KR102289541B1 - 유리 기판 및 유리 기판의 제조 방법 - Google Patents

유리 기판 및 유리 기판의 제조 방법 Download PDF

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Abstract

(과제) 위치 결정 조작시에 단면에 크랙이 발생하거나, 단면으로부터 컬릿이 발생하거나 하는 것이 유의하게 억제되는 유리 기판을 제공한다.
(해결 수단) 2 개의 표면을 연결하는 단면을 갖는 유리 기판으로서, 상기 단면의 적어도 일부에는, 평활 영역이 배치되어 있고, 그 평활 영역은, 상기 단면의 그 밖의 영역에 비해 평활한 표면을 갖고, 상기 단면의 상기 그 밖의 영역을 일반 영역이라고 하고, 상기 일반 영역의 산술 평균 조도를 Ra (1) 로 하고, 상기 평활 영역의 산술 평균 조도를 Ra (2) 로 하였을 때, 비 Ra (2)/Ra (1) 은 0.8 이하인 것을 특징으로 하는 유리 기판.

Description

유리 기판 및 유리 기판의 제조 방법 {GLASS SUBSTRATE AND METHOD FOR PRODUCING GLASS SUBSTRATE}
본 발명은, 유리 기판 및 유리 기판의 제조 방법에 관한 것이다.
유리 기판을 가공할 때 등, 유리 기판의 핸들링시에, 유리 기판을 소정의 위치 및/또는 방향으로 고정시키는 것이 필요해지는 경우가 있다. 그러한 유리 기판의 위치 결정을 실시하는 경우, 바 (bar) 상의 금속 부재 등의 위치 결정 지그가 사용된다. 예를 들어, 슬라이드 가능하게 구성된 복수의 위치 결정 지그를 사용한 경우, 유리 기판을 그러한 위치 결정 지그 사이에 끼워, 유리 기판의 위치를 정할 수 있다.
위치 결정 지그에 의한 유리 기판의 위치 결정 조작시에는, 유리 기판의 단면 (端面) 이 위치 결정 지그에 맞닿게 된다. 이 때문에, 종종 유리 기판의 단면에 크랙이 발생하거나, 단면으로부터 컬릿 (유리 부스러기) 이 발생하여 유리 기판에 컬릿이 부착되거나 하는 경우가 관찰된다. 그러한 크랙을 갖는 유리 기판은, 품질상 문제가 있다. 또, 유리 기판에 컬릿이 부착되어 있으면, 유리 기판의 반송시 등에 유리 기판이 손상을 받을 가능성이 높아진다.
이 때문에, 위치 결정 조작시에 크랙이나 컬릿이 잘 발생하지 않는 유리 기판이 요망되고 있다.
본 발명은, 이와 같은 배경을 감안하여 이루어진 것으로서, 본 발명에서는, 위치 결정 조작시에 단면에 크랙이 발생하거나, 단면으로부터 컬릿이 발생하거나 하는 것이 유의하게 억제되는 유리 기판을 제공하는 것을 목적으로 한다. 또, 본 발명에서는, 위치 결정 조작시에 단면에 크랙이 발생하거나, 단면으로부터 컬릿이 발생하거나 하는 것이 유의하게 억제되는 유리 기판의 제조 방법을 제공하는 것을 목적으로 한다.
본 발명에서는, 2 개의 표면을 연결하는 단면을 갖는 유리 기판으로서,
상기 단면의 적어도 일부에는, 평활 영역이 배치되어 있고, 그 평활 영역은, 상기 단면의 그 밖의 영역에 비해 평활한 표면을 갖고,
상기 단면의 상기 그 밖의 영역을 일반 영역이라고 하고,
상기 일반 영역의 산술 평균 조도를 Ra (1) 로 하고, 상기 평활 영역의 산술 평균 조도를 Ra (2) 로 하였을 때, 비 Ra (2)/Ra (1) 은 0.8 이하인 것을 특징으로 하는 유리 기판이 제공된다.
또, 본 발명에서는, 유리 기판의 제조 방법으로서,
(1) 제 1 및 제 2 표면과, 양 표면을 접속시키는 단면을 갖는 유리 소재를 준비하는 공정과,
(2) 가공 장치를 사용하여, 상기 유리 소재의 상기 단면을 연삭 및 연마하는 공정을 갖고,
상기 단면은, 상기 유리 소재의 상면에서 봤을 때, 개시점 (S) 에서 종료점 (E) 까지의 피가공면으로서 시인되고,
상기 가공 장치는, 제 1 연삭 휠 및 제 1 연마 휠과, 제 2 연삭 휠 및 제 2 연마 휠을 갖고,
상기 제 1 및 제 2 연삭 휠은, 이동 방향으로 불리는 상기 개시점 (S) 에서 상기 종료점 (E) 을 향하는 방향으로, 상기 피가공면을 따라 이동함으로써, 상기 유리 소재의 상기 단면을 연삭할 수 있고,
상기 제 1 연마 휠은, 상기 이동 방향으로 상기 피가공면을 따라 이동함으로써, 상기 유리 소재의 상기 단면의 상기 제 1 연삭 휠에 의해 연삭된 영역을 연마할 수 있고, 상기 제 2 연마 휠은, 상기 이동 방향으로 상기 피가공면을 따라 이동함으로써, 상기 유리 소재의 상기 단면의 상기 제 2 연삭 휠에 의해 연삭된 영역을 연마할 수 있고,
상기 (2) 의 공정에서는,
(2-1) 상기 제 1 연삭 휠은, 제 1 연삭 개시점 (M1) 으로 불리는 상기 피가공면의 개시점 (S) 및 종료점 (E) 을 제외한 위치로부터, 상기 이동 방향을 따라 상기 피가공면을 이동하고,
이로써, 상기 단면에는, 제 1 연삭 영역으로 불리는 영역이 형성되고,
(2-2) 상기 제 1 연마 휠은, 제 1 연마 개시점 (P1) 으로 불리는, 상기 제 1 연삭 영역 내의 제 1 연삭 개시점 (M1) 을 제외한 어느 위치로부터, 상기 이동 방향을 따라 상기 피가공면을 이동하고,
이로써, 상기 단면에는, 제 1 연마 영역으로 불리는 영역이 형성되고,
(2-3) 상기 제 2 연삭 휠은, 제 2 연삭 개시점 (M2) 으로 불리는 위치로부터, 상기 이동 방향을 따라, 제 1 이동 완료점 (N1) 으로 불리는 위치까지 상기 피가공면을 이동하고,
이로써, 상기 단면은, 상기 제 2 연삭 개시점 (M2) ∼ 상기 제 1 이동 완료점 (N1) 까지의 제 2 연삭 영역으로 불리는 영역이 연삭되고,
상기 제 2 연삭 개시점 (M2) 은, 상기 개시점 (S) ∼ 상기 제 1 연삭 개시점 (M1) 의 사이에 존재하고,
상기 제 1 이동 완료점 (N1) 은,
(ⅰ) 상기 제 1 연마 개시점 (P1) 을 제외한 상기 제 1 연삭 개시점 (M1) ∼ 상기 제 1 연마 개시점 (P1) 의 사이에 존재하거나, 또는
(ⅱ) 상기 제 1 연마 개시점 (P1) ∼ 종료점 (E) 의 사이에 존재하고,
(2-4) 상기 제 2 연마 휠은, 제 2 연마 개시점 (P2) 으로 불리는 위치로부터, 상기 이동 방향을 따라, 제 1 연마 완료점 (Q1) 으로 불리는 위치까지 상기 피가공면을 이동하고,
이로써, 상기 단면은, 상기 제 2 연마 개시점 (P2) ∼ 상기 제 1 연마 완료점 (Q1) 까지의 제 2 연마 영역으로 불리는 영역이 연마되고,
상기 제 2 연마 개시점 (P2) 은, 상기 제 2 연삭 개시점 (M2) ∼ 상기 제 1 연삭 개시점 (M1) 의 사이에 존재하고,
상기 제 1 연마 완료점 (Q1) 은, 상기 (ⅰ) 의 경우, 상기 제 1 연마 개시점 (P1) 을 제외한 상기 제 1 연마 영역 내에 존재하고, 상기 (ⅱ) 의 경우, 상기 제 1 연마 개시점 (P1) ∼ 상기 제 1 이동 완료점 (N1) 을 제외한 상기 제 1 연마 영역 내에 존재하고,
상기 (ⅰ) 의 경우, 상기 단면의 상기 제 1 연마 개시점 (P1) ∼ 상기 제 1 연마 완료점 (Q1) 의 사이에 상기 제 1 및 제 2 연마 휠로 연마된 (제 1) 중복 연마 영역이 형성되고,
상기 (ⅱ) 의 경우, 상기 단면의 상기 제 1 이동 완료점 (N1) ∼ 상기 제 1 연마 완료점 (Q1) 의 사이에 상기 제 1 및 제 2 연마 휠로 연마된 (제 1) 중복 연마 영역이 형성되는 유리 기판의 제조 방법이 제공된다.
본 발명에서는, 위치 결정 조작시에 단면에 크랙이 발생하거나, 단면으로부터 컬릿이 발생하거나 하는 것이 유의하게 억제되는 유리 기판을 제공할 수 있다. 또, 본 발명에서는, 위치 결정 조작시에 단면에 크랙이 발생하거나, 단면으로부터 컬릿이 발생하거나 하는 것이 유의하게 억제되는 유리 기판의 제조 방법을 제공할 수 있다.
도 1 은 본 발명의 일 실시형태에 의한 유리 기판을 개략적으로 나타낸 사시도이다.
도 2 는 도 1 에 나타낸 유리 기판의 1 개의 단면을 모식적으로 나타낸 도면이다.
도 3 은 본 발명의 일 실시형태에 의한 유리 기판의 제조 방법의 플로우를 모식적으로 나타낸 도면이다.
도 4 는 유리 소재의 형태를 모식적으로 나타낸 사시도이다.
도 5 는 본 발명의 일 실시형태에 의한 유리 기판의 제조 방법에 사용될 수 있는 가공 장치의 구성의 일례를 모식적으로 나타낸 도면이다.
도 6 은 도 5 에 나타낸 가공 장치의 동작의 일례를 모식적으로 나타낸 도면이다.
도 7 은 도 5 에 나타낸 가공 장치의 제 1 연삭 휠, 제 1 연마 휠, 제 2 연삭 휠, 및 제 2 연마 휠의 각각의 이동 궤적을 모식적으로 나타낸 도면이다.
도 8 은 본 발명의 일 실시형태에 의한 유리 기판의 다른 제조 방법의 플로우를 모식적으로 나타낸 도면이다.
도 9 는 본 발명의 일 실시형태에 의한 유리 기판의 제조 방법에 사용될 수 있는 다른 가공 장치의 구성의 일례를 모식적으로 나타낸 도면이다.
도 10 은 도 9 에 나타낸 가공 장치의 동작의 일례를 모식적으로 나타낸 도면이다.
도 11 은 도 9 에 나타낸 가공 장치의 제 1 연삭 휠, 제 1 연마 휠, 제 2 연삭 휠, 제 2 연마 휠, 제 3 연삭 휠, 및 제 3 연마 휠의 각각의 이동 궤적을 모식적으로 나타낸 도면이다.
이하, 도면을 참조하여, 본 발명의 일 실시형태에 대해 설명한다.
(본 발명의 일 실시형태에 의한 유리 기판)
도 1 및 도 2 를 참조하여, 본 발명의 일 실시형태에 의한 유리 기판의 구성에 대해 설명한다. 도 1 에는, 본 발명의 일 실시형태에 의한 유리 기판 (이하, 간단히「제 1 유리 기판」이라고 한다) 의 개략적인 사시도를 나타낸다.
도 1 에 나타내는 바와 같이, 제 1 유리 기판 (110) 은, 서로 대향하는 제 1 표면 (112) 및 제 2 표면 (114) 과, 양 표면을 접속시키는 4 개의 단면 (116A ∼ 116D) 을 갖는다.
