JPWO2014057894A1 - 弾性砥石のドレッシング方法 - Google Patents

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Abstract

本発明は、研磨面である外周面が扁平な弾性砥石をドレッシングする弾性砥石のドレッシング方法において、前記外周面に環状溝が形成された前記弾性砥石と電着砥石とを各々の中心軸を中心に互いに回転させて、前記電着砥石の外周面と前記弾性砥石の前記外周面とを相対的に押圧することにより、前記弾性砥石の前記外周面を前記電着砥石によって扁平形状に研削加工してドレッシングする弾性砥石のドレッシング方法に関する。

Description

本発明は、弾性砥石のドレッシング方法に関する。
液晶ディスプレイ、プラズマディスプレイ等に使用されるFPD(Flat Panel Display)用ガラス板は、溶融ガラスを板状に成形し、その後、切断装置によって所定の矩形サイズのガラス板に切断される。その後、ガラス板は、特許文献1等に開示された面取り装置の面取り用砥石によって、その縁部が研削加工されて面取りされる。
また、特許文献2に記載された面取り装置は、研削用のV形溝を外周面に備えたメタルボンド砥石(研削砥石)と、研磨面である外周面が扁平な弾性砥石(研磨砥石)とを備えている。特許文献2の面取り装置によれば、前記メタルボンド砥石のV形溝によって板状体の縁部を研削して縁部に面取り面を形成し、その後、前記面取り面を前記弾性砥石の扁平な外周面によって研磨する。特許文献2には、前記弾性砥石のボンド(結合剤)として、ブチルゴム、シリコーン、ポリウレタン、又は天然ゴムが例示され、砥石としてアルミナ(Al)、炭化ケイ素(SiC)、軽石、又はガーネットが例示されている。
日本国特開2002−160147号公報 日本国特開2001−9689号公報
特許文献2に開示された弾性砥石は、板状体の面取り面に当接される研磨面である扁平な外周面が、加工時間の経過に伴って磨耗していく。これによって、扁平な外周面に、板状体の縁部の形状が転写した環状溝が形成される。前記環状溝が深くなると、板状体の縁部のほか、板状体の主面も研磨されるため、環状溝が所定の深さに達したところで、弾性砥石の外周面を研削加工して元の扁平形状に戻す、すなわち、弾性砥石の外周面をドレッシングする必要がある。
前記弾性砥石のドレッシング方法としては、弾性砥石をその中心軸で回転させながら、弾性砥石の外周面にバイト等の切削工具を押し付けて、前記外周面を扁平に研削加工することが考えられる。
しかしながら、ドレッシング工具としてバイトを使用すると、バイトと弾性砥石の外周面との点接触部分で発生した高温の加工熱によって、研削砥石の外周面が焼きついたり膨張したりする。また、弾性砥石のボンドは弾性体であるため、高い圧力をかけて研削加工するバイトでは、外周面を扁平形状に研削加工することが困難である。したがって、バイトによるドレッシングでは、外周面の研削加工精度が悪いという問題がある。
このような問題を解消するためには、ドレッシング工具として円盤状又は円柱状のメタルボンド砥石を使用することが考えられる。すなわち、メタルボンド砥石と弾性砥石の外周面とを線接触させた状態で回転させ、線接触部分に生じる加工熱を低減して弾性砥石の外周面を研削加工するものである。
しかしながら、ドレッシング工具としてメタルボンド砥石を使用すると、メタルボンド砥石は研削屑によって早期に目詰まりするため、ドレッシング効率が低下するという問題がある。
この問題を解消するためには、前記線接触部分に切削水を噴射して研削屑を洗い落としながら弾性砥石の外周面を研削加工する湿式のドレッシング法を採用すればよい。しかしながら、湿式のドレッシング法は、使用後の切削水が研削屑を含んでいるため、切削水の水処理設備が必要になるという問題がある。
本発明は、このような事情に鑑みてなされたもので、湿式のドレッシング法を採用することなく、つまり乾式のドレッシング法を採用して弾性砥石の外周面を扁平に精度よくドレッシングできる弾性砥石のドレッシング方法を提供することを目的とする。
