CN107363693B - 玻璃基板和玻璃基板的制造方法 - Google Patents

玻璃基板和玻璃基板的制造方法 Download PDF

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Abstract

本发明提供一种玻璃基板和玻璃基板的制造方法。该玻璃基板的在定位操作时端面产生裂纹或者从端面处产生碎玻璃的情形有效得到抑制。该玻璃基板是具有将两个表面连接的端面的玻璃基板，该玻璃基板的特征在于，在所述端面的至少一部分配置有平滑区域，该平滑区域具有比所述端面的其它区域平滑的表面，将所述端面的所述其它区域称为一般区域，在将所述一般区域的算术平均粗糙度设为Ra(1)、将所述平滑区域的算术平均粗糙度设为Ra(2)时，Ra(2)与Ra(1)的比为0.8以下。

Description

玻璃基板和玻璃基板的制造方法
技术领域
本发明涉及一种玻璃基板和玻璃基板的制造方法。
背景技术
存在如下的情况：在对玻璃基板进行加工时等对玻璃基板进行处理时，需要使玻璃基板以规定的位置和/或朝向固定。在进行那样的玻璃基板定位的情况下，使用条状的金属构件等定位夹具。例如在使用构成为能够滑动的多个定位夹具的情况下，能够通过那样的定位夹具夹住玻璃基板来决定玻璃基板的位置。
发明内容
发明要解决的问题
在利用定位夹具进行玻璃基板的定位操作时，玻璃基板的端面被抵接于定位夹具。因此，经常出现在玻璃基板的端面产生裂纹、或者从端面处产生碎玻璃(玻璃屑)而碎玻璃附着于玻璃基板上的情况。具有那样的裂纹的玻璃基板存在质量上的问题。另外，当碎玻璃附着于玻璃基板上时，在输送玻璃基板时等玻璃基板受到损伤的可能性变高。
因此，迫切期望一种在进行定位操作时难以产生裂纹、碎玻璃的玻璃基板。
本发明是鉴于这样的背景而完成的，本发明的目的于提供一种进行定位操作时在端面产生裂纹或从端面处产生碎玻璃的情形有效得到抑制的玻璃基板。另外，本发明的目的还在于提供一种进行定位操作时在端面产生裂纹或者从端面处产生碎玻璃的情形有效得到抑制的玻璃基板的制造方法。
用于解决问题的方案
在本发明中，提供一种玻璃基板，具有将两个表面连接的端面，该玻璃基板的特征在于，在所述端面的至少一部分配置有平滑区域，该平滑区域具有比所述端面的其它区域平滑的表面，将所述端面的所述其它区域称为一般区域，在将所述一般区域的算术平均粗糙度设为Ra(1)、将所述平滑区域的算术平均粗糙度设为Ra(2)时，Ra(2)与Ra(1)的比为0.8以下。
另外，在本发明中，提供一种玻璃基板的制造方法，包括以下工序：工序(1)，准备玻璃材料，该玻璃材料具有第一表面和第二表面以及将两个表面连接的端面；以及工序(2)，使用加工装置对所述玻璃材料的所述端面进行磨削和研磨，其中，在俯视所述玻璃材料时，所述端面被视觉识别为从起点S到终点E的被加工面，所述加工装置具有第一磨削轮和第一研磨轮以及第二磨削轮和第二研磨轮，所述第一磨削轮和所述第二磨削轮通过在被称为移动方向的从所述起点S朝向所述终点E的方向上沿着所述被加工面移动，能够对所述玻璃材料的所述端面进行磨削，所述第一研磨轮通过在所述移动方向上沿着所述被加工面移动，能够对所述玻璃材料的所述端面的由所述第一磨削轮磨削后的区域进行研磨，所述第二研磨轮通过在所述移动方向上沿着所述被加工面移动，能够对所述玻璃材料的所述端面的由所述第二磨削轮磨削后的区域进行研磨，在所述工序(2)中，包括以下步骤：步骤(2-1)，所述第一磨削轮从所述被加工面的除去起点S和终点E以外的被称为第一磨削起点M1的位置起沿着所述移动方向在所述被加工面上移动，由此，在所述端面形成被称为第一磨削区域的区域，步骤(2-2)，所述第一研磨轮从所述第一磨削区域内的除去第一磨削起点M1以外的被称为第一研磨起点P1的某一个位置起沿着所述移动方向在所述被加工面上移动，由此，在所述端面形成被称为第一研磨区域的区域，步骤(2-3)，所述第二磨削轮在所述被加工面上从被称为第二磨削起点M2的位置起沿着所述移动方向移动到被称为第一移动完成点N1的位置，由此，对所述端面的从所述第二磨削起点M2至所述第一移动完成点N1的被称为第二磨削区域的区域进行磨削，所述第二磨削起点M2存在于所述起点S与所述第一磨削起点M1之间，所述第一移动完成点N1(i)存在于所述第一磨削起点M1与所述第一研磨起点P1之间的除了所述第一研磨起点P1以外的位置，或者(ii)存在于所述第一研磨起点P1与所述终点E之间，步骤(2-4)，所述第二研磨轮在所述被加工面上从被称为第二研磨起点P2的位置起沿着所述移动方向移动到被称为第一研磨完成点Q1的位置，由此，对所述端面的从所述第二研磨起点P2至所述第一研磨完成点Q1的被称为第二研磨区域的区域进行研磨，所述第二研磨起点P2存在于所述第二磨削起点M2与所述第一磨削起点M1之间，在所述(i)的情况下，所述第一研磨完成点Q1存在于所述第一研磨区域内的除了所述第一研磨起点P1以外的区域，在所述(ii)的情况下，所述第一研磨完成点Q1存在于所述第一研磨区域内的除了从所述第一研磨起点P1到所述第一移动完成点N1的区域以外的区域，在所述(i)的情况下，在所述端面的所述第一研磨起点P1与所述第一研磨完成点Q1之间形成由所述第一研磨轮和所述第二研磨轮进行了研磨的第一重复研磨区域，在所述(ii)的情况下，在所述端面的所述第一移动完成点N1与所述第一研磨完成点Q1之间形成由所述第一研磨轮和所述第二研磨轮进行了研磨的第一重复研磨区域。
