TW201805107A - 玻璃基板及玻璃基板的製造方法 - Google Patents

玻璃基板及玻璃基板的製造方法 Download PDF

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Abstract

本發明的課題是提供一種可在定位操作之時,有意義地抑制在端面上產生裂紋,或從端面產生玻璃屑之情形的玻璃基板。解決手段是一種玻璃基板,其具有連接2個表面的端面,該玻璃基板的特徵在於:前述端面的至少一部分上配置有平滑區域,該平滑區域具有比前述端面的其他區域更平滑的表面,將前述端面的前述其他區域稱為一般區域,將前述一般區域的算數平均粗糙度設為Ra(1),且將前述平滑區域的算數平均粗糙度設為Ra(2)時,Ra(2)/Ra(1)之比值為0.8以下。

Description

玻璃基板及玻璃基板的製造方法
發明領域 本發明是有關於一種玻璃基板及玻璃基板的製造方法。
發明背景 在加工玻璃基板時等玻璃基板的處理時,會有需要使玻璃基板固定在預定的位置及/或方向之情況。在進行該種玻璃基板的定位之情況下,可使用棒狀的金屬構件等定位治具。例如,使用構成為可滑動的複數個定位治具之情況下,可以用該種定位治具將玻璃基板夾入,來固定玻璃基板的位置。
發明概要 發明欲解決之課題 在藉由定位治具進行之玻璃基板的定位操作之時,可將玻璃基板的端面抵接於定位治具。因此,會經常確認到於玻璃基板的端面產生裂紋、從端面產生玻璃屑(cullet)(玻璃碎屑)、或在玻璃基板上附著有玻璃屑之情況。該種具有裂紋的玻璃基板會有品質上的問題。又,若玻璃基板上附著有玻璃屑時,在玻璃基板的搬送之時等,玻璃基板受到損傷的可能性會變高。
因此,所期望的是一種在定位操作時難以產生裂紋及玻璃屑的玻璃基板。
本發明是有鑒於這樣的背景而完成的發明,在本發明中,目的在於提供一種玻璃基板,其可在定位操作之時有意義地抑制在端面上產生裂紋、或從端面產生玻璃屑之情形。又,在本發明中,目的在於提供一種玻璃基板的製造方法,其可在定位操作之時有意義地抑制在端面上產生裂紋、或從端面產生玻璃屑之情形。 用以解決課題之手段
在本發明中可提供一種玻璃基板,其具有連接2個表面的端面,該玻璃基板的特徵在於:前述端面的至少一部分上配置有平滑區域,該平滑區域具有比前述端面的其他區域更平滑的表面,將前述端面的前述其他區域稱為一般區域,將前述一般區域的算術平均粗糙度設為Ra(1),且將前述平滑區域的算術平均粗糙度設為Ra(2)時,Ra(2)/Ra(1)之比值為0.8以下。
又,在本發明中可提供一種玻璃基板的製造方法,該玻璃基板的製造方法具有下述步驟: (1)準備玻璃素材的步驟,該玻璃素材具有第1及第2表面、以及連接兩表面的端面;及 (2)利用加工裝置,磨削及研磨前述玻璃素材的前述端面之步驟, 前述端面在前述玻璃素材的俯視視角下,是被目視確認作為從開始點S到結束點E的被加工面, 前述加工裝置具有第1磨削輪及第1研磨輪、以及第2磨削輪及第2研磨輪, 前述第1及第2磨削輪可藉由朝被稱為移動方向的從前述開始點S向前述結束點E的方向,沿著前述被加工面移動,以磨削前述玻璃素材的前述端面, 前述第1研磨輪可以藉由朝前述移動方向沿著前述被加工面移動,以研磨前述玻璃素材的前述端面之被前述第1磨削輪磨削過的區域,前述第2研磨輪可以藉由朝前述移動方向沿著前述被加工面移動,以研磨前述玻璃素材的前述端面之被前述第2磨削輪磨削過的區域, 在前述(2)的步驟中, (2-1)前述第1磨削輪是從被稱為第1磨削開始點M1 之除了前述被加工面的開始點S及結束點E以外的位置,沿著前述移動方向於前述被加工面移動, 藉此,在前述端面上會形成被稱為第1磨削區域的區域, (2-2)前述第1研磨輪是從被稱為第1研磨開始點P1 之前述第1磨削區域內的除了第1磨削開始點M1 以外的任意位置,沿著前述移動方向於前述被加工面移動, 藉此,在前述端面上會形成被稱為第1研磨區域的區域, (2-3)前述第2磨削輪是從被稱為第2磨削開始點M2 的位置,沿著前述移動方向於前述被加工面移動到被稱為第1移動完成點N1 的位置, 藉此,前述端面是從前述第2磨削開始點M2 至前述第1移動完成點N1 之被稱為第2磨削區域的區域會被磨削, 前述第2磨削開始點M2 是存在於前述開始點S至前述第1磨削開始點M1 之間, 且前述第1移動完成點N1 是: (i)存在於除了前述第1研磨開始點P1 以外的前述第1磨削開始點M1 至前述第1研磨開始點P1 之間、或者 (ii)存在於前述第1研磨開始點P1 至結束點E之間, (2-4)前述第2研磨輪是從被稱為第2研磨開始點P2 的位置,沿著前述移動方向於前述被加工面移動到被稱為第1研磨完成點Q1 的位置, 藉此,前述端面是從第2研磨開始點P2 至第1研磨完成點Q1 之被稱為第2研磨區域的區域會被研磨, 前述第2研磨開始點P2 是存在於前述第2磨削開始點M2 至前述第1磨削開始點M1 之間, 前述第1研磨完成點Q1 在前述(i)的情況下,是存在於除了前述第1研磨開始點P1 以外的前述第1研磨區域內;在前述(ii)的情況下,是存在於除了前述第1研磨開始點P1 至第1移動完成點N1 以外的前述第1研磨區域內, 在前述(i)的情況下,會在前述端面的從前述第1研磨開始點P1 至前述第1研磨完成點Q1 之間,形成已利用前述第1及第2研磨輪研磨的(第1)重複研磨區域, 在前述(ii)的情況下,會在前述端面的從前述第1移動完成點N1 至前述第1研磨完成點Q1 之間,形成已利用前述第1及第2研磨輪研磨的(第1)重複研磨區域。 發明效果
在本發明中,可以提供一種玻璃基板,其可在定位操作之時有意義地抑制在端面上產生裂紋、或從端面產生玻璃屑之情形。又,在本發明中,可以提供一種玻璃基板的製造方法,其可在定位操作之時有意義地抑制在端面上產生裂紋、或從端面產生玻璃屑之情形。
用以實施發明之形態 以下,參照圖式來說明本發明的一個實施形態。
(本發明的一實施形態之玻璃基板) 參照圖1及圖2來說明本發明的一實施形態之玻璃基板的構成。在圖1中所示為本發明的一實施形態之玻璃基板(以下簡稱為「第1玻璃基板」)的概要之立體圖。
如圖1所示,第1玻璃基板110具有相互地相向的第1表面112及第2表面114、以及連接兩表面的4個端面116A~116D。
再者,在圖1的例子中,第1玻璃基板110大致為矩形形狀,因此具有4個端面116A~116D。但是,這僅是一個例子,第1玻璃基板110為任何的形狀均可,其結果,端面的數量為任何數值均可。例如,當第1玻璃基板110大致為圓盤狀的情況下,端面的數量即為一個。又,當第1玻璃基板110大致為三角形的情況下,端面的數量即為三個。第1玻璃基板110為五角形或為其以上之多角形的形狀的情況下,也是同樣地設想。
在此,第1玻璃基板110具有下述特徵:在至少一個端面上具有「平滑區域」。在此,所謂的「平滑區域」是指:在成為對象的端面上,和其他的區域相比之下,算術平均粗糙度Ra較小的區域。再者,在成為對象的端面上,是將「平滑區域」以外的區域稱為「一般區域」。
以下,以第1玻璃基板110的第1端面116A具有該種「平滑區域」的情況為例,來說明本發明的效果。
在圖2中,示意地顯示具有「平滑區域」的第1端面116A之形態。
如圖2所示,第1端面116A的表面被區分為一般區域120與平滑區域122。平滑區域122是被一般區域120包夾而存在於第1端面116A的大致中央。