本発明は、前記目的を達成するために、研磨面である外周面が扁平な弾性砥石をドレッシングする弾性砥石のドレッシング方法において、前記外周面に環状溝が形成された前記弾性砥石と電着砥石とを各々の中心軸を中心に互いに回転させて、前記電着砥石の外周面と前記弾性砥石の前記外周面とを相対的に押圧することにより、前記弾性砥石の前記外周面を前記電着砥石によって扁平形状に研削加工してドレッシングする弾性砥石のドレッシング方法を提供する。
本発明によれば、乾式のドレッシング法においても目詰まりすることなくドレッシングが可能な電着砥石を用いて、弾性砥石の研磨面である外周面をドレッシングする。すなわち、扁平な外周面に環状溝が形成されてドレッシングが必要な弾性砥石と電着砥石とを各々の中心軸を中心に互いに回転させて、電着砥石の外周面と弾性砥石の外周面とを相対的に押圧する。これによって、弾性砥石の外周面が電着砥石の外周面によって磨滅、粉砕されていき、弾性砥石の外周面が扁平形状に研削加工されてドレッシングされる。
電着砥石とは、ダイヤモンド又はCBN(Cubic Boron Nitride:立方晶窒化ホウ素)の砥粒を、ベース部材の表面に保持しながら、ニッケルメッキを施して砥粒を機械的にベース部材に固定した砥石である。電着砥石は、砥粒突き出し量がメタルボンド砥石やレジンボンド砥石よりも大きく、これらの砥石よりも切れ味が鋭いという特徴を有する。この特徴によって電着砥石は、外周面に環状溝が形成された弾性砥石であっても、乾式のドレッシング法によって目詰まりすることなく扁平形状に精度よくドレッシングできる。また、電着砥石によるドレッシング方法は、ドレッシング中に飛散した粉砕物を吸引して集塵する小型の集塵器をドレッシング部位に設置するだけでよいので、湿式のドレッシング法で必要な大掛かりな水処理設備が不要となる。
また、本発明は、前記目的を達成するために、研磨面である外周面を、板状体の縁部に押し当てるとともに、その中心軸を中心に回転させて前記縁部を研磨加工する弾性砥石をドレッシングする弾性砥石のドレッシング方法において、前記弾性砥石の前記外周面に前記板状体の前記縁部の形状が転写されて形成された環状溝が所定の深さに到達すると、前記弾性砥石と電着砥石とを各々の中心軸を中心に互いに回転させて、前記電着砥石の前記外周面と前記弾性砥石の前記外周面とを相対的に押圧することにより、前記弾性砥石の前記外周面を前記電着砥石によって扁平形状に研削加工してドレッシングする弾性砥石のドレッシング方法を提供する。
本発明は、板状体の縁部を研磨加工する弾性砥石のドレッシング法に特化したものである。すなわち、研磨面である外周面が扁平な弾性砥石の当該外周面を、板状体の縁部に押し当てるとともに、弾性砥石をその中心軸を中心に回転させて前記縁部を研磨加工する。加工時間の経過に伴って、弾性砥石の扁平な外周面は磨耗していき、板状体の縁部の形状が転写した環状溝が前記外周面に形成される。そして、前記環状溝が所定の深さに到達すると、本発明のドレッシング法によって弾性砥石の外周面をドレッシングする。
本発明の一態様は、前記弾性砥石の回転方向と前記電着砥石の回転方向とを同方向にさせ、前記弾性砥石の前記外周面と前記電着砥石の前記外周面との接触箇所における相対的な周速が6.5〜13.0m/sであることが好ましい。
本発明の一態様によれば、弾性砥石と電着砥石の回転方向を各々同方向に設定し、弾性砥石の外周面と電着砥石の外周面との接触箇所における相対的な周速を6.5〜13.0m/sに設定したので、最短のドレッシング時間で必要最小限のドレッシング精度を得ることができる。
つまり、弾性砥石は弾性体であるがゆえに、前記周速を13.0m/sを超える高速に設定すると、弾性砥石に発生した遠心力によって弾性体の外周面が膨らむ。このため、弾性砥石の外周面を精度よくドレッシングできない。また、前記周速が13.0m/sを超えると、乾式であるがゆえに加工熱が高温となり弾性砥石の外周面が焼きつくという問題も発生する。よって、前記周速は、低速であれば低速であるほどドレッシング精度が向上する傾向にある。しかしながら、前記周速を低速にし過ぎると、ドレッシング時間が無闇に長くなり、弾性砥石の本来の仕事(研磨加工)に悪影響を与える。そこで、必要最小限のドレッシング精度を得るためのドレッシング時間について実機にて検証したところ、前記周速の下限値を6.5m/sに設定することが好ましいことを確認できた。よって、前記周速を6.5〜13.0m/sに設定することによって、最短のドレッシング時間で必要最小限のドレッシング精度を得ることができる。なお、弾性砥石及び電着砥石は、円盤状、円柱状、又は円筒状に構成されたものである。