发明的效果
在本发明中，能够提供一种进行定位操作时在端面产生裂纹或者从端面处产生碎玻璃的情形有效得到抑制的玻璃基板。另外，在本发明中，能够提供一种进行定位操作时在端面产生裂纹或者从端面处产生碎玻璃的情形有效得到抑制的玻璃基板的制造方法。
附图说明
图1是概要地示出本发明的一个实施方式的玻璃基板的立体图。
图2是示意性地示出图1所示的玻璃基板的一个端面的图。
图3是示意性地示出本发明的一个实施方式的玻璃基板的制造方法的流程的图。
图4是示意性地示出玻璃材料的形态的立体图。
图5是示意性地示出本发明的一个实施方式的玻璃基板的制造方法中能够使用的加工装置的结构的一例的图。
图6是示意性地示出图5所示的加工装置的动作的一例的图。
图7是示意性地示出图5所示的加工装置的第一磨削轮、第一研磨轮、第二磨削轮以及第二研磨轮各自的移动轨迹的图。
图8是示意性地示出本发明的一个实施方式的玻璃基板的其它制造方法的流程的图。
图9是示意性地示出本发明的一个实施方式的玻璃基板的制造方法中能够使用的其它加工装置的结构的一例的图。
图10是示意性地示出图9所示的加工装置的动作的一例的图。
图11是示意性地示出图9所示的加工装置的第一磨削轮、第一研磨轮、第二磨削轮、第二研磨轮、第三磨削轮以及第三研磨轮各自的移动轨迹的图。
附图标记说明
110：第一玻璃基板；112：第一表面；114：第二表面；116A：第一端面；116B：第二端面；116C：第三端面；116D：第四端面；120：一般区域；122：平滑区域；250：玻璃材料；252：第一表面；254：第二表面；256A～256D：端面；260A～260D：边(被加工面)；300：加工装置；302：平台；380A：第一磨削轮；382A：第二磨削轮；385B：第一研磨轮；387B：第二研磨轮；491：第一磨削区域；492：第一研磨区域；493：第二磨削区域；494：第二研磨区域；495：重复研磨区域；500：第二加工装置；502：平台；580A：第一磨削轮；585B：第一研磨轮；582A：第二磨削轮；587B：第二研磨轮；584A：第三磨削轮；589B：第三研磨轮；691：第一磨削区域；692：第一研磨区域；693：第二磨削区域；694：第二研磨区域；695：第一重复研磨区域；696：第三磨削区域；697：第三研磨区域；698：第二重复研磨区域；E：终点；M1：第一磨削起点；M2：第二磨削起点；N1：第一移动完成点；N2：第二移动完成点；P1：第一研磨起点；P2：第二研磨起点；Q1：第一研磨完成点；Q2：第二研磨完成点；S：起点。
具体实施方式
以下，参照附图来说明本发明的一个实施方式。
(本发明的一个实施方式的玻璃基板)
参照图1和图2来说明本发明的一个实施方式的玻璃基板的结构。在图1中示出本发明的一个实施方式的玻璃基板(以下简称为“第一玻璃基板”)的概要立体图。
如图1所示，第一玻璃基板110具有彼此相向的第一表面112和第二表面114以及将两个表面连接的四个端面116A～116D。
此外，在图1的例子中，第一玻璃基板110为大致矩形状，因此具有四个端面116A～116D。但是，这只是一例，第一玻璃基板110可以是任意形状，其结果，端面的数量也可以是任意值。例如，在第一玻璃基板110为大致盘状的情况下，端面的数量为一个。另外，在第一玻璃基板110为大致三角形状的情况下，端面的数量为三个。在第一玻璃基板110为五边形或五边以上的多边形的形状的情况下，也同样地考虑。
在此，第一玻璃基板110具有在至少一个端面具有“平滑区域”这样的特征。在此，“平滑区域”是指在成为对象的端面中与其它区域相比算术平均粗糙度Ra较小的区域。此外，在成为对象的端面中，也将“平滑区域”以外的区域称为“一般区域”。
以下，以第一玻璃基板110的第一端面116A具有那样的“平滑区域”的情况为例来说明本发明的效果。
在图2中示意性地示出具有“平滑区域”的第一端面116A的形态。
如图2所示，第一端面116A的表面被划分为一般区域120和平滑区域122。平滑区域122被一般区域120夹持而存在于第一端面116A的大致中央。
但是，这只是一例，平滑区域122的存在位置不特别地进行限制。另外，平滑区域122的数量也不特别地进行限制。例如，可以在第一端面116A存在两个以上的平滑区域122。平滑区域122的设置位置和数量根据与在第一玻璃基板110的定位处理时所抵接的定位夹具之间的关系来决定。