但是,這只是一個例子,平滑區域122的存在位置並沒有特別限定。又,平滑區域122的數量也沒有特別限定。例如,平滑區域122亦可在第1端面116A存在2處以上。平滑區域122的設置位置及數量是藉由與第1玻璃基板110的定位處理之時所抵接的定位治具的關係而決定。
又,在圖2中,一般區域120與平滑區域122的分界是以虛線誇張顯示。然而,必須注意的是,在一般的情況下,很難從外觀來判斷一般區域120及平滑區域122、還有兩者的分界。
在此,如前述,平滑區域122和一般區域120相較之下,具有較小的算術平均粗糙度Ra。特別是,在第1玻璃基板110中會具有下述特徵:將一般區域120中的算術平均粗糙度設為Ra(1),並將平滑區域122中的算術平均粗糙度設為Ra(2)時,滿足: Ra(2)/Ra(1)≦0.8 式(1)。
如前述,在藉由定位治具進行之玻璃基板的定位操作之時,可將玻璃基板的端面抵接於定位治具。並且,此時有時會於玻璃基板的端面產生裂紋、或從端面產生玻璃屑(玻璃碎屑)。
相對於此,在第1玻璃基板110中,是將平滑區域122配置在端面之至少會與定位治具抵接的位置上。又,平滑區域122與一般區域120的算術平均粗糙度之間,具有前述的式(1)之關係。這種凹凸較少的平滑區域122,對於定位治具之類的構件的抵接,會顯示比一般區域120更佳的強度。
因此,在第1玻璃基板110中,定位治具與第1端面116A的平滑區域122相抵接,相較於定位治具抵接於一般區域120,也可以更有意義地抑制在第1端面116A產生裂紋、或從該處產生玻璃屑的情況。又,由於定位治具與凹凸較少的平滑區域122相抵接,因此也變得有意義地抑制定位構件的磨耗及揚塵。
(一般區域120及平滑區域122) 接著,更詳細地說明端面的一般區域120及平滑區域122。
如前述,平滑區域122中的算術平均粗糙度Ra(2)與一般區域120中的算術平均粗糙度Ra(1)之比值Ra(2)/Ra(1)是設為0.8以下。此比值Ra(2)/Ra(1)較佳是0.7以下。
又,平滑區域122的算術平均粗糙度Ra(2)較佳是0.12μm以下,更佳是0.08μm以下。
另一方面,一般區域120,亦即第1端面116A之除了平滑區域122以外的區域之算術平均粗糙度Ra(1)宜為例如0.2μm以下。
又,第1端面116A的平滑區域122之全長Ls 較佳是1mm以上、且30mm以下。若平滑區域122的全長Ls 為1mm以上時,會變得容易使定位治具正確地接觸於平滑區域122。又,若平滑區域122的全長Ls 為30mm以下時,從第1玻璃基板110的生產性之觀點來看會較佳。平滑區域122之全長Ls 更佳是3mm以上、10mm以下。
在此,平滑區域122的「全長(Ls )」是制定如下。
將成為對象之端面的第1長度設為L1 ,且將第2長度設為L2 。在此,L1 ≧L2 。例如,在圖2所示之第1端面116A的情況下,X方向的尺寸為長度L1 ,Z方向(厚度方向)的尺寸為長度L2 。在此情況下,如圖2所示,平滑區域122的全長Ls 是以沿著第1長度L1 的方向之平滑區域122的寬度來規定。
再者,在玻璃基板為大致圓盤狀,而只存在一個曲面狀的端面之情況下,該種端面的第1長度L1 即為周邊的長度,且第2長度L2 是相當於玻璃基板的厚度。因此,平滑區域的全長Ls 會成為沿著周邊之平滑區域的長度。
如前述,第1端面116A中的平滑區域122之設置位置及設置數量,並沒有特別限定。例如,在第1端面116A上,亦可將平滑區域122以2個以上等間隔地或以非等間隔的方式來配置。
又,在前述的例子中,是將平滑區域122配置在第1玻璃基板110的第1端面116A。但是,亦可將平滑區域122配置在第1玻璃基板110的任意的端面上。
例如,亦可將平滑區域122配置在第2端面116B~第4端面116D的任意一個端面上,亦可配置在第1端面116A及第2端面116B等2個端面上,亦可配置在第1端面116A~第3端面116C等3個端面上,亦可配置在第1端面116A~第4端面116D之全部端面上。又,此時,在各端面116A~116D上,平滑區域122的設置位置及設置數量也可以是相互不同的。
(本發明的一實施形態之玻璃基板的製造方法) 接著,參照圖3~圖7來說明本發明的一實施形態之玻璃基板的製造方法之一例。
於圖3中所示意地顯示的是,本發明的一個實施形態之玻璃基板的製造方法(以下,簡稱為「第1製造方法」)之流程。又,在圖4~圖7中是示意地顯示第1製造方法中的一步驟的情形。
如圖3所示,第1製造方法具有下述步驟:(1)準備玻璃素材的步驟(步驟S110),該玻璃素材具有第1及第2表面、以及連接兩表面的端面、及(2)利用加工裝置,磨削及研磨前述玻璃素材的前述端面之步驟(步驟S120)。
以下,參照圖4~圖7來詳細地說明各步驟。
(步驟S110) 首先,準備玻璃素材。如圖4所示,玻璃素材250具有第1表面252及第2表面254、以及連接兩表面的4個端面256A~256D。
以下,為了簡化說明,從玻璃素材250的俯視視角,將第1表面252之與4個端面256A~256D對應的邊分別稱為第1邊260A、第2邊260B、第3邊260C及第4邊260D。
玻璃素材250的尺寸並沒有特別限定。例如,在製造液晶顯示器用的玻璃基板之情況下,玻璃素材250也可以具有例如縱邊(第1邊260A及第3邊260C的長度)1800mm~3200mm×橫邊(第2邊260B及第4邊260D的長度)1500mm~2900mm×厚度0.10mm~0.70mm的尺寸。
(步驟S120) 接著,利用加工裝置,將玻璃素材250的端面磨削及研磨處理(以下,也將這些統稱為「加工處理」)。
再者,玻璃素材250之被加工處理的端面,並沒有特別限定。例如,在4個端面256A~256D當中,也可以只將一個端面加工處理。或者,在4個端面256A~256D當中,也可以將2個以上的端面、例如全部的端面,都加工處理。
在此,作為一例,是以將玻璃素材250的第1端面256A加工處理的情況為例來說明。
(加工裝置) 又,於圖5中示意地顯示能夠在第1製造方法中使用的加工裝置之構成。
如圖5所示,加工裝置300具備工作台302、第1及第2磨削輪380A、382A、第1及第2研磨輪385B、387B。
工作台302是為了在上部設置玻璃素材250而使用。又,第1及第2磨削輪380A、382A、與第1及第2研磨輪385B、387B都是為了對玻璃素材250的第1端面256A加工而使用。
第1磨削輪380A可以磨削玻璃素材250的第1端面256A,而第1研磨輪385B可以研磨玻璃素材250的第1端面256A。同樣地,第2磨削輪382A可以磨削玻璃素材250的第1端面256A,而第2研磨輪387B可以研磨玻璃素材250的第1端面256A。
第1磨削輪380A與第1研磨輪385B是成為一組,且第1研磨輪385B可以追隨在第1磨削輪380A的磨削行程之後。同樣地,第2磨削輪382A與第2研磨輪387B是成為一組,且第2研磨輪387B可以追隨在第2磨削輪382A的磨削行程之後。
第1磨削輪380A是由難以發生彈性變形,且磨削力高的磨石所構成。作為該種磨石,可以例示例如以難以發生彈性變形的金屬結合劑來將鑽石或CBN的磨粒固定而成之金屬結合劑磨石。同樣地,也可以例示具有鑽石磨粒的電鍍磨石。
