JP2018076230A - ガラス基板およびガラス基板の製造方法 - Google Patents

Abstract

【課題】位置決め操作の際に、端面にクラックが生じたり、端面からカレットが生じたりすることが有意に抑制されるガラス基板を提供する。【解決手段】２つの表面をつなぐ端面を有するガラス基板であって、前記端面の少なくとも一部には、平滑領域が配置されており、該平滑領域は、前記端面のその他の領域に比べて平滑な表面を有し、前記端面の前記その他の領域を一般領域と称し、前記一般領域の算術平均粗さをＲａ（１）とし、前記平滑領域の算術平均粗さをＲａ（２）としたとき、比Ｒａ（２）／Ｒａ（１）は、０．８以下であることを特徴とするガラス基板。【選択図】図７

Description

本発明は、ガラス基板およびガラス基板の製造方法に関する。

ガラス基板を加工するときなど、ガラス基板のハンドリングの際に、ガラス基板を所定の位置および／または向きに固定させることが必要となる場合がある。そのようなガラス基板の位置決めを行う場合、バー状の金属部材などの位置決め冶具が使用される。例えば、スライド可能に構成された複数の位置決め冶具を用いた場合、ガラス基板をそのような位置決め冶具で挟み込み、ガラス基板の位置を定めることができる。

位置決め冶具によるガラス基板の位置決め操作の際には、ガラス基板の端面が位置決め冶具に当接される。このため、しばしば、ガラス基板の端面にクラックが生じたり、端面からカレット（ガラス屑）が生じ、ガラス基板にカレットが付着したりする場合が認められる。そのようなクラックを有するガラス基板は、品質上問題がある。また、ガラス基板にカレットが付着していると、ガラス基板の搬送の際などに、ガラス基板が損傷を受ける可能性が高くなる。

このため、位置決め操作の際に、クラックやカレットが生じ難いガラス基板が要望されている。

本発明は、このような背景に鑑みなされたものであり、本発明では、位置決め操作の際に、端面にクラックが生じたり、端面からカレットが生じたりすることが有意に抑制されるガラス基板を提供することを目的とする。また、本発明では、位置決め操作の際に、端面にクラックが生じたり、端面からカレットが生じたりすることが有意に抑制されるガラス基板の製造方法を提供することを目的とする。

本発明では、２つの表面をつなぐ端面を有するガラス基板であって、
前記端面の少なくとも一部には、平滑領域が配置されており、該平滑領域は、前記端面のその他の領域に比べて平滑な表面を有し、
前記端面の前記その他の領域を一般領域と称し、
前記一般領域の算術平均粗さをＲａ（１）とし、前記平滑領域の算術平均粗さをＲａ（２）としたとき、比Ｒａ（２）／Ｒａ（１）は、０．８以下であることを特徴とするガラス基板が提供される。

また、本発明では、ガラス基板の製造方法であって、
（１）第１および第２の表面と、両表面を接続する端面とを有するガラス素材を準備する工程と、
（２）加工装置を用いて、前記ガラス素材の前記端面を研削および研磨する工程と、
を有し、
前記端面は、前記ガラス素材の上面視、開始点Ｓから終了点Ｅまでの被加工面として視認され、
前記加工装置は、第１の研削ホイールおよび第１の研磨ホイールと、第２の研削ホイールおよび第２の研磨ホイールとを有し、
前記第１および第２の研削ホイールは、移動方向と呼ばれる、前記開始点Ｓから前記終了点Ｅに向かう方向に、前記被加工面に沿って移動することにより、前記ガラス素材の前記端面を研削することができ、
前記第１の研磨ホイールは、前記移動方向に前記被加工面に沿って移動することにより、前記ガラス素材の前記端面の、前記第１の研削ホイールにより研削された領域を研磨することができ、前記第２の研磨ホイールは、前記移動方向に前記被加工面に沿って移動することにより、前記ガラス素材の前記端面の、前記第２の研削ホイールにより研削された領域を研磨することができ、
前記（２）の工程では、
（２−１）前記第１の研削ホイールは、第１研削開始点Ｍ_１と呼ばれる前記被加工面の開始点Ｓおよび終了点Ｅを除く位置から、前記移動方向に沿って前記前記被加工面を移動し、
これにより、前記端面には、第１研削領域と呼ばれる領域が形成され、
（２−２）前記第１の研磨ホイールは、第１研磨開始点Ｐ_１と呼ばれる、前記第１研削領域内の第１研削開始点Ｍ_１を除くいずれかの位置から、前記移動方向に沿って前記被加工面を移動し、
これにより、前記端面には、第１研磨領域と呼ばれる領域が形成され、
（２−３）前記第２の研削ホイールは、第２研削開始点Ｍ_２と呼ばれる位置から、前記移動方向に沿って、第１移動完了点Ｎ_１と呼ばれる位置まで前記被加工面を移動し、
これにより、前記端面は、前記第２研削開始点Ｍ_２〜前記第１移動完了点Ｎ_１までの、第２研削領域と呼ばれる領域が研削され、
前記第２研削開始点Ｍ_２は、前記開始点Ｓ〜前記第１研削開始点Ｍ_１の間に存在し、
前記第１移動完了点Ｎ_１は、
（ｉ）前記第１研磨開始点Ｐ_１を除く、前記第１研削開始点Ｍ_１〜前記第１研磨開始点Ｐ_１の間に存在し、または
（ｉｉ）前記第１研磨開始点Ｐ_１〜終了点Ｅの間に存在し、
（２−４）前記第２の研磨ホイールは、第２研磨開始点Ｐ_２と呼ばれる位置から、前記移動方向に沿って、第１研磨完了点Ｑ_１と呼ばれる位置まで前記被加工面を移動し、
これにより、前記端面は、前記第２研磨開始点Ｐ_２〜前記第１研磨完了点Ｑ_１までの、第２研磨領域と呼ばれる領域が研磨され、
前記第２研磨開始点Ｐ_２は、前記第２研削開始点Ｍ_２〜前記第１研削開始点Ｍ_１の間に存在し、
前記第１研磨完了点Ｑ_１は、前記（ｉ）の場合、前記第１研磨開始点Ｐ_１を除く、前記第１研磨領域内に存在し、前記（ｉｉ）の場合、前記第１研磨開始点Ｐ_１〜前記第１移動完了点Ｎ_１を除く、前記第１研磨領域内に存在し、
前記（ｉ）の場合、前記端面の前記第１研磨開始点Ｐ_１〜前記第１研磨完了点Ｑ_１の間に、前記第１および第２の研磨ホイールで研磨された、（第１の）重複研磨領域が形成され、
前記（ｉｉ）の場合、前記端面の前記第１移動完了点Ｎ_１〜前記第１研磨完了点Ｑ_１の間に、前記第１および第２の研磨ホイールで研磨された、（第１の）重複研磨領域が形成される、ガラス基板の製造方法が提供される。

本発明では、位置決め操作の際に、端面にクラックが生じたり、端面からカレットが生じたりすることが有意に抑制されるガラス基板を提供することができる。また、本発明では、位置決め操作の際に、端面にクラックが生じたり、端面からカレットが生じたりすることが有意に抑制されるガラス基板の製造方法を提供することができる。

本発明の一実施形態によるガラス基板を概略的に示した斜視図である。 図１に示したガラス基板の一つの端面を模式的に示した図である。 本発明の一実施形態によるガラス基板の製造方法のフローを模式的に示した図である。 ガラス素材の形態を模式的に示した斜視図である。 本発明の一実施形態によるガラス基板の製造方法に使用され得る、加工装置の構成の一例を模式的に示した図である。 図５に示した加工装置の動作の一例を模式的に示した図である。 図５に示した加工装置の第１の研削ホイール、第１の研磨ホイール、第２の研削ホイール、および第２の研磨ホイールのそれぞれの移動軌跡を模式的に示した図である。 本発明の一実施形態によるガラス基板の別の製造方法のフローを模式的に示した図である。 本発明の一実施形態によるガラス基板の製造方法に使用され得る、別の加工装置の構成の一例を模式的に示した図である。 図９に示した加工装置の動作の一例を模式的に示した図である。 図９に示した加工装置の第１の研削ホイール、第１の研磨ホイール、第２の研削ホイール、第２の研磨ホイール、第３の研削ホイール、および第３の研磨ホイールのそれぞれの移動軌跡を模式的に示した図である。

以下、図面を参照して、本発明の一実施形態について説明する。

（本発明の一実施形態によるガラス基板）
図１および図２を参照して、本発明の一実施形態によるガラス基板の構成について説明する。図１には、本発明の一実施形態によるガラス基板（以下、単に「第１のガラス基板」と称する）の概略的な斜視図を示す。

図１に示すように、第１のガラス基板１１０は、相互に対向する第１の表面１１２および第２の表面１１４と、両表面を接続する４つの端面１１６Ａ〜１１６Ｄとを有する。

なお、図１の例では、第１のガラス基板１１０は、略矩形状であり、このため４つの端面１１６Ａ〜１１６Ｄを有する。ただし、これは単なる一例あって、第１のガラス基板１１０は、いかなる形状であってもよく、その結果、端面の数は、いかなる値であってもよい。例えば、第１のガラス基板１１０が略ディスク状の場合、端面の数は一つとなる。また、第１のガラス基板１１０が略三角形状の場合、端面の数は三つとなる。第１のガラス基板１１０が五角形またはそれ以上の多角形の形状の場合も、同様に考えられる。

ここで、第１のガラス基板１１０は、少なくとも一つの端面に、「平滑領域」を有するという特徴を有する。ここで、「平滑領域」とは、対象となる端面において、他の領域に比べて、算術平均粗さＲａが小さい領域を意味する。なお、対象となる端面において、「平滑領域」以外の領域を「一般領域」とも称する。