另外，在图2中，用虚线夸大地示出了一般区域120与平滑区域122的边界。然而，需要注意的是，在通常的情况下，从外观来看难以判断一般区域120和平滑区域122、进一步难以判断两者的边界。
在此，如前述的那样，平滑区域122具有与一般区域120相比较小的算术平均粗糙度Ra。特别地，在第一玻璃基板110中，具有以下特征：在将一般区域120的算术平均粗糙度设为Ra(1)、将平滑区域122的算术平均粗糙度设为Ra(2)时，满足下式。
Ra(2)/Ra(1)≤0.8 (1)式
如前述的那样，在利用定位夹具进行玻璃基板的定位操作时，玻璃基板的端面与定位夹具抵接。而且，此时存在玻璃基板的端面产生裂纹或者从端面处产生碎玻璃(玻璃屑)的情况。
对此，在第一玻璃基板110中，在端面的至少可能与定位夹具抵接的位置处配置平滑区域122。另外，平滑区域122的算术平均粗糙度与一般区域120的算术平均粗糙度之间存在前述的(1)式的关系。像这样的凹凸少的平滑区域122针对定位夹具那样的构件的抵接而示出比一般区域120好的强度。
因此，在第一玻璃基板110中，即使定位夹具与第一端面116A的平滑区域122抵接，相比于定位夹具与一般区域120抵接，也能够有效抑制在第一端面116A产生裂纹或者从第一端面116A产生碎玻璃。另外，由于定位夹具与凹凸少的平滑区域122抵接，因此也会有效抑制定位构件的磨损和灰尘的产生。
(一般区域120和平滑区域122)
接着，更详细地说明端面的一般区域120和平滑区域122。
如前述的那样，平滑区域122的算术平均粗糙度Ra(2)与一般区域120的算术平均粗糙度Ra(1)的比Ra(2)/Ra(1)被设为0.8以下。该比Ra(2)/Ra(1)优选为0.7以下。
另外，平滑区域122的算术平均粗糙度Ra(2)优选为0.12μm以下，更优选为0.08μm以下。
另一方面，一般区域120、即第一端面116A的除了平滑区域122以外的区域的算术平均粗糙度Ra(1)例如优选为0.2μm以下。
另外，第一端面116A的平滑区域122的总长Ls优选为1mm以上且30mm以下。当平滑区域122的总长Ls为1mm以上时，容易使定位夹具准确地接触平滑区域122。另外，当平滑区域122的总长Ls为30mm以下时，从第一玻璃基板110的生产性的观点出发是优选的。平滑区域122的总长Ls更优选为3mm以上且10mm以下。
在此，平滑区域122的“总长(Ls)”如以下那样决定。
将成为对象的端面的第一长度设为L1，将第二长度设为L2。在此，L1≥L2。例如，在图2所示的第一端面116A的情况下，X方向的尺寸为长度L1，Z方向(厚度方向)的尺寸为长度L2。在该情况下，如图2所示，平滑区域122的总长Ls被规定为沿着第一长度L1的方向的平滑区域122的宽度。
此外，在玻璃基板为大致盘状而仅存在一个曲面状的端面的情况下，那样的端面的第一长度L1为圆周的长度，第二长度L2相当于玻璃基板的厚度。因而，平滑区域的总长Ls为沿着圆周的平滑区域的长度。
如前述的那样，第一端面116A中的平滑区域122的设置位置和设置数量不特别地进行限制。例如，可以在第一端面116A上等间隔或非等间隔地配置两个以上的平滑区域122。
另外，在前述的例子中，平滑区域122被配置于第一玻璃基板110的第一端面116A。然而，平滑区域122可以配置在第一玻璃基板110的任意端面。
例如，平滑区域122也可以配置在第二端面116B～第四端面116D的任一端面，也可以配置在第一端面116A和第二端面116B等两个端面，也可以配置在第一端面116A～第三端面116C等三个端面，还可以配置在第一端面116A～第四端面116D的所有端面。另外，此时，在各端面116A～116D中，平滑区域122的设置位置和设置数量也可以互不相同。
(本发明的一个实施方式的玻璃基板的制造方法)
接着，参照图3～图7来说明本发明的一个实施方式的玻璃基板的制造方法的一例。
在图3中示意性地示出本发明的一个实施方式的玻璃基板的制造方法(以下简称为“第一制造方法”)的流程。另外，在图4～图7中示意性地示出第一制造方法中的一系列工序的情形。
如图3所示，第一制造方法包括以下工序：(1)准备具有第一表面和第二表面以及将两个表面连接的端面的玻璃材料的工序(工序S110)；以及(2)使用加工装置对所述玻璃材料的所述端面进行磨削和研磨的工序(工序S120)。
以下，参照图4～图7详细地说明各工序。
(工序S110)
首先，准备玻璃材料。如图4所示，玻璃材料250具有第一表面252和第二表面254以及将两个表面连接的四个端面256A～256D。
以后，为了说明的简单化，将第一表面252的俯视玻璃材料250时与四个端面256A～256D对应的边分别称为第一边260A、第二边260B、第三边260C以及第四边260D。
玻璃材料250的尺寸不特别地进行限制。例如，在制造液晶显示器用的玻璃基板的情况下，玻璃材料250例如也可以具有纵(第一边260A和第三边260C的长度)1800mm～3200mm×横(第二边260B和第四边260D的长度)1500mm～2900mm×厚度0.10mm～0.70mm的尺寸。