關於第2磨削輪382A也是同樣。
另一方面,第1研磨輪385B是由具有彈性且適合於研磨的磨石所構成。作為該種磨石,可以例示例如以容易發生彈性變形的樹脂、或丁基橡膠、天然橡膠等結合劑,來將鑽石、CBN、綠碳化矽(GC)、氧化鋁(Al2 O3 )、浮石、或石榴石等磨粒固定而成之磨石。
關於第2研磨輪387B也是同樣。
再者,在本申請中,所謂「磨削」,其目的是將基板削成預定的尺寸、預定的截面形狀,而所謂「研磨」,其目的是去除磨削所產生的破裂(chipping)、裂紋(crack)等,並且使磨削面的粗糙度降低。
(具體的加工步驟) 在步驟S120中,是將玻璃素材250設置在加工裝置300中,且將玻璃素材250加工處理。
首先,如圖6所示,將玻璃素材250設成第1邊260A與第1及第2磨削輪380A、382A相面對來設置在加工裝置300的工作台302上。再者,亦可將玻璃素材250吸附固定於工作台302。
接著,將加工裝置300的第1磨削輪380A及第1研磨輪385B以預定旋轉數進行旋轉。又,將加工裝置300的第2磨削輪382A及第2研磨輪387B以預定旋轉數進行旋轉。
接著,如圖6所示,第1磨削輪380A一邊接觸於玻璃素材250的第1端面256A,一邊沿著第1邊(被加工面)260A朝箭頭A1 的方向移動。以下,將此箭頭A1 的方向稱為「移動方向」。藉由第1磨削輪380A的移動,以磨削玻璃素材250的第1端面256A。
又,由第1磨削輪380A進行之第1端面256A的磨削開始過片刻時間後,使第1研磨輪385B一邊接觸於玻璃素材250的第1端面256A,一邊沿著第1邊260A朝箭頭A2 的方向移動。箭頭A2 是和箭頭A1 相同的方向(圖6中的X方向),亦即是「移動方向」。
藉由第1研磨輪385B的移動,可研磨玻璃素材250的第1端面256A之以第1磨削輪380A磨削過的區域。
又,與由第1磨削輪380A進行之第1端面256A的磨削幾乎同時地、或者是經過該片刻時間後,使第2磨削輪382A一邊接觸於玻璃素材250的第1端面256A,一邊沿著第1邊260A朝箭頭A3 的方向移動。箭頭A3 是和箭頭A1 相同的方向(圖6中的X方向),亦即是「移動方向」。藉由第2磨削輪382A的移動,以磨削玻璃素材250的第1端面256A。
又,由第2磨削輪382A進行之第1端面256A的磨削開始過片刻時間後,使第2研磨輪387B一邊接觸於玻璃素材250的第1端面256A,一邊沿著第1邊260A朝箭頭A4 的方向移動。箭頭A4 是和箭頭A1 相同的方向(圖6中的X方向),亦即是「移動方向」。
藉由第2研磨輪387B的移動,可研磨玻璃素材250的第1端面256A之以第2磨削輪382A磨削過的區域。
在此,是將第1磨削輪380A操作成從玻璃素材250的第1邊260A之中途部分、例如大致中央部分,開始進行磨削。並且,持續磨削至第1邊260A的結束點E為止。
又,將第1研磨輪385B操作成從第1邊260A之由第1磨削輪380A進行的磨削已經完成之任意位置開始進行研磨。並且,持續研磨至第1邊260A的結束點E為止。
另一方面,將第2磨削輪382A操作成從玻璃素材250的第1邊260A之開始點S開始進行磨削。並且,在沿著移動方向進行到第1邊260A的中途之時間點上,停止磨削。
藉由此第2磨削輪382A進行之磨削停止的位置,只要是第1邊260A之已經藉由第1磨削輪380A磨削過的區域之任意的位置即可。但是,藉由第2磨削輪382A進行之磨削停止之位置,宜在已經藉由第1磨削輪380A磨削過的區域當中,並未進行藉由第1研磨輪385B進行之研磨的區域之任意的位置上。在此情況下,可以避免已藉由第1研磨輪385B研磨過的區域又被第2磨削輪382A磨削之情形。
又,將第2研磨輪387B操作成從玻璃素材250的第1邊260A之開始點S開始進行研磨。並且,持續研磨至已完成由第1研磨輪385B進行之研磨的任意的位置為止。
但是,當由前述之第2磨削輪382A進行之磨削的停止位置超過由第1研磨輪385B進行之研磨的開始位置之情況下,第2研磨輪387B會持續研磨至超過由此第2磨削輪382A進行之磨削的停止位置之位置為止。
藉此,可完成玻璃素材250的第1邊260A整體之磨削及研磨處理,而製造已將玻璃素材250的第1端面256A加工的玻璃基板。
在這樣的第1製造方法中,會在玻璃素材250的第1端面256A內產生藉由第1研磨輪385B與第2研磨輪387B雙方研磨過的區域(以下,稱為「重複研磨區域」)。在該種重複研磨區域中,藉由2次的研磨,可得到和第1端面256A的其他區域相比更平滑的表面。再者,較理想的是,第1研磨輪385B及第2研磨輪387B對重複研磨區域進行研磨處理時,相較於對其他區域進行研磨處理時更降低研磨輪的移動速度或降低旋轉數,藉此可易於得到平滑的表面。
如前述,凹凸少的平滑表面,對於定位治具之類的構件的抵接,會具有較佳的強度。因此,在以第1製造方法所製造的玻璃基板中,將端面的該種重複研磨區域作為與定位治具之類的構件的抵接場所來利用,藉此變得可有意義地抑制在端面產生裂紋、或從該處產生玻璃屑的情況。
(重複研磨區域的形成步驟) 在此,參照圖7更詳細地說明形成上述重複研磨區域的步驟。
在圖7中,是示意地顯示第1磨削輪380A、第1研磨輪385B、第2磨削輪382A及第2研磨輪387B的各自的移動軌跡。在圖7(a)中,所顯示的是第1磨削輪380A的示意的移動軌跡F1 ,在圖7(b)中,所顯示的是第1研磨輪385B的示意的移動軌跡F2 。在圖7(c)中,所顯示的是第2磨削輪382A的示意的移動軌跡F3 。又,在圖7(d)中,所顯示的是第2研磨輪387B的示意的移動軌跡F4
又,在圖7中,第1磨削輪380A、第1研磨輪385B、第2磨削輪382A及第2研磨輪387B是沿著X方向(移動方向)移動,藉此,將玻璃素材250的第1端面256A朝Y方向磨削、研磨(亦即進行厚度減薄)。
因此,在圖7中,在相對比較2個位置的情況下,將位於X值變得更大的方向(右側)之位置稱為「(位於)前方」,且相反地將位於X值變得更小的方向(左側)之位置稱為「(位於)後方」。又,停止移動是指將在接觸於玻璃素材250的狀態下之移動停止,且容許往遠離玻璃素材250的方向之移動。
如圖7所示,玻璃素材250的第1邊260A是從開始點S延伸到結束點E。
如圖7(a)所示,第1磨削輪380A是在第1邊260A的中途、亦即在第1磨削開始點M1 與第1端面256A接觸,且從此處開始進行第1端面256A的磨削。並且,第1磨削輪380A會沿著移動方向,持續磨削至第1邊260A的結束點E為止。
其結果,對應於玻璃素材250的第1邊260A之第1端面256A是從第1磨削開始點M1 至結束點E的區域會被磨削。以下,將此區域稱為「第1磨削區域(491)」。
在第1磨削區域491中,由第1磨削輪380A進行之第1端面256A的磨削量(Y方向的厚度減薄量)是在例如0.05mm~0.50mm的範圍。
另一方面,如圖7(b)所示,第1研磨輪385B是在第1邊260A的中途,亦即在第1研磨開始點P1 與第1端面256A接觸,且從此處開始進行第1端面256A的研磨。並且,第1研磨輪385B會沿著移動方向,持續研磨至第1邊260A的結束點E為止。