以下、第１のガラス基板１１０の第１の端面１１６Ａがそのような「平滑領域」を有する場合を例に、本発明の効果について説明する。

図２には、「平滑領域」を有する第１の端面１１６Ａの形態を模式的に示す。

図２に示すように、第１の端面１１６Ａの表面は、一般領域１２０と平滑領域１２２とに区分けされる。平滑領域１２２は、第１の端面１１６Ａの略中央に、一般領域１２０に挟まれて存在している。

ただし、これは、単なる一例であって、平滑領域１２２の存在位置は、特に限られない。また、平滑領域１２２の数も特に限られない。例えば、平滑領域１２２は、第１の端面１１６Ａに、２箇所以上存在してもよい。平滑領域１２２の設置位置および数は、第１のガラス基板１１０の位置決めハンドリングの際に当接される位置決め冶具との関係により定められる。

また、図２では、一般領域１２０と平滑領域１２２の境界が、破線で誇張して示されている。しかしながら、通常の場合、一般領域１２０および平滑領域１２２、さらには両者の境界は、外見から判断することは難しいことに留意する必要がある。

ここで、前述のように、平滑領域１２２は、一般領域１２０に比べて、小さな算術平均粗さＲａを有する。特に、第１のガラス基板１１０では、一般領域１２０における算術平均粗さをＲａ（１）とし、平滑領域１２２における算術平均粗さをＲａ（２）としたとき、

Ｒａ（２）／Ｒａ（１）≦０．８ （１）式

を満たすという特徴を有する。

前述のように、位置決め冶具によるガラス基板の位置決め操作の際には、ガラス基板の端面が位置決め冶具に当接される。そして、この際に、ガラス基板の端面にクラックが生じたり、端面からカレット（ガラス屑）が生じたりする場合がある。

これに対して第１のガラス基板１１０では、端面の、少なくとも位置決め冶具と当接し得る位置に、平滑領域１２２が配置される。また、平滑領域１２２と一般領域１２０における算術平均粗さの間には、前述の（１）式の関係がある。このような凹凸が少ない平滑領域１２２は、位置決め冶具のような部材の当接に対して、一般領域１２０よりも良好な強度を示す。

そのため、第１のガラス基板１１０では、位置決め冶具が第１の端面１１６Ａの平滑領域１２２と当接しても、位置決め冶具が一般領域１２０に当接するよりも、第１の端面１１６Ａにクラックが生じたり、そこからカレットが生じたりすることを有意に抑制することができる。また、位置決め冶具が凹凸が少ない平滑領域１２２と当接するため、位置決め部材の摩耗および発塵を有意に抑制することにもなる。

（一般領域１２０および平滑領域１２２）
次に、端面の一般領域１２０および平滑領域１２２について、より詳しく説明する。

前述のように、平滑領域１２２における算術平均粗さＲａ（２）と一般領域１２０における算術平均粗さをＲａ（１）の比Ｒａ（２）／Ｒａ（１）は、０．８以下とされる。この比Ｒａ（２）／Ｒａ（１）は、０．７以下であることが好ましい。

また、平滑領域１２２の算術平均粗さＲａ（２）は、好ましくは０．１２μｍ以下であり、より好ましくは０．０８μｍ以下である。

一方、一般領域１２０、すなわち、第１の端面１１６Ａの平滑領域１２２を除く領域の算術平均粗さＲａ（１）は、例えば、０．２μｍ以下であることが好ましい。

また、第１の端面１１６Ａの平滑領域１２２の全長Ｌ_ｓは、１ｍｍ以上、３０ｍｍ以下であることが好ましい。平滑領域１２２の全長Ｌ_ｓが１ｍｍ以上であると、平滑領域１２２に位置決め冶具を正確に接触させることが容易になる。また、平滑領域１２２の全長Ｌ_ｓが３０ｍｍ以下であると、第１のガラス基板１１０の生産性の観点から好ましい。平滑領域１２２の全長Ｌ_ｓは、３ｍｍ以上、１０ｍｍ以下であることがより好ましい。

ここで、平滑領域１２２の「全長（Ｌ_ｓ）」は、以下のように定められる。

対象となる端面の第１の長さをＬ_１とし、第２の長さをＬ_２とする。ここでＬ_１≧Ｌ_２である。例えば、図２に示した第１の端面１１６Ａの場合、Ｘ方向の寸法が長さＬ_１となり、Ｚ方向（厚さ方向）の寸法が長さＬ_２となる。この場合、図２に示すように、平滑領域１２２の全長Ｌ_ｓは、第１の長さＬ_１に沿った方向の平滑領域１２２の幅で規定される。

なお、ガラス基板が略ディスク状であって、曲面状の端面が一つだけ存在する場合、そのような端面の第１の長さＬ_１は周の長さとなり、第２の長さＬ_２はガラス基板の厚さに相当する。従って、平滑領域の全長Ｌ_ｓは、周に沿った平滑領域の長さとなる。

前述のように、第１の端面１１６Ａにおける平滑領域１２２の設置位置および設置数は、特に限られない。例えば、平滑領域１２２は、第１の端面１１６Ａにおいて、２つ以上、等間隔に、または非等間隔で配置されてもよい。

また、前述の例では、平滑領域１２２は、第１のガラス基板１１０の第１の端面１１６Ａに配置されている。しかしながら、平滑領域１２２は、第１のガラス基板１１０のいかなる端面に配置されてもよい。

例えば、平滑領域１２２は、第２の端面１１６Ｂ〜第４の端面１１６Ｄのいずれか一つの端面に配置されてもよく、第１の端面１１６Ａおよび第２の端面１１６Ｂなど、２つの端面に配置されてもよく、第１の端面１１６Ａ〜第３の端面１１６Ｃなど、３つの端面に配置されてもよく、第１の端面１１６Ａ〜第４の端面１１６Ｄの全ての端面に配置されてもよい。また、この際に、各端面１１６Ａ〜１１６Ｄにおいて、平滑領域１２２の設置位置および設置数は、相互に異なっていてもよい。

（本発明の一実施形態によるガラス基板の製造方法）
次に、図３〜図７を参照して、本発明の一実施形態によるガラス基板の製造方法の一例について説明する。

図３には、本発明の一実施形態によるガラス基板の製造方法（以下、単に「第１の製造方法」と称する）のフローを模式的に示す。また、図４〜図７には、第１の製造方法における一工程の様子を模式的に示す。

図３に示すように、第１の製造方法は、
（１）第１および第２の表面と、両表面を接続する端面とを有するガラス素材を準備する工程（工程Ｓ１１０）と、
（２）加工装置を用いて、前記ガラス素材の前記端面を研削および研磨する工程（工程Ｓ１２０）と、
を有する。

以下、図４〜図７を参照して、各工程について詳しく説明する。

（工程Ｓ１１０）
まず、ガラス素材が準備される。図４に示すように、ガラス素材２５０は、第１の表面２５２および第２の表面２５４と、両表面を接続する４つの端面２５６Ａ〜２５６Ｄとを有する。

以降、説明の簡略化のため、ガラス素材２５０の上面視、第１の表面２５２の４つの端面２５６Ａ〜２５６Ｄと対応する辺を、それぞれ、第１の辺２６０Ａ、第２の辺２６０Ｂ、第３の辺２６０Ｃ、および第４の辺２６０Ｄと称する。

ガラス素材２５０の寸法は、特に限られない。例えば、液晶ディスプレイ用のガラス基板を製造する場合、ガラス素材２５０は、例えば、縦（第１の辺２６０Ａおよび第３の辺２６０Ｃの長さ）１８００ｍｍ〜３２００ｍｍ×横（第２の辺２６０Ｂおよび第４の辺２６０Ｄの長さ）１５００ｍｍ〜２９００ｍｍ×厚さ０．１０ｍｍ〜０．７０ｍｍの寸法を有してもよい。

（工程Ｓ１２０）
次に、加工装置を用いて、ガラス素材２５０の端面が研削および研磨処理（以下、これらをまとめて「加工処理」ともいう）される。

なお、ガラス素材２５０の加工処理される端面は、特に限られない。例えば、４つの端面２５６Ａ〜２５６Ｄのうち、一つの端面のみが加工処理されてもよい。あるいは、４つの端面２５６Ａ〜２５６Ｄのうち、２つ以上の端面、例えば全ての端面が加工処理されてもよい。

ここでは、一例として、ガラス素材２５０の第１の端面２５６Ａが加工処理される場合を例に説明する。

（加工装置）
図５には、第１の製造方法において使用され得る加工装置の構成を模式的に示す。

図５に示すように、加工装置３００は、テーブル３０２と、第１および第２の研削ホイール３８０Ａ、３８２Ａと、第１および第２の研磨ホイール３８５Ｂ、３８７Ｂと、を備える。

テーブル３０２は、上部にガラス素材２５０を設置するために使用される。また、第１および第２の研削ホイール３８０Ａ、３８２Ａと、第１および第２の研磨ホイール３８５Ｂ、３８７Ｂとは、いずれもガラス素材２５０の第１の端面２５６Ａを加工するために使用される。

第１の研削ホイール３８０Ａは、ガラス素材２５０の第１の端面２５６Ａを研削することができ、第１の研磨ホイール３８５Ｂは、ガラス素材２５０の第１の端面２５６Ａを研磨することができる。同様に、第２の研削ホイール３８２Ａは、ガラス素材２５０の第１の端面２５６Ａを研削することができ、第２の研磨ホイール３８７Ｂは、ガラス素材２５０の第１の端面２５６Ａを研磨することができる。

第１の研削ホイール３８０Ａと第１の研磨ホイール３８５Ｂは、組になっており、第１の研磨ホイール３８５Ｂは、第１の研削ホイール３８０Ａの研削行程を、後から追従することができる。同様に、第２の研削ホイール３８２Ａと第２の研磨ホイール３８７Ｂは、組になっており、第２の研磨ホイール３８７Ｂは、第２の研削ホイール３８２Ａの研削行程を、後から追従することができる。