本発明の一態様は、前記弾性砥石のボンドは、ブチルゴム、天然ゴム、又は樹脂であり、前記弾性砥石の砥粒は、ダイヤモンド、立方晶窒化ホウ素(CBN)、アルミナ(Al)、炭化ケイ素(SiC)、軽石、又はガーネットであることが好ましい。
本発明の一態様によれば、ボンドとしてブチルゴム、天然ゴムを使用した砥石、又は樹脂を使用したレジンボンド砥石を弾性砥石として例示できる。
本発明によれば、ドレッシング工具として電着砥石を用いたので、乾式のドレッシング法を採用して弾性砥石の外周面を扁平に精度よくドレッシングすることができる。
図1は、本発明の弾性砥石のドレッシング方法によってドレッシングされる弾性砥石を備えた面取り装置の平面図である。 図2は、面取り装置の要部拡大斜視図である。 図3Aは、ガラス板の縁部にメタルボンド砥石の研削用溝が対向配置された説明図である。 図3Bは、メタルボンド砥石によってガラス板の縁部が研削されている説明図である。 図3Cは、研削されて面取り面が形成されたガラス板の縁部の拡大図である。 図4は、メタルボンド砥石の側面図である。 図5は、新品状態又はドレッシング後の弾性砥石の全体斜視図である。 図6Aは、電着砥石を弾性砥石の外周面に当接した状態を示す要部拡大側面図である。 図6Bは、電着砥石によって弾性砥石の外周面がドレッシングされている状態を示した要部拡大側面図である。 図6Cは、電着砥石によって弾性砥石の外周面がドレッシングされた弾性砥石の要部拡大側面図である。
以下、添付図面に従って本発明に係る弾性砥石のドレッシング方法の好ましい実施の形態を詳説する。
図1は、本発明の弾性砥石のドレッシング方法によってドレッシングされる弾性砥石26、28を備えた面取り装置10の平面図である。この面取り装置10は、厚さが0.7mm以下の液晶ディスプレイ用のガラス板(板状体)12の縁部12A〜12Dをメタルボンド砥石18、20によって研削して面取り加工するとともに、面取り加工された面取り面を弾性砥石26、28によって研磨して鏡面加工する装置である。
なお、面取り装置10に適用可能な板状体としては、液晶ディスプレイ用のガラス板12に限定されない。例えば、プラズマディスプレイ用ガラス板、LEDディスプレイ用ガラス板等の他のFPD用ガラス板でもよく、太陽電池用、照明用、建材用やミラー用等の一般的なガラス板でもよい。また、金属製、又は樹脂製の板状体であっても適用できる。板状体の厚さも0.7mm以下に限定されず、0.7mmを超える厚さであってもよい。
面取り装置10は、矩形状のガラス板12を吸着保持する定盤14、定盤14を矢印A−B方向に往復移動させる移動装置16、ガラス板12の縁部12A〜12Dを研削して面取り面を縁部に形成する円盤状又は円柱状の一対のメタルボンド砥石18、20、メタルボンド砥石18、20を高速回転させるモータ22、24、前記面取り面を研磨して鏡面加工する円盤状又は円柱状の弾性砥石26、28、弾性砥石26、28を高速回転させるモータ30、32、メタルボンド砥石18、20による加工部に冷却液を噴射するノズル34、36、及び弾性砥石26、28による加工部に冷却液を噴射するノズル38、40等から構成されている。
弾性砥石26、28のボンドは、弾性を有するブチルゴム、天然ゴム、又はシリコーン、ポリウレタン、フェノール、エポキシ、あるいはポリイミド等の樹脂であり、また、弾性砥石26、28の砥粒は、ダイヤモンド、立方晶窒化ホウ素(CBN)、アルミナ(Al)、炭化ケイ素(SiC)、軽石、又はガーネットである。弾性砥石26、28のドレッシング方法については後述する。