其結果,玻璃素材250的第1端面256A是從第1研磨開始點P1 至結束點E的區域會被研磨。以下,將此區域稱為「第1研磨區域(492)」。
在此,第1研磨開始點P1 只要是在除了第1磨削開始點M1 及結束點E以外的第1磨削區域491的範圍內,在任意的位置皆可。
在第1研磨區域492中,由第1研磨輪385B進行之第1端面256A的研磨量是在例如1μm~30μm的範圍。
又,如圖7(c)所示,第2磨削輪382A是在第1邊260A的開始點S接觸於第1端面256A,且從此處沿著移動方向移動至第1邊260A的第1移動完成點N1 。並且,第2磨削輪382A會在到達第1移動完成點N1 的時間點上停止移動。
第1移動完成點N1 可以是位於第1磨削開始點M1 及比其更前方的任意的位置。特別是比第1磨削開始點M1 更前方為較佳。但是,如圖7(c)所示,較理想的是將第1移動完成點N1 設定在第1磨削開始點M1 ~第1研磨開始點P1 之間的區域中。
藉此,藉由第2磨削輪382A,玻璃素材250的第1邊260A是從開始點S至第1移動完成點N1 的區域會被磨削。以下,將此區域稱為「第2磨削區域(493)」。
在第2磨削區域493中,由第2磨削輪382A進行之第1端面256A的磨削量(Y方向的厚度減薄量)是設為實質上與由第1磨削輪380A進行之第1磨削區域491中的磨削量相等。
但是,通常第1磨削開始點M1 ~第1移動完成點N1 的區域中之磨削量並不會成為其他區域中的磨削量之2倍。這是因為如前述,第2磨削輪382A是由難以發生變形的磨石所構成。也就是說,在第1磨削開始點M1 ~第1移動完成點N1 的區域中,已經藉由第1磨削輪380A將第1端面256A朝Y方向進行厚度減薄。因此,即使以難以發生變形的構件所構成的第2磨削輪382通過此區域,要再次進行與第1磨削輪380A同量的磨削會變得困難。在通常的情況下,第2磨削輪382通過後的第1磨削開始點M1 ~第1移動完成點N1 之區域中的磨削量,只是比其他區域的磨削量稍微增加的程度。
又,如圖7(d)所示,第2研磨輪387B是在第1邊260A的開始點S接觸於第1端面256A,且從此處沿著移動方向移動至第1研磨完成點Q1 。並且,第2研磨輪387B會在到達第1研磨完成點Q1 的時間點上停止移動。
其結果,藉由第2研磨輪387B,玻璃素材250的第1邊260A是從開始點S至第1研磨完成點Q1 的區域會被研磨。以下,將此區域稱為「第2研磨區域(494)」。
在此,如圖7(c)所示,在將第1移動完成點N1 設定在第1磨削開始點M1 ~第1研磨開始點P1 之間的區域之情況下,第1研磨完成點Q1 只要是在除了第1研磨開始點P1 以外的第1研磨區域492的範圍內,在任意的位置皆可。
另一方面,在第1移動完成點N1 位於比第1研磨開始點P1 更前方的情況下,第1研磨完成點Q1 是設定在比第1移動完成點N1 更前方的位置。
在第2研磨區域494中,由第2研磨輪387B進行之第1端面256A的研磨量是設為實質上與由第1研磨輪385B進行之第1研磨區域492中的研磨量相等。
以上之步驟的結果,在將第1移動完成點N1 設定在第1磨削開始點M1 ~第1研磨開始點P1 之間的區域之情況下,如圖7(d)所示,在第2研磨區域494當中,與第1研磨區域492重複的區域、亦即在第1研磨開始點P1 ~第1研磨完成點Q1 的區域中,會變得實施由第1研磨輪385B及第2研磨輪387B進行之2次的研磨處理。因此,可在此形成重複研磨區域495。
另一方面,在第1移動完成點N1 位於比第1研磨開始點P1 更前方的情況下,是在第1移動完成點N1 ~第1研磨完成點Q1 的區域中形成重複研磨區域495。
如前述,在重複研磨區域495中,可得到比第1端面256A的其他區域更平滑的表面。
例如,將第1端面256A的其他區域中的算術平均粗糙度設為Ra(3),且將重複研磨區域495中的算術平均粗糙度設為Ra(4)時,亦可得到: Ra(4)/Ra(3)≦0.8 式(2)。
(追加的步驟) 藉由以上的步驟S110~步驟S120,即可以由玻璃素材250製造出在第1端面256A具有重複研磨區域495的玻璃基板。
但是,第1製造方法也可以因應需要而以追加方式實施以下之至少一個步驟。 (a)玻璃素材250的第2端面256B之加工步驟、 (b)玻璃素材250的第3端面256C之加工步驟、及 (c)玻璃素材250的第4端面256D之加工步驟。
其中,在實施(a)的加工步驟之時,只要在前述之圖5及圖6所示之加工裝置300中,使玻璃素材250朝逆時針方向旋轉90゚即可。藉由在該種狀態下實施前述的步驟,即可以在第2端面256B形成重複研磨區域。
又,在實施(b)的加工步驟之時,只要在前述圖5及圖6所示之加工裝置300中,使玻璃素材250朝(逆/順)時針方向旋轉180゚即可。藉由在該種狀態下實施前述的步驟,即可以在第3端面256C形成重複研磨區域。
或者,也可以在加工裝置300中設置與第1磨削輪380A及第1研磨輪385B、以及第2磨削輪382A及第2研磨輪387B同樣的加工機構(例如,第3磨削輪與第3研磨輪的組合、以及第4磨削輪與第4研磨輪的組合)。這些是配置為面對於玻璃素材250的第3邊260C。
加工裝置300具有該種構成的情況下,變得可一次對玻璃素材250的第1端面256A及第3端面256C進行加工。因此,可提升加工速度。
又,在實施(c)的加工步驟之時,只要在前述的圖6及圖7所示之加工裝置300中,使玻璃素材250朝順時針方向旋轉90゚即可。藉由在該種狀態下實施前述的步驟,即可以在第4端面256D形成重複研磨區域。
此外,在(a)及(c)的加工步驟中,於加工裝置300具有前述第3磨削輪及第3研磨輪、以及第4磨削輪及第4研磨輪的情況下,只要使玻璃素材250朝順時針方向或逆時針方向旋轉90゚即可。
在此情況下,變得可一次對玻璃素材250的第2端面256B及第4端面256D進行加工。因此,可提升加工速度。
以上,針對利用加工裝置300之第1製造方法進行了說明。但是,上述說明只是一個例子,且在第1製造方法中可作各種變更。
例如,在前述之圖7(a)所示的步驟中,第1磨削輪380A是沿著邊260A從第1磨削開始點M1 移動到邊260A的結束點E。其結果,可在第1磨削開始點M1 ~結束點E的區域中形成第1磨削區域491。
但是,第1磨削輪380A也可以在第1磨削開始點M1 ~結束點E之間的任意的位置上停止第1端面256A的磨削。
又,在圖7(c)所示的步驟中,第2磨削輪382A是沿著邊260A從開始點S移動到第1移動完成點N1 。其結果,可在開始點S~第1移動完成點N1 之間形成第2磨削區域493。
然而,第2磨削輪382A也可以從開始點S~第1磨削開始點M1 之間的任意的位置(但是第1磨削開始點M1 會除外)開始進行第1端面256A的磨削。
同樣地,在前述之圖7(b)所示的步驟中,第1研磨輪385B是沿著邊260A,從第1研磨開始點P1 移動到邊260A的結束點E。其結果,可在第1研磨開始點P1 ~結束點E的區域中形成第1研磨區域492。
然而,第1研磨輪385B也可以在第1研磨開始點P1~結束點E之間的任意的位置上停止第1端面256A的研磨。
同樣地,在前述之圖7(d)所示的步驟中,第2研磨輪387B是沿著邊260A從開始點S移動到第1研磨完成點Q1 。其結果,可在開始點S~第1研磨完成點Q1 的區域中形成第2研磨區域494。