第１の研削ホイール３８０Ａは、弾性変形が生じ難く、研削力の高い砥石で構成される。そのような砥石としては、例えばダイヤモンド又はＣＢＮの砥粒を弾性変形が生じ難いメタルボンドにて固定したメタルボンド砥石を例示できる。同様に、ダイヤモンド砥粒を有する電着砥石も例示できる。

第２の研削ホイール３８２Ａについても同様である。

一方、第１の研磨ホイール３８５Ｂは、弾性を有し、研磨に適した砥石で構成される。そのような砥石としては、例えばダイヤモンド、ＣＢＮ、緑色炭化ケイ素（ＧＣ）、アルミナ（Ａｌ_２Ｏ_３）、軽石、又はガーネット等の砥粒を弾性変形が生じやすい樹脂、又はブチルルゴム、天然ゴム等のボンドにて固定した砥石を例示できる。

第２の研磨ホイール３８７Ｂについても同様である。

なお、本願において、「研削」とは、目的が基板を所定の寸法、所定の断面形状になるように削り込むことであり、「研磨」とは、目的が研削で生じたチッピング、クラックなどを除去すると共に研削面の粗さを低減させることである。

（具体的な加工工程）
工程Ｓ１２０では、ガラス素材２５０が加工装置３００に設置され、ガラス素材２５０が加工処理される。

まず、図６に示すように、ガラス素材２５０は、第１の辺２６０Ａが第１および第２の研削ホイール３８０Ａ、３８２Ａと対面するようにして、加工装置３００のテーブル３０２の上に設置される。なお、ガラス素材２５０は、テーブル３０２に吸着固定されてもよい。

次に、加工装置３００の第１の研削ホイール３８０Ａおよび第１の研磨ホイール３８５Ｂが所定回転数で回転される。また、加工装置３００の第２の研削ホイール３８２Ａおよび第２の研磨ホイール３８７Ｂが所定回転数で回転される。

次に、図６に示すように、第１の研削ホイール３８０Ａが、ガラス素材２５０の第１の端面２５６Ａに接触しながら、第１の辺（被加工面）２６０Ａに沿って、矢印Ａ_１の方向に移動する。以下、この矢印Ａ_１の方向を、「移動方向」と称する。第１の研削ホイール３８０Ａの移動により、ガラス素材２５０の第１の端面２５６Ａが研削される。

また、第１の研削ホイール３８０Ａによる第１の端面２５６Ａの研削が開始されてから暫くの後、第１の研磨ホイール３８５Ｂが、ガラス素材２５０の第１の端面２５６Ａに接触しながら、第１の辺２６０Ａに沿って、矢印Ａ_２の方向に移動する。矢印Ａ_２は、矢印Ａ_１と同じ方向（図６におけるＸ方向）、すなわち「移動方向」である。

第１の研磨ホイール３８５Ｂの移動により、ガラス素材２５０の第１の端面２５６Ａの、第１の研削ホイール３８０Ａによって研削された領域が研磨される。

また、第１の研削ホイール３８０Ａによる第１の端面２５６Ａの研削とほぼ同時に、あるいはその暫くの後、第２の研削ホイール３８２Ａが、ガラス素材２５０の第１の端面２５６Ａに接触しながら、第１の辺２６０Ａに沿って、矢印Ａ_３の方向に移動する。矢印Ａ_３は、矢印Ａ_１と同じ方向（図６におけるＸ方向）、すなわち「移動方向」である。第２の研削ホイール３８２Ａの移動により、ガラス素材２５０の第１の端面２５６Ａが研削される。

また、第２の研削ホイール３８２Ａによる第１の端面２５６Ａの研削が開始されてから暫くの後、第２の研磨ホイール３８７Ｂが、ガラス素材２５０の第１の端面２５６Ａに接触しながら、第１の辺２６０Ａに沿って、矢印Ａ_４の方向に移動する。矢印Ａ_４は、矢印Ａ_１と同じ方向（図６におけるＸ方向）、すなわち「移動方向」である。

第２の研磨ホイール３８７Ｂの移動により、ガラス素材２５０の第１の端面２５６Ａの、第２の研削ホイール３８２Ａによって研削された領域が研磨される。

ここで、第１の研削ホイール３８０Ａは、ガラス素材２５０の第１の辺２６０Ａの途中部分、例えば略中央部分から、研削を開始するように操作される。そして、第１の辺２６０Ａの終了点Ｅまで研削を継続する。

また、第１の研磨ホイール３８５Ｂは、第１の辺２６０Ａの第１の研削ホイール３８０Ａによる研削が既に完了しているいずれかの位置から、研磨を開始するように操作される。そして、第１の辺２６０Ａの終了点Ｅまで研磨を継続する。

一方、第２の研削ホイール３８２Ａは、ガラス素材２５０の第１の辺２６０Ａの開始点Ｓから研削を開始するように操作される。そして、移動方向に沿って、第１の辺２６０Ａの途中まで進行した時点で、研削が停止される。

この第２の研削ホイール３８２Ａによる研削が停止される位置は、第１の辺２６０Ａの第１の研削ホイール３８０Ａによって既に研削された領域のいずれかの位置であれば良い。ただし、第２の研削ホイール３８２Ａによる研削が停止される位置は、第１の研削ホイール３８０Ａによって既に研削された領域のうち、第１の研磨ホイール３８５Ｂによる研磨が行われていない領域のいずれかの位置であることが好ましい。この場合、第１の研磨ホイール３８５Ｂによって研磨された領域が、第２の研削ホイール３８２Ａによって研削されることを回避することができる。

また、第２の研磨ホイール３８７Ｂは、ガラス素材２５０の第１の辺２６０Ａの開始点Ｓから、研磨を開始するように操作される。そして、第１の研磨ホイール３８５Ｂによる研磨が完了しているいずれかの位置まで、研磨を継続する。

ただし、前述の第２の研削ホイール３８２Ａによる研削の停止位置が、第１の研磨ホイール３８５Ｂによる研磨の開始位置を超えている場合、第２の研磨ホイール３８７Ｂは、この第２の研削ホイール３８２Ａによる研削の停止位置を超える位置まで、研磨を継続する。

これにより、ガラス素材２５０の第１の辺２６０Ａ全体の研削および研磨処理が完了し、ガラス素材２５０の第１の端面２５６Ａが加工された、ガラス基板が製造される。

このような第１の製造方法では、ガラス素材２５０の第１の端面２５６Ａ内に、第１の研磨ホイール３８５Ｂと第２の研磨ホイール３８７Ｂの両方によって研磨された領域（以下、「重複研磨領域」という）が生じる。そのような重複研磨領域では、２回の研磨により、第１の端面２５６Ａの他の領域に比べて、より平滑な表面が得られる。なお、重複研磨領域を第１の研磨ホイール３８５Ｂ及び第２の研磨ホイール３８７Ｂが研磨処理する際には、他の領域を研磨処理するときよりも研磨ホイールの移動速度を落としたり回転数を落としたりすることにより、平滑な表面が得られやすく好ましい。

前述のように、凹凸が少ない平滑な表面は、位置決め冶具のような部材の当接に対して、比較的良好な強度を有する。従って、第１の製造方法によって製造されるガラス基板では、端面のそのような重複研磨領域を、位置決め冶具のような部材との当接場所として利用することにより、端面にクラックが生じたり、そこからカレットが生じたりすることを有意に抑制することが可能となる。

（重複研磨領域の形成工程）
ここで、図７を参照して、上記重複研磨領域を形成する工程について、より詳しく説明する。

図７には、第１の研削ホイール３８０Ａ、第１の研磨ホイール３８５Ｂ、第２の研削ホイール３８２Ａ、および第２の研磨ホイール３８７Ｂのそれぞれの移動軌跡を模式的に示す。図７（ａ）には、第１の研削ホイール３８０Ａの模式的な移動軌跡Ｆ_１が示されており、図７（ｂ）には、第１の研磨ホイール３８５Ｂの模式的な移動軌跡Ｆ_２が示されている。図７（ｃ）には、第２の研削ホイール３８２Ａの模式的な移動軌跡Ｆ_３が示されている。また、図７（ｄ）には、第２の研磨ホイール３８７Ｂの模式的な移動軌跡Ｆ_４が示されている。

また、図７において、第１の研削ホイール３８０Ａ、第１の研磨ホイール３８５Ｂ、第２の研削ホイール３８２Ａ、および第２の研磨ホイール３８７Ｂは、Ｘ方向（移動方向）に沿って移動し、これにより、ガラス素材２５０の第１の端面２５６Ａは、Ｙ方向に研削、研磨される（すなわち減肉される）ものとする。

従って、図７において、２つの位置を相対比較する場合、Ｘの値がより大きくなる方向（右側）にあるものを「前方（にある）」と称し、反対にＸの値がより小さくなる方向（左側）のあるものを「後方（にある）」と称する。また、移動を停止するとは、ガラス素材２５０に接触した状態での移動を停止する意味であり、ガラス素材２５０から離れる方向への移動は許容する。

図７に示すように、ガラス素材２５０の第１の辺２６０Ａは、開始点Ｓから終了点Ｅまで延伸する。

図７（ａ）に示すように、第１の研削ホイール３８０Ａは、第１の辺２６０Ａの途中、すなわち第１研削開始点Ｍ_１で第１の端面２５６Ａと接触し、ここから第１の端面２５６Ａの研削を開始する。そして、第１の研削ホイール３８０Ａは、移動方向に沿って、第１の辺２６０Ａの終了点Ｅまで研削を継続する。

その結果、ガラス素材２５０の第１の辺２６０Ａに対応する第１の端面２５６Ａは、第１研削開始点Ｍ_１から終了点Ｅまでの領域が研削される。以下、この領域を、「第１研削領域（４９１）」という。