面取り装置10は、対向する2つの主面を有するガラス板12の縁部を定盤14の上面から露出させた状態で、定盤14の上面の吸着面にガラス板12の一方の主面を吸着保持させ、定盤14を移動装置16によって矢印A方向に移動させる。その移動中にガラス板12の対向する縁部12A、12Bを、ガラス板12の移動方向に対して対向する方向に回転しているメタルボンド砥石18、20によって研削して面取り面を形成する。そして、ガラス板12の移動方向に対して対向する方向に回転している弾性砥石26、28によって前記面取り面を研磨する。これによって、ガラス板12の縁部12A、12Bが面取り加工された後、鏡面加工される。
また、面取り加工時には、メタルボンド砥石18とガラス板12の縁部12Aとが接触する加工部に、ノズル34から冷却液が噴射されるとともに、メタルボンド砥石20とガラス板12の縁部12Bとが接触する加工部に、ノズル36から冷却液が噴射される。また、鏡面加工時には、弾性砥石26とガラス板12の縁部12Aとが接触する加工部に、ノズル38から冷却液が噴射されるとともに、弾性砥石28とガラス板12の縁部12Bとが接触する加工部に、ノズル40から冷却液が噴射される。
これにより、前記加工部が前記冷却液によって冷却されるので、ガラス板12の縁部12A、12Bに生じる焼け、欠け等の発生が低減される。また、ガラス板12の前記2つの主面それぞれと縁部12A、12Bの端面との境界面に生じるチッピングも低減される。なお、冷却液としては、純水、研削油、及びこれらの混合物を例示できる。
面取り装置10では、ガラス板12の対向する一対の縁部12A、12Bを同時に面取り加工及び鏡面加工するために、メタルボンド砥石18と弾性砥石26とが縁部12Aに対向して配置されるとともに、メタルボンド砥石20と弾性砥石28とが縁部12Bに対向して配置されている。弾性砥石26、28は、メタルボンド砥石18、20に対してガラス板12の搬送方向下流側に配置されている。
図1においてメタルボンド砥石18は、モータ22によって時計方向に回転され、メタルボンド砥石20は、モータ24によって反時計方向に回転される。また、弾性砥石26は、モータ30によって時計方向に回転され、弾性砥石28は、モータ32によって反時計方向に回転される。これらの砥石18、20、26、28の回転数は、好ましくは3000rpm以上に設定されている。
なお、図1では、ガラス板12を矢印A方向に移動させながら、固定されたメタルボンド砥石18、20及び弾性砥石26、28によって縁部12A、12Bを加工する面取り装置10を示しているが、これに限定されるものではない。例えば、ガラス板12を固定し、メタルボンド砥石18、20及び弾性砥石26、28をガラス板12の縁部12A、12Bに沿って移動させる面取り装置でもよい。また、メタルボンド砥石18、20及び弾性砥石26、28とガラス板12とをガラス板12の縁部12A、12Bに沿って互いに近づく方向に移動させる面取り装置でもよい。更に、ガラス板12の他の対向する縁部12C、12Dは、図1のメタルボンド砥石18、20及び弾性砥石26、28の後段に配置された不図示のメタルボンド砥石及び弾性砥石によって加工してもよい。又は、ガラス板12を定盤14によってB方向に移動させて元の位置に復帰させ、次に、ガラス板12を定盤14によって、ガラス板12の主面方向の垂線を軸にして90度回転させた後、定盤14によってガラス板12をA方向に移動させながら、ガラス板12の縁部12A、12Bの長さに合わせて間隔が変更されたメタルボンド砥石18、20及び弾性砥石26、28によって縁部12C、12Dを加工してもよい。
図2は、面取り装置10の要部拡大斜視図であり、メタルボンド砥石18と弾性砥石26とが図示されている。
図2の如く、メタルボンド砥石18及び弾性砥石26は、ガラス板12の端面12Eに対向して配置されている。ここで端面12Eとは、ガラス板12の主面12Fに対して直交する方向の面であり加工前の面である。この端面12Eと主面12Fとの境界面、及び端面12Eを含む部分を縁部12A〜12Dと称し、縁部12A〜12Dをメタルボンド砥石18、20及び弾性砥石26、28によって加工する。なお、特許文献1に記載の如く、メタルボンド砥石18、20及び弾性砥石26、28の回転軸を、ガラス板12の主面12Fに立てた垂線に対して所定角度傾斜させてもよい。