然而,第2研磨輪387B也可以從開始點S~第1研磨開始點P1 的範圍之任意的位置(但是第1研磨開始點P1 會除外)開始進行第1端面256A的研磨。又,第2研磨輪387B只要是移動到比第1移動完成點N1 更前方處且在第1研磨區域492的範圍內,則到任意的位置均可。
又,只要不使第2磨削輪超過第1磨削輪,由第2磨削輪382A進行之磨削(第2磨削)在任何的時間點上開始進行均可。同樣地,只要不使第2研磨輪超過第1研磨輪,由第2研磨輪387B進行之研磨(第2研磨)在任何的時間點上開始進行均可。較理想的是,例如,第2磨削的開始是和由第1磨削輪380A進行之磨削(第1磨削)同時、或者是在實施中等完成前。同樣地,較理想的是,第2研磨的開始是和由第1研磨輪385B進行之研磨(第1研磨)同時、或者是在實施中等完成前。此外,較理想的是,由第2磨削輪382A進行之第2磨削是在由第1研磨輪385B進行之第1研磨的開始前、同時、或實施中等完成前。
也就是說,雖然亦可在圖7(a)與(c)所示的步驟完成後,實施圖7(b)與(d)所示的步驟,但從生產性的觀點來看,較理想的是,圖7(a)與(c)的步驟同時或在接近於同時的時間點開始,且在圖7(a)與(c)的步驟完成前,開始圖7(b)與(d)的步驟。
又,也可以將一個磨削輪與2個研磨輪設為一組,並以第1研磨輪研磨經磨削輪磨削過的區域,且以重複進行的方式藉第2研磨輪來實施研磨已利用第1研磨輪研磨的區域之至少一部分。
又,也可以在第1研磨開始點P1 ~第1研磨完成點Q1 之間,實施第2次的研磨步驟。
本發明所屬技術領域中具有通常知識者應當可以輕易地理解,除此之外還可作其他各種變更。
(本發明之另外的實施形態之玻璃基板的製造方法) 接著,說明本發明之另外的實施形態之玻璃基板的製造方法(以下稱為「第2製造方法」)。
在前述之第1製造方法中,是在玻璃素材250的至少一個端面(例如第1端面256A)上形成一個重複研磨區域495。相對於此,在第2製造方法中,是在玻璃素材的一個端面上形成複數個重複研磨區域。
以下,參照圖8~圖11來說明第2製造方法。
在圖8中,示意地顯示第2製造方法的流程。又,在圖9~圖11中是示意地顯示第2製造方法中的一步驟的情形。
如圖8所示,第2製造方法具有下述步驟: (1)準備玻璃素材的步驟(步驟S210),該玻璃素材具有第1及第2表面、以及連接兩表面的端面;及 (2)利用第2加工裝置,磨削及研磨前述玻璃素材的前述端面之步驟(步驟S220)。
以下,參照圖9~圖11來詳細地說明各步驟。
(步驟S210) 此步驟S210與前述之第1製造方法中的步驟S110是同樣的。因此,省略此步驟的詳細內容。再者,在以下的說明中,為了明確化,在表示玻璃素材的各部分時,是使用圖4所示之參照符號。
(步驟S220) 接著,利用第2加工裝置對玻璃素材250的端面加工處理。在此,作為一例,是以將玻璃素材250的第1端面256A加工處理的情況為例來說明。
(第2加工裝置) 在圖9中,示意地顯示可以使用於第2製造方法的第2加工裝置之構成。
如圖9所示,第2加工裝置500具備工作台502、第1~第3磨削輪580A~584A、第1~第3研磨輪585B~589B。
其中,工作台502、第1及第2磨削輪580A、582A、以及第1及第2研磨輪585B、587B的構成及功能,與前述之加工裝置300是同樣的。因此,在此省略詳細說明。
第3磨削輪584A可以磨削玻璃素材250的第1端面256A。又,第3研磨輪589B可以研磨玻璃素材250的第1端面256A。
第1磨削輪580A與第1研磨輪585B是成為一組,且第1研磨輪585B可以追隨在第1磨削輪580A的磨削行程之後。同樣地,第2磨削輪582A與第2研磨輪587B是成為一組,且第2研磨輪587B可以追隨在第2磨削輪582A的磨削行程之後。再者,第3磨削輪584A與第3研磨輪589B是成為一組,且第3研磨輪589B可以追隨在第3磨削輪584A的磨削行程之後。
第3磨削輪584A是由難以發生彈性變形,且磨削力高的磨石所構成。另一方面,第3研磨輪589B是由具有彈性且適合於研磨的磨石所構成。
藉由第2加工裝置500來加工玻璃素材250的第1端面256A之時,如圖10所示,是將玻璃素材250設置在第2加工裝置500的工作台502上。此時,是將玻璃素材250設成第1邊260A與第1~第3磨削輪580A~584A相面對來設置在工作台302上。
接著,將第2加工裝置500的第1磨削輪580A及第1研磨輪585B以預定旋轉數進行旋轉。又,將第2磨削輪582A及第2研磨輪587B以預定旋轉數進行旋轉。此外,將第3磨削輪584A及第3研磨輪589B以預定旋轉數進行旋轉。
接著,如圖10所示,第1磨削輪580A一邊接觸於玻璃素材250的第1端面256A,一邊沿著第1邊(被加工面)260A朝箭頭A1 的方向移動。以下,將此箭頭A1 的方向稱為「移動方向」。藉由第1磨削輪580A的移動,以磨削玻璃素材250的第1端面256A。
又,由第1磨削輪580A進行之第1端面256A的磨削開始過片刻時間後,使第1研磨輪585B一邊接觸於玻璃素材250的第1端面256A,一邊沿著第1邊260A朝箭頭A2 的方向移動。在此,箭頭A2 是和箭頭A1 相同的方向,也就是「移動方向」。
藉由第1研磨輪585B的移動,可研磨玻璃素材250的第1端面256A之以第1磨削輪580A磨削過的區域。
又,與由第1磨削輪580A進行之第1端面256A的磨削幾乎同時地、或者是過片刻時間後,使第2磨削輪582A一邊接觸於玻璃素材250的第1端面256A,一邊沿著第1邊260A朝箭頭A3 的方向移動。箭頭A3 是和箭頭A1 相同的方向(圖6中的X方向),亦即是「移動方向」。藉由第2磨削輪382A的移動,以磨削玻璃素材250的第1端面256A。
又,由第2磨削輪582A進行之第1端面256A的磨削開始過片刻時間後,使第2研磨輪587B一邊接觸於玻璃素材250的第1端面256A,一邊沿著第1邊260A朝箭頭A4 的方向移動。箭頭A4 是和箭頭A1 相同的方向(圖6中的X方向),亦即是「移動方向」。
藉由第2研磨輪587B的移動,可研磨玻璃素材250的第1端面256A之以第2磨削輪582A磨削過的區域。
又,與由第2磨削輪582A進行之第1端面256A的磨削幾乎同時地、或者是過片刻時間後,使第3磨削輪584A一邊接觸於玻璃素材250的第1端面256A,一邊沿著第1邊260A朝箭頭A5 的方向移動。箭頭A5 是和箭頭A1 相同的方向(圖6中的X方向),亦即是「移動方向」。藉由第3磨削輪584A的移動,以磨削玻璃素材250的第1端面256A。
又,由第3磨削輪584A進行之第1端面256A的磨削開始過片刻時間後,使第3研磨輪589B一邊接觸於玻璃素材250的第1端面256A,一邊沿著第1邊260A朝箭頭A6 的方向移動。箭頭A6 是和箭頭A1 相同的方向(圖6中的X方向),亦即是「移動方向」。
藉由第3研磨輪589B的移動,可研磨玻璃素材250的第1端面256A之以第3磨削輪584A磨削過的區域。
藉此,可完成玻璃素材250的第1邊260A整體之磨削及研磨處理,而製造已將玻璃素材250的第1端面256A加工的玻璃基板。
在圖11中,示意地顯示第1磨削輪580A、第1研磨輪585B、第2磨削輪582A、第2研磨輪587B、第3磨削輪584A及第3研磨輪589B的各自的移動軌跡。