第１研削領域４９１において、第１の研削ホイール３８０Ａによる第１の端面２５６Ａの研削量（Ｙ方向の減肉量）は、例えば、０．０５ｍｍ〜０．５０ｍｍの範囲である。

一方、図７（ｂ）に示すように、第１の研磨ホイール３８５Ｂは、第１の辺２６０Ａの途中、すなわち第１研磨開始点Ｐ_１で第１の端面２５６Ａと接触し、ここから第１の端面２５６Ａの研磨を開始する。そして、第１の研磨ホイール３８５Ｂは、移動方向に沿って、第１の辺２６０Ａの終了点Ｅまで研磨を継続する。

その結果、ガラス素材２５０の第１の端面２５６Ａは、第１研磨開始点Ｐ_１から終了点Ｅまでの領域が研磨される。以下、この領域を、「第１研磨領域（４９２）」という。

ここで、第１研磨開始点Ｐ_１は、第１研削開始点Ｍ_１および終了点Ｅを除く、第１研削領域４９１の範囲内であれば、いずれの位置であってもよい。

第１研磨領域４９２において、第１の研磨ホイール３８５Ｂによる第１の端面２５６Ａの研磨量は、例えば、１μｍ〜３０μｍの範囲である。

また、図７（ｃ）に示すように、第２の研削ホイール３８２Ａは、第１の辺２６０Ａの開始点Ｓで第１の端面２５６Ａに接触し、ここから移動方向に沿って、第１の辺２６０Ａの第１移動完了点Ｎ_１まで移動する。そして、第２の研削ホイール３８２Ａは、第１移動完了点Ｎ_１に到達した時点で、移動を停止する。

第１移動完了点Ｎ_１は、第１研削開始点Ｍ_１およびそれよりも前方にある、いずれの位置であっても良い。特に第１研削開始点Ｍ_１よりも前方であることが好ましい。ただし、図７（ｃ）に示すように、第１移動完了点Ｎ_１は、第１研削開始点Ｍ_１〜第１研磨開始点Ｐ_１の間の領域に設定されることが好ましい。

これにより、ガラス素材２５０の第１の辺２６０Ａは、第２の研削ホイール３８２Ａによって、開始点Ｓから第１移動完了点Ｎ_１までの領域が研削される。以下、この領域を、「第２研削領域（４９３）」という。

第２研削領域４９３において、第２の研削ホイール３８２Ａによる第１の端面２５６Ａの研削量（Ｙ方向の減肉量）は、第１の研削ホイール３８０Ａによる第１研削領域４９１における研削量と実質的に等しくされる。

ただし、通常、第１研削開始点Ｍ_１〜第１移動完了点Ｎ_１の領域における研削量は、その他の領域における研削量の２倍にはならない。これは、第２の研削ホイール３８２Ａは、前述のように、変形の生じ難い砥石で構成されているためである。すなわち、第１研削開始点Ｍ_１〜第１移動完了点Ｎ_１の領域では、既に、第１の研削ホイール３８０Ａにより、第１の端面２５６Ａは、Ｙ方向に幾分減肉されている。このため、変形の生じ難い部材で構成された第２の研削ホイール３８２がこの領域を通過しても、再び第１の研削ホイール３８０Ａと同量の研削を行うことは難しくなる。通常の場合、第２の研削ホイール３８２の通過後の第１研削開始点Ｍ_１〜第１移動完了点Ｎ_１の領域における研削量は、他の領域の研削量に比べて僅かに増加する程度である。

また、図７（ｄ）に示すように、第２の研磨ホイール３８７Ｂは、第１の辺２６０Ａの開始点Ｓで第１の端面２５６Ａに接触し、ここから移動方向に沿って、第１研磨完了点Ｑ_１まで移動する。そして、第２の研磨ホイール３８７Ｂは、第１研磨完了点Ｑ_１に到達した時点で、移動を停止する。

その結果、ガラス素材２５０の第１の辺２６０Ａは、第２の研磨ホイール３８７Ｂによって、開始点Ｓから第１研磨完了点Ｑ_１までの領域が研磨される。以下、この領域を、「第２研磨領域（４９４）」という。

ここで、図７（ｃ）に示すように、第１移動完了点Ｎ_１が第１研削開始点Ｍ_１〜第１研磨開始点Ｐ_１の間の領域に設定される場合、第１研磨完了点Ｑ_１は、第１研磨開始点Ｐ_１を除く、第１研磨領域４９２の範囲内であれば、いずれの位置であってもよい。

一方、第１移動完了点Ｎ_１が第１研磨開始点Ｐ_１よりも前方にある場合、第１研磨完了点Ｑ_１は、第１移動完了点Ｎ_１よりも前方の位置に設定される。

第２研磨領域４９４において、第２の研磨ホイール３８７Ｂによる第１の端面２５６Ａの研磨量は、第１の研磨ホイール３８５Ｂによる第１研磨領域４９２における研磨量と実質的に等しくされる。

以上の工程の結果、第１移動完了点Ｎ_１が第１研削開始点Ｍ_１〜第１研磨開始点Ｐ_１の間の領域に設定される場合、図７（ｄ）に示すように、第２研磨領域４９４のうち、第１研磨領域４９２と重複する領域、すなわち、第１研磨開始点Ｐ_１〜第１研磨完了点Ｑ_１の領域では、第１の研磨ホイール３８５Ｂおよび第２の研磨ホイール３８７Ｂによる、２回の研磨処理が実施されることになる。従って、ここに重複研磨領域４９５が形成される。

一方、第１移動完了点Ｎ_１が第１研磨開始点Ｐ_１よりも前方にある場合は、第１移動完了点Ｎ_１〜第１研磨完了点Ｑ_１の領域に、重複研磨領域４９５が形成される。

前述のように、重複研磨領域４９５では、第１の端面２５６Ａの他の領域に比べて、より平滑な表面が得られる。

例えば、第１の端面２５６Ａの他の領域における算術平均粗さをＲａ（３）とし、重複研磨領域４９５における算術平均粗さをＲａ（４）としたとき、

Ｒａ（４）／Ｒａ（３）≦０．８ （２）式

が得られてもよい。

（追加の工程）
以上の工程Ｓ１１０〜工程Ｓ１２０により、ガラス素材２５０から、第１の端面２５６Ａに重複研磨領域４９５を有するガラス基板を製造することができる。

ただし、第１の製造方法は、必要に応じて、以下の少なくとも一つの工程を追加で実施してもよい：
（ａ）ガラス素材２５０の第２の端面２５６Ｂの加工工程、
（ｂ）ガラス素材２５０の第３の端面２５６Ｃの加工工程、および
（ｃ）ガラス素材２５０の第４の端面２５６Ｄの加工工程。

このうち、（ａ）の加工工程を実施する際には、前述の図５および図６に示した加工装置３００において、ガラス素材２５０を反時計回りに９０゜回転させればよい。そのような状態で、前述の工程を実施することにより、第２の端面２５６Ｂに、重複研磨領域を形成することができる。

また、（ｂ）の加工工程を実施する際には、前述の図５および図６に示した加工装置３００において、ガラス素材２５０を（反）時計回りに１８０゜回転させればよい。そのような状態で、前述の工程を実施することにより、第３の端面２５６Ｃに、重複研磨領域を形成することができる。

あるいは、加工装置３００に、第１の研削ホイール３８０Ａおよび第１の研磨ホイール３８５Ｂ、ならびに第２の研削ホイール３８２Ａおよび第２の研磨ホイール３８７Ｂと同様の加工手段（例えば、第３の研削ホイールと第３の研磨ホイールの組、および第４の研削ホイールと第４の研磨ホイールの組）を設けてもよい。これらは、ガラス素材２５０の第３の辺２６０Ｃに対面するように配置される。

加工装置３００がそのような構成を有する場合、ガラス素材２５０の第１の端面２５６Ａおよび第３の端面２５６Ｃを、一度に加工することが可能となる。このため、加工速度が向上する。

また、（ｃ）の加工工程を実施する際には、前述の図６および図７に示した加工装置３００において、ガラス素材２５０を時計回りに９０゜回転させればよい。そのような状態で、前述の工程を実施することにより、第４の端面２５６Ｄに、重複研磨領域を形成することができる。

さらに、（ａ）および（ｃ）の加工工程においては、加工装置３００が前述の第３の研削ホイールおよび第３の研磨ホイール、ならびに第４の研削ホイールおよび第４の研磨ホイールを有する場合、ガラス素材２５０を時計回りまたは反時計回りに９０゜回転させればよい。

この場合、ガラス素材２５０の第２の端面２５６Ｂおよび第４の端面２５６Ｄを、一度に加工することが可能となる。このため、加工速度が向上する。

以上、加工装置３００を用いた第１の製造方法について説明した。しかしながら、上記説明は、単なる一例であって、第１の製造方法において、各種変更が可能である。

例えば、前述の図７（ａ）に示した工程では、第１の研削ホイール３８０Ａは、辺２６０Ａに沿って、第１研削開始点Ｍ_１から、辺２６０Ａの終了点Ｅまで移動される。その結果、第１研削開始点Ｍ_１〜終了点Ｅの領域に、第１研削領域４９１が形成される。

しかしながら、第１の研削ホイール３８０Ａは、第１研削開始点Ｍ_１〜終了点Ｅの間のいかなる位置で、第１の端面２５６Ａの研削を停止してもよい。

また、図７（ｃ）に示した工程では、第２の研削ホイール３８２Ａは、辺２６０Ａに沿って、開始点Ｓから、第１移動完了点Ｎ_１まで移動される。その結果、開始点Ｓ〜第１移動完了点Ｎ_１の間に、第２研削領域４９３が形成される。