メタルボンド砥石18、20及び弾性砥石26、28は同時に回転駆動され、図1の移動装置16によるガラス板12の移動によって、ガラス板12の対向する縁部12A、12Bがメタルボンド砥石18、20及び弾性砥石26、28によって同時に加工される。
図3A及び図3Bは、メタルボンド砥石18、20の外周面の要部拡大断面図である。なお、メタルボンド砥石18、20は同一構成なので、ここではメタルボンド砥石18について説明し、メタルボンド砥石20の説明は省略する。
メタルボンド砥石18の外周面には、研削用溝である複数本の環状溝42が水平方向(図4に一点鎖線で示した回転軸に対して直交方向)に形成される。この環状溝42は、図4のメタルボンド砥石18の側面図の如く上下方向に複数本平行に備えられている。
なお、環状溝42のメタルボンド砥石18の厚さ方向の断面形状は、図3A及び図3Bに示したU字状に限定されず、V字状、凹状であってもよい。また、環状溝42の本数は1本でもよいが、メタルボンド砥石18の交換作業を省くため、図4の如く、メタルボンド砥石18の厚さ方向に所定の間隔で複数本備えることが好ましい。環状溝42がメタルボンド砥石18に複数本備えられているため、使用中の環状溝42が寿命になったとき、図示しない制御装置でメタルボンド砥石18を環状溝42のピッチ単位で上下方向(メタルボンド砥石18の厚さ方向)に昇降させれば、メタルボンド砥石18の交換作業をすることなく新しい環状溝42でガラス板12の縁部12Aを研削できる。また、環状溝42の形状は、単一の曲率半径を有する形状でもよく、端面12Eを研削する部分、及び図3Cに示すように研削終了した端面12E′と主面12Fとの境界面12Gを研削する部分が異なる曲率半径を有する形状のものでもよい。
図3Aに示すように、水平方向においてメタルボンド砥石18の環状溝42は、ガラス板12の縁部12Aに対向されており、この状態からメタルボンド砥石18が縁部12Aに向けて水平方向に送られる。そして、メタルボンド砥石18の環状溝42が縁部12Aに当接したところで、図3Bの如く、メタルボンド砥石18が研削代分だけ縁部12Aに向けて送られる。これによって、図3Cの如く、縁部12Aが環状溝42によって研削され、縁部12Aに面取り面が形成される。なお、図3Aの破線Bで示すように、端面12Eのガラス板12の厚さ方向の中心部が環状溝42の最深部に当接するようにメタルボンド砥石18が縁部12Aに向けて送られる。
次に、弾性砥石26、28について説明する。なお、弾性砥石26と弾性砥石28とは同一物なので、ここでは弾性砥石26について説明し、弾性砥石28については説明を省略する。また、弾性砥石28に関連する説明も省略する。
図5は、新品状態又はドレッシング後の弾性砥石26を示した全体斜視図である。弾性砥石26は、円盤状、円柱状、又は円筒状に構成されるとともに研磨面である外周面が扁平な形状の砥石である。
弾性砥石26は、熱硬化性樹脂のボンドによって砥粒を保持した砥石である。前記ボンドとしては、ブチルゴム、天然ゴム、又はシリコーン、ポリウレタン、フェノール、エポキシ、あるいはポリイミド等の樹脂を挙げることができる。また、砥粒としては、ダイヤモンド、立方晶窒化ホウ素(CBN)、アルミナ(Al)、炭化ケイ素(SiC)、軽石、又はガーネット等を挙げることができる。更に、弾性砥石26の砥粒の粒度は、例えば砥粒がダイヤモンドの場合、200〜1500番(JIS R6001:1998)であることが好ましい。
弾性砥石26は、ガラス板12の縁部12Aの端面12E′(図3C参照)に当接される扁平な外周面が、加工時間の経過に伴って磨耗していく。これによって、図2の弾性砥石26の如く、扁平な外周面43にガラス板12の縁部12Aの形状が転写した凹状(concave)の環状溝44が形成される。環状溝44が深くなると、ガラス板12の縁部12Aのほか、ガラス板12の主面12Fも研磨されるため、環状溝44が所定の深さに達したところで、弾性砥石26の外周面43が研削加工されて元の扁平形状に戻される。すなわち、弾性砥石26の外周面43がドレッシングされる。本明細書において、扁平形状とは、図6Cのように、弾性砥石26をその中心軸26Aに対して直交する方向から見たときの表面の形状が平らであることを意味する。