(工序S120)
接着，使用加工装置对玻璃材料250的端面进行磨削和研磨处理(以下也将它们统称为“加工处理”)。
此外，玻璃材料250的被加工处理的端面不特别地进行限制。例如，可以仅对四个端面256A～256D中的一个端面进行加工处理。或者，也可以对四个端面256A～256D中的两个以上的端面、例如所有端面进行加工处理。
在此，作为一例，以对玻璃材料250的第一端面256A进行加工处理的情况为例进行说明。
(加工装置)
在图5中示意性地示出在第一制造方法中能够使用的加工装置的结构。
如图5所示，加工装置300具备平台302、第一磨削轮380A和第二磨削轮382A以及第一研磨轮385B和第二研磨轮387B。
平台302用于在其上部设置玻璃材料250。另外，第一磨削轮380A和第二磨削轮382A以及第一研磨轮385B和第二研磨轮387B均用于对玻璃材料250的第一端面256A进行加工。
第一磨削轮380A能够对玻璃材料250的第一端面256A进行磨削，第一研磨轮385B能够对玻璃材料250的第一端面256A进行研磨。同样地，第二磨削轮382A能够对玻璃材料250的第一端面256A进行磨削，第二研磨轮387B能够对玻璃材料250的第一端面256A进行研磨。
第一磨削轮380A和第一研磨轮385B形成组，第一研磨轮385B能够从后跟随第一磨削轮380A的磨削行程。同样地，第二磨削轮382A和第二研磨轮387B形成组，第二研磨轮387B能够从后跟随第二磨削轮382A的磨削行程。
第一磨削轮380A由难以产生弹性变形且磨削力高的砂轮构成。作为那样的砂轮，能够例示例如将金刚石或CBN(立方氮化硼)的磨粒通过难以产生弹性变形的金属结合剂进行固定而成的金属结合剂砂轮。同样地，也能够例示具有金刚石磨粒的电镀砂轮。
第二磨削轮382A也同样。
另一方面，第一研磨轮385B由具有弹性并适合于研磨的砂轮构成。作为那样的砂轮，能够例示例如将金刚石、CBN、绿色碳化硅(GC)、氧化铝(Al2O3)、浮石、或者石榴石等磨粒通过容易产生弹性变形的树脂、或者丁基橡胶、天然橡胶等结合剂进行固定而成的砂轮。
第二研磨轮387B也同样。
此外，在本申请中，“磨削”的目的是对基板进行切削使其成为规定的尺寸、规定的截面形状，“研磨”的目的是去除通过磨削而产生的微崩(chipping)、裂纹等，并且降低磨削面的粗糙度。
(具体的加工工序)
在工序S120中，将玻璃材料250设置于加工装置300，对玻璃材料250进行加工处理。
首先，如图6所示，玻璃材料250以第一边260A面对第一磨削轮380A和第二磨削轮382A的方式被设置在加工装置300的平台302上。此外，玻璃材料250可以被吸附固定于平台302。
接着，使加工装置300的第一磨削轮380A和第一研磨轮385B以规定转速旋转。另外，使加工装置300的第二磨削轮382A和第二研磨轮387B以规定转速旋转。
接着，如图6所示，第一磨削轮380A接触玻璃材料250的第一端面256A并沿着第一边(被加工面)260A向箭头A1的方向移动。以下将该箭头A1的方向称为“移动方向”。通过第一磨削轮380A的移动来对玻璃材料250的第一端面256A进行磨削。
另外，在利用第一磨削轮380A对第一端面256A的磨削开始不久之后，第一研磨轮385B接触玻璃材料250的第一端面256A并沿着第一边260A向箭头A2的方向移动。箭头A2是与箭头A1相同的方向(图6中的X方向)、即“移动方向”。
通过第一研磨轮385B的移动来对玻璃材料250的第一端面256A的由第一磨削轮380A进行了磨削的区域进行研磨。
另外，与利用第一磨削轮380A对第一端面256A的磨削大致同时地、或者在其不久之后，第二磨削轮382A接触玻璃材料250的第一端面256A并沿着第一边260A向箭头A3的方向移动。箭头A3是与箭头A1相同的方向(图6中的X方向)、即“移动方向”。通过第二磨削轮382A的移动来对玻璃材料250的第一端面256A进行磨削。
另外，在利用第二磨削轮382A对第一端面256A的磨削开始不久之后，第二研磨轮387B接触玻璃材料250的第一端面256A并沿着第一边260A向箭头A4的方向移动。箭头A4是与箭头A1相同的方向(图6中的X方向)、即“移动方向”。
通过第二研磨轮387B的移动来对玻璃材料250的第一端面256A的由第二磨削轮382A进行了磨削的区域进行研磨。
在此，第一磨削轮380A被操作为从玻璃材料250的第一边260A的中途部分、例如大致中央部分起开始磨削。而且，持续磨削直到第一边260A的终点E。
另外，第一研磨轮385B被操作为从第一边260A的已经由第一磨削轮380A完成了磨削的某一个位置起开始研磨。而且，持续研磨直到第一边260A的终点E。