しかしながら、第２の研削ホイール３８２Ａは、開始点Ｓ〜第１研削開始点Ｍ_１の間のいかなる位置（ただし第１研削開始点Ｍ_１は除く）から、第１の端面２５６Ａの研削を開始してもよい。

同様に、前述の図７（ｂ）に示した工程では、第１の研磨ホイール３８５Ｂは、辺２６０Ａに沿って、第１研磨開始点Ｐ_１から、辺２６０Ａの終了点Ｅまで移動される。その結果、第１研磨開始点Ｐ_１〜終了点Ｅの領域に、第１研磨領域４９２が形成される。

しかしながら、第１の研磨ホイール３８５Ｂは、第１研磨開始点Ｐ_１〜終了点Ｅの間のいかなる位置で、第１の端面２５６Ａの研磨を停止してもよい。

同様に、前述の図７（ｄ）に示した工程では、第２の研磨ホイール３８７Ｂは、辺２６０Ａに沿って、開始点Ｓから、第１研磨完了点Ｑ_１まで移動される。その結果、開始点Ｓ〜第１研磨完了点Ｑ_１の領域に、第２研磨領域４９４が形成される。

しかしながら、第２の研磨ホイール３８７Ｂは、開始点Ｓ〜第１研磨開始点Ｐ_１の範囲のいかなる位置（ただし第１研磨開始点Ｐ_１は除く）から、第１の端面２５６Ａの研磨を開始してもよい。また、第２の研磨ホイール３８７Ｂは、第１移動完了点Ｎ_１よりも前方であって、かつ第１研磨領域４９２の範囲内であればいかなる位置まで移動してもよい。

また、第２の研削ホイール３８２Ａによる研削（第２の研削）は、第２の研削ホイールが第１の研削ホイールを追い越さない限り、いずれのタイミングで開始してもよい。同様に第２の研磨ホイール３８７Ｂによる研磨（第２の研磨）は、第２の研磨ホイールが第１の研磨ホイールを追い越さない限り、いずれのタイミングで開始してもよい。例えば、第２の研削の開始は、第１の研削ホイール３８０Ａによる研削（第１の研削）と同時、または実施中など完了前であることが好ましい。同様に、第２の研磨の開始は、第１の研磨ホイール３８５Ｂによる研磨（第１の研磨）と同時、または実施中など完了前であることが好ましい。さらに、第２の研削ホイール３８２Ａによる第２の研削は、第１の研磨ホイール３８５Ｂによる第１の研磨の開始前、同時、または実施中など完了前であることが好ましい。

つまり、図７（ａ）と（ｃ）に示した工程が完了後に、図７（ｂ）と（ｄ）に示した工程を実施してもよいが、生産性の観点から、図７（ａ）と（ｃ）の工程は同時、またはそれに近いタイミングで開始し、図７（ａ）と（ｃ）の工程が完了する前に、図７（ｂ）と（ｄ）の工程を開始することが好ましい。

また、一つの研削ホイールと、２つの研磨ホイールとを組にして、研削ホイールで研削した領域を、第１の研磨ホイールで研磨し、第１の研磨ホイールで研磨した領域の少なくとも一部が重複するように第２の研磨ホイールで研磨を実施してもよい。

また、第１研磨開始点Ｐ_１〜第１研磨完了点Ｑ_１の間で、２回目の研磨工程を実施してもよい。

その他にも各種変更が可能であることは、当業者には容易に理解できる。

（本発明の別の実施形態によるガラス基板の製造方法）
次に、本発明の別の実施形態によるガラス基板の製造方法（以下、「第２の製造方法」という）について説明する。

前述の第１の製造方法では、ガラス素材２５０の少なくとも一つの端面（例えば第１の端面２５６Ａ）に、一つの重複研磨領域４９５が形成される。これに対して、第２の製造方法では、ガラス素材の一つの端面に、複数の重複研磨領域が形成される。

以下、図８〜図１１を参照して、第２の製造方法について説明する。

図８には、第２の製造方法のフローを模式的に示す。また、図９〜図１１には、第２の製造方法における一工程の様子を模式的に示す。

図８に示すように、第２の製造方法は、
（１）第１および第２の表面と、両表面を接続する端面とを有するガラス素材を準備する工程（工程Ｓ２１０）と、
（２）第２の加工装置を用いて、前記ガラス素材の前記端面を研削および研磨する工程（工程Ｓ２２０）と、
を有する。

以下、図９〜図１１を参照して、各工程について詳しく説明する。

（工程Ｓ２１０）
この工程Ｓ２１０は、前述の第１の製造方法における工程Ｓ１１０と同様である。従って、この工程の詳細は、省略する。なお、以下の説明では、明確化のため、ガラス素材の各部分を表す際に、図４に示した参照符号を使用する。

（工程Ｓ２２０）
次に、第２の加工装置を用いて、ガラス素材２５０の端面が加工処理される。ここでは、一例として、ガラス素材２５０の第１の端面２５６Ａが加工処理される場合を例に説明する。

（第２の加工装置）
図９には、第２の製造方法に使用され得る第２の加工装置の構成を模式的に示す。

図９に示すように、第２の加工装置５００は、テーブル５０２と、第１〜第３の研削ホイール５８０Ａ〜５８４Ａと、第１〜第３の研磨ホイール５８５Ｂ〜５８９Ｂと、を備える。

このうち、テーブル５０２、第１および第２の研削ホイール５８０Ａ、５８２Ａ、ならびに第１および第２の研磨ホイール５８５Ｂ、５８７Ｂの構成および機能は、前述の加工装置３００と同様である。そのため、ここでは詳細を省略する。

第３の研削ホイール５８４Ａは、ガラス素材２５０の第１の端面２５６Ａを研削することができる。また、第３の研磨ホイール５８９Ｂは、ガラス素材２５０の第１の端面２５６Ａを研磨することができる。

第１の研削ホイール５８０Ａと第１の研磨ホイール５８５Ｂは、組になっており、第１の研磨ホイール５８５Ｂは、第１の研削ホイール５８０Ａの研削行程を、後から追従することができる。同様に、第２の研削ホイール５８２Ａと第２の研磨ホイール５８７Ｂは、組になっており、第２の研磨ホイール５８７Ｂは、第２の研削ホイール５８２Ａの研削行程を、後から追従することができる。さらに、第３の研削ホイール５８４Ａと第３の研磨ホイール５８９Ｂは、組になっており、第３の研磨ホイール５８９Ｂは、第３の研削ホイール５８４Ａの研削行程を、後から追従することができる。

第３の研削ホイール５８４Ａは、弾性変形が生じ難く、研削力の高い砥石で構成される。一方、第３の研磨ホイール５８９Ｂは、弾性を有し、研磨に適した砥石で構成される。

第２の加工装置５００により、ガラス素材２５０の第１の端面２５６Ａを加工する際には、図１０に示すように、ガラス素材２５０が第２の加工装置５００のテーブル５０２の上に設置される。この際には、ガラス素材２５０は、第１の辺２６０Ａが第１〜第３の研削ホイール５８０Ａ〜５８４Ａと対面するようにして、テーブル３０２の上に設置される。

次に、第２の加工装置５００の第１の研削ホイール５８０Ａおよび第１の研磨ホイール５８５Ｂが、所定回転数で回転される。また、第２の研削ホイール５８２Ａおよび第２の研磨ホイール５８７Ｂが、所定回転数で回転される。さらに、第３の研削ホイール５８４Ａおよび第３の研磨ホイール５８９Ｂが、所定回転数で回転される。

次に、図１０に示すように、第１の研削ホイール５８０Ａが、ガラス素材２５０の第１の端面２５６Ａに接触しながら、第１の辺（被加工面）２６０Ａに沿って、矢印Ａ_１の方向に移動する。以下、この矢印Ａ_１の方向を、「移動方向」と称する。第１の研削ホイール５８０Ａの移動により、ガラス素材２５０の第１の端面２５６Ａが研削される。

また、第１の研削ホイール５８０Ａによる第１の端面２５６Ａの研削が開始されてから暫くの後、第１の研磨ホイール５８５Ｂが、ガラス素材２５０の第１の端面２５６Ａに接触しながら、第１の辺２６０Ａに沿って、矢印Ａ_２の方向に移動する。ここで、矢印Ａ_２は、矢印Ａ_１と同じ方向、すなわち「移動方向」である。

第１の研磨ホイール５８５Ｂの移動により、ガラス素材２５０の第１の端面２５６Ａの、第１の研削ホイール５８０Ａによって研削された領域が研磨される。

また、第１の研削ホイール５８０Ａによる第１の端面２５６Ａの研削とほぼ同時に、あるいはその暫くの後、第２の研削ホイール５８２Ａが、ガラス素材２５０の第１の端面２５６Ａに接触しながら、第１の辺２６０Ａに沿って、矢印Ａ_３の方向に移動する。矢印Ａ_３は、矢印Ａ_１と同じ方向（図６におけるＸ方向）、すなわち「移動方向」である。第２の研削ホイール３８２Ａの移動により、ガラス素材２５０の第１の端面２５６Ａが研削される。

また、第２の研削ホイール５８２Ａによる第１の端面２５６Ａの研削が開始されてから暫くの後、第２の研磨ホイール５８７Ｂが、ガラス素材２５０の第１の端面２５６Ａに接触しながら、第１の辺２６０Ａに沿って、矢印Ａ_４の方向に移動する。矢印Ａ_４は、矢印Ａ_１と同じ方向（図６におけるＸ方向）、すなわち「移動方向」である。