次に、弾性砥石26のドレッシング方法について説明する。
弾性砥石26の外周面43のドレッシング方法は、ドレッシング工具として、図6A、図6Bに示す円盤状、円柱状、又は円筒状に構成された電着砥石46が使用される。図6Aは、電着砥石46の扁平の外周面を弾性砥石26の外周面43に当接した状態を示す要部拡大側面図、図6Bは、電着砥石46によって弾性砥石26の外周面43がドレッシングされている状態を示した要部拡大側面図、図6Cは、電着砥石46によって弾性砥石26の外周面43がドレッシングされて扁平形状に戻された弾性砥石26の要部拡大側面図である。
すなわち、実施の形態の弾性砥石26のドレッシング方法は、乾式のドレッシング法においても目詰まりすることなくドレッシングが可能な電着砥石46を用いて、弾性砥石26の外周面43をドレッシングする。
具体的には、図6Aの如く、環状溝44が形成されてドレッシングが必要な弾性砥石26と電着砥石46とを各々の中心軸26A、46Aを中心に互いに回転させて、図6Bの如く、電着砥石46の扁平の外周面と弾性砥石26の外周面43とを相対的に押圧する。これによって、弾性砥石26の外周面43が電着砥石46によって磨滅、粉砕されていき、図6Cの如く、外周面43が扁平形状に研削加工されてドレッシングされる。
なお、当然であるが、弾性砥石26と電着砥石46とは、中心軸26A、46Aが平行に設定されている。
電着砥石46とは、円盤状、円柱状、又は円筒状の金属製基体の外周に、ダイヤモンド又はCBN(Cubic Boron Nitride:立方晶窒化ホウ素)の砥粒を、電着砥石46のベース部材(不図示)の表面に保持しながら、ニッケルメッキを施して砥粒を機械的にベース部材に固定した砥石である。電着砥石46は、砥粒突き出し量がメタルボンド砥石やレジンボンド砥石よりも大きく、これらの砥石よりも切れ味が鋭いという特徴を有する。
前記電着砥石46の特徴によって、外周面43に環状溝44が形成された弾性砥石26であっても、乾式のドレッシング法によって目詰まりすることなく扁平形状に精度よくドレッシングできる。
また、電着砥石46によるドレッシング方法は、ドレッシング中に飛散した粉砕物を吸引して集塵する小型の集塵器をドレッシング部位に設置するだけでよいので、湿式のドレッシング法で必要な大掛かりな水処理設備が不要となる。
更に、弾性砥石26の外周面43と電着砥石46の外周面との接触箇所における相対的な周速を6.5〜13.0m/sに設定することが好ましい。
実施の形態のドレッシング方法によれば、弾性砥石26と電着砥石46の回転方向を、図6A、図6Bの如く、各々同方向に設定し、弾性砥石26の外周面43と電着砥石46の外周面との接触箇所における相対的な周速を6.5〜13.0m/sに設定したので、最短のドレッシング時間で必要最小限のドレッシング精度を得ることができる。
つまり、弾性砥石26は弾性体であるがゆえに、周速を13.0m/sを超える高速に設定すると、弾性砥石26に発生した遠心力によって弾性体の外周面43が膨らむ。つまり、弾性砥石26が遠心力によって弾性変形する。このため、弾性砥石26の外周面43を精度よく平坦(扁平)にドレッシングできない。また、周速が13.0m/sを超えると、乾式であるがゆえに加工熱が高温となり弾性砥石26の外周面43が焼きつくという問題も発生する。よって、前記周速は、低速であれば低速であるほどドレッシング精度が向上する傾向にある。
しかしながら、前記周速を低速にし過ぎると、ドレッシング時間が無闇に長くなり、弾性砥石26の本来の仕事(研磨加工)に悪影響を与える。そこで、必要最小限のドレッシング精度を得るためのドレッシング時間について実機にて検証したところ、前記周速の下限値を6.5m/sに設定することが好ましいことを確認できた。よって、前記周速を6.5〜13.0m/sに設定することによって、最短のドレッシング時間で必要最小限のドレッシング精度を得ることができる。