또한, 도 1 의 예에서는, 제 1 유리 기판 (110) 은 대략 사각형상이고, 이 때문에 4 개의 단면 (116A ∼ 116D) 을 갖는다. 단, 이것은 단순한 일례로서, 제 1 유리 기판 (110) 은 어떠한 형상이어도 되고, 그 결과, 단면의 수는 어떠한 값이어도 된다. 예를 들어, 제 1 유리 기판 (110) 이 대략 디스크상인 경우, 단면의 수는 1 개가 된다. 또, 제 1 유리 기판 (110) 이 대략 삼각형상인 경우, 단면의 수는 3 개가 된다. 제 1 유리 기판 (110) 이 오각형 또는 그 이상의 다각형의 형상인 경우에도, 동일하게 생각할 수 있다.
여기서, 제 1 유리 기판 (110) 은, 적어도 1 개의 단면에「평활 영역」을 갖는다는 특징을 갖는다. 여기서,「평활 영역」이란, 대상이 되는 단면에 있어서, 다른 영역에 비해 산술 평균 조도 Ra 가 작은 영역을 의미한다. 또한, 대상이 되는 단면에 있어서,「평활 영역」이외의 영역을「일반 영역」이라고도 한다.
이하, 제 1 유리 기판 (110) 의 제 1 단면 (116A) 이 그러한「평활 영역」을 갖는 경우를 예로, 본 발명의 효과에 대해 설명한다.
도 2 에는,「평활 영역」을 갖는 제 1 단면 (116A) 의 형태를 모식적으로 나타낸다.
도 2 에 나타내는 바와 같이, 제 1 단면 (116A) 의 표면은 일반 영역 (120) 과 평활 영역 (122) 으로 구분된다. 평활 영역 (122) 은, 제 1 단면 (116A) 의 대략 중앙에 일반 영역 (120) 사이에 끼워져 존재하고 있다.
단, 이것은, 단순한 일례로서, 평활 영역 (122) 의 존재 위치는 특별히 한정되지 않는다. 또, 평활 영역 (122) 의 수도 특별히 한정되지 않는다. 예를 들어, 평활 영역 (122) 은 제 1 단면 (116A) 에 2 개 지점 이상 존재해도 된다. 평활 영역 (122) 의 설치 위치 및 수는, 제 1 유리 기판 (110) 의 위치 결정 핸들링시에 맞닿게 되는 위치 결정 지그와의 관계에 의해 정해진다.
또, 도 2 에서는, 일반 영역 (120) 과 평활 영역 (122) 의 경계가 파선으로 과장하여 도시되어 있다. 그러나, 통상적인 경우, 일반 영역 (120) 및 평활 영역 (122), 나아가서는 양자의 경계는, 외관으로부터 판단하기는 어려운 점에 유의할 필요가 있다.
여기서, 전술한 바와 같이, 평활 영역 (122) 은, 일반 영역 (120) 에 비해 작은 산술 평균 조도 Ra 를 갖는다. 특히, 제 1 유리 기판 (110) 에서는, 일반 영역 (120) 에 있어서의 산술 평균 조도를 Ra (1) 로 하고, 평활 영역 (122) 에 있어서의 산술 평균 조도를 Ra (2) 로 하였을 때,
Ra (2)/Ra (1) ≤ 0.8 (1) 식
을 만족한다는 특징을 갖는다.
전술한 바와 같이, 위치 결정 지그에 의한 유리 기판의 위치 결정 조작시에는, 유리 기판의 단면이 위치 결정 지그에 맞닿게 된다. 그리고, 이 때, 유리 기판의 단면에 크랙이 발생하거나, 단면으로부터 컬릿 (유리 부스러기) 이 발생하거나 하는 경우가 있다.
이에 대하여 제 1 유리 기판 (110) 에서는, 단면의 적어도 위치 결정 지그와 맞닿을 수 있는 위치에 평활 영역 (122) 이 배치된다. 또, 평활 영역 (122) 과 일반 영역 (120) 에 있어서의 산술 평균 조도 간에는, 전술한 (1) 식의 관계가 있다. 이와 같은 요철이 적은 평활 영역 (122) 은, 위치 결정 지그와 같은 부재의 맞닿음에 대하여, 일반 영역 (120) 보다 양호한 강도를 나타낸다.
그 때문에, 제 1 유리 기판 (110) 에서는, 위치 결정 지그가 제 1 단면 (116A) 의 평활 영역 (122) 과 맞닿아도, 위치 결정 지그가 일반 영역 (120) 에 맞닿는 것보다, 제 1 단면 (116A) 에 크랙이 발생하거나, 거기로부터 컬릿이 발생하거나 하는 것을 유의하게 억제할 수 있다. 또, 위치 결정 지그가 요철이 적은 평활 영역 (122) 과 맞닿기 때문에, 위치 결정 부재의 마모 및 발진을 유의하게 억제하게 되기도 한다.
(일반 영역 (120) 및 평활 영역 (122))
다음으로, 단면의 일반 영역 (120) 및 평활 영역 (122) 에 대해, 보다 상세하게 설명한다.
전술한 바와 같이, 평활 영역 (122) 에 있어서의 산술 평균 조도 Ra (2) 와 일반 영역 (120) 에 있어서의 산술 평균 조도를 Ra (1) 의 비 Ra (2)/Ra (1) 은, 0.8 이하로 된다. 이 비 Ra (2)/Ra (1) 은 0.7 이하인 것이 바람직하다.
또, 평활 영역 (122) 의 산술 평균 조도 Ra (2) 는, 바람직하게는 0.12 ㎛ 이하이고, 보다 바람직하게는 0.08 ㎛ 이하이다.
한편, 일반 영역 (120), 즉, 제 1 단면 (116A) 의 평활 영역 (122) 을 제외한 영역의 산술 평균 조도 Ra (1) 은, 예를 들어, 0.2 ㎛ 이하인 것이 바람직하다.
또, 제 1 단면 (116A) 의 평활 영역 (122) 의 전체 길이 (Ls) 는, 1 ㎜ 이상, 30 ㎜ 이하인 것이 바람직하다. 평활 영역 (122) 의 전체 길이 (Ls) 가 1 ㎜ 이상이면, 평활 영역 (122) 에 위치 결정 지그를 정확하게 접촉시키는 것이 용이해진다. 또, 평활 영역 (122) 의 전체 길이 (Ls) 가 30 ㎜ 이하이면, 제 1 유리 기판 (110) 의 생산성의 관점에서 바람직하다. 평활 영역 (122) 의 전체 길이 (Ls) 는, 3 ㎜ 이상, 10 ㎜ 이하인 것이 보다 바람직하다.
여기서, 평활 영역 (122) 의「전체 길이(Ls)」는, 이하와 같이 정해진다.
대상이 되는 단면의 제 1 길이를 L1 로 하고, 제 2 길이를 L2 로 한다. 여기서 L1 ≥ L2 이다. 예를 들어, 도 2 에 나타낸 제 1 단면 (116A) 의 경우, X 방향의 치수가 길이 L1 이 되고, Z 방향 (두께 방향) 의 치수가 길이 L2 가 된다. 이 경우, 도 2 에 나타내는 바와 같이, 평활 영역 (122) 의 전체 길이 (Ls) 는, 제 1 길이 (L1) 를 따른 방향의 평활 영역 (122) 의 폭으로 규정된다.
또한, 유리 기판이 대략 디스크상으로서, 곡면상의 단면이 1 개만 존재하는 경우, 그러한 단면의 제 1 길이 (L1) 는 둘레의 길이가 되고, 제 2 길이 (L2) 는 유리 기판의 두께에 상당한다. 따라서, 평활 영역의 전체 길이 (Ls) 는, 둘레를 따른 평활 영역의 길이가 된다.
전술한 바와 같이, 제 1 단면 (116A) 에 있어서의 평활 영역 (122) 의 설치 위치 및 설치수는 특별히 한정되지 않는다. 예를 들어, 평활 영역 (122) 은, 제 1 단면 (116A) 에 있어서, 2 개 이상 등간격으로 또는 비 (非) 등간격으로 배치되어도 된다.
또, 전술한 예에서는, 평활 영역 (122) 은, 제 1 유리 기판 (110) 의 제 1 단면 (116A) 에 배치되어 있다. 그러나, 평활 영역 (122) 은, 제 1 유리 기판 (110) 의 어떠한 단면에 배치되어도 된다.
예를 들어, 평활 영역 (122) 은, 제 2 단면 (116B) ∼ 제 4 단면 (116D) 중 어느 1 개의 단면에 배치되어도 되고, 제 1 단면 (116A) 및 제 2 단면 (116B) 등, 2 개의 단면에 배치되어도 되고, 제 1 단면 (116A) ∼ 제 3 단면 (116C) 등, 3 개의 단면에 배치되어도 되고, 제 1 단면 (116A) ∼ 제 4 단면 (116D) 의 모든 단면에 배치되어도 된다. 또, 이 때, 각 단면 (116A ∼ 116D) 에 있어서, 평활 영역 (122) 의 설치 위치 및 설치수는 서로 상이해도 된다.
(본 발명의 일 실시형태에 의한 유리 기판의 제조 방법)
다음으로, 도 3 ∼ 도 7 을 참조하여, 본 발명의 일 실시형태에 의한 유리 기판의 제조 방법의 일례에 대해 설명한다.
도 3 에는, 본 발명의 일 실시형태에 의한 유리 기판의 제조 방법 (이하, 간단히「제 1 제조 방법」이라고 한다) 의 플로우를 모식적으로 나타낸다. 또, 도 4 ∼ 도 7 에는, 제 1 제조 방법에 있어서의 일 공정의 모습을 모식적으로 나타낸다.
도 3 에 나타내는 바와 같이, 제 1 제조 방법은,
(1) 제 1 및 제 2 표면과, 양 표면을 접속시키는 단면을 갖는 유리 소재를 준비하는 공정 (공정 S110) 과,
(2) 가공 장치를 사용하여, 상기 유리 소재의 상기 단면을 연삭 및 연마하는 공정 (공정 S120) 을 갖는다.
이하, 도 4 ∼ 도 7 을 참조하여, 각 공정에 대해 상세하게 설명한다.
(공정 S110)
먼저, 유리 소재가 준비된다. 도 4 에 나타내는 바와 같이, 유리 소재 (250) 는, 제 1 표면 (252) 및 제 2 표면 (254) 과, 양 표면을 접속시키는 4 개의 단면 (256A ∼ 256D) 을 갖는다.
이후, 설명의 간략화를 위해, 유리 소재 (250) 의 상면에서 봤을 때, 제 1 표면 (252) 의 4 개의 단면 (256A ∼ 256D) 과 대응하는 변을 각각 제 1 변 (260A), 제 2 변 (260B), 제 3 변 (260C), 및 제 4 변 (260D) 이라고 한다.
유리 소재 (250) 의 치수는, 특별히 한정되지 않는다. 예를 들어, 액정 디스플레이용 유리 기판을 제조하는 경우, 유리 소재 (250) 는, 예를 들어, 세로 (제 1 변 (260A) 및 제 3 변 (260C) 의 길이) 1800 ㎜ ∼ 3200 ㎜ × 가로 (제 2 변 (260B) 및 제 4 변 (260D) 의 길이) 1500 ㎜ ∼ 2900 ㎜ × 두께 0.10 ㎜ ∼ 0.70 ㎜ 의 치수를 가져도 된다.
(공정 S120)
다음으로, 가공 장치를 사용하여, 유리 소재 (250) 의 단면이 연삭 및 연마 처리 (이하, 이것들을 합하여「가공 처리」라고도 한다) 된다.
또한, 유리 소재 (250) 의 가공 처리되는 단면은, 특별히 한정되지 않는다. 예를 들어, 4 개의 단면 (256A ∼ 256D) 중, 1 개의 단면만이 가공 처리되어도 된다. 혹은, 4 개의 단면 (256A ∼ 256D) 중, 2 개 이상의 단면, 예를 들어 모든 단면이 가공 처리되어도 된다.
여기서는, 일례로서, 유리 소재 (250) 의 제 1 단면 (256A) 이 가공 처리되는 경우를 예로 설명한다.
(가공 장치)
도 5 에는, 제 1 제조 방법에 있어서 사용될 수 있는 가공 장치의 구성을 모식적으로 나타낸다.
