手段のワーク搬送動作の妨げにならない退避位置に位置付けるカバー駆動部と、
を含み、
さらに該研削装置は、
少なくとも、前記可動カバーが前記退避位置に位置付けられて前記第2の搬送手段が前記スピンナテーブルから前記カセットに前記ワークを搬送する間は、前記保持手段と前記洗浄手段との間の空間を遮断する遮断手段を有すること
を特徴とする研削装置。 - 前記可動カバーは、前記第1の搬送手段側の第1の可動カバー部と、前記第2の搬送手段側の第2の可動カバー部とに分割されたものであって、
該第1の可動カバー部と該第2の可動カバー部は、
前記カバー駆動部により、
前記ワークを保持した前記スピンナテーブルが回転している間は、該スピンナテーブルと前記洗浄水供給ノズルとを囲む作用位置に共に位置付けられ、
前記第1の搬送手段が前記保持手段から該スピンナテーブルに前記ワークを搬送する際には、少なくとも該第1の可動カバー部が、該第1の搬送手段のワーク搬送動作の妨げにならない退避位置に位置付けられ、
前記第2の搬送手段が前記スピンナテーブルから前記カセットに前記ワークを搬送する際には、該第2の可動カバー部が、該第2の搬送手段のワーク搬送動作の妨げにならない退避位置に位置付けられると共に、該第1の可動カバー部が前記作用位置に位置付けられて前記遮断手段を構成すること
を特徴とする請求項1に記載の研削装置。
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Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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CN112207655A (zh) * | 2020-10-12 | 2021-01-12 | 华海清科股份有限公司 | 一种具有移动机械手的晶圆磨削设备 |
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2009
- 2009-04-17 JP JP2009100993A patent/JP2010251603A/ja active Pending
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