本発明を詳細に、また特定の実施態様を参照して説明したが、本発明の範囲と精神を逸脱することなく、様々な修正や変更を加えることができることは、当業者にとって明らかである。
本出願は、2012年10月10日出願の日本特許出願2012−224921に基づくものであり、その内容はここに参照として取り込まれる。
10…面取り装置、12…ガラス板、12A〜12D…ガラス板の縁部、12E、12E′…ガラス板の端面、12F…ガラス板の主面、12G…ガラス板の端面と主面との境界面、14…定盤、16…移動装置、18、20…メタルボンド砥石、22、24…モータ、26、28…弾性砥石、30、32…モータ、34、36、38、40…ノズル、42…環状溝、43…外周面、44…環状溝、46…電着砥石

Claims (4)

  1. 研磨面である外周面が扁平な弾性砥石をドレッシングする弾性砥石のドレッシング方法において、
    前記外周面に環状溝が形成された前記弾性砥石と電着砥石とを各々の中心軸を中心に互いに回転させて、前記電着砥石の外周面と前記弾性砥石の前記外周面とを相対的に押圧することにより、前記弾性砥石の前記外周面を前記電着砥石によって扁平形状に研削加工してドレッシングする弾性砥石のドレッシング方法。
  2. 研磨面である外周面を、板状体の縁部に押し当てるとともに、その中心軸を中心に回転させて前記縁部を研磨加工する弾性砥石をドレッシングする弾性砥石のドレッシング方法において、
    前記弾性砥石の前記外周面に前記板状体の前記縁部の形状が転写されて形成された環状溝が所定の深さに到達すると、前記弾性砥石と電着砥石とを各々の中心軸を中心に互いに回転させて、前記電着砥石の外周面と前記弾性砥石の前記外周面とを相対的に押圧することにより、前記弾性砥石の前記外周面を前記電着砥石によって扁平形状に研削加工してドレッシングする弾性砥石のドレッシング方法。
  3. 前記弾性砥石の回転方向と前記電着砥石の回転方向とを同方向にさせ、前記弾性砥石の前記外周面と前記電着砥石の前記外周面との接触箇所における相対的な周速が6.5〜13.0m/sである請求項1又は2に記載の弾性砥石のドレッシング方法。
  4. 前記弾性砥石のボンドは、ブチルゴム、天然ゴム、又は樹脂であり、
    前記弾性砥石の砥粒は、ダイヤモンド、立方晶窒化ホウ素(CBN)、アルミナ(Al)、炭化ケイ素(SiC)、軽石、又はガーネットである請求項1から3のいずれか1項に記載の弾性砥石のドレッシング方法。
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Families Citing this family (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP6967386B2 (ja) * 2017-07-12 2021-11-17 株式会社ディスコ ドレッシング方法
CN110524314B (zh) * 2019-07-18 2021-04-23 庆安集团有限公司 一种橡胶弹性材料的研磨方法
WO2023096758A1 (en) * 2021-11-23 2023-06-01 Corning Incorporated Apparatuses and methods for finishing the edges of glass sheets
CN114770286A (zh) * 2022-06-01 2022-07-22 蓝宝精玺新材料技术(重庆)有限责任公司 一种光学产品加工方法

Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CA1129207A (en) * 1979-06-08 1982-08-10 Rangachary Komanduri Dressing and conditioning resin-bonded diamond grinding wheel