在圖11(a)中,所顯示的是第1磨削輪580A的示意的移動軌跡F1 ,在圖11(b)中,所顯示的是第1研磨輪585B的示意的移動軌跡F2 ,在圖11(c)中,所顯示的是第2磨削輪582A的示意的移動軌跡F3 ,在圖11(d)中,所顯示的是第2研磨輪587B的示意的移動軌跡F4 ,在圖11(e)中,所顯示的是第3磨削輪584A的示意的移動軌跡F5 ,在圖11(f)中,所顯示的是第3研磨輪589B的示意的移動軌跡F6
在圖11中,第1磨削輪580A及第1研磨輪585B、第2磨削輪582A及第2研磨輪587B、以及第3磨削輪584A及第3研磨輪589B,都是沿著X方向(移動方向)移動,藉此,將玻璃素材250的第1端面260A朝Y方向磨削、研磨(亦即進行厚度減薄)。
如圖11(a)所示,第1磨削輪580A是在第1邊260A的中途、亦即在第1磨削開始點M1 與第1端面256A接觸,且從此處開始進行第1端面256A的磨削。並且,第1磨削輪380A會沿著移動方向,持續磨削至第1邊260A的結束點E為止。
其結果,對應於玻璃素材250的第1邊260A之第1端面256A是從第1磨削開始點M1 至結束點E的區域會被磨削。以下,將此區域稱為「第1磨削區域(691)」。
另一方面,如圖11(b)所示,第1研磨輪585B是在第1邊260A的中途,亦即在第1研磨開始點P1 與第1端面256A接觸,且從此處開始進行第1端面256A的研磨。並且,第1研磨輪585B會沿著移動方向,持續研磨至第1邊260A的結束點E為止。
其結果,玻璃素材250的第1端面256A是從第1研磨開始點P1 至結束點E的區域會被研磨。以下,將此區域稱為「第1研磨區域(692)」。
在此,第1研磨開始點P1 只要是在除了第1磨削開始點M1 及結束點E以外的第1磨削區域691的範圍內,在任意的位置皆可。
又,如圖11(c)所示,第2磨削輪582A是在第1邊260A的中途,亦即在第2磨削開始點M2 與第1端面256A接觸,且從此處沿著移動方向移動至第1邊260A的中途、亦即第1移動完成點N1 。並且,第2磨削輪582A會在到達第1移動完成點N1 的時間點上停止移動。
在此,第2磨削開始點M2 只要是在除了邊260A的開始點S及第1磨削開始點M1 以外的開始點S~第1磨削開始點M1 的範圍內,在任意的位置皆可。又,第1移動完成點N1 可以是第1磨削開始點M1 及比其更前方的任意的位置。特別是比第1磨削開始點M1 更前方為較佳。但是,如圖11(c)所示,較理想的是將第1移動完成點N1 設定在第1磨削開始點M1 ~第1研磨開始點P1 之間的區域中。
藉此,藉由第2磨削輪582A,玻璃素材250的第1邊260A是從第2磨削開始點M2 至第1移動完成點N1 的區域會被磨削。以下,將此區域稱為「第2磨削區域(693)」。
又,如圖11(d)所示,第2研磨輪587B是在第1邊260A的中途,亦即在第2研磨開始點P2 與第1端面256A接觸,且從此處沿著移動方向移動至第1邊260A的中途、亦即第1研磨完成點Q1 。並且,第2研磨輪587B會在到達第1研磨完成點Q1 的時間點上停止移動。
其結果,藉由第2研磨輪587B,玻璃素材250的第1邊260A是從第2研磨開始點P2 至第1研磨完成點Q1 的區域會被研磨。以下,將此區域稱為「第2研磨區域(694)」。
第2研磨開始點P2 只要是在除了第2磨削開始點M2 及第1磨削開始點M1 以外的第2磨削開始點M2 ~第1磨削開始點M1 的範圍內,在任意的位置皆可。
在此,如圖11(c)所示,在將第1移動完成點N1 設定在第1磨削開始點M1 ~第1研磨開始點P1 之間的區域之情況下,第1研磨完成點Q1 只要是在除了第1研磨開始點P1 以外的第1研磨區域692的範圍內,在任意的位置皆可。
另一方面,在第1移動完成點N1 位於比第1研磨開始點P1 更前方的情況下,第1研磨完成點Q1 是設定在比第1移動完成點N1 更前方的位置。
在將第1移動完成點N1 設定在第1磨削開始點M1 ~第1研磨開始點P1 之間的區域之情況下,如圖11(d)所示,在第2研磨區域694當中,與第1研磨區域692重複的區域、亦即在第1研磨開始點P1 ~第1研磨完成點Q1 的區域中,會變得實施由第1研磨輪385B及第2研磨輪387B進行之2次的研磨處理。因此,可在此形成第1重複研磨區域695。
另一方面,在第1移動完成點N1 位於比第1研磨開始點P1 更前方的情況下,是在第1移動完成點N1 ~第1研磨完成點Q1 的區域中形成第1重複研磨區域。
又,如圖11(e)所示,第3磨削輪584A是在第1邊260A的開始點S接觸於第1端面256A,且從此處沿著移動方向移動至第1邊260A的第2移動完成點N2 。並且,第3磨削輪584A會在到達第2移動完成點N2 的時間點上停止移動。
第2移動完成點N2 可以是位於第2磨削開始點M2 及比其更前方的任意的位置。特別是比第2磨削開始點M2 更前方為較佳。但是,如圖11(e)所示,較理想的是將第2移動完成點N2 設定在第2磨削開始點M2 ~第2研磨開始點P2 之間的區域中。
藉此,藉由第3磨削輪584A,玻璃素材250的第1邊260A是從開始點S至第2移動完成點N2 的區域會被磨削。以下,將此區域稱為「第3磨削區域(696)」。
又,如圖11(f)所示,第3研磨輪589B是在第1邊260A的開始點S接觸於第1端面256A,且從此處沿著移動方向移動至第2研磨完成點Q2 。並且,第3研磨輪589B會在到達第2研磨完成點Q2 的時間點上停止移動。
其結果,藉由第3研磨輪589B,玻璃素材250的第1邊260A是從開始點S至第2研磨完成點Q2 的區域會被研磨。以下,將此區域稱為「第3研磨區域(697)」。
在此,如圖11(e)所示,在將第2移動完成點N2 設定在第2磨削開始點M2 ~第2研磨開始點P2 之間的區域之情況下,第2研磨完成點Q2 只要是在除了第2研磨開始點P2 以外的第2研磨區域694的範圍內,在任意的位置皆可。
另一方面,在第2移動完成點N2 位於比第2研磨開始點P2 更前方的情況下,第2研磨完成點Q2 是設定在比第2移動完成點N2 更前方的位置。
在將第2移動完成點N2 設定在第2磨削開始點M2 ~第2研磨開始點P2 之間的區域之情況下,如圖11(f)所示,在第3研磨區域697當中,與第2研磨區域694重複的區域、亦即在第2研磨開始點P2 ~第2研磨完成點Q2 的區域中,會變得實施由第2研磨輪587B及第3研磨輪589B進行之2次的研磨處理。因此,可在此形成第2重複研磨區域697。
另一方面,在第1移動完成點N2 位於比第2研磨開始點P2 更前方的情況下,是在第2移動完成點N2 ~第2研磨完成點Q2 的區域中形成第2重複研磨區域。
以上步驟的結果,可以在第1端面256A形成2處重複研磨區域695、698。
以上,針對利用第2加工裝置500的第2製造方法進行了說明。但是,上述說明只是一個例子,且在第2製造方法中可作各種變更。
例如,在前述之圖11(a)所示的步驟中,第1磨削輪580A是沿著邊260A從第1磨削開始點M1 移動到邊260A的結束點E。其結果,可在第1磨削開始點M1 ~結束點E的區域中形成第1磨削區域691。
然而,第1磨削輪580A也可以在第1磨削開始點M1 ~結束點E之間的任意的位置上停止第1端面256A的磨削。