도 5 에 나타내는 바와 같이, 가공 장치 (300) 는, 테이블 (302) 과, 제 1 및 제 2 연삭 휠 (380A, 382A) 과, 제 1 및 제 2 연마 휠 (385B, 387B) 을 구비한다.
테이블 (302) 은, 상부에 유리 소재 (250) 를 설치하기 위해 사용된다. 또, 제 1 및 제 2 연삭 휠 (380A, 382A) 과 제 1 및 제 2 연마 휠 (385B, 387B) 은, 모두 유리 소재 (250) 의 제 1 단면 (256A) 을 가공하기 위해 사용된다.
제 1 연삭 휠 (380A) 은, 유리 소재 (250) 의 제 1 단면 (256A) 을 연삭할 수 있고, 제 1 연마 휠 (385B) 은, 유리 소재 (250) 의 제 1 단면 (256A) 을 연마할 수 있다. 동일하게, 제 2 연삭 휠 (382A) 은, 유리 소재 (250) 의 제 1 단면 (256A) 을 연삭할 수 있고, 제 2 연마 휠 (387B) 은, 유리 소재 (250) 의 제 1 단면 (256A) 을 연마할 수 있다.
제 1 연삭 휠 (380A) 과 제 1 연마 휠 (385B) 은 세트로 되어 있고, 제 1 연마 휠 (385B) 은 제 1 연삭 휠 (380A) 의 연삭 행정을 이후에 추종할 수 있다. 동일하게, 제 2 연삭 휠 (382A) 과 제 2 연마 휠 (387B) 은 세트로 되어 있고, 제 2 연마 휠 (387B) 은 제 2 연삭 휠 (382A) 의 연삭 행정을 이후에 추종할 수 있다.
제 1 연삭 휠 (380A) 은 탄성 변형이 잘 발생하지 않고, 연삭력이 높은 지석으로 구성된다. 그러한 지석으로는, 예를 들어 다이아몬드 또는 CBN 의 지립을 탄성 변형이 잘 발생하지 않는 메탈 본드로 고정시킨 메탈 본드 지석을 예시할 수 있다. 동일하게, 다이아몬드 지립을 갖는 전착 지석도 예시할 수 있다.
제 2 연삭 휠 (382A) 에 대해서도 동일하다.
한편, 제 1 연마 휠 (385B) 은, 탄성을 갖고, 연마에 적절한 지석으로 구성된다. 그러한 지석으로는, 예를 들어 다이아몬드, CBN, 녹색 탄화규소 (GC), 알루미나 (Al2O3), 경석, 또는 가닛 등의 지립을 탄성 변형이 발생하기 쉬운 수지, 또는 부틸 고무, 천연 고무 등의 본드로 고정시킨 지석을 예시할 수 있다.
제 2 연마 휠 (387B) 에 대해서도 동일하다.
또한, 본원에 있어서,「연삭」이란, 목적이 기판을 소정의 치수, 소정의 단면 형상이 되도록 깎는 것이며,「연마」란, 목적이 연삭으로 발생한 치핑, 크랙 등을 제거함과 함께 연삭면의 조도를 저감시키는 것이다.
(구체적인 가공 공정)
공정 S120 에서는, 유리 소재 (250) 가 가공 장치 (300) 에 설치되어, 유리 소재 (250) 가 가공 처리된다.
먼저, 도 6 에 나타내는 바와 같이, 유리 소재 (250) 는, 제 1 변 (260A) 이 제 1 및 제 2 연삭 휠 (380A, 382A) 과 대면하도록 하여, 가공 장치 (300) 의 테이블 (302) 상에 설치된다. 또한, 유리 소재 (250) 는 테이블 (302) 에 흡착 고정되어도 된다.
다음으로, 가공 장치 (300) 의 제 1 연삭 휠 (380A) 및 제 1 연마 휠 (385B) 이 소정 회전수로 회전된다. 또, 가공 장치 (300) 의 제 2 연삭 휠 (382A) 및 제 2 연마 휠 (387B) 이 소정 회전수로 회전된다.
다음으로, 도 6 에 나타내는 바와 같이, 제 1 연삭 휠 (380A) 이 유리 소재 (250) 의 제 1 단면 (256A) 에 접촉하면서, 제 1 변 (피가공면) (260A) 을 따라, 화살표 (A1) 의 방향으로 이동한다. 이하, 이 화살표 (A1) 의 방향을「이동 방향」이라고 한다. 제 1 연삭 휠 (380A) 의 이동에 의해, 유리 소재 (250) 의 제 1 단면 (256A) 이 연삭된다.
또, 제 1 연삭 휠 (380A) 에 의한 제 1 단면 (256A) 의 연삭이 개시되고 나서 잠시 후, 제 1 연마 휠 (385B) 이 유리 소재 (250) 의 제 1 단면 (256A) 에 접촉하면서, 제 1 변 (260A) 을 따라, 화살표 (A2) 의 방향으로 이동한다. 화살표 (A2) 는, 화살표 (A1) 와 동일한 방향 (도 6 에 있어서의 X 방향), 즉「이동 방향」이다.
제 1 연마 휠 (385B) 의 이동에 의해, 유리 소재 (250) 의 제 1 단면 (256A) 의 제 1 연삭 휠 (380A) 에 의해 연삭된 영역이 연마된다.
또, 제 1 연삭 휠 (380A) 에 의한 제 1 단면 (256A) 의 연삭과 거의 동시에 혹은 그 잠시 후, 제 2 연삭 휠 (382A) 이 유리 소재 (250) 의 제 1 단면 (256A) 에 접촉하면서, 제 1 변 (260A) 을 따라, 화살표 (A3) 의 방향으로 이동한다. 화살표 (A3) 는, 화살표 (A1) 와 동일한 방향 (도 6 에 있어서의 X 방향), 즉「이동 방향」이다. 제 2 연삭 휠 (382A) 의 이동에 의해, 유리 소재 (250) 의 제 1 단면 (256A) 이 연삭된다.
또, 제 2 연삭 휠 (382A) 에 의한 제 1 단면 (256A) 의 연삭이 개시되고 나서 잠시 후, 제 2 연마 휠 (387B) 이 유리 소재 (250) 의 제 1 단면 (256A) 에 접촉하면서, 제 1 변 (260A) 을 따라, 화살표 (A4) 의 방향으로 이동한다. 화살표 (A4) 는, 화살표 (A1) 와 동일한 방향 (도 6 에 있어서의 X 방향), 즉「이동 방향」이다.
제 2 연마 휠 (387B) 의 이동에 의해, 유리 소재 (250) 의 제 1 단면 (256A) 의 제 2 연삭 휠 (382A) 에 의해 연삭된 영역이 연마된다.
여기서, 제 1 연삭 휠 (380A) 은, 유리 소재 (250) 의 제 1 변 (260A) 의 도중 부분, 예를 들어 대략 중앙 부분으로부터 연삭을 개시하도록 조작된다. 그리고, 제 1 변 (260A) 의 종료점 (E) 까지 연삭을 계속한다.
또, 제 1 연마 휠 (385B) 은, 제 1 변 (260A) 의 제 1 연삭 휠 (380A) 에 의한 연삭이 이미 완료된 어느 위치로부터, 연마를 개시하도록 조작된다. 그리고, 제 1 변 (260A) 의 종료점 (E) 까지 연마를 계속한다.
한편, 제 2 연삭 휠 (382A) 은, 유리 소재 (250) 의 제 1 변 (260A) 의 개시점 (S) 으로부터 연삭을 개시하도록 조작된다. 그리고, 이동 방향을 따라 제 1 변 (260A) 의 도중까지 진행한 시점에서 연삭이 정지된다.
이 제 2 연삭 휠 (382A) 에 의한 연삭이 정지되는 위치는, 제 1 변 (260A) 의 제 1 연삭 휠 (380A) 에 의해 이미 연삭된 영역의 어느 위치이면 된다. 단, 제 2 연삭 휠 (382A) 에 의한 연삭이 정지되는 위치는, 제 1 연삭 휠 (380A) 에 의해 이미 연삭된 영역 중, 제 1 연마 휠 (385B) 에 의한 연마가 실시되지 않은 영역의 어느 위치인 것이 바람직하다. 이 경우, 제 1 연마 휠 (385B) 에 의해 연마된 영역이 제 2 연삭 휠 (382A) 에 의해 연삭되는 것을 회피할 수 있다.
또, 제 2 연마 휠 (387B) 은, 유리 소재 (250) 의 제 1 변 (260A) 의 개시점 (S) 으로부터, 연마를 개시하도록 조작된다. 그리고, 제 1 연마 휠 (385B) 에 의한 연마가 완료된 어느 위치까지, 연마를 계속한다.
단, 전술한 제 2 연삭 휠 (382A) 에 의한 연삭의 정지 위치가, 제 1 연마 휠 (385B) 에 의한 연마의 개시 위치를 넘은 경우, 제 2 연마 휠 (387B) 은, 이 제 2 연삭 휠 (382A) 에 의한 연삭의 정지 위치를 넘는 위치까지, 연마를 계속한다.
이로써, 유리 소재 (250) 의 제 1 변 (260A) 전체의 연삭 및 연마 처리가 완료되고, 유리 소재 (250) 의 제 1 단면 (256A) 이 가공된 유리 기판이 제조된다.
이와 같은 제 1 제조 방법에서는, 유리 소재 (250) 의 제 1 단면 (256A) 내에 제 1 연마 휠 (385B) 과 제 2 연마 휠 (387B) 의 양방에 의해 연마된 영역 (이하,「중복 연마 영역」이라고 한다) 이 발생한다. 그러한 중복 연마 영역에서는, 2 회의 연마에 의해, 제 1 단면 (256A) 의 다른 영역에 비해, 보다 평활한 표면이 얻어진다. 또한, 중복 연마 영역을 제 1 연마 휠 (385B) 및 제 2 연마 휠 (387B) 이 연마 처리할 때에는, 다른 영역을 연마 처리할 때보다 연마 휠의 이동 속도를 떨어뜨리거나 회전수를 떨어뜨리거나 함으로써, 평활한 표면이 얻어지기 쉬워 바람직하다.
전술한 바와 같이, 요철이 적은 평활한 표면은, 위치 결정 지그와 같은 부재의 맞닿음에 대하여, 비교적 양호한 강도를 갖는다. 따라서, 제 1 제조 방법에 의해 제조되는 유리 기판에서는, 단면의 그러한 중복 연마 영역을, 위치 결정 지그와 같은 부재와의 맞닿음 장소로서 이용함으로써, 단면에 크랙이 발생하거나, 거기로부터 컬릿이 발생하거나 하는 것을 유의하게 억제하는 것이 가능해진다.
(중복 연마 영역의 형성 공정)
여기서, 도 7 을 참조하여, 상기 중복 연마 영역을 형성하는 공정에 대해, 보다 상세하게 설명한다.
도 7 에는, 제 1 연삭 휠 (380A), 제 1 연마 휠 (385B), 제 2 연삭 휠 (382A), 및 제 2 연마 휠 (387B) 의 각각의 이동 궤적을 모식적으로 나타낸다. 도 7(a) 에는 제 1 연삭 휠 (380A) 의 모식적인 이동 궤적 (F1) 이 도시되어 있고, 도 7(b) 에는 제 1 연마 휠 (385B) 의 모식적인 이동 궤적 (F2) 이 도시되어 있다. 도 7(c) 에는 제 2 연삭 휠 (382A) 의 모식적인 이동 궤적 (F3) 이 도시되어 있다. 또, 도 7(d) 에는 제 2 연마 휠 (387B) 의 모식적인 이동 궤적 (F4) 이 도시되어 있다.
또, 도 7 에 있어서, 제 1 연삭 휠 (380A), 제 1 연마 휠 (385B), 제 2 연삭 휠 (382A), 및 제 2 연마 휠 (387B) 은 X 방향 (이동 방향) 을 따라 이동하고, 이로써, 유리 소재 (250) 의 제 1 단면 (256A) 은 Y 방향으로 연삭, 연마되는 (즉 두께 감소되는) 것으로 한다.
