JP2016182661A - 面取り加工された基板及び液晶表示装置 - Google Patents
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Abstract
Description
また、特許文献1に記載のものでは、上下非対称の形状の溝が周囲に形成された第1の砥石が必要で、その形状の決定が困難である。また、円形のウエーハの場合は全周で同じ形状で済むので一意的に決定できるが、OFの付いたウエーハ基板、角に円弧が付いた矩形又は多角形のウエーハ、基板、カバーガラス等で円形部と非円形部がある場合には、さらに困難であるばかりか、レジン砥石の溝の上下の角度の変化も円形部から非円形部へ移る位置、角部で大きくなり、全周をヘリカル研削することは極めて困難であった。つまり、角を有する基板(ワーク)の角部では砥石の溝の上面と下面のうちの片方のみ当たる片当たりが発生し、良好な面取りができなかった。
図6はカバーガラスWの上面を加工している状態を示す側面図であり、チャックテーブル73に向かって外周精研スピンドル71が送られたとき、研削溝74の右上端部の上面斜面72uがカバーガラスWの上面、図6で右上端部が当接して加工が開始され、その後、チャックテーブル73に保持されたカバーガラスWがX軸方向に一定速度で移動して面取りが行われる。
Claims (8)
- 端面を研削砥石に形成された研削溝で面取り加工された基板において、
前記基板は平面形状が矩形状とされ、そのほぼ全周に渡って、前記端面の厚さ方向の中央部が3〜15°でヘリカル研削され、さらに前記端面の上部及び下部が面取り角度でヘリカル研削されたことを特徴とする面取り加工された基板。 - 請求項1に記載の面取り加工された基板において、
前記基板は、化学強化が行われた後に、所定の形状に切断されて前記端面がヘリカル研削され、さらに前記端面の上部及び下部が面取り角度でヘリカル研削されたことを特徴とする面取り加工された基板。 - 請求項1又は2に記載の面取り加工された基板において、
前記端面の上部が前記研削溝の上面斜面で研削され、その後、前記基板を前記研削砥石に対して相対的に前記厚さ方向に下降させて再び研削、
あるいは、前記端面の下部が前記研削溝の下面斜面で研削され、その後、前記基板を前記研削砥石に対して相対的に前記厚さ方向に上昇させて再び研削、されたことを特徴とする面取り加工された基板。 - 請求項1から3のいずれか1項に記載の面取り加工された基板において、
前記端面の上部あるいは下部を全周に渡って前記研削溝で1周するように研削し、その後、前記基板を前記研削砥石に対して相対的に前記厚さ方向に下降あるいは上昇させて、さらに1周研削されたことを特徴とする面取り加工された基板。 - 請求項1から4のいずれか1項に記載の面取り加工された基板において、
前記端面の加工は、それぞれ前記端面の上部の研削、中央部の研削、下部の研削とで行われたことを特徴とする面取り加工された基板。 - 請求項5に記載の面取り加工された基板において、
前記上部の研削、中央部の研削、下部の研削は、それぞれ前記端面を全周に渡って前記研削溝で1周するように行われたことを特徴とする面取り加工された基板。 - 請求項1から6のいずれか1項に記載の面取り加工された基板において、
前記基板は、その平面にマスキング印刷、センサー電極の形成が行われていることを特徴とする面取り加工された基板。 - 液晶パネルの中にタッチセンサを組み込んだ液晶表示装置において、
端面を研削砥石に形成された研削溝で面取り加工されたカバーガラスを備え、前記カバーガラスは平面形状が矩形状とされ、そのほぼ全周に渡って、前記端面の厚さ方向の中央部が3〜15°でヘリカル研削され、さらに上部及び下部が面取り角度でヘリカル研削されたことを特徴とする液晶表示装置。
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Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2018123420A1 (ja) * | 2016-12-27 | 2018-07-05 | 日本電気硝子株式会社 | ガラス板の端面加工方法、製造方法及びガラス板 |
CN111463111A (zh) * | 2020-05-06 | 2020-07-28 | 哈尔滨科友半导体产业装备与技术研究院有限公司 | 一种边缘便于识别的无损单晶片及其标记方法和专用砂轮 |
CN111727178A (zh) * | 2018-02-16 | 2020-09-29 | Agc株式会社 | 玻璃盖片和内嵌式液晶显示装置 |
Citations (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS60104644A (ja) * | 1983-11-08 | 1985-06-10 | Mitsubishi Metal Corp | ウエハ−の外周研削・面取装置 |