JPS61257772A (ja) * 1986-05-08 1986-11-15 Toyoda Mach Works Ltd 砥石ツル−イング方法
JPS62173170A (ja) * 1986-01-23 1987-07-30 Toyoda Mach Works Ltd 砥石車のツル−イング装置
JPS62213961A (ja) * 1986-03-14 1987-09-19 Genichi Sato 砥石の整形方法およびその整形用工具
JPH04101772A (ja) * 1990-08-11 1992-04-03 Nippei Toyama Corp 研削盤の砥石修正装置
JP2009142979A (ja) * 2007-12-14 2009-07-02 Siltron Inc 研削ホイールのツルーイング工具及びその製作方法、これを用いたツルーイング装置、研削ホイールの製作方法、並びにウェハーエッジ研削装置
KR20130092345A (ko) * 2012-02-10 2013-08-20 삼성코닝정밀소재 주식회사 판형 패널의 면취휠의 드레싱방법, 이를 이용한 판형 패널의 면취방법 및 이에 사용되는 드레싱 휠

Family Cites Families (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE102008004848A1 (de) * 2008-01-17 2009-07-23 Vollmer Werke Maschinenfabrik Gmbh Vorrichtung und Verfahren zum Abrichten einer Bearbeitungsscheibe mittels eines rotierenden Abrichtwerkzeugs sowie Werkzeugmaschine mit einer derartigen Vorrichtung
CN102123827B (zh) * 2008-08-15 2013-10-16 3M创新有限公司 砂轮修整机
JP5573459B2 (ja) * 2010-07-27 2014-08-20 株式会社ジェイテクト 研削方法および研削盤
JP5693144B2 (ja) * 2010-10-27 2015-04-01 豊田バンモップス株式会社 ロータリドレッサ

Patent Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CA1129207A (en) * 1979-06-08 1982-08-10 Rangachary Komanduri Dressing and conditioning resin-bonded diamond grinding wheel
JPS62173170A (ja) * 1986-01-23 1987-07-30 Toyoda Mach Works Ltd 砥石車のツル−イング装置
JPS62213961A (ja) * 1986-03-14 1987-09-19 Genichi Sato 砥石の整形方法およびその整形用工具
JPS61257772A (ja) * 1986-05-08 1986-11-15 Toyoda Mach Works Ltd 砥石ツル−イング方法
JPH04101772A (ja) * 1990-08-11 1992-04-03 Nippei Toyama Corp 研削盤の砥石修正装置
JP2009142979A (ja) * 2007-12-14 2009-07-02 Siltron Inc 研削ホイールのツルーイング工具及びその製作方法、これを用いたツルーイング装置、研削ホイールの製作方法、並びにウェハーエッジ研削装置
KR20130092345A (ko) * 2012-02-10 2013-08-20 삼성코닝정밀소재 주식회사 판형 패널의 면취휠의 드레싱방법, 이를 이용한 판형 패널의 면취방법 및 이에 사용되는 드레싱 휠

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