따라서, 도 7 에 있어서, 2 개의 위치를 상대 비교하는 경우, X 의 값이 보다 커지는 방향 (우측) 에 있는 것을「전방 (에 있다)」이라고 하고, 반대로 X 의 값이 보다 작아지는 방향 (좌측) 에 있는 것을「후방 (에 있다)」이라고 한다. 또, 이동을 정지한다란, 유리 소재 (250) 에 접촉한 상태에서의 이동을 정지하는 의미이며, 유리 소재 (250) 로부터 떨어지는 방향으로의 이동은 허용한다.
도 7 에 나타내는 바와 같이, 유리 소재 (250) 의 제 1 변 (260A) 은 개시점 (S) 에서 종료점 (E) 까지 연신된다.
도 7(a) 에 나타내는 바와 같이, 제 1 연삭 휠 (380A) 은, 제 1 변 (260A) 의 도중, 즉 제 1 연삭 개시점 (M1) 에서 제 1 단면 (256A) 과 접촉하고, 여기에서부터 제 1 단면 (256A) 의 연삭을 개시한다. 그리고, 제 1 연삭 휠 (380A) 은, 이동 방향을 따라, 제 1 변 (260A) 의 종료점 (E) 까지 연삭을 계속한다.
그 결과, 유리 소재 (250) 의 제 1 변 (260A) 에 대응하는 제 1 단면 (256A) 은, 제 1 연삭 개시점 (M1) 에서 종료점 (E) 까지의 영역이 연삭된다. 이하, 이 영역을「제 1 연삭 영역 (491)」이라고 한다.
제 1 연삭 영역 (491) 에 있어서, 제 1 연삭 휠 (380A) 에 의한 제 1 단면 (256A) 의 연삭량 (Y 방향의 두께 감소량) 은, 예를 들어, 0.05 ㎜ ∼ 0.50 ㎜ 의 범위이다.
한편, 도 7(b) 에 나타내는 바와 같이, 제 1 연마 휠 (385B) 은, 제 1 변 (260A) 의 도중, 즉 제 1 연마 개시점 (P1) 에서 제 1 단면 (256A) 과 접촉하고, 여기에서부터 제 1 단면 (256A) 의 연마를 개시한다. 그리고, 제 1 연마 휠 (385B) 은, 이동 방향을 따라, 제 1 변 (260A) 의 종료점 (E) 까지 연마를 계속한다.
그 결과, 유리 소재 (250) 의 제 1 단면 (256A) 은, 제 1 연마 개시점 (P1) 에서 종료점 (E) 까지의 영역이 연마된다. 이하, 이 영역을「제 1 연마 영역 (492)」이라고 한다.
여기서, 제 1 연마 개시점 (P1) 은, 제 1 연삭 개시점 (M1) 및 종료점 (E) 을 제외한 제 1 연삭 영역 (491) 의 범위 내이면, 어느 위치여도 된다.
제 1 연마 영역 (492) 에 있어서, 제 1 연마 휠 (385B) 에 의한 제 1 단면 (256A) 의 연마량은, 예를 들어, 1 ㎛ ∼ 30 ㎛ 의 범위이다.
또, 도 7(c) 에 나타내는 바와 같이, 제 2 연삭 휠 (382A) 은, 제 1 변 (260A) 의 개시점 (S) 에서 제 1 단면 (256A) 에 접촉하고, 여기에서부터 이동 방향을 따라 제 1 변 (260A) 의 제 1 이동 완료점 (N1) 까지 이동한다. 그리고, 제 2 연삭 휠 (382A) 은, 제 1 이동 완료점 (N1) 에 도달한 시점에서 이동을 정지한다.
제 1 이동 완료점 (N1) 은, 제 1 연삭 개시점 (M1) 및 그것보다 전방에 있는 어느 위치여도 된다. 특히 제 1 연삭 개시점 (M1) 보다 전방인 것이 바람직하다. 단, 도 7(c) 에 나타내는 바와 같이, 제 1 이동 완료점 (N1) 은, 제 1 연삭 개시점 (M1) ∼ 제 1 연마 개시점 (P1) 의 사이의 영역에 설정되는 것이 바람직하다.
이로써, 유리 소재 (250) 의 제 1 변 (260A) 은, 제 2 연삭 휠 (382A) 에 의해, 개시점 (S) 에서 제 1 이동 완료점 (N1) 까지의 영역이 연삭된다. 이하, 이 영역을「제 2 연삭 영역 (493)」이라고 한다.
제 2 연삭 영역 (493) 에 있어서, 제 2 연삭 휠 (382A) 에 의한 제 1 단면 (256A) 의 연삭량 (Y 방향의 두께 감소량) 은, 제 1 연삭 휠 (380A) 에 의한 제 1 연삭 영역 (491) 에 있어서의 연삭량과 실질적으로 동등하게 된다.
단, 통상적으로 제 1 연삭 개시점 (M1) ∼ 제 1 이동 완료점 (N1) 의 영역에 있어서의 연삭량은, 그 밖의 영역에 있어서의 연삭량의 2 배는 되지 않는다. 이것은, 제 2 연삭 휠 (382A) 은, 전술한 바와 같이, 변형이 잘 발생하지 않는 지석으로 구성되어 있기 때문이다. 즉, 제 1 연삭 개시점 (M1) ∼ 제 1 이동 완료점 (N1) 의 영역에서는, 이미 제 1 연삭 휠 (380A) 에 의해 제 1 단면 (256A) 은 Y 방향으로 약간 두께 감소되어 있다. 이 때문에, 변형이 잘 발생하지 않는 부재로 구성된 제 2 연삭 휠 (382A) 이 이 영역을 통과해도, 다시 제 1 연삭 휠 (380A) 과 동량의 연삭을 실시하는 것은 어려워진다. 통상적인 경우, 제 2 연삭 휠 (382A) 의 통과 후의 제 1 연삭 개시점 (M1) ∼ 제 1 이동 완료점 (N1) 의 영역에 있어서의 연삭량은, 다른 영역의 연삭량에 비해 약간 증가하는 정도이다.
또, 도 7(d) 에 나타내는 바와 같이, 제 2 연마 휠 (387B) 은, 제 1 변 (260A) 의 개시점 (S) 에서 제 1 단면 (256A) 에 접촉하고, 여기에서부터 이동 방향을 따라 제 1 연마 완료점 (Q1) 까지 이동한다. 그리고, 제 2 연마 휠 (387B) 은 제 1 연마 완료점 (Q1) 에 도달한 시점에서 이동을 정지한다.
그 결과, 유리 소재 (250) 의 제 1 변 (260A) 은, 제 2 연마 휠 (387B) 에 의해, 개시점 (S) 에서 제 1 연마 완료점 (Q1) 까지의 영역이 연마된다. 이하, 이 영역을「제 2 연마 영역 (494)」이라고 한다.
여기서, 도 7(c) 에 나타내는 바와 같이, 제 1 이동 완료점 (N1) 이 제 1 연삭 개시점 (M1) ∼ 제 1 연마 개시점 (P1) 의 사이의 영역에 설정되는 경우, 제 1 연마 완료점 (Q1) 은, 제 1 연마 개시점 (P1) 을 제외한 제 1 연마 영역 (492) 의 범위 내이면, 어느 위치여도 된다.
한편, 제 1 이동 완료점 (N1) 이 제 1 연마 개시점 (P1) 보다 전방에 있는 경우, 제 1 연마 완료점 (Q1) 은 제 1 이동 완료점 (N1) 보다 전방의 위치에 설정된다.
제 2 연마 영역 (494) 에 있어서, 제 2 연마 휠 (387B) 에 의한 제 1 단면 (256A) 의 연마량은, 제 1 연마 휠 (385B) 에 의한 제 1 연마 영역 (492) 에 있어서의 연마량과 실질적으로 동등하게 된다.
이상의 공정 결과, 제 1 이동 완료점 (N1) 이 제 1 연삭 개시점 (M1) ∼ 제 1 연마 개시점 (P1) 의 사이의 영역에 설정되는 경우, 도 7(d) 에 나타내는 바와 같이, 제 2 연마 영역 (494) 중, 제 1 연마 영역 (492) 과 중복되는 영역, 즉, 제 1 연마 개시점 (P1) ∼ 제 1 연마 완료점 (Q1) 의 영역에서는, 제 1 연마 휠 (385B) 및 제 2 연마 휠 (387B) 에 의한 2 회의 연마 처리가 실시되게 된다. 따라서, 여기에 중복 연마 영역 (495) 이 형성된다.
한편, 제 1 이동 완료점 (N1) 이 제 1 연마 개시점 (P1) 보다 전방에 있는 경우에는, 제 1 이동 완료점 (N1) ∼ 제 1 연마 완료점 (Q1) 의 영역에 중복 연마 영역 (495) 이 형성된다.
전술한 바와 같이, 중복 연마 영역 (495) 에서는, 제 1 단면 (256A) 의 다른 영역에 비해, 보다 평활한 표면이 얻어진다.
예를 들어, 제 1 단면 (256A) 의 다른 영역에 있어서의 산술 평균 조도를 Ra (3) 으로 하고, 중복 연마 영역 (495) 에 있어서의 산술 평균 조도를 Ra (4) 로 하였을 때,
Ra (4)/Ra (3) ≤ 0.8 (2) 식
이 얻어져도 된다.
(추가의 공정)
이상의 공정 S110 ∼ 공정 S120 에 의해, 유리 소재 (250) 로부터 제 1 단면 (256A) 에 중복 연마 영역 (495) 을 갖는 유리 기판을 제조할 수 있다.
단, 제 1 제조 방법은, 필요에 따라, 이하의 적어도 1 개의 공정을 추가로 실시해도 된다 :
(a) 유리 소재 (250) 의 제 2 단면 (256B) 의 가공 공정,
(b) 유리 소재 (250) 의 제 3 단면 (256C) 의 가공 공정, 및
(c) 유리 소재 (250) 의 제 4 단면 (256D) 의 가공 공정.
이 중, (a) 의 가공 공정을 실시할 때에는, 전술한 도 5 및 도 6 에 나타낸 가공 장치 (300) 에 있어서, 유리 소재 (250) 를 반시계 방향으로 90°회전시키면 된다. 그러한 상태에서, 전술한 공정을 실시함으로써, 제 2 단면 (256B) 에 중복 연마 영역을 형성할 수 있다.
또, (b) 의 가공 공정을 실시할 때에는, 전술한 도 5 및 도 6 에 나타낸 가공 장치 (300) 에 있어서, 유리 소재 (250) 를 (반)시계 방향으로 180°회전시키면 된다. 그러한 상태에서, 전술한 공정을 실시함으로써, 제 3 단면 (256C) 에 중복 연마 영역을 형성할 수 있다.
혹은, 가공 장치 (300) 에 제 1 연삭 휠 (380A) 및 제 1 연마 휠 (385B), 그리고 제 2 연삭 휠 (382A) 및 제 2 연마 휠 (387B) 과 동일한 가공 수단 (예를 들어, 제 3 연삭 휠과 제 3 연마 휠의 세트, 및 제 4 연삭 휠과 제 4 연마 휠의 세트) 을 형성해도 된다. 이것들은 유리 소재 (250) 의 제 3 변 (260C) 에 대면하도록 배치된다.
가공 장치 (300) 가 그러한 구성을 갖는 경우, 유리 소재 (250) 의 제 1 단면 (256A) 및 제 3 단면 (256C) 을 한 번에 가공하는 것이 가능해진다. 이 때문에, 가공 속도가 향상된다.
또, (c) 의 가공 공정을 실시할 때에는, 전술한 도 6 및 도 7 에 나타낸 가공 장치 (300) 에 있어서, 유리 소재 (250) 를 시계 방향으로 90°회전시키면 된다. 그러한 상태에서, 전술한 공정을 실시함으로써, 제 4 단면 (256D) 에 중복 연마 영역을 형성할 수 있다.
또한, (a) 및 (c) 의 가공 공정에 있어서는, 가공 장치 (300) 가 전술한 제 3 연삭 휠 및 제 3 연마 휠, 그리고 제 4 연삭 휠 및 제 4 연마 휠을 갖는 경우, 유리 소재 (250) 를 시계 방향 또는 반시계 방향으로 90°회전시키면 된다.