第２の研磨ホイール５８７Ｂの移動により、ガラス素材２５０の第１の端面２５６Ａの、第２の研削ホイール５８２Ａによって研削された領域が研磨される。

また、第２の研削ホイール５８２Ａによる第１の端面２５６Ａの研削とほぼ同時に、あるいはその暫くの後、第３の研削ホイール５８４Ａが、ガラス素材２５０の第１の端面２５６Ａに接触しながら、第１の辺２６０Ａに沿って、矢印Ａ_５の方向に移動する。矢印Ａ_５は、矢印Ａ_１と同じ方向（図６におけるＸ方向）、すなわち「移動方向」である。第３の研削ホイール５８４Ａの移動により、ガラス素材２５０の第１の端面２５６Ａが研削される。

また、第３の研削ホイール５８４Ａによる第１の端面２５６Ａの研削が開始されてから暫くの後、第３の研磨ホイール５８９Ｂが、ガラス素材２５０の第１の端面２５６Ａに接触しながら、第１の辺２６０Ａに沿って、矢印Ａ_６の方向に移動する。矢印Ａ_６は、矢印Ａ_１と同じ方向（図６におけるＸ方向）、すなわち「移動方向」である。

第３の研磨ホイール５８９Ｂの移動により、ガラス素材２５０の第１の端面２５６Ａの、第３の研削ホイール５８４Ａによって研削された領域が研磨される。

これにより、ガラス素材２５０の第１の辺２６０Ａ全体の研削および研磨処理が完了し、ガラス素材２５０の第１の端面２５６Ａが加工された、ガラス基板が製造される。

図１１には、第１の研削ホイール５８０Ａ、第１の研磨ホイール５８５Ｂ、第２の研削ホイール５８２Ａ、第２の研磨ホイール５８７Ｂ、第３の研削ホイール５８４Ａ、および第３の研磨ホイール５８９Ｂのそれぞれの移動軌跡を模式的に示す。

図１１（ａ）には、第１の研削ホイール５８０Ａの模式的な移動軌跡Ｆ_１が示されており、図１１（ｂ）には、第１の研磨ホイール５８５Ｂの模式的な移動軌跡Ｆ_２が示されており、図１１（ｃ）には、第２の研削ホイール５８２Ａの模式的な移動軌跡Ｆ_３が示されており、図１１（ｄ）には、第２の研磨ホイール５８７Ｂの模式的な移動軌跡Ｆ_４が示されており、図１１（ｅ）には、第３の研削ホイール５８４Ａの模式的な移動軌跡Ｆ_５が示されており、図１１（ｆ）には、第３の研磨ホイール５８９Ｂの模式的な移動軌跡Ｆ_６が示されている。

図１１において、第１の研削ホイール５８０Ａおよび第１の研磨ホイール５８５Ｂ、第２の研削ホイール５８２Ａおよび第２の研磨ホイール５８７Ｂ、ならびに第３の研削ホイール５８４Ａおよび第３の研磨ホイール５８９Ｂは、いずれもＸ方向（移動方向）に沿って移動し、これにより、ガラス素材２５０の第１の端面２６０Ａは、Ｙ方向に研削、研磨される（すなわち減肉される）ものとする。

図１１（ａ）に示すように、第１の研削ホイール５８０Ａは、第１の辺２６０Ａの途中、すなわち第１研削開始点Ｍ_１で第１の端面２５６Ａと接触し、ここから第１の端面２５６Ａの研削を開始する。そして、第１の研削ホイール３８０Ａは、移動方向に沿って、第１の辺２６０Ａの終了点Ｅまで研削を継続する。

その結果、ガラス素材２５０の第１の辺２６０Ａに対応する第１の端面２５６Ａは、第１研削開始点Ｍ_１から終了点Ｅまでの領域が研削される。以下、この領域を、「第１研削領域（６９１）」という。

一方、図１１（ｂ）に示すように、第１の研磨ホイール５８５Ｂは、第１の辺２６０Ａの途中、すなわち第１研磨開始点Ｐ_１で第１の端面２５６Ａと接触し、ここから第１の端面２５６Ａの研磨を開始する。そして、第１の研磨ホイール５８５Ｂは、移動方向に沿って、第１の辺２６０Ａの終了点Ｅまで研磨を継続する。

その結果、ガラス素材２５０の第１の端面２５６Ａは、第１研磨開始点Ｐ_１から終了点Ｅまでの領域が研磨される。以下、この領域を、「第１研磨領域（６９２）」という。

ここで、第１研磨開始点Ｐ_１は、第１研削開始点Ｍ_１および終了点Ｅを除く、第１研削領域６９１の範囲内であれば、いずれの位置であってもよい。

また、図１１（ｃ）に示すように、第２の研削ホイール５８２Ａは、第１の辺２６０Ａの途中、すなわち第２研削開始点Ｍ_２で第１の端面２５６Ａと接触し、ここから移動方向に沿って、第１の辺２６０Ａの途中、すなわち第１移動完了点Ｎ_１まで移動する。そして、第２の研削ホイール５８２Ａは、第１移動完了点Ｎ_１に到達した時点で、移動を停止する。

ここで、第２研削開始点Ｍ_２は、辺２６０Ａの開始点Ｓおよび第１研削開始点Ｍ_１を除く、開始点Ｓ〜第１研削開始点Ｍ_１の範囲内であれば、いずれの位置であってもよい。また、第１移動完了点Ｎ_１は、第１研削開始点Ｍ_１およびそれよりも前方のいずれの位置であってもよい。特に第１研削開始点Ｍ_１よりも前方であることが好ましい。ただし、図１１（ｃ）に示すように、第１移動完了点Ｎ_１は、第１研削開始点Ｍ_１〜第１研磨開始点Ｐ_１の間の領域に設定されることが好ましい。

これにより、ガラス素材２５０の第１の辺２６０Ａは、第２の研削ホイール５８２Ａによって、第２研削開始点Ｍ_２から第１移動完了点Ｎ_１までの領域が研削される。以下、この領域を、「第２研削領域（６９３）」という。

また、図１１（ｄ）に示すように、第２の研磨ホイール５８７Ｂは、第１の辺２６０Ａの途中、すなわち第２研磨開始点Ｐ_２で第１の端面２５６Ａと接触し、ここから移動方向に沿って、第１の辺２６０Ａの途中、すなわち第１研磨完了点Ｑ_１まで移動する。そして、第２の研磨ホイール５８７Ｂは、第１研磨完了点Ｑ_１に到達した時点で、移動を停止する。

その結果、ガラス素材２５０の第１の辺２６０Ａは、第２の研磨ホイール５８７Ｂによって、第２研磨開始点Ｐ_２から第１研磨完了点Ｑ_１までの領域が研磨される。以下、この領域を、「第２研磨領域（６９４）」という。

第２研磨開始点Ｐ_２は、第２研削開始点Ｍ_２および第１研削開始点Ｍ_１を除く、第２研削開始点Ｍ_２〜第１研削開始点Ｍ_１の範囲内であれば、いずれの位置であってもよい。

ここで、図１１（ｃ）に示すように、第１移動完了点Ｎ_１が第１研削開始点Ｍ_１〜第１研磨開始点Ｐ_１の間の領域に設定される場合、第１研磨完了点Ｑ_１は、第１研磨開始点Ｐ_１を除く、第１研磨領域６９２の範囲内であれば、いずれの位置であってもよい。

一方、第１移動完了点Ｎ_１が第１研磨開始点Ｐ_１よりも前方にある場合、第１研磨完了点Ｑ_１は、第１移動完了点Ｎ_１よりも前方の位置に設定される。

第１移動完了点Ｎ_１が第１研削開始点Ｍ_１〜第１研磨開始点Ｐ_１の間の領域に設定される場合、図１１（ｄ）に示すように、第２研磨領域６９４のうち、第１研磨領域６９２と重複する領域、すなわち、第１研磨開始点Ｐ_１〜第１研磨完了点Ｑ_１の領域では、第１の研磨ホイール３８５Ｂおよび第２の研磨ホイール３８７Ｂによる、２回の研磨処理が実施されることになる。従って、ここに第１の重複研磨領域６９５が形成される。

一方、第１移動完了点Ｎ_１が第１研磨開始点Ｐ_１よりも前方にある場合は、第１移動完了点Ｎ_１〜第１研磨完了点Ｑ_１の領域に、第１の重複研磨領域が形成される。

また、図１１（ｅ）に示すように、第３の研削ホイール５８４Ａは、第１の辺２６０Ａの開始点Ｓで第１の端面２５６Ａに接触し、ここから移動方向に沿って、第１の辺２６０Ａの第２移動完了点Ｎ_２まで移動する。そして、第３の研削ホイール５８４Ａは、第２移動完了点Ｎ_２に到達した時点で、移動を停止する。

第２移動完了点Ｎ_２は、第２研削開始点Ｍ_２およびそれよりも前方にある、いずれの位置であっても良い。特に第２研削開始点Ｍ_２よりも前方であることが好ましい。ただし、図１１（ｅ）に示すように、第２移動完了点Ｎ_２は、第２研削開始点Ｍ_２〜第２研磨開始点Ｐ_２の間の領域に設定されることが好ましい。

これにより、ガラス素材２５０の第１の辺２６０Ａは、第３の研削ホイール５８４Ａによって、開始点Ｓから第２移動完了点Ｎ_２までの領域が研削される。以下、この領域を、「第３研削領域（６９６）」という。

また、図１１（ｆ）に示すように、第３の研磨ホイール５８９Ｂは、第１の辺２６０Ａの開始点Ｓで第１の端面２５６Ａに接触し、ここから移動方向に沿って、第２研磨完了点Ｑ_２まで移動する。そして、第３の研磨ホイール５８９Ｂは、第２研磨完了点Ｑ_２に到達した時点で、移動を停止する。

その結果、ガラス素材２５０の第１の辺２６０Ａは、第３の研磨ホイール５８９Ｂによって、開始点Ｓから第２研磨完了点Ｑ_２までの領域が研磨される。以下、この領域を、「第３研磨領域（６９７）」という。