另一方面，第二磨削轮382A被操作为从玻璃材料250的第一边260A的起点S起开始磨削。而且，在沿着移动方向行进到第一边260A的中途的时刻停止磨削。
该第二磨削轮382A停止磨削的位置只要是第一边260A的已经由第一磨削轮380A进行了磨削的区域内的某一个位置即可。但是，第二磨削轮382A停止磨削的位置优选为已经由第一磨削轮380A进行了磨削的区域中的没有由第一研磨轮385B进行研磨的区域内的某一个位置。在该情况下，能够避免由第一研磨轮385B进行了研磨的区域被第二磨削轮382A磨削。
另外，第二研磨轮387B被操作为从玻璃材料250的第一边260A的起点S起开始研磨。而且，持续研磨直到第一研磨轮385B完成了研磨的某一个位置。
但是，在前述的利用第二磨削轮382A的磨削的停止位置超过了利用第一研磨轮385B的研磨的开始位置的情况下，第二研磨轮387B持续研磨直到超过利用该第二磨削轮382A的磨削的停止位置的位置。
由此，玻璃材料250的第一边260A整体的磨削和研磨处理完成，制造出对玻璃材料250的第一端面256A进行了加工的玻璃基板。
在这样的第一制造方法中，在玻璃材料250的第一端面256A内产生由第一研磨轮385B和第二研磨轮387B这两方进行了研磨的区域(以下称为“重复研磨区域”)。在这样的重复研磨区域中，通过两次研磨，能够获得比第一端面256A的其它区域更平滑的表面。此外，在第一研磨轮385B和第二研磨轮387B对重复研磨区域进行研磨处理时，使研磨轮的移动速度相比于对其它区域进行研磨处理时的研磨轮的移动速度降低或者使转速相比于对其它区域进行研磨处理时的转速降低，由此容易获得平滑的表面，此为优选。
如前述的那样，凹凸少的平滑的表面针对定位夹具那样的构件的抵接而言具有比较好的强度。因而，在通过第一制造方法制造的玻璃基板中，通过利用端面的那种重复研磨区域作为与定位夹具那样的构件的抵接场所，能够有效抑制端面产生裂纹或者从此处产生碎玻璃。
(重复研磨区域的形成工序)
在此，参照图7来更详细地说明形成上述重复研磨区域的工序。
在图7中示意性地示出第一磨削轮380A、第一研磨轮385B、第二磨削轮382A以及第二研磨轮387B各自的移动轨迹。在图7的(a)中示出了第一磨削轮380A的示意性的移动轨迹F1，在图7的(b)中示出了第一研磨轮385B的示意性的移动轨迹F2。在图7的(c)中示出了第二磨削轮382A的示意性的移动轨迹F3。另外，在图7的(d)中示出了第二研磨轮387B的示意性的移动轨迹F4。
另外，在图7中，设为第一磨削轮380A、第一研磨轮385B、第二磨削轮382A以及第二研磨轮387B沿着X方向(移动方向)移动，由此在Y方向上对玻璃材料250的第一端面256A进行磨削、研磨(即，减薄)。
因而，在图7中，在将两个位置进行相对比较的情况下，将处于X的值较大的方向(右侧)的位置称为“(处于)前方”，相反地，将处于X的值较小的方向(左侧)的位置称为“(处于)后方”。另外，停止移动的意思是在接触着玻璃材料250的状态下停止移动，允许向离开玻璃材料250的方向的移动。
如图7所示，玻璃材料250的第一边260A从起点S延伸至终点E。
如图7的(a)所示，第一磨削轮380A在第一边260A的中途、即第一磨削起点M1处与第一端面256A接触，从此处开始对第一端面256A进行磨削。而且，第一磨削轮380A沿着移动方向持续磨削直到第一边260A的终点E。
其结果，玻璃材料250的与第一边260A对应的第一端面256A中的从第一磨削起点M1到终点E的区域被磨削。以下将该区域称为“第一磨削区域(491)”。
在第一磨削区域491中，第一磨削轮380A对第一端面256A的磨削量(Y方向的减薄量)例如处于0.05mm～0.50mm的范围。
另一方面，如图7的(b)所示，第一研磨轮385B在第一边260A的中途、即第一研磨起点P1处与第一端面256A接触，从此处开始对第一端面256A进行研磨。而且，第一研磨轮385B沿着移动方向持续研磨直到第一边260A的终点E。
其结果，玻璃材料250的第一端面256A中的从第一研磨起点P1到终点E的区域被研磨。以下将该区域称为“第一研磨区域(492)”。
在此，第一研磨起点P1只要在第一磨削区域491的除了第一磨削起点M1和终点E以外的范围内，则可以是任意位置。
在第一研磨区域492中，第一研磨轮385B对第一端面256A的研磨量例如处于1μm～30μm的范围内。
另外，如图7的(c)所示，第二磨削轮382A在第一边260A的起点S处与第一端面256A接触，从此处开始沿着移动方向移动到第一边260A的第一移动完成点N1。而且，第二磨削轮382A在到达第一移动完成点N1的时刻停止移动。
第一移动完成点N1可以是第一磨削起点M1和比该第一磨削起点M1靠前方的位置中的任意位置。特别优选为比第一磨削起点M1靠前方的位置。其中，如图7的(c)所示，第一移动完成点N1优选设定于第一磨削起点M1与第一研磨起点P1之间的区域。