이 경우, 유리 소재 (250) 의 제 2 단면 (256B) 및 제 4 단면 (256D) 을 한 번에 가공하는 것이 가능해진다. 이 때문에, 가공 속도가 향상된다.
이상, 가공 장치 (300) 를 사용한 제 1 제조 방법에 대해 설명하였다. 그러나, 상기 설명은 단순한 일례로서, 제 1 제조 방법에 있어서, 각종 변경이 가능하다.
예를 들어, 전술한 도 7(a) 에 나타낸 공정에서는, 제 1 연삭 휠 (380A) 은, 변 (260A) 을 따라 제 1 연삭 개시점 (M1) 에서 변 (260A) 의 종료점 (E) 까지 이동된다. 그 결과, 제 1 연삭 개시점 (M1) ∼ 종료점 (E) 의 영역에 제 1 연삭 영역 (491) 이 형성된다.
그러나, 제 1 연삭 휠 (380A) 은, 제 1 연삭 개시점 (M1) ∼ 종료점 (E) 의 사이의 어떠한 위치에서, 제 1 단면 (256A) 의 연삭을 정지해도 된다.
또, 도 7(c) 에 나타낸 공정에서는, 제 2 연삭 휠 (382A) 은, 변 (260A) 을 따라 개시점 (S) 에서 제 1 이동 완료점 (N1) 까지 이동된다. 그 결과, 개시점 (S) ∼ 제 1 이동 완료점 (N1) 의 사이에 제 2 연삭 영역 (493) 이 형성된다.
그러나, 제 2 연삭 휠 (382A) 은, 개시점 (S) ∼ 제 1 연삭 개시점 (M1) 의 사이의 어떠한 위치 (단 제 1 연삭 개시점 (M1) 은 제외한다) 로부터, 제 1 단면 (256A) 의 연삭을 개시해도 된다.
동일하게, 전술한 도 7(b) 에 나타낸 공정에서는, 제 1 연마 휠 (385B) 은, 변 (260A) 을 따라 제 1 연마 개시점 (P1) 에서 변 (260A) 의 종료점 (E) 까지 이동된다. 그 결과, 제 1 연마 개시점 (P1) ∼ 종료점 (E) 의 영역에 제 1 연마 영역 (492) 이 형성된다.
그러나, 제 1 연마 휠 (385B) 은, 제 1 연마 개시점 (P1) ∼ 종료점 (E) 의 사이의 어떠한 위치에서, 제 1 단면 (256A) 의 연마를 정지해도 된다.
동일하게, 전술한 도 7(d) 에 나타낸 공정에서는, 제 2 연마 휠 (387B) 은, 변 (260A) 을 따라 개시점 (S) 에서 제 1 연마 완료점 (Q1) 까지 이동된다. 그 결과, 개시점 (S) ∼ 제 1 연마 완료점 (Q1) 의 영역에 제 2 연마 영역 (494) 이 형성된다.
그러나, 제 2 연마 휠 (387B) 은, 개시점 (S) ∼ 제 1 연마 개시점 (P1) 의 범위의 어떠한 위치 (단 제 1 연마 개시점 (P1) 은 제외한다) 로부터, 제 1 단면 (256A) 의 연마를 개시해도 된다. 또, 제 2 연마 휠 (387B) 은, 제 1 이동 완료점 (N1) 보다 전방으로서, 또한 제 1 연마 영역 (492) 의 범위 내이면 어떠한 위치까지 이동해도 된다.
또, 제 2 연삭 휠 (382A) 에 의한 연삭 (제 2 연삭) 은, 제 2 연삭 휠이 제 1 연삭 휠을 추월하지 않는 한, 어느 타이밍에서 개시해도 된다. 동일하게 제 2 연마 휠 (387B) 에 의한 연마 (제 2 연마) 는, 제 2 연마 휠이 제 1 연마 휠을 추월하지 않는 한, 어느 타이밍에서 개시해도 된다. 예를 들어, 제 2 연삭의 개시는, 제 1 연삭 휠 (380A) 에 의한 연삭 (제 1 연삭) 과 동시, 또는 실시 중 등 완료 전인 것이 바람직하다. 동일하게, 제 2 연마의 개시는, 제 1 연마 휠 (385B) 에 의한 연마 (제 1 연마) 와 동시, 또는 실시 중 등 완료 전인 것이 바람직하다. 또한, 제 2 연삭 휠 (382A) 에 의한 제 2 연삭은, 제 1 연마 휠 (385B) 에 의한 제 1 연마의 개시 전, 동시, 또는 실시 중 등 완료 전인 것이 바람직하다.
요컨대, 도 7(a) 와 도 7(c) 에 나타낸 공정이 완료된 후, 도 7(b) 와 도 7(d) 에 나타낸 공정을 실시해도 되는데, 생산성의 관점에서, 도 7(a) 와 도 7(c) 의 공정은 동시에, 또는 그것에 가까운 타이밍에서 개시하고, 도 7(a) 와 도 7(c) 의 공정이 완료되기 전에 도 7(b) 와 도 7(d) 의 공정을 개시하는 것이 바람직하다.
또, 1 개의 연삭 휠과 2 개의 연마 휠을 세트로 하여, 연삭 휠로 연삭한 영역을 제 1 연마 휠로 연마하고, 제 1 연마 휠로 연마한 영역의 적어도 일부가 중복되도록 제 2 연마 휠로 연마를 실시해도 된다.
또, 제 1 연마 개시점 (P1) ∼ 제 1 연마 완료점 (Q1) 의 사이에서 2 회째의 연마 공정을 실시해도 된다.
그 밖에도 각종 변경이 가능한 것은, 당업자는 용이하게 이해할 수 있다.
(본 발명의 다른 실시형태에 의한 유리 기판의 제조 방법)
다음으로, 본 발명의 다른 실시형태에 의한 유리 기판의 제조 방법 (이하,「 제 2 제조 방법」이라고 한다) 에 대해 설명한다.
전술한 제 1 제조 방법에서는, 유리 소재 (250) 의 적어도 1 개의 단면 (예를 들어 제 1 단면 (256A)) 에 1 개의 중복 연마 영역 (495) 이 형성된다. 이에 대하여, 제 2 제조 방법에서는, 유리 소재의 1 개의 단면에 복수의 중복 연마 영역이 형성된다.
이하, 도 8 ∼ 도 11 을 참조하여, 제 2 제조 방법에 대해 설명한다.
도 8 에는, 제 2 제조 방법의 플로우를 모식적으로 나타낸다. 또, 도 9 ∼ 도 11 에는, 제 2 제조 방법에 있어서의 일 공정의 모습을 모식적으로 나타낸다.
도 8 에 나타내는 바와 같이, 제 2 제조 방법은,
(1) 제 1 및 제 2 표면과, 양 표면을 접속시키는 단면을 갖는 유리 소재를 준비하는 공정 (공정 S210) 과,
(2) 제 2 가공 장치를 사용하여, 상기 유리 소재의 상기 단면을 연삭 및 연마하는 공정 (공정 S220) 을 갖는다.
이하, 도 9 ∼ 도 11 을 참조하여, 각 공정에 대해 상세하게 설명한다.
(공정 S210)
이 공정 S210 은, 전술한 제 1 제조 방법에 있어서의 공정 S110 과 동일하다. 따라서, 이 공정의 상세는 생략한다. 또한, 이하의 설명에서는, 명확화를 위해, 유리 소재의 각 부분을 나타낼 때, 도 4 에 나타낸 참조 부호를 사용한다.
(공정 S220)
다음으로, 제 2 가공 장치를 사용하여, 유리 소재 (250) 의 단면이 가공 처리된다. 여기서는, 일례로서, 유리 소재 (250) 의 제 1 단면 (256A) 이 가공 처리되는 경우를 예로 설명한다.
(제 2 가공 장치)
도 9 에는, 제 2 제조 방법에 사용될 수 있는 제 2 가공 장치의 구성을 모식적으로 나타낸다.
도 9 에 나타내는 바와 같이, 제 2 가공 장치 (500) 는, 테이블 (502) 과, 제 1 ∼ 제 3 연삭 휠 (580A ∼ 584A) 과, 제 1 ∼ 제 3 연마 휠 (585B ∼ 589B) 을 구비한다.
이 중, 테이블 (502), 제 1 및 제 2 연삭 휠 (580A, 582A), 그리고 제 1 및 제 2 연마 휠 (585B, 587B) 의 구성 및 기능은, 전술한 가공 장치 (300) 와 동일하다. 그 때문에, 여기서는 상세를 생략한다.
제 3 연삭 휠 (584A) 은, 유리 소재 (250) 의 제 1 단면 (256A) 을 연삭할 수 있다. 또, 제 3 연마 휠 (589B) 은, 유리 소재 (250) 의 제 1 단면 (256A) 을 연마할 수 있다.
제 1 연삭 휠 (580A) 과 제 1 연마 휠 (585B) 은 세트로 되어 있고, 제 1 연마 휠 (585B) 은 제 1 연삭 휠 (580A) 의 연삭 행정을 이후에 추종할 수 있다. 동일하게, 제 2 연삭 휠 (582A) 과 제 2 연마 휠 (587B) 은 세트로 되어 있고, 제 2 연마 휠 (587B) 은 제 2 연삭 휠 (582A) 의 연삭 행정을 이후에 추종할 수 있다. 또한, 제 3 연삭 휠 (584A) 과 제 3 연마 휠 (589B) 은 세트로 되어 있고, 제 3 연마 휠 (589B) 은 제 3 연삭 휠 (584A) 의 연삭 행정을 이후에 추종할 수 있다.
제 3 연삭 휠 (584A) 은, 탄성 변형이 잘 발생하지 않고, 연삭력이 높은 지석으로 구성된다. 한편, 제 3 연마 휠 (589B) 은, 탄성을 갖고, 연마에 적절한 지석으로 구성된다.
제 2 가공 장치 (500) 에 의해, 유리 소재 (250) 의 제 1 단면 (256A) 을 가공할 때에는, 도 10 에 나타내는 바와 같이, 유리 소재 (250) 가 제 2 가공 장치 (500) 의 테이블 (502) 상에 설치된다. 이 때에는, 유리 소재 (250) 는, 제 1 변 (260A) 이 제 1 ∼ 제 3 연삭 휠 (580A ∼ 584A) 과 대면하도록 하여, 테이블 (302) 상에 설치된다.
다음으로, 제 2 가공 장치 (500) 의 제 1 연삭 휠 (580A) 및 제 1 연마 휠 (585B) 이 소정 회전수로 회전된다. 또, 제 2 연삭 휠 (582A) 및 제 2 연마 휠 (587B) 이 소정 회전수로 회전된다. 또한, 제 3 연삭 휠 (584A) 및 제 3 연마 휠 (589B) 이 소정 회전수로 회전된다.
다음으로, 도 10 에 나타내는 바와 같이, 제 1 연삭 휠 (580A) 이 유리 소재 (250) 의 제 1 단면 (256A) 에 접촉하면서, 제 1 변 (피가공면) (260A) 을 따라, 화살표 (A1) 의 방향으로 이동한다. 이하, 이 화살표 (A1) 의 방향을「이동 방향」이라고 한다. 제 1 연삭 휠 (580A) 의 이동에 의해, 유리 소재 (250) 의 제 1 단면 (256A) 이 연삭된다.
또, 제 1 연삭 휠 (580A) 에 의한 제 1 단면 (256A) 의 연삭이 개시되고 나서 잠시 후, 제 1 연마 휠 (585B) 이 유리 소재 (250) 의 제 1 단면 (256A) 에 접촉하면서, 제 1 변 (260A) 을 따라, 화살표 (A2) 의 방향으로 이동한다. 여기서, 화살표 (A2) 는 화살표 (A1) 와 동일한 방향, 즉「이동 방향」이다.
제 1 연마 휠 (585B) 의 이동에 의해, 유리 소재 (250) 의 제 1 단면 (256A) 의 제 1 연삭 휠 (580A) 에 의해 연삭된 영역이 연마된다.