ここで、図１１（ｅ）に示すように、第２移動完了点Ｎ_２が第２研削開始点Ｍ_２〜第２研磨開始点Ｐ_２の間の領域に設定される場合、第２研磨完了点Ｑ_２は、第２研磨開始点Ｐ_２を除く、第２研磨領域６９４の範囲内であれば、いずれの位置であってもよい。

一方、第２移動完了点Ｎ_２が第２研磨開始点Ｐ_２よりも前方にある場合、第２研磨完了点Ｑ_２は、第２移動完了点Ｎ_２よりも前方の位置に設定される。

第２移動完了点Ｎ_２が第２研削開始点Ｍ_２〜第２研磨開始点Ｐ_２の間の領域に設定される場合、図１１（ｆ）に示すように、第３研磨領域６９７のうち、第２研磨領域６９４と重複する領域、すなわち、第２研磨開始点Ｐ_２〜第２研磨完了点Ｑ_２の領域では、第２の研磨ホイール５８７Ｂおよび第３の研磨ホイール５８９Ｂによる、２回の研磨処理が実施されることになる。従って、ここに第２の重複研磨領域６９７が形成される。

一方、第１移動完了点Ｎ_２が第２研磨開始点Ｐ_２よりも前方にある場合は、第２移動完了点Ｎ_２〜第２研磨完了点Ｑ_２の領域に、第２の重複研磨領域が形成される。

以上の工程の結果、第１の端面２５６Ａに、２箇所の重複研磨領域６９５、６９８を形成することができる。

以上、第２の加工装置５００を用いた第２の製造方法について説明した。しかしながら、上記説明は、単なる一例であって、第２の製造方法において、各種変更が可能である。

例えば、前述の図１１（ａ）に示した工程では、第１の研削ホイール５８０Ａは、辺２６０Ａに沿って、第１研削開始点Ｍ_１から、辺２６０Ａの終了点Ｅまで移動される。その結果、第１研削開始点Ｍ_１〜終了点Ｅの領域に、第１研削領域６９１が形成される。

しかしながら、第１の研削ホイール５８０Ａは、第１研削開始点Ｍ_１〜終了点Ｅの間のいかなる位置で、第１の端面２５６Ａの研削を停止してもよい。

また、前述の図１１（ｂ）に示した工程では、第１の研磨ホイール５８５Ｂは、辺２６０Ａに沿って、第１研磨開始点Ｐ_１から、辺２６０Ａの終了点Ｅまで移動される。その結果、第１研磨開始点Ｐ_１〜終了点Ｅの領域に、第１研磨領域６９２が形成される。

しかしながら、第１の研磨ホイール５８５Ｂは、第１研磨開始点Ｐ_１〜終了点Ｅの間のいかなる位置で、第１の端面２５６Ａの研磨を停止してもよい。

また、図１１（ｅ）に示した工程では、第３の研削ホイール５８４Ａは、辺２６０Ａに沿って、開始点Ｓから、第２移動完了点Ｎ_２まで移動される。その結果、開始点Ｓ〜第２研削開始点Ｍ_２の間に、第３研削領域６９６が形成される。

しかしながら、第３の研削ホイール５８４Ａは、開始点Ｓ〜第２研削開始点Ｍ_２の範囲のいかなる位置から、第１の端面２５６Ａの研削を開始してもよい。

また、前述の図１１（ｆ）に示した工程では、第３の研磨ホイール５８９Ｂは、辺２６０Ａに沿って、開始点Ｓから、第２研磨完了点Ｑ_２まで移動される。その結果、開始点Ｓ〜第２研磨完了点Ｑ_２の領域に、第３研磨領域６９７が形成される。

しかしながら、第３の研磨ホイール５８９Ｂは、開始点Ｓ〜第２研磨開始点Ｐ_２の範囲のいかなる位置（ただし第２研磨開始点Ｐ_２は除く）から、第１の端面２５６Ａの研磨を開始してもよい。

また、前述の第２の製造方法において、第２の研削ホイール５８２Ａによる研削（第２の研削）は、第２の研削ホイール５８２Ａが第１の研削ホイール５８０Ａを追い越さない限り、いずれのタイミングで開始してもよい。また、第３の研削ホイール５８４Ａによる研削（第３の研削）は、第３の研削ホイール５８４Ａが第２の研削ホイール５８２Ａを追い越さない限り、いずれのタイミングで開始してもよい。

同様に、第２の研磨ホイール５８７Ｂによる研磨（第２の研磨）は、第２の研磨ホイール５８７Ｂが第１の研磨ホイール５８５Ｂを追い越さない限り、いずれのタイミングで開始してもよい。また、第３の研磨ホイール５８９Ｂによる研磨（第３の研磨）は、第３の研磨ホイール５８９Ｂが第２の研磨ホイール５８７Ｂを追い越さない限り、いずれのタイミングで開始してもよい。

特に、第２の研削の開始は、第１の研削と同時、または実施中など完了前であることが好ましい。また、第３の研削の開始は、第２の研削と同時、または実施中など完了前であることが好ましい。

同様に、第２の研磨の開始は、第１の研磨と同時、または実施中など完了前であることが好ましい。また、第３の研磨の開始は、第２の研磨と同時、または実施中など完了前であることが好ましい。

さらに、第２の研削ホイール５８２Ａによる第２の研削は、第１の研磨ホイール５８５Ｂによる第１の研磨の開始前、同時、または実施中など完了前であることが好ましい。また、第３の研削ホイール５８４Ａによる第３の研削は、第２の研磨ホイール５８７Ｂによる第２の研磨の開始前、同時、または実施中など完了前であることが好ましい。

つまり、図１１（ａ）、（ｃ）および（ｅ）に示した工程が完了後に、図１１（ｂ）、（ｄ）および（ｆ）に示した工程を実施してもよいが、生産性の観点から、図１１（ａ）、（ｃ）および（ｅ）の工程は同時、またはそれに近いタイミングで開始し、図１１（ａ）、（ｃ）および（ｅ）の工程が完了する前に、図１１（ｂ）、（ｄ）および（ｆ）の工程を開始することが好ましい。

その他にも、各種変更が可能である。

以上、第２の加工装置５００を用いて、ガラス素材２５０の一つの端面２５６Ａに、２つの重複研磨領域を形成する方法について説明した。

なお、当業者には、上記記載から、一つの端面に３つ以上の重複研磨領域を形成する方法を容易に把握することができる。例えば、加工装置にさらなる研削ホイールおよび研磨ホイールを設けることにより、一つの端面に３つ以上の重複研磨領域を形成してもよい。

以上、本発明の一実施形態について説明した。しかしながら、本発明の態様は、上記形態に限られるものではない。

例えば、上記記載では、ガラス素材が略矩形状の形状を有する場合を例に、ガラス基板の製造方法について説明した。しかしながら、ガラス素材は、その他の形状、例えばディスク状であってもよい。

ガラス素材がディスク状の場合、前記第１の製造方法および第２の製造方法の記載において、「辺」の代わりに、「周」と言う用語が使用される。また、前述の辺における開始点Ｓおよび終了点Ｅのうち、終了点Ｅが開始点Ｓと一致するものとして把握することにより、端面が「周」状の場合も、端面が「辺」状の場合と同様に、取り扱うことができる。

例えば、第１の製造方法に使用される加工装置３００は、ガラス素材の周に沿って配置される複数の研削ホイールおよび複数の研磨ホイールを有する。そして、それぞれの研削ホイールおよびそれぞれの研磨ホイールは、ガラス素材の周方向に対応する、「移動方向」に沿って移動される。

その他にも、各種変更が可能であることは、当業者には容易に理解される。

１１０ 第１のガラス基板
１１２ 第１の表面
１１４ 第２の表面
１１６Ａ 第１の端面
１１６Ｂ 第２の端面
１１６Ｃ 第３の端面
１１６Ｄ 第４の端面
１２０ 一般領域
１２２ 平滑領域
２５０ ガラス素材
２５２ 第１の表面
２５４ 第２の表面
２５６Ａ〜２５６Ｄ 端面
２６０Ａ〜２６０Ｄ 辺（被加工面）
３００ 加工装置
３０２ テーブル
３８０Ａ 第１の研削ホイール
３８２Ａ 第２の研削ホイール
３８５Ｂ 第１の研磨ホイール
３８７Ｂ 第２の研磨ホイール
４９１ 第１研削領域
４９２ 第１研磨領域
４９３ 第２研削領域
４９４ 第２研磨領域
４９５ 重複研磨領域
５００ 第２の加工装置
５０２ テーブル
５７０ 第１の加工手段
５７２ 第２の加工手段
５７４ 第３の加工手段
５８０Ａ 第１の研削ホイール
５８０Ｂ 第１の研磨ホイール
５８２Ａ 第２の研削ホイール
５８２Ｂ 第２の研磨ホイール
５８４Ａ 第３の研削ホイール
５８４Ｂ 第３の研磨ホイール
６９１ 第１研削領域
６９２ 第１研磨領域
６９３ 第２研削領域
６９４ 第２研磨領域
６９５ 第１の重複研磨領域
６９６ 第３研削領域
６９７ 第３研磨領域
６９８ 第２の重複研磨領域
Ｅ 終了点
Ｍ_１ 第１研削開始点
Ｍ_２ 第２研削開始点
Ｎ_１ 第１移動完了点
Ｎ_２ 第２移動完了点
Ｐ_１ 第１研磨開始点
Ｐ_２ 第２研磨開始点
Ｑ_１ 第１研磨完了点
Ｑ_２ 第２研磨完了点
Ｓ 開始点

Claims (15)