由此，通过第二磨削轮382A对玻璃材料250的第一边260A的从起点S到第一移动完成点N1的区域进行磨削。以下将该区域称为“第二磨削区域(493)”。
在第二磨削区域493中，使第二磨削轮382A对第一端面256A的磨削量(Y方向的减薄量)与第一磨削轮380A对第一磨削区域491的磨削量实质相等。
但是，通常情况下，从第一磨削起点M1至第一移动完成点N1的区域的磨削量不会成为其它区域的磨削量的两倍。这是因为，第二磨削轮382A如前述的那样由难以产生变形的砂轮构成。即，在从第一磨削起点M1至第一移动完成点N1的区域中，已经由第一磨削轮380A使第一端面256A在Y方向上减薄了一些。因此，由难以产生变形的构件构成的第二磨削轮382A即使从该区域通过，也难以再次进行与第一磨削轮380A同量的磨削。在通常情况下，第二磨削轮382A通过后的从第一磨削起点M1至第一移动完成点N1的区域的磨削量是仅比其它区域的磨削量稍微增加的程度。
另外，如图7的(d)所示，第二研磨轮387B在第一边260A的起点S处与第一端面256A接触，从此处起沿着移动方向移动到第一研磨完成点Q1。而且，第二研磨轮387B在达到第一研磨完成点Q1的时刻停止移动。
其结果，由第二研磨轮387B对玻璃材料250的第一边260A的从起点S至第一研磨完成点Q1的区域进行研磨。以下将该区域称为“第二研磨区域(494)”。
在此，在如图7的(c)所示那样将第一移动完成点N1设定于第一磨削起点M1与第一研磨起点P1之间的区域的情况下，第一研磨完成点Q1只要处于第一研磨区域492的除了第一研磨起点P1以外的范围内，则可以是任意位置。
另一方面，在第一移动完成点N1处于比第一研磨起点P1靠前方的位置的情况下，将第一研磨完成点Q1设定为比第一移动完成点N1更靠前方的位置。
在第二研磨区域494中，使第二研磨轮387B对第一端面256A的研磨量与第一研磨轮385B对第一研磨区域492的研磨量实质相等。
以上的工序的结果为，在将第一移动完成点N1设定在第一磨削起点M1与第一研磨起点P1之间的区域的情况下，如图7的(d)所示，在第二研磨区域494中的与第一研磨区域492重叠的区域、即从第一研磨起点P1至第一研磨完成点Q1的区域，由第一研磨轮385B和第二研磨轮387B实施两次研磨处理。因而，在此处形成重复研磨区域495。
另一方面，在第一移动完成点N1处于比第一研磨起点P1靠前方的位置的情况下，在从第一移动完成点N1至第一研磨完成点Q1的区域形成重复研磨区域495。
如前述的那样，在重复研磨区域495中，能够得到比第一端面256A的其它区域更平滑的表面。
例如，在将第一端面256A的其它区域的算术平均粗糙度设为Ra(3)、将重复研磨区域495的算术平均粗糙度设为Ra(4)时，也可以得到下式。
Ra(4)/Ra(3)≤0.8 (2)式
(追加的工序)
通过以上的工序S110～工序S120，能够利用玻璃材料250制造出在第一端面256A具有重复研磨区域495的玻璃基板。
但是，第一制造方法也可以根据需要追加实施以下的至少一个工序：(a)玻璃材料250的第二端面256B的加工工序；(b)玻璃材料250的第三端面256C的加工工序；以及(c)玻璃材料250的第四端面256D的加工工序。
其中，在实施(a)的加工工序时，在前述的图5和图6所示的加工装置300中，只要使玻璃材料250逆时针旋转90°即可。在那样的状态下，通过实施前述的工序，能够在第二端面256B形成重复研磨区域。
另外，在实施(b)的加工工序时，在前述的图5和图6所示的加工装置300中，只要使玻璃材料250(逆时针)顺时针旋转180°即可。在那样的状态下，通过实施前述的工序，能够在第三端面256C形成重复研磨区域。
或者，也可以在加工装置300中设置与第一磨削轮380A和第一研磨轮385B以及第二磨削轮382A和第二研磨轮387B同样的加工单元(例如，第三磨削轮与第三研磨轮的组以及第四磨削轮与第四研磨轮的组)。将它们配置成面对玻璃材料250的第三边260C。
在加工装置300具有那样的结构的情况下，能够同时对玻璃材料250的第一端面256A和第三端面256C进行加工。因此，加工速度提高。
另外，在实施(c)的加工工序时，在前述的图5和图6所示的加工装置300中，只要使玻璃材料250顺时针旋转90°即可。在那样的状态下，通过实施前述的工序，能够在第四端面256D形成重复研磨区域。
并且，在(a)和(c)的加工工序中，在加工装置300具有前述的第三磨削轮和第三研磨轮以及第四磨削轮和第四研磨轮的情况下，只要使玻璃材料250顺时针或逆时针旋转90°即可。
在该情况下，能够同时对玻璃材料250的第二端面256B和第四端面256D进行加工。因此，加工速度提高。
以上对使用了加工装置300的第一制造方法进行了说明。然而，上述说明只是一例，在第一制造方法中能够进行各种变更。
例如，在前述的图7的(a)所示的工序中，第一磨削轮380A沿着边260A从第一磨削起点M1移动到边260A的终点E。其结果，在从第一磨削起点M1至终点E的区域形成第一磨削区域491。