또, 제 1 연삭 휠 (580A) 에 의한 제 1 단면 (256A) 의 연삭과 거의 동시에, 혹은 그 잠시 후, 제 2 연삭 휠 (582A) 이 유리 소재 (250) 의 제 1 단면 (256A) 에 접촉하면서, 제 1 변 (260A) 을 따라, 화살표 (A3) 의 방향으로 이동한다. 화살표 (A3) 는 화살표 (A1) 와 동일한 방향 (도 6 에 있어서의 X 방향), 즉「이동 방향」이다. 제 2 연삭 휠 (382A) 의 이동에 의해, 유리 소재 (250) 의 제 1 단면 (256A) 이 연삭된다.
또, 제 2 연삭 휠 (582A) 에 의한 제 1 단면 (256A) 의 연삭이 개시되고 나서 잠시 후, 제 2 연마 휠 (587B) 이 유리 소재 (250) 의 제 1 단면 (256A) 에 접촉하면서, 제 1 변 (260A) 을 따라, 화살표 (A4) 의 방향으로 이동한다. 화살표 (A4) 는 화살표 (A1) 와 동일한 방향 (도 6 에 있어서의 X 방향), 즉「이동 방향」이다.
제 2 연마 휠 (587B) 의 이동에 의해, 유리 소재 (250) 의 제 1 단면 (256A) 의 제 2 연삭 휠 (582A) 에 의해 연삭된 영역이 연마된다.
또, 제 2 연삭 휠 (582A) 에 의한 제 1 단면 (256A) 의 연삭과 거의 동시에, 혹은 그 잠시 후, 제 3 연삭 휠 (584A) 이 유리 소재 (250) 의 제 1 단면 (256A) 에 접촉하면서, 제 1 변 (260A) 을 따라, 화살표 (A5) 의 방향으로 이동한다. 화살표 (A5) 는 화살표 (A1) 와 동일한 방향 (도 6 에 있어서의 X 방향), 즉「이동 방향」이다. 제 3 연삭 휠 (584A) 의 이동에 의해, 유리 소재 (250) 의 제 1 단면 (256A) 이 연삭된다.
또, 제 3 연삭 휠 (584A) 에 의한 제 1 단면 (256A) 의 연삭이 개시되고 나서 잠시 후, 제 3 연마 휠 (589B) 이 유리 소재 (250) 의 제 1 단면 (256A) 에 접촉하면서, 제 1 변 (260A) 을 따라, 화살표 (A6) 의 방향으로 이동한다. 화살표 (A6) 는 화살표 (A1) 와 동일한 방향 (도 6 에 있어서의 X 방향), 즉「이동 방향」이다.
제 3 연마 휠 (589B) 의 이동에 의해, 유리 소재 (250) 의 제 1 단면 (256A) 의 제 3 연삭 휠 (584A) 에 의해 연삭된 영역이 연마된다.
이로써, 유리 소재 (250) 의 제 1 변 (260A) 전체의 연삭 및 연마 처리가 완료되어, 유리 소재 (250) 의 제 1 단면 (256A) 이 가공된 유리 기판이 제조된다.
도 11 에는, 제 1 연삭 휠 (580A), 제 1 연마 휠 (585B), 제 2 연삭 휠 (582A), 제 2 연마 휠 (587B), 제 3 연삭 휠 (584A), 및 제 3 연마 휠 (589B) 의 각각의 이동 궤적을 모식적으로 나타낸다.
도 11(a) 에는 제 1 연삭 휠 (580A) 의 모식적인 이동 궤적 (F1) 이 도시되어 있고, 도 11(b) 에는 제 1 연마 휠 (585B) 의 모식적인 이동 궤적 (F2) 이 도시되어 있고, 도 11(c) 에는 제 2 연삭 휠 (582A) 의 모식적인 이동 궤적 (F3) 이 도시되어 있고, 도 11(d) 에는 제 2 연마 휠 (587B) 의 모식적인 이동 궤적 (F4) 이 도시되어 있고, 도 11(e) 에는 제 3 연삭 휠 (584A) 의 모식적인 이동 궤적 (F5) 이 도시되어 있고, 도 11(f) 에는 제 3 연마 휠 (589B) 의 모식적인 이동 궤적 (F6) 이 도시되어 있다.
도 11 에 있어서, 제 1 연삭 휠 (580A) 및 제 1 연마 휠 (585B), 제 2 연삭 휠 (582A) 및 제 2 연마 휠 (587B), 그리고 제 3 연삭 휠 (584A) 및 제 3 연마 휠 (589B) 은 모두 X 방향 (이동 방향) 을 따라 이동하고, 이로써, 유리 소재 (250) 의 제 1 단면 (256A) 은 Y 방향으로 연삭, 연마되는 (즉 두께 감소되는) 것으로 한다.
도 11(a) 에 나타내는 바와 같이, 제 1 연삭 휠 (580A) 은, 제 1 변 (260A) 의 도중, 즉 제 1 연삭 개시점 (M1) 에서 제 1 단면 (256A) 과 접촉하고, 여기에서부터 제 1 단면 (256A) 의 연삭을 개시한다. 그리고, 제 1 연삭 휠 (380A) 은, 이동 방향을 따라, 제 1 변 (260A) 의 종료점 (E) 까지 연삭을 계속한다.
그 결과, 유리 소재 (250) 의 제 1 변 (260A) 에 대응하는 제 1 단면 (256A) 은, 제 1 연삭 개시점 (M1) 에서 종료점 (E) 까지의 영역이 연삭된다. 이하, 이 영역을「제 1 연삭 영역 (691)」이라고 한다.
한편, 도 11(b) 에 나타내는 바와 같이, 제 1 연마 휠 (585B) 은, 제 1 변 (260A) 의 도중, 즉 제 1 연마 개시점 (P1) 에서 제 1 단면 (256A) 과 접촉하고, 여기에서부터 제 1 단면 (256A) 의 연마를 개시한다. 그리고, 제 1 연마 휠 (585B) 은, 이동 방향을 따라, 제 1 변 (260A) 의 종료점 (E) 까지 연마를 계속한다.
그 결과, 유리 소재 (250) 의 제 1 단면 (256A) 은, 제 1 연마 개시점 (P1) 에서 종료점 (E) 까지의 영역이 연마된다. 이하, 이 영역을「제 1 연마 영역 (692)」이라고 한다.
여기서, 제 1 연마 개시점 (P1) 은, 제 1 연삭 개시점 (M1) 및 종료점 (E) 을 제외한 제 1 연삭 영역 (691) 의 범위 내이면 어느 위치여도 된다.
또, 도 11(c) 에 나타내는 바와 같이, 제 2 연삭 휠 (582A) 은, 제 1 변 (260A) 의 도중, 즉 제 2 연삭 개시점 (M2) 에서 제 1 단면 (256A) 과 접촉하고, 여기에서부터 이동 방향을 따라 제 1 변 (260A) 의 도중, 즉 제 1 이동 완료점 (N1) 까지 이동한다. 그리고, 제 2 연삭 휠 (582A) 은, 제 1 이동 완료점 (N1) 에 도달한 시점에서 이동을 정지한다.
여기서, 제 2 연삭 개시점 (M2) 은, 변 (260A) 의 개시점 (S) 및 제 1 연삭 개시점 (M1) 을 제외한 개시점 (S) ∼ 제 1 연삭 개시점 (M1) 의 범위 내이면 어느 위치여도 된다. 또, 제 1 이동 완료점 (N1) 은 제 1 연삭 개시점 (M1) 및 그것보다 전방의 어느 위치여도 된다. 특히 제 1 연삭 개시점 (M1) 보다 전방인 것이 바람직하다. 단, 도 11(c) 에 나타내는 바와 같이, 제 1 이동 완료점 (N1) 은 제 1 연삭 개시점 (M1) ∼ 제 1 연마 개시점 (P1) 의 사이의 영역에 설정되는 것이 바람직하다.
이로써, 유리 소재 (250) 의 제 1 변 (260A) 은, 제 2 연삭 휠 (582A) 에 의해, 제 2 연삭 개시점 (M2) 에서 제 1 이동 완료점 (N1) 까지의 영역이 연삭된다. 이하, 이 영역을「제 2 연삭 영역 (693)」이라고 한다.
또, 도 11(d) 에 나타내는 바와 같이, 제 2 연마 휠 (587B) 은, 제 1 변 (260A) 의 도중, 즉 제 2 연마 개시점 (P2) 에서 제 1 단면 (256A) 과 접촉하고, 여기에서부터 이동 방향을 따라 제 1 변 (260A) 의 도중, 즉 제 1 연마 완료점 (Q1) 까지 이동한다. 그리고, 제 2 연마 휠 (587B) 은 제 1 연마 완료점 (Q1) 에 도달한 시점에서 이동을 정지한다.
그 결과, 유리 소재 (250) 의 제 1 변 (260A) 은, 제 2 연마 휠 (587B) 에 의해, 제 2 연마 개시점 (P2) 에서 제 1 연마 완료점 (Q1) 까지의 영역이 연마된다. 이하, 이 영역을「제 2 연마 영역 (694)」이라고 한다.
제 2 연마 개시점 (P2) 은, 제 2 연삭 개시점 (M2) 및 제 1 연삭 개시점 (M1) 을 제외한 제 2 연삭 개시점 (M2) ∼ 제 1 연삭 개시점 (M1) 의 범위 내이면 어느 위치여도 된다.
여기서, 도 11(c) 에 나타내는 바와 같이, 제 1 이동 완료점 (N1) 이 제 1 연삭 개시점 (M1) ∼ 제 1 연마 개시점 (P1) 의 사이의 영역에 설정되는 경우, 제 1 연마 완료점 (Q1) 은, 제 1 연마 개시점 (P1) 을 제외한 제 1 연마 영역 (692) 의 범위 내이면 어느 위치여도 된다.
한편, 제 1 이동 완료점 (N1) 이 제 1 연마 개시점 (P1) 보다 전방에 있는 경우, 제 1 연마 완료점 (Q1) 은 제 1 이동 완료점 (N1) 보다 전방의 위치에 설정된다.
제 1 이동 완료점 (N1) 이 제 1 연삭 개시점 (M1) ∼ 제 1 연마 개시점 (P1) 의 사이의 영역에 설정되는 경우, 도 11(d) 에 나타내는 바와 같이, 제 2 연마 영역 (694) 중, 제 1 연마 영역 (692) 과 중복되는 영역, 즉, 제 1 연마 개시점 (P1) ∼ 제 1 연마 완료점 (Q1) 의 영역에서는, 제 1 연마 휠 (385B) 및 제 2 연마 휠 (387B) 에 의한 2 회의 연마 처리가 실시되게 된다. 따라서, 여기에 제 1 중복 연마 영역 (695) 이 형성된다.
한편, 제 1 이동 완료점 (N1) 이 제 1 연마 개시점 (P1) 보다 전방에 있는 경우에는, 제 1 이동 완료점 (N1) ∼ 제 1 연마 완료점 (Q1) 의 영역에 제 1 중복 연마 영역이 형성된다.
또, 도 11(e) 에 나타내는 바와 같이, 제 3 연삭 휠 (584A) 은, 제 1 변 (260A) 의 개시점 (S) 에서 제 1 단면 (256A) 에 접촉하고, 여기에서부터 이동 방향을 따라 제 1 변 (260A) 의 제 2 이동 완료점 (N2) 까지 이동한다. 그리고, 제 3 연삭 휠 (584A) 은 제 2 이동 완료점 (N2) 에 도달한 시점에서 이동을 정지한다.
제 2 이동 완료점 (N2) 은, 제 2 연삭 개시점 (M2) 및 그것보다 전방에 있는 어느 위치여도 된다. 특히 제 2 연삭 개시점 (M2) 보다 전방인 것이 바람직하다. 단, 도 11(e) 에 나타내는 바와 같이, 제 2 이동 완료점 (N2) 은, 제 2 연삭 개시점 (M2) ∼ 제 2 연마 개시점 (P2) 의 사이의 영역에 설정되는 것이 바람직하다.
이로써, 유리 소재 (250) 의 제 1 변 (260A) 은, 제 3 연삭 휠 (584A) 에 의해, 개시점 (S) 에서 제 2 이동 완료점 (N2) 까지의 영역이 연삭된다. 이하, 이 영역을「제 3 연삭 영역 (696)」이라고 한다.