1. ２つの表面をつなぐ端面を有するガラス基板であって、
   前記端面の少なくとも一部には、平滑領域が配置されており、該平滑領域は、前記端面のその他の領域に比べて平滑な表面を有し、
   前記端面の前記その他の領域を一般領域と称し、
   前記一般領域の算術平均粗さをＲａ（１）とし、前記平滑領域の算術平均粗さをＲａ（２）としたとき、比Ｒａ（２）／Ｒａ（１）は、０．８以下であることを特徴とするガラス基板。
2. 前記端面は、第１の長さＬ_１および第２の長さＬ_２を有し、ここでＬ_１≧Ｌ_２であり、
   前記平滑領域は、前記第１の長さＬ_１の方向において、１ｍｍ以上の全長を有する、請求項１に記載のガラス基板。
3. 前記平滑領域は、前記第１の長さＬ_１の方向において、１０ｍｍ以下の全長を有する、請求項２に記載のガラス基板。
4. 前記平滑領域は、前記端面に複数存在する、請求項１乃至３のいずれか一つに記載のガラス基板。
5. 当該ガラス基板は、矩形状であり、第１乃至第４の端面を有し、
   前記端面は、前記第１乃至第４の端面のうちの少なくとも一つである、請求項１乃至４のいずれか一つに記載のガラス基板。
6. 前記Ｒａ（１）は、０．２μｍ以下である、請求項１乃至５のいずれか一つに記載のガラス基板。
7. ガラス基板の製造方法であって、
   （１）第１および第２の表面と、両表面を接続する端面とを有するガラス素材を準備する工程と、
   （２）加工装置を用いて、前記ガラス素材の前記端面を研削および研磨する工程と、
   を有し、
   前記端面は、前記ガラス素材の上面視、開始点Ｓから終了点Ｅまでの被加工面として視認され、
   前記加工装置は、第１の研削ホイールおよび第１の研磨ホイールと、第２の研削ホイールおよび第２の研磨ホイールとを有し、
   前記第１および第２の研削ホイールは、移動方向と呼ばれる、前記開始点Ｓから前記終了点Ｅに向かう方向に、前記被加工面に沿って移動することにより、前記ガラス素材の前記端面を研削することができ、
   前記第１の研磨ホイールは、前記移動方向に前記被加工面に沿って移動することにより、前記ガラス素材の前記端面の、前記第１の研削ホイールにより研削された領域を研磨することができ、前記第２の研磨ホイールは、前記移動方向に前記被加工面に沿って移動することにより、前記ガラス素材の前記端面の、前記第２の研削ホイールにより研削された領域を研磨することができ、
   前記（２）の工程では、
   （２−１）前記第１の研削ホイールは、第１研削開始点Ｍ_１と呼ばれる前記被加工面の開始点Ｓおよび終了点Ｅを除く位置から、前記移動方向に沿って前記前記被加工面を移動し、
   これにより、前記端面には、第１研削領域と呼ばれる領域が形成され、
   （２−２）前記第１の研磨ホイールは、第１研磨開始点Ｐ_１と呼ばれる、前記第１研削領域内の第１研削開始点Ｍ_１を除くいずれかの位置から、前記移動方向に沿って前記被加工面を移動し、
   これにより、前記端面には、第１研磨領域と呼ばれる領域が形成され、
   （２−３）前記第２の研削ホイールは、第２研削開始点Ｍ_２と呼ばれる位置から、前記移動方向に沿って、第１移動完了点Ｎ_１と呼ばれる位置まで前記被加工面を移動し、
   これにより、前記端面は、前記第２研削開始点Ｍ_２〜前記第１移動完了点Ｎ_１までの、第２研削領域と呼ばれる領域が研削され、
   前記第２研削開始点Ｍ_２は、前記開始点Ｓ〜前記第１研削開始点Ｍ_１の間に存在し、
   前記第１移動完了点Ｎ_１は、
   （ｉ）前記第１研磨開始点Ｐ_１を除く、前記第１研削開始点Ｍ_１〜前記第１研磨開始点Ｐ_１の間に存在し、または
   （ｉｉ）前記第１研磨開始点Ｐ_１〜終了点Ｅの間に存在し、
   （２−４）前記第２の研磨ホイールは、第２研磨開始点Ｐ_２と呼ばれる位置から、前記移動方向に沿って、第１研磨完了点Ｑ_１と呼ばれる位置まで前記被加工面を移動し、
   これにより、前記端面は、前記第２研磨開始点Ｐ_２〜前記第１研磨完了点Ｑ_１までの、第２研磨領域と呼ばれる領域が研磨され、
   前記第２研磨開始点Ｐ_２は、前記第２研削開始点Ｍ_２〜前記第１研削開始点Ｍ_１の間に存在し、
   前記第１研磨完了点Ｑ_１は、前記（ｉ）の場合、前記第１研磨開始点Ｐ_１を除く、前記第１研磨領域内に存在し、前記（ｉｉ）の場合、前記第１研磨開始点Ｐ_１〜前記第１移動完了点Ｎ_１を除く、前記第１研磨領域内に存在し、
   前記（ｉ）の場合、前記端面の前記第１研磨開始点Ｐ_１〜前記第１研磨完了点Ｑ_１の間に、前記第１および第２の研磨ホイールで研磨された、（第１の）重複研磨領域が形成され、
   前記（ｉｉ）の場合、前記端面の前記第１移動完了点Ｎ_１〜前記第１研磨完了点Ｑ_１の間に、前記第１および第２の研磨ホイールで研磨された、（第１の）重複研磨領域が形成される、ガラス基板の製造方法。
8. 前記（２−３）の工程は、前記（２−１）の工程の完了前に開始される、請求項７に記載のガラス基板の製造方法。
9. 前記（２−３）の工程は、前記（２−２）の工程の完了前に開始される、請求項７または８に記載のガラス基板の製造方法。
10. 前記（２−１）において、前記第１の研削ホイールは、前記第１研削開始点Ｍ_１から前記終了点Ｅまで移動し、
    前記（２−２）において、前記第１の研磨ホイールは、前記第１研磨開始点Ｐ_１から前記終了点Ｅまで移動する、請求項７乃至９のいずれか一つに記載のガラス基板の製造方法。
11. 前記（２−３）における前記第２研削開始点Ｍ_２は、前記被加工面の開始点Ｓであり、
    前記（２−４）における前記第２研磨開始点Ｐ_２は、前記被加工面の開始点Ｓである、請求項７乃至１０のいずれか一つに記載のガラス基板の製造方法。
12. 前記第１の研削ホイールおよび／または第２の研削ホイールは、ダイヤモンド砥粒を有するメタルボンド砥石または電着砥石を有する、請求項７乃至１１のいずれか一つに記載のガラス基板の製造方法。
13. 第１の研磨ホイールおよび／または第２の研磨ホイールは、ラバー、不織布、または樹脂製の砥石を有する、請求項７乃至１２のいずれか一つに記載のガラス基板の製造方法。
14. 前記加工装置は、さらに、第３の研削ホイールと、第３の研磨ホイールとを有し、
    前記第３の研削ホイールは、前記移動方向に前記被加工面に沿って移動することにより、前記ガラス素材の前記端面を研削することができ、
    前記第３の研磨ホイールは、前記移動方向に前記被加工面に沿って移動することにより、前記ガラス素材の前記端面の、前記第３の研削ホイールにより研削された領域を研磨することができ、
    前記（２）の工程では、
    （２−５）前記第３の研削ホイールは、第３研削開始点Ｍ_３と呼ばれる位置から、前記移動方向に沿って、第２移動完了点Ｎ_２と呼ばれる位置まで前記被加工面を移動し、
    これにより、前記端面は、前記第３研削開始点Ｍ_３〜前記第２移動完了点Ｎ_２までの、第３研削領域と呼ばれる領域が研削され、
    前記第３研削開始点Ｍ_３は、前記開始点Ｓ〜前記第２研削開始点Ｍ_２の間に存在し、
    前記第２移動完了点Ｎ_２は、
    （ｉｉｉ）前記第２研磨開始点Ｐ_２を除く、前記第２研削開始点Ｍ_２〜前記第２研磨開始点Ｐ_２の間に存在し、または
    （ｉｖ）前記第２研磨開始点Ｐ_２〜終了点Ｅの間に存在し、
    （２−６）前記第３の研磨ホイールは、第３研磨開始点Ｐ_３と呼ばれる位置から、前記移動方向に沿って、第２研磨完了点Ｑ_２と呼ばれる位置まで前記被加工面を移動し、
    これにより、前記端面は、前記第３研磨開始点Ｐ_３〜前記第２研磨完了点Ｑ_２までの、第３研磨領域と呼ばれる領域が研磨され、
    前記第３研磨開始点Ｐ_３は、前記第３研削開始点Ｍ_３〜前記第２研削開始点Ｍ_２の間に存在し、
    前記第２研磨完了点Ｑ_２は、前記（ｉｉｉ）の場合、前記第２研磨開始点Ｐ_２を除く、前記第２研磨領域内に存在し、前記（ｉｖ）の場合、前記第２研磨開始点Ｐ_２〜前記第２移動完了点Ｎ_２を除く、前記第２研磨領域内に存在し、
    前記（ｉｉｉ）の場合、前記端面の前記第２研磨開始点Ｐ_２〜前記第２研磨完了点Ｑ_２の間に、前記第２および第３の研磨ホイールで研磨された、第２の重複研磨領域が形成され、
    前記（ｉｖ）の場合、前記端面の前記第２移動完了点Ｎ_２〜前記第２研磨完了点Ｑ_２の間に、前記第２および第３の研磨ホイールで研磨された、第２の重複研磨領域が形成され、る、請求項７乃至１３のいずれか一つに記載のガラス基板の製造方法。
15. 前記（２−５）における前記第３研削開始点Ｍ_３は、前記被加工面の開始点Ｓであり、
    前記（２−６）における前記第３研磨開始点Ｐ_３は、前記被加工面の開始点Ｓである、請求項１４に記載のガラス基板の製造方法。

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