又,在前述之圖11(b)所示的步驟中,第1研磨輪585B是沿著邊260A從第1研磨開始點P1 移動到邊260A的結束點E。其結果,可在第1研磨開始點P1 ~結束點E的區域中形成第1研磨區域692。
但是,第1研磨輪585B也可以在第1研磨開始點P1 ~結束點E之間的任意的位置上停止第1端面256A的研磨。
又,在圖11(e)所示的步驟中,第3磨削輪584A是沿著邊260A從開始點S移動到第2移動完成點N2 。其結果,可在開始點S~第2磨削開始點M2 之間形成第3磨削區域696。
然而,第3磨削輪584A也可以從開始點S~第2磨削開始點M2 之範圍的任意的位置開始進行第1端面256A的磨削。
又,在前述之圖11(f)所示的步驟中,第3研磨輪589B是沿著邊260A從開始點S移動到第2研磨完成點Q2 。其結果,可在開始點S~第2研磨完成點Q2 的區域中形成第3研磨區域697。
然而,第3研磨輪589B也可以從開始點S~第2研磨開始點P2 的範圍之任意的位置(但是第2研磨開始點P2 會除外)開始進行第1端面256A的研磨。
又,在前述之第2製造方法中,只要不使第2磨削輪582A超過第1磨削輪580A,由第2磨削輪582A進行之磨削(第2磨削)在任何的時間點上開始進行均可。又,只要不使第3磨削輪584A超過第2磨削輪582A,由第3磨削輪584A進行之磨削(第3磨削)在任何的時間點上開始進行均可。
同樣地,只要不使第2研磨輪587B超過第1研磨輪585B,由第2研磨輪587B進行之研磨(第2研磨)在任何的時間點上開始進行均可。又,只要不使第3研磨輪589B超過第2研磨輪587B,由第3研磨輪589B進行之研磨(第3研磨)在任何的時間點上開始進行均可。
特別是,第2磨削的開始較佳是和第1磨削同時、或者是在其實施中等完成前。又,第3磨削的開始較佳是和第2磨削同時、或者是在其實施中等完成前。
同樣地,第2研磨的開始較佳是和第1研磨同時、或者是在其實施中等完成前。又,第3研磨的開始較佳是和第2研磨同時、或者是在其實施中等完成前。
此外,較理想的是,由第2磨削輪582A進行之第2磨削是在由第1研磨輪585B進行之第1研磨的開始前、同時、或其實施中等完成前。又,較理想的是,由第3磨削輪584A進行之第3磨削是在由第2研磨輪587B進行之第2研磨的開始前、同時、或其實施中等完成前。
也就是說,雖然亦可在圖11(a)、(c)及(e)所示的步驟完成後,實施圖11(b)、(d)及(f)所示的步驟,但從生產性的觀點來看,較理想的是,圖11(a)、(c)及(e)的步驟是同時或在接近於同時的時間點開始,且在圖11(a)、(c)及(e)的步驟完成前,開始圖11(b)、(d)及(f)的步驟。
除此之外還可作其他各種變更。
以上,針對利用第2加工裝置500在玻璃素材250的一個端面256A上形成2個重複研磨區域的方法進行了說明。
再者,本發明所屬技術領域中具有通常知識者可以從上述記載中輕易地掌握在一個端面上形成3個以上的重複研磨區域之方法。例如,亦可藉由在加工裝置上設置更多的磨削輪及研磨輪,以在一個端面上形成3個以上的重複研磨區域。
以上,針對本發明的一個實施形態進行了說明。但是,本發明的態樣並不限定於上述形態。
例如,在上述記載中,是以玻璃素材為具有大致矩形形狀的形狀之情況為例來說明玻璃基板的製造方法。然而,玻璃素材也可以是其他的形狀,例如為圓盤狀。
當玻璃素材為圓盤狀的情況下,在前述第1製造方法及第2製造方法的記載中,可使用稱為「周邊」之用語來取代「邊」。又,藉由在前述的邊中的開始點S及結束點E當中,結束點E作為與開始點S一致之點來掌握,以在端面為「周邊」狀的情況下,也可以和端面為「邊」狀的情況同樣地處理。
例如,使用於第1製造方法的加工裝置300具有沿著玻璃素材的周邊而配置的複數個磨削輪及複數個研磨輪。並且,各自的磨削輪及各自的研磨輪是沿著對應於玻璃素材的周邊方向之「移動方向」而移動。
本發明所屬技術領域中具有通常知識者應當可輕易地理解,除此之外還可作其他各種變更。
110‧‧‧第1玻璃基板
112、252‧‧‧第1表面
114、254‧‧‧第2表面
116A、256A‧‧‧第1端面(端面)
116B、256B‧‧‧第2端面(端面)
116C、256C‧‧‧第3端面(端面)
116D、256D‧‧‧第4端面(端面)
120‧‧‧一般區域
122‧‧‧平滑區域
250‧‧‧玻璃素材
260A‧‧‧第1邊(被加工面)
260B‧‧‧第2邊(被加工面)
260C‧‧‧第3邊(被加工面)
260D‧‧‧第4邊(被加工面)
300‧‧‧加工裝置
302、502‧‧‧工作台
380A、580A‧‧‧第1磨削輪
382A、582A‧‧‧第2磨削輪
385B、585B‧‧‧第1研磨輪
387B、587B‧‧‧第2研磨輪
491、691‧‧‧第1磨削區域
492、692‧‧‧第1研磨區域
493、693‧‧‧第2磨削區域
494、694‧‧‧第2研磨區域
495‧‧‧重複研磨區域
500‧‧‧第2加工裝置
584A‧‧‧第3磨削輪
589B‧‧‧第3研磨輪
695‧‧‧第1重複研磨區域
696‧‧‧第3磨削區域
697‧‧‧第3研磨區域
698‧‧‧第2重複研磨區域
A1~A6‧‧‧移動方向
E‧‧‧結束點
F1~F6‧‧‧移動軌跡
L1‧‧‧第1長度
L2‧‧‧第2長度
Ls‧‧‧平滑區域的全長
M1‧‧‧第1磨削開始點
M2‧‧‧第2磨削開始點
N1‧‧‧第1移動完成點
N2‧‧‧第2移動完成點
P1‧‧‧第1研磨開始點
P2‧‧‧第2研磨開始點
Q1‧‧‧第1研磨完成點
Q2‧‧‧第2研磨完成點
S‧‧‧開始點
X、Y、Z‧‧‧方向
圖1是概要地顯示本發明的一個實施形態之玻璃基板的立體圖。 圖2是示意地顯示圖1所示之玻璃基板的一個端面之圖。 圖3是示意地顯示本發明的一個實施形態之玻璃基板的製造方法之流程的圖。 圖4是示意地顯示玻璃素材之形態的立體圖。 圖5是示意地顯示能夠在本發明的一個實施形態之玻璃基板的製造方法中使用的加工裝置之構成的一例之圖。 圖6是示意地顯示圖5所示之加工裝置的動作的一例之圖。 圖7(a)~(d)是示意地顯示圖5所示之加工裝置的第1磨削輪、第1研磨輪、第2磨削輪及第2研磨輪的各自的移動軌跡之圖。 圖8是示意地顯示本發明的一個實施形態之玻璃基板的另外的製造方法的流程之圖。 圖9是示意地顯示能夠在本發明的一個實施形態之玻璃基板的製造方法中使用的另外的加工裝置之構成的一例之圖。 圖10是示意地顯示圖9所示之加工裝置的動作的一例之圖。 圖11(a)~(f)是示意地顯示圖9所示之加工裝置的第1磨削輪、第1研磨輪、第2磨削輪、第2研磨輪、第3磨削輪及第3研磨輪的各自的移動軌跡之圖。
250‧‧‧玻璃素材
260A‧‧‧第1邊
491‧‧‧第1磨削區域
492‧‧‧第1研磨區域
493‧‧‧第2磨削區域
494‧‧‧第2研磨區域
495‧‧‧重複研磨區域
E‧‧‧結束點
F1~F4‧‧‧移動軌跡
S‧‧‧開始點
M1‧‧‧第1磨削開始點
N1‧‧‧第1移動完成點
P1‧‧‧第1研磨開始點
Q1‧‧‧第1研磨完成點
X、Y‧‧‧方向

Claims (15)