然而，第一磨削轮380A可以在第一磨削起点M1与终点E之间的任意位置停止对第一端面256A的磨削。
另外，在图7的(c)所示的工序中，第二磨削轮382A沿着边260A从起点S移动到第一移动完成点N1。其结果，在起点S与第一移动完成点N1之间形成第二磨削区域493。
然而，第二磨削轮382A可以从起点S与第一磨削起点M1之间的任意位置(其中，第一磨削起点M1除外)起开始对第一端面256A的磨削。
同样地，在前述的图7的(b)所示的工序中，第一研磨轮385B沿着边260A从第一研磨起点P1移动到边260A的终点E。其结果，在从第一研磨起点P1至终点E的区域形成第一研磨区域492。
然而，第一研磨轮385B可以在第一研磨起点P1与终点E之间的任意位置停止对第一端面256A的研磨。
同样地，在前述的图7的(d)所示的工序中，第二研磨轮387B沿着边260A从起点S移动到第一研磨完成点Q1。其结果，在从起点S至第一研磨完成点Q1的区域形成第二研磨区域494。
然而，第二研磨轮387B可以从起点S至第一研磨起点P1的范围内的任意位置(其中，第一研磨起点P1除外)起开始对第一端面256A的研磨。另外，第二研磨轮387B只要在比第一移动完成点N1靠前方的位置且第一研磨区域492的范围内则可以移动到任意位置。
另外，只要第二磨削轮不超越第一磨削轮，则利用第二磨削轮382A的磨削(第二磨削)可以在任意的定时开始。同样地，只要第二研磨轮不超越第一研磨轮，则利用第二研磨轮387B的研磨(第二研磨)可以在任意的定时开始。例如，第二磨削的开始优选为与利用第一磨削轮380A的磨削(第一磨削)同时、或者在利用第一磨削轮380A的磨削(第一磨削)实施过程中等磨削完成前。同样地，第二研磨的开始优选为与利用第一研磨轮385B的研磨(第一研磨)同时、或者在利用第一研磨轮385B的研磨(第一研磨)实施过程中等研磨完成前。并且，利用第二磨削轮382A的第二磨削优选为在利用第一研磨轮385B的第一研磨开始前、与利用第一研磨轮385B的第一研磨开始同时、或在利用第一研磨轮385B的第一研磨的实施过程中等研磨完成前。
也就是说，可以在图7的(a)和(c)所示的工序完成后实施图7的(b)和(d)所示的工序，但是从生产性的观点出发，优选为图7的(a)和(c)的工序同时、或者在接近同时的定时开始，在图7的(a)和(c)的工序完成之前，开始图7的(b)和(d)的工序。
另外，也可以将一个磨削轮和两个研磨轮形成为组，由第一研磨轮对由磨削轮进行了磨削的区域进行研磨，以与由第一研磨轮进行了研磨的区域的至少一部分重复的方式由第二研磨轮实施研磨。
另外，也可以在第一研磨起点P1与第一研磨完成点Q1之间实施第二次研磨工序。
本领域技术人员能够容易地理解除此之外还能够进行各种变更。
(本发明的其它实施方式的玻璃基板的制造方法)
接着，说明本发明的其它实施方式的玻璃基板的制造方法(以下称为“第二制造方法”)。
在前述的第一制造方法中，在玻璃材料250的至少一个端面(例如第一端面256A)形成一个重复研磨区域495。与此相对，在第二制造方法中，在玻璃材料的一个端面形成多个重复研磨区域。
以下，参照图8～图11来说明第二制造方法。
在图8中示意性地示出第二制造方法的流程。另外，在图9～图11中示意性地示出第二制造方法中的一系列工序的情形。
如图8所示，第二制造方法包括以下工序：(1)准备具有第一表面和第二表面以及将两个表面连接的端面的玻璃材料的工序(工序S210)；以及(2)使用第二加工装置对所述玻璃材料的所述端面进行磨削和研磨的工序(工序S220)。
以下，参照图9～图11来详细地说明各工序。
(工序S210)
该工序S210与前述的第一制造方法中的工序S110同样。因而，省略该工序的详细内容。此外，在以下的说明中，为了明确化，而在示出玻璃材料的各部分时使用图4所示的参照标记。
(工序S220)
接着，使用第二加工装置对玻璃材料250的端面进行加工处理。在此，作为一例，以对玻璃材料250的第一端面256A进行加工处理的情况为例进行说明。
(第二加工装置)
在图9中示意性地示出在第二制造方法中能够使用的第二加工装置的结构。
如图9所示，第二加工装置500具备平台502、第一磨削轮～第三磨削轮580A～584A以及第一研磨轮～第三研磨轮585B～589B。
其中，平台502、第一磨削轮580A和第二磨削轮582A以及第一研磨轮585B和第二研磨轮587B的结构和功能与前述的加工装置300相同。因此，在此省略详细内容。
第三磨削轮584A能够对玻璃材料250的第一端面256A进行磨削。另外，第三研磨轮589B能够对玻璃材料250的第一端面256A进行研磨。
第一磨削轮580A和第一研磨轮585B形成为组，第一研磨轮585B能够从后跟随第一磨削轮580A的磨削行程。同样地，第二磨削轮582A和第二研磨轮587B形成为组，第二研磨轮587B能够从后跟随第二磨削轮582A的磨削行程。并且，第三磨削轮584A和第三研磨轮589B形成为组，第三研磨轮589B能够从后跟随第三磨削轮584A的磨削行程。