JPH08323598A (ja) * | 1995-06-05 | 1996-12-10 | Rohm Co Ltd | 板材の面取り方法およびその装置 |
JP2000042887A (ja) * | 1998-05-18 | 2000-02-15 | Tokyo Seimitsu Co Ltd | ウェーハ面取り方法 |
US6306015B1 (en) * | 2000-01-03 | 2001-10-23 | Machine And Wheels, Inc. | Method for grinding rigid materials |
JP2002160147A (ja) * | 2000-11-21 | 2002-06-04 | Asahi Glass Co Ltd | 板ガラスの端縁部研磨方法 |
JP2007030119A (ja) * | 2005-07-28 | 2007-02-08 | Tokyo Seimitsu Co Ltd | ウェーハ面取り装置及びウェーハ面取り方法 |
JP2012154053A (ja) * | 2011-01-25 | 2012-08-16 | Sakae Riken Kogyo Co Ltd | 車両用ドアハンドルの静電センサー |
WO2013031547A1 (ja) * | 2011-08-29 | 2013-03-07 | 旭硝子株式会社 | ガラス板、およびガラス板の製造方法 |
JP2014044501A (ja) * | 2012-08-24 | 2014-03-13 | Toppan Printing Co Ltd | オンセル型静電容量式タッチパネル基板の製造方法及び、オンセル型静電容量式タッチパネル基板、表示装置 |
-
2015
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Patent Citations (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS60104644A (ja) * | 1983-11-08 | 1985-06-10 | Mitsubishi Metal Corp | ウエハ−の外周研削・面取装置 |
JPH08323598A (ja) * | 1995-06-05 | 1996-12-10 | Rohm Co Ltd | 板材の面取り方法およびその装置 |
JP2000042887A (ja) * | 1998-05-18 | 2000-02-15 | Tokyo Seimitsu Co Ltd | ウェーハ面取り方法 |
US6306015B1 (en) * | 2000-01-03 | 2001-10-23 | Machine And Wheels, Inc. | Method for grinding rigid materials |
JP2002160147A (ja) * | 2000-11-21 | 2002-06-04 | Asahi Glass Co Ltd | 板ガラスの端縁部研磨方法 |
JP2007030119A (ja) * | 2005-07-28 | 2007-02-08 | Tokyo Seimitsu Co Ltd | ウェーハ面取り装置及びウェーハ面取り方法 |
JP2012154053A (ja) * | 2011-01-25 | 2012-08-16 | Sakae Riken Kogyo Co Ltd | 車両用ドアハンドルの静電センサー |
WO2013031547A1 (ja) * | 2011-08-29 | 2013-03-07 | 旭硝子株式会社 | ガラス板、およびガラス板の製造方法 |
JP2014044501A (ja) * | 2012-08-24 | 2014-03-13 | Toppan Printing Co Ltd | オンセル型静電容量式タッチパネル基板の製造方法及び、オンセル型静電容量式タッチパネル基板、表示装置 |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2018123420A1 (ja) * | 2016-12-27 | 2018-07-05 | 日本電気硝子株式会社 | ガラス板の端面加工方法、製造方法及びガラス板 |
CN111727178A (zh) * | 2018-02-16 | 2020-09-29 | Agc株式会社 | 玻璃盖片和内嵌式液晶显示装置 |
CN111727178B (zh) * | 2018-02-16 | 2023-08-22 | Agc株式会社 | 玻璃盖片和内嵌式液晶显示装置 |
CN111463111A (zh) * | 2020-05-06 | 2020-07-28 | 哈尔滨科友半导体产业装备与技术研究院有限公司 | 一种边缘便于识别的无损单晶片及其标记方法和专用砂轮 |
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