  1. 一種玻璃基板,具有連接2個表面的端面,該玻璃基板的特徵在於: 前述端面的至少一部分上配置有平滑區域,該平滑區域具有比前述端面的其他區域更平滑的表面, 將前述端面的前述其他區域稱為一般區域, 將前述一般區域的算數平均粗糙度設為Ra(1),且將前述平滑區域的算數平均粗糙度設為Ra(2)時,Ra(2)/Ra(1)之比值為0.8以下。
  2. 如請求項1之玻璃基板,其中前述端面具有第1長度L1 及第2長度L2 ,且L1 ≧L2 , 前述平滑區域在前述第1長度L1 的方向上,具有1mm以上的全長。
  3. 如請求項2之玻璃基板,其中前述平滑區域在前述第1長度L1 的方向上,具有10mm以下的全長。
  4. 如請求項1至3中任一項的玻璃基板,其中前述平滑區域在前述端面上存在複數個。
  5. 如請求項1至4中任一項的玻璃基板,其中該玻璃基板為矩形形狀,且具有第1至第4端面, 前述端面是前述第1至第4端面之中的至少一個。
  6. 如請求項1至5中任一項的玻璃基板,其中前述Ra(1)為0.2μm以下。
  7. 一種玻璃基板的製造方法,具有下述步驟: (1)準備玻璃素材的步驟,該玻璃素材具有第1及第2表面、以及連接兩表面的端面;及 (2)利用加工裝置,磨削及研磨前述玻璃素材的前述端面之步驟, 前述端面在俯視前述玻璃素材之下是被目視確認為從開始點S到結束點E的被加工面, 前述加工裝置具有第1磨削輪及第1研磨輪、與第2磨削輪及第2研磨輪, 前述第1及第2磨削輪可藉由朝被稱為移動方向的從前述開始點S向前述結束點E的方向,沿著前述被加工面移動,以磨削前述玻璃素材的前述端面, 前述第1研磨輪可以藉由朝前述移動方向沿著前述被加工面移動,以研磨前述玻璃素材的前述端面之被前述第1磨削輪磨削過的區域,前述第2研磨輪可以藉由朝前述移動方向沿著前述被加工面移動,以研磨前述玻璃素材的前述端面之被前述第2磨削輪磨削過的區域, 在前述(2)的步驟中, (2-1)前述第1磨削輪是從被稱為第1磨削開始點M1 之除了前述被加工面的開始點S及結束點E以外的位置,沿著前述移動方向於前述前述被加工面移動, 藉此,在前述端面上會形成被稱為第1磨削區域的區域, (2-2)前述第1研磨輪是從被稱為第1研磨開始點P1 之前述第1磨削區域內的除了第1磨削開始點M1 以外的任意位置,沿著前述移動方向於前述被加工面移動, 藉此,在前述端面上會形成被稱為第1研磨區域的區域, (2-3)前述第2磨削輪是從被稱為第2磨削開始點M2 的位置,沿著前述移動方向於前述被加工面移動到被稱為第1移動完成點N1 的位置, 藉此,前述端面是從前述第2磨削開始點M2 至前述第1移動完成點N1 之被稱為第2磨削區域的區域會被磨削, 前述第2磨削開始點M2 是存在於前述開始點S至前述第1磨削開始點M1 之間, 且前述第1移動完成點N1 是: (i)存在於除了前述第1研磨開始點P1 以外的前述第1磨削開始點M1 至前述第1研磨開始點P1 之間、或者 (ii)存在於前述第1研磨開始點P1 至結束點E之間, (2-4)前述第2研磨輪是從被稱為第2研磨開始點P2 的位置,沿著前述移動方向於前述被加工面移動到被稱為第1研磨完成點Q1 的位置, 藉此,前述端面是從第2研磨開始點P2 至第1研磨完成點Q1 之被稱為第2研磨區域的區域會被研磨, 前述第2研磨開始點P2 是存在於前述第2磨削開始點M2 至前述第1磨削開始點M1 之間, 前述第1研磨完成點Q1 在前述(i)的情況下,是存在於除了前述第1研磨開始點P1 以外的前述第1研磨區域內,在前述(ii)的情況下,是存在於除了前述第1研磨開始點P1 至第1移動完成點N1 以外的前述第1研磨區域內, 在前述(i)的情況下,會在前述端面的前述第1研磨開始點P1 至前述第1研磨完成點Q1 之間,形成已利用前述第1及第2研磨輪研磨的(第1)重複研磨區域, 在前述(ii)的情況下,會在前述端面的前述第1移動完成點N1 至前述第1研磨完成點Q1 之間,形成已利用前述第1及第2研磨輪研磨的(第1)重複研磨區域。
  8. 如請求項7之玻璃基板的製造方法,其中前述(2-3)的步驟是在前述(2-1)的步驟完成前開始。
  9. 如請求項7或8之玻璃基板的製造方法,其中前述(2-3)的步驟是在前述(2-2)的步驟完成前開始。
  10. 如請求項7至9中任一項之玻璃基板的製造方法,其中在前述(2-1)中,前述第1磨削輪是從前述第1磨削開始點M1 移動到前述結束點E, 在前述(2-2)中,前述第1研磨輪是從前述第1研磨開始點P1 移動到前述結束點E。
  11. 如請求項7至10中任一項之玻璃基板的製造方法,其中前述(2-3)中的前述第2磨削開始點M2 是前述被加工面的開始點S, 前述(2-4)中的前述第2研磨開始點P2 是前述被加工面的開始點S。
  12. 如請求項7至11中任一項之玻璃基板的製造方法,其中前述第1磨削輪及/或第2磨削輪是包含具有鑽石磨粒的金屬結合劑磨石或電鍍磨石。
  13. 如請求項7至12中任一項之玻璃基板的製造方法,其中第1研磨輪及/或第2研磨輪具有橡膠、不織布或樹脂製的磨石。
  14. 如請求項7至13中任一項之玻璃基板的製造方法,其中前述加工裝置更具有第3磨削輪與第3研磨輪, 前述第3磨削輪可藉由朝前述移動方向沿著前述被加工面移動,以磨削前述玻璃素材的前述端面, 前述第3研磨輪可藉由朝前述移動方向沿著前述被加工面移動,以研磨前述玻璃素材的前述端面之被前述第3磨削輪磨削過的區域, 在前述(2)的步驟中, (2-5)前述第3磨削輪是從被稱為第3磨削開始點M3 的位置,沿著前述移動方向於前述被加工面移動到被稱為第2移動完成點N2 的位置, 藉此,前述端面是從前述第3磨削開始點M3 至前述第2移動完成點N2 之被稱為第3磨削區域的區域會被磨削, 前述第3磨削開始點M3 是存在於前述開始點S至前述第2磨削開始點M2 之間, 前述第2移動完成點N2 是: (iii)存在於除了前述第2研磨開始點P2 以外的前述第2磨削開始點M2 至前述第2研磨開始點P2 之間、或者 (iv)存在於前述第2研磨開始點P2 至結束點E之間, (2-6)前述第3研磨輪是從被稱為第3研磨開始點P3 的位置,沿著前述移動方向於前述被加工面移動到被稱為第2研磨完成點Q2 的位置, 藉此,前述端面是前述第3研磨開始點P3 至前述第2研磨完成點Q2 之被稱為第3研磨區域的區域會被研磨, 前述第3研磨開始點P3 是存在於前述第3磨削開始點M3 至前述第2磨削開始點M2 之間, 前述第2研磨完成點Q2 在前述(iii)的情況下,是存在於除了前述第2研磨開始點P2 以外的前述第2研磨區域內,而在前述(iv)的情況下,是存在於除了前述第2研磨開始點P2 至前述第2移動完成點N2 以外的前述第2研磨區域內, 在前述(iii)的情況下,會在前述端面之前述第2研磨開始點P2 至前述第2研磨完成點Q2 之間,形成已利用前述第2及第3研磨輪研磨的第2重複研磨區域, 在前述(iv)的情況下,會在前述端面之前述第2移動完成點N2 至前述第2研磨完成點Q2 之間,形成已利用前述第2及第3研磨輪研磨的第2重複研磨區域。
  15. 如請求項14之玻璃基板的製造方法,其中前述(2-5)中的前述第3磨削開始點M3 是前述被加工面的開始點S, 前述(2-6)中的前述第3研磨開始點P3 是前述被加工面的開始點S。
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