第三磨削轮584A由难以产生弹性变形且磨削力高的砂轮构成。另一方面，第三研磨轮589B由具有弹性并适合于研磨的砂轮构成。
在通过第二加工装置500对玻璃材料250的第一端面256A进行加工时，如图10所示，将玻璃材料250设置在第二加工装置500的平台502上。此时，玻璃材料250以第一边260A面对第一磨削轮～第三磨削轮580A～584A的方式被设置在平台502上。
接着，使第二加工装置500的第一磨削轮580A和第一研磨轮585B以规定转速旋转。另外，使第二磨削轮582A和第二研磨轮587B以规定转速旋转。并且，使第三磨削轮584A和第三研磨轮589B以规定转速旋转。
接着，如图10所示，第一磨削轮580A接触玻璃材料250的第一端面256A并沿着第一边(被加工面)260A向箭头A1的方向移动。以下将该箭头A1的方向称为“移动方向”。通过第一磨削轮580A的移动来对玻璃材料250的第一端面256A进行磨削。
另外，在第一磨削轮580A对第一端面256A的磨削开始不久之后，第一研磨轮585B接触玻璃材料250的第一端面256A并沿着第一边260A向箭头A2的方向移动。在此，箭头A2是与箭头A1相同的方向、即“移动方向”。
通过第一研磨轮585B的移动来对玻璃材料250的第一端面256A的由第一磨削轮580A进行了磨削的区域进行研磨。
另外，与第一磨削轮580A对第一端面256A的磨削大致同时地、或者在其不久之后，第二磨削轮582A接触玻璃材料250的第一端面256A并沿着第一边260A向箭头A3的方向移动。箭头A3是与箭头A1相同的方向(图6中的X方向)、即“移动方向”。通过第二磨削轮582A的移动来对玻璃材料250的第一端面256A进行磨削。
另外，在第二磨削轮582A对第一端面256A的磨削开始不久之后，第二研磨轮587B接触玻璃材料250的第一端面256A并沿着第一边260A向箭头A4的方向移动。箭头A4是与箭头A1相同的方向(图6中的X方向)、即“移动方向”。
通过第二研磨轮587B的移动来对玻璃材料250的第一端面256A的由第二磨削轮582A进行了磨削的区域进行研磨。
另外，与第二磨削轮582A对第一端面256A的磨削大致同时地、或者在其不久之后，第三磨削轮584A接触玻璃材料250的第一端面256A并沿着第一边260A向箭头A5的方向移动。箭头A5是与箭头A1相同的方向(图6中的X方向)、即“移动方向”。通过第三磨削轮584A的移动来对玻璃材料250的第一端面256A进行磨削。
另外，在第三磨削轮584A对第一端面256A的磨削开始不久之后，第三研磨轮589B接触玻璃材料250的第一端面256A并沿着第一边260A向箭头A6的方向移动。箭头A6是与箭头A1相同的方向(图6中的X方向)、即“移动方向”。
通过第三研磨轮589B的移动来对玻璃材料250的第一端面256A的由第三磨削轮584A进行了磨削的区域进行研磨。
由此，玻璃材料250的第一边260A整体的磨削和研磨处理完成，制造出对玻璃材料250的第一端面256A进行了加工的玻璃基板。
在图11中示意性地示出第一磨削轮580A、第一研磨轮585B、第二磨削轮582A、第二研磨轮587B、第三磨削轮584A以及第三研磨轮589B各自的移动轨迹。
在图11的(a)中示出了第一磨削轮580A的示意性的移动轨迹F1，在图11的(b)中示出了第一研磨轮585B的示意性的移动轨迹F2，在图11的(c)中示出了第二磨削轮582A的示意性的移动轨迹F3，在图11的(d)中示出了第二研磨轮587B的示意性的移动轨迹F4，在图11的(e)中示出了第三磨削轮584A的示意性的移动轨迹F5，在图11的(f)中示出了第三研磨轮589B的示意性的移动轨迹F6。
在图11中，设为第一磨削轮580A和第一研磨轮585B、第二磨削轮582A和第二研磨轮587B以及第三磨削轮584A和第三研磨轮589B均沿着X方向(移动方向)移动，由此，在Y方向上对玻璃材料250的第一端面260A进行磨削、研磨(即，减薄)。
如图11的(a)所示，第一磨削轮580A在第一边260A的中途、即第一磨削起点M1处与第一端面256A接触，从此处开始对第一端面256A进行磨削。而且，第一磨削轮580A沿着移动方向持续磨削直到第一边260A的终点E。
其结果，玻璃材料250的与第一边260A对应的第一端面256A中的从第一磨削起点M1至终点E的区域被磨削。以下将该区域称为“第一磨削区域(691)”。
另一方面，如图11的(b)所示，第一研磨轮585B在第一边260A的中途、即第一研磨起点P1处与第一端面256A接触，从此处开始对第一端面256A进行研磨。而且，第一研磨轮585B沿着移动方向持续研磨直到第一边260A的终点E。
其结果，玻璃材料250