또, 도 11(f) 에 나타내는 바와 같이, 제 3 연마 휠 (589B) 은, 제 1 변 (260A) 의 개시점 (S) 에서 제 1 단면 (256A) 에 접촉하고, 여기에서부터 이동 방향을 따라 제 2 연마 완료점 (Q2) 까지 이동한다. 그리고, 제 3 연마 휠 (589B) 은 제 2 연마 완료점 (Q2) 에 도달한 시점에서 이동을 정지한다.
그 결과, 유리 소재 (250) 의 제 1 변 (260A) 은, 제 3 연마 휠 (589B) 에 의해, 개시점 (S) 에서 제 2 연마 완료점 (Q2) 까지의 영역이 연마된다. 이하, 이 영역을「제 3 연마 영역 (697)」이라고 한다.
여기서, 도 11(e) 에 나타내는 바와 같이, 제 2 이동 완료점 (N2) 이 제 2 연삭 개시점 (M2) ∼ 제 2 연마 개시점 (P2) 의 사이의 영역에 설정되는 경우, 제 2 연마 완료점 (Q2) 은 제 2 연마 개시점 (P2) 을 제외한 제 2 연마 영역 (694) 의 범위 내이면 어느 위치여도 된다.
한편, 제 2 이동 완료점 (N2) 이 제 2 연마 개시점 (P2) 보다 전방에 있는 경우, 제 2 연마 완료점 (Q2) 은 제 2 이동 완료점 (N2) 보다 전방의 위치에 설정된다.
제 2 이동 완료점 (N2) 이 제 2 연삭 개시점 (M2) ∼ 제 2 연마 개시점 (P2) 의 사이의 영역에 설정되는 경우, 도 11(f) 에 나타내는 바와 같이, 제 3 연마 영역 (697) 중, 제 2 연마 영역 (694) 과 중복되는 영역, 즉, 제 2 연마 개시점 (P2) ∼ 제 2 연마 완료점 (Q2) 의 영역에서는, 제 2 연마 휠 (587B) 및 제 3 연마 휠 (589B) 에 의한 2 회의 연마 처리가 실시되게 된다. 따라서, 여기에 제 2 중복 연마 영역 (697) 이 형성된다.
한편, 제 1 이동 완료점 (N2) 이 제 2 연마 개시점 (P2) 보다 전방에 있는 경우에는, 제 2 이동 완료점 (N2) ∼ 제 2 연마 완료점 (Q2) 의 영역에 제 2 중복 연마 영역이 형성된다.
이상의 공정 결과, 제 1 단면 (256A) 에 2 개 지점의 중복 연마 영역 (695, 698) 을 형성할 수 있다.
이상, 제 2 가공 장치 (500) 를 사용한 제 2 제조 방법에 대해 설명하였다. 그러나, 상기 설명은 단순한 일례로서, 제 2 제조 방법에 있어서, 각종 변경이 가능하다.
예를 들어, 전술한 도 11(a) 에 나타낸 공정에서는, 제 1 연삭 휠 (580A) 은, 변 (260A) 을 따라 제 1 연삭 개시점 (M1) 에서 변 (260A) 의 종료점 (E) 까지 이동된다. 그 결과, 제 1 연삭 개시점 (M1) ∼ 종료점 (E) 의 영역에 제 1 연삭 영역 (691) 이 형성된다.
그러나, 제 1 연삭 휠 (580A) 은, 제 1 연삭 개시점 (M1) ∼ 종료점 (E) 의 사이의 어떠한 위치에서 제 1 단면 (256A) 의 연삭을 정지해도 된다.
또, 전술한 도 11(b) 에 나타낸 공정에서는, 제 1 연마 휠 (585B) 은, 변 (260A) 을 따라 제 1 연마 개시점 (P1) 에서 변 (260A) 의 종료점 (E) 까지 이동된다. 그 결과, 제 1 연마 개시점 (P1) ∼ 종료점 (E) 의 영역에 제 1 연마 영역 (692) 이 형성된다.
그러나, 제 1 연마 휠 (585B) 은, 제 1 연마 개시점 (P1) ∼ 종료점 (E) 의 사이의 어떠한 위치에서 제 1 단면 (256A) 의 연마를 정지해도 된다.
또, 도 11(e) 에 나타낸 공정에서는, 제 3 연삭 휠 (584A) 은, 변 (260A) 을 따라 개시점 (S) 에서 제 2 이동 완료점 (N2) 까지 이동된다. 그 결과, 개시점 (S) ∼ 제 2 연삭 개시점 (M2) 의 사이에 제 3 연삭 영역 (696) 이 형성된다.
그러나, 제 3 연삭 휠 (584A) 은, 개시점 (S) ∼ 제 2 연삭 개시점 (M2) 의 범위의 어떠한 위치로부터 제 1 단면 (256A) 의 연삭을 개시해도 된다.
또, 전술한 도 11(f) 에 나타낸 공정에서는, 제 3 연마 휠 (589B) 은, 변 (260A) 을 따라 개시점 (S) 에서 제 2 연마 완료점 (Q2) 까지 이동된다. 그 결과, 개시점 (S) ∼ 제 2 연마 완료점 (Q2) 의 영역에 제 3 연마 영역 (697) 이 형성된다.
그러나, 제 3 연마 휠 (589B) 은, 개시점 (S) ∼ 제 2 연마 개시점 (P2) 의 범위의 어떠한 위치 (단 제 2 연마 개시점 (P2) 은 제외한다) 로부터 제 1 단면 (256A) 의 연마를 개시해도 된다.
또, 전술한 제 2 제조 방법에 있어서, 제 2 연삭 휠 (582A) 에 의한 연삭 (제 2 연삭) 은, 제 2 연삭 휠 (582A) 이 제 1 연삭 휠 (580A) 을 추월하지 않는 한, 어느 타이밍에서 개시해도 된다. 또, 제 3 연삭 휠 (584A) 에 의한 연삭 (제 3 연삭) 은, 제 3 연삭 휠 (584A) 이 제 2 연삭 휠 (582A) 을 추월하지 않는 한, 어느 타이밍에서 개시해도 된다.
동일하게, 제 2 연마 휠 (587B) 에 의한 연마 (제 2 연마) 는, 제 2 연마 휠 (587B) 이 제 1 연마 휠 (585B) 을 추월하지 않는 한, 어느 타이밍에서 개시해도 된다. 또, 제 3 연마 휠 (589B) 에 의한 연마 (제 3 연마) 는, 제 3 연마 휠 (589B) 이 제 2 연마 휠 (587B) 을 추월하지 않는 한, 어느 타이밍에서 개시해도 된다.
특히 제 2 연삭의 개시는, 제 1 연삭과 동시, 또는 실시 중 등 완료 전인 것이 바람직하다. 또, 제 3 연삭의 개시는, 제 2 연삭과 동시, 또는 실시 중 등 완료 전인 것이 바람직하다.
동일하게, 제 2 연마의 개시는, 제 1 연마와 동시, 또는 실시 중 등 완료 전인 것이 바람직하다. 또, 제 3 연마의 개시는, 제 2 연마와 동시, 또는 실시 중 등 완료 전인 것이 바람직하다.
또한, 제 2 연삭 휠 (582A) 에 의한 제 2 연삭은, 제 1 연마 휠 (585B) 에 의한 제 1 연마의 개시 전, 동시, 또는 실시 중 등 완료 전인 것이 바람직하다. 또, 제 3 연삭 휠 (584A) 에 의한 제 3 연삭은, 제 2 연마 휠 (587B) 에 의한 제 2 연마의 개시 전, 동시, 또는 실시 중 등 완료 전인 것이 바람직하다.
요컨대, 도 11(a), 도 11(c) 및 도 11(e) 에 나타낸 공정이 완료된 후, 도 11(b), 도 11(d) 및 도 11(f) 에 나타낸 공정을 실시해도 되는데, 생산성의 관점에서, 도 11(a), 도 11(c) 및 도 11(e) 의 공정은 동시에, 또는 그것에 가까운 타이밍에서 개시하고, 도 11(a), 도 11(c) 및 도 11(e) 의 공정이 완료되기 전에 도 11(b), 도 11(d) 및 도 11(f) 의 공정을 개시하는 것이 바람직하다.
그 밖에도, 각종 변경이 가능하다.
이상, 제 2 가공 장치 (500) 를 사용하여, 유리 소재 (250) 의 1 개의 단면 (256A) 에 2 개의 중복 연마 영역을 형성하는 방법에 대해 설명하였다.
또한, 당업자는, 상기 기재로부터, 1 개의 단면에 3 개 이상의 중복 연마 영역을 형성하는 방법을 용이하게 파악할 수 있다. 예를 들어, 가공 장치에 추가적인 연삭 휠 및 연마 휠을 형성함으로써, 1 개의 단면에 3 개 이상의 중복 연마 영역을 형성해도 된다.
이상, 본 발명의 일 실시형태에 대해 설명하였다. 그러나, 본 발명의 양태는 상기 형태에 한정되는 것은 아니다.
예를 들어, 상기 기재에서는, 유리 소재가 대략 사각형상의 형상을 갖는 경우를 예로, 유리 기판의 제조 방법에 대해 설명하였다. 그러나, 유리 소재는 그 밖의 형상, 예를 들어 디스크상이어도 된다.
유리 소재가 디스크상인 경우, 상기 제 1 제조 방법 및 제 2 제조 방법의 기재에 있어서,「변」대신에「둘레」라는 용어가 사용된다. 또, 전술한 변에 있어서의 개시점 (S) 및 종료점 (E) 중, 종료점 (E) 이 개시점 (S) 과 일치하는 것으로서 파악함으로써, 단면이「둘레」상인 경우에도, 단면이「변」상인 경우와 동일하게 취급할 수 있다.
예를 들어, 제 1 제조 방법에 사용되는 가공 장치 (300) 는, 유리 소재의 둘레를 따라 배치되는 복수의 연삭 휠 및 복수의 연마 휠을 갖는다. 그리고, 각각의 연삭 휠 및 각각의 연마 휠은, 유리 소재의 둘레 방향에 대응하는「이동 방향」을 따라 이동된다.
그 밖에도, 각종 변경이 가능한 것은 당업자에게는 용이하게 이해된다.
110 : 제 1 유리 기판
112 : 제 1 표면
114 : 제 2 표면
116A : 제 1 단면
116B : 제 2 단면
116C : 제 3 단면
116D : 제 4 단면
120 : 일반 영역
122 : 평활 영역
250 : 유리 소재
252 : 제 1 표면
254 : 제 2 표면
256A ∼ 256D : 단면
260A ∼ 260D : 변 (피가공면)
300 : 가공 장치
302 : 테이블
380A : 제 1 연삭 휠
382A : 제 2 연삭 휠
385B : 제 1 연마 휠
387B : 제 2 연마 휠
491 : 제 1 연삭 영역
492 : 제 1 연마 영역
493 : 제 2 연삭 영역
494 : 제 2 연마 영역
495 : 중복 연마 영역
500 : 제 2 가공 장치
502 : 테이블
570 : 제 1 가공 수단
572 : 제 2 가공 수단
574 : 제 3 가공 수단
580A : 제 1 연삭 휠
580B : 제 1 연마 휠
582A : 제 2 연삭 휠
582B : 제 2 연마 휠
584A : 제 3 연삭 휠
584B : 제 3 연마 휠
691 : 제 1 연삭 영역
692 : 제 1 연마 영역
693 : 제 2 연삭 영역
694 : 제 2 연마 영역
695 : 제 1 중복 연마 영역
696 : 제 3 연삭 영역
697 : 제 3 연마 영역
698 : 제 2 중복 연마 영역
E : 종료점
M1 : 제 1 연삭 개시점
M2 : 제 2 연삭 개시점
N1 : 제 1 이동 완료점
N2 : 제 2 이동 완료점
P1 : 제 1 연마 개시점
P2 : 제 2 연마 개시점
Q1 : 제 1 연마 완료점
Q2 : 제 2 연마 완료점
S : 개시점

Claims (15)

  1. 2 개의 표면을 연결하는 단면을 갖는 유리 기판으로서,
    상기 단면의 적어도 일부에는, 평활 영역이 배치되어 있고, 그 평활 영역은, 상기 단면의 그 밖의 영역에 비해 평활한 표면을 갖고,
    상기 단면의 상기 그 밖의 영역을 일반 영역이라고 하고,
    상기 일반 영역의 산술 평균 조도를 Ra (1) 로 하고, 상기 평활 영역의 산술 평균 조도를 Ra (2) 로 하였을 때, 비 Ra (2)/Ra (1) 은 0.8 이하이고,
    상기 단면은, 제 1 길이 (L1) 및 제 2 길이 (L2) 를 갖고, 여기서 L1 ≥ L2 이고,
    상기 평활 영역은, 상기 제 1 길이 (L1) 의 방향에 있어서, 1 ㎜ 이상 10 ㎜ 이하의 전체 길이를 갖는, 것을 특징으로 하는 유리 기판.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 평활 영역은, 상기 단면에 복수 존재하는, 유리 기판.
  3. 제 1 항에 있어서,
    당해 유리 기판은, 사각형상이고, 제 1 내지 제 4 단면을 갖고,
    상기 단면은, 상기 제 1 내지 제 4 단면 중 적어도 1 개인, 유리 기판.
  4. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,
    상기 Ra (1) 은, 0.2 ㎛ 이하인, 유리 기판.
  5. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,
    상기 Ra (2) 은, 0.12 ㎛ 이하인, 유리 기판.
  6. 삭제
  7. 유리 기판의 제조 방법으로서,
    (1) 제 1 및 제 2 표면과, 양 표면을 접속시키는 단면을 갖는 유리 소재를 준비하는 공정과,
    (2) 가공 장치를 사용하여, 상기 유리 소재의 상기 단면을 연삭 및 연마하는 공정을 갖고,
    상기 단면은, 상기 유리 소재의 상면에서 봤을 때, 개시점 (S) 에서 종료점 (E) 까지의 피가공면으로서 시인되고,
    상기 가공 장치는, 제 1 연삭 휠 및 제 1 연마 휠과, 제 2 연삭 휠 및 제 2 연마 휠을 갖고,
    상기 제 1 및 제 2 연삭 휠은, 이동 방향으로 불리는 상기 개시점 (S) 에서 상기 종료점 (E) 을 향하는 방향으로, 상기 피가공면을 따라 이동함으로써, 상기 유리 소재의 상기 단면을 연삭할 수 있고,
    상기 제 1 연마 휠은, 상기 이동 방향으로 상기 피가공면을 따라 이동함으로써, 상기 유리 소재의 상기 단면의 상기 제 1 연삭 휠에 의해 연삭된 영역을 연마할 수 있고, 상기 제 2 연마 휠은, 상기 이동 방향으로 상기 피가공면을 따라 이동함으로써, 상기 유리 소재의 상기 단면의 상기 제 2 연삭 휠에 의해 연삭된 영역을 연마할 수 있고,
    상기 (2) 의 공정에서는,
    (2-1) 상기 제 1 연삭 휠은, 제 1 연삭 개시점 (M1) 으로 불리는 상기 피가공면의 개시점 (S) 및 종료점 (E) 을 제외한 위치로부터, 상기 이동 방향을 따라 상기 피가공면을 이동하고,
    이로써, 상기 단면에는, 제 1 연삭 영역으로 불리는 영역이 형성되고,
    (2-2) 상기 제 1 연마 휠은, 제 1 연마 개시점 (P1) 으로 불리는, 상기 제 1 연삭 영역 내의 제 1 연삭 개시점 (M1) 을 제외한 어느 위치로부터, 상기 이동 방향을 따라 상기 피가공면을 이동하고,
    이로써, 상기 단면에는, 제 1 연마 영역으로 불리는 영역이 형성되고,
    (2-3) 상기 제 2 연삭 휠은, 제 2 연삭 개시점 (M2) 으로 불리는 위치로부터, 상기 이동 방향을 따라, 제 1 이동 완료점 (N1) 으로 불리는 위치까지 상기 피가공면을 이동하고,
    이로써, 상기 단면은, 상기 제 2 연삭 개시점 (M2) ∼ 상기 제 1 이동 완료점 (N1) 까지의 제 2 연삭 영역으로 불리는 영역이 연삭되고,
    상기 제 2 연삭 개시점 (M2) 은, 상기 개시점 (S) ∼ 상기 제 1 연삭 개시점 (M1) 의 사이에 존재하고,
    상기 제 1 이동 완료점 (N1) 은,
    (ⅰ) 상기 제 1 연마 개시점 (P1) 을 제외한 상기 제 1 연삭 개시점 (M1) ∼ 상기 제 1 연마 개시점 (P1) 의 사이에 존재하거나, 또는
    (ⅱ) 상기 제 1 연마 개시점 (P1) ∼ 종료점 (E) 의 사이에 존재하고,
    (2-4) 상기 제 2 연마 휠은, 제 2 연마 개시점 (P2) 으로 불리는 위치로부터, 상기 이동 방향을 따라, 제 1 연마 완료점 (Q1) 으로 불리는 위치까지 상기 피가공면을 이동하고,
    이로써, 상기 단면은, 상기 제 2 연마 개시점 (P2) ∼ 상기 제 1 연마 완료점 (Q1) 까지의 제 2 연마 영역으로 불리는 영역이 연마되고,
    상기 제 2 연마 개시점 (P2) 은, 상기 제 2 연삭 개시점 (M2) ∼ 상기 제 1 연삭 개시점 (M1) 의 사이에 존재하고,
    상기 제 1 연마 완료점 (Q1) 은, 상기 (ⅰ) 의 경우, 상기 제 1 연마 개시점 (P1) 을 제외한 상기 제 1 연마 영역 내에 존재하고, 상기 (ⅱ) 의 경우, 상기 제 1 연마 개시점 (P1) ∼ 상기 제 1 이동 완료점 (N1) 을 제외한 상기 제 1 연마 영역 내에 존재하고,
    상기 (ⅰ) 의 경우, 상기 단면의 상기 제 1 연마 개시점 (P1) ∼ 상기 제 1 연마 완료점 (Q1) 의 사이에 상기 제 1 및 제 2 연마 휠로 연마된 (제 1) 중복 연마 영역이 형성되고,
    상기 (ⅱ) 의 경우, 상기 단면의 상기 제 1 이동 완료점 (N1) ∼ 상기 제 1 연마 완료점 (Q1) 의 사이에 상기 제 1 및 제 2 연마 휠로 연마된 (제 1) 중복 연마 영역이 형성되는, 유리 기판의 제조 방법.
  8. 제 7 항에 있어서,
    상기 (2-3) 의 공정은, 상기 (2-1) 의 공정의 완료 전에 개시되는, 유리 기판의 제조 방법.
  9. 제 7 항 또는 제 8 항에 있어서,
    상기 (2-3) 의 공정은, 상기 (2-2) 의 공정의 완료 전에 개시되는, 유리 기판의 제조 방법.
  10. 제 7 항 또는 제 8 항에 있어서,
    상기 (2-1) 에 있어서, 상기 제 1 연삭 휠은, 상기 제 1 연삭 개시점 (M1) 에서 상기 종료점 (E) 까지 이동하고,
    상기 (2-2) 에 있어서, 상기 제 1 연마 휠은, 상기 제 1 연마 개시점 (P1) 에서 상기 종료점 (E) 까지 이동하는, 유리 기판의 제조 방법.
  11. 제 7 항 또는 제 8 항에 있어서,
    상기 (2-3) 에 있어서의 상기 제 2 연삭 개시점 (M2) 은, 상기 피가공면의 개시점 (S) 이고,
    상기 (2-4) 에 있어서의 상기 제 2 연마 개시점 (P2) 은, 상기 피가공면의 개시점 (S) 인, 유리 기판의 제조 방법.
  12. 제 7 항 또는 제 8 항에 있어서,
    상기 제 1 연삭 휠 및/또는 제 2 연삭 휠은, 다이아몬드 지립을 갖는 메탈 본드 지석 또는 전착 지석을 갖는, 유리 기판의 제조 방법.
  13. 제 7 항 또는 제 8 항에 있어서,
    제 1 연마 휠 및/또는 제 2 연마 휠은, 러버, 부직포, 또는 수지제의 지석을 갖는, 유리 기판의 제조 방법.
  14. 제 7 항 또는 제 8 항에 있어서,
    상기 가공 장치는, 추가로 제 3 연삭 휠과 제 3 연마 휠을 갖고,
    상기 제 3 연삭 휠은, 상기 이동 방향으로 상기 피가공면을 따라 이동함으로써, 상기 유리 소재의 상기 단면을 연삭할 수 있고,
    상기 제 3 연마 휠은, 상기 이동 방향으로 상기 피가공면을 따라 이동함으로써, 상기 유리 소재의 상기 단면의 상기 제 3 연삭 휠에 의해 연삭된 영역을 연마할 수 있고,
    상기 (2) 의 공정에서는,
    (2-5) 상기 제 3 연삭 휠은, 제 3 연삭 개시점 (M3) 으로 불리는 위치로부터, 상기 이동 방향을 따라, 제 2 이동 완료점 (N2) 으로 불리는 위치까지 상기 피가공면을 이동하고,
    이로써, 상기 단면은, 상기 제 3 연삭 개시점 (M3) ∼ 상기 제 2 이동 완료점 (N2) 까지의 제 3 연삭 영역으로 불리는 영역이 연삭되고,
    상기 제 3 연삭 개시점 (M3) 은, 상기 개시점 (S) ∼ 상기 제 2 연삭 개시점 (M2) 의 사이에 존재하고,
    상기 제 2 이동 완료점 (N2) 은,
    (ⅲ) 상기 제 2 연마 개시점 (P2) 을 제외한 상기 제 2 연삭 개시점 (M2) ∼ 상기 제 2 연마 개시점 (P2) 의 사이에 존재하거나, 또는
    (ⅳ) 상기 제 2 연마 개시점 (P2) ∼ 종료점 (E) 의 사이에 존재하고,
    (2-6) 상기 제 3 연마 휠은, 제 3 연마 개시점 (P3) 으로 불리는 위치로부터, 상기 이동 방향을 따라, 제 2 연마 완료점 (Q2) 으로 불리는 위치까지 상기 피가공면을 이동하고,
    이로써, 상기 단면은, 상기 제 3 연마 개시점 (P3) ∼ 상기 제 2 연마 완료점 (Q2) 까지의 제 3 연마 영역으로 불리는 영역이 연마되고,
    상기 제 3 연마 개시점 (P3) 은, 상기 제 3 연삭 개시점 (M3) ∼ 상기 제 2 연삭 개시점 (M2) 의 사이에 존재하고,
    상기 제 2 연마 완료점 (Q2) 은, 상기 (ⅲ) 의 경우, 상기 제 2 연마 개시점 (P2) 을 제외한 상기 제 2 연마 영역 내에 존재하고, 상기 (ⅳ) 의 경우, 상기 제 2 연마 개시점 (P2) ∼ 상기 제 2 이동 완료점 (N2) 을 제외한 상기 제 2 연마 영역 내에 존재하고,
    상기 (ⅲ) 의 경우, 상기 단면의 상기 제 2 연마 개시점 (P2) ∼ 상기 제 2 연마 완료점 (Q2) 의 사이에 상기 제 2 및 제 3 연마 휠로 연마된 제 2 중복 연마 영역이 형성되고,
    상기 (ⅳ) 의 경우, 상기 단면의 상기 제 2 이동 완료점 (N2) ∼ 상기 제 2 연마 완료점 (Q2) 의 사이에 상기 제 2 및 제 3 연마 휠로 연마된 제 2 중복 연마 영역이 형성되는, 유리 기판의 제조 방법.
  15. 제 14 항에 있어서,
    상기 (2-5) 에 있어서의 상기 제 3 연삭 개시점 (M3) 은, 상기 피가공면의 개시점 (S) 이고,
    상기 (2-6) 에 있어서의 상기 제 3 연마 개시점 (P3) 은, 상기 피가공면의 개시점 (S) 인, 유리 기판의 제조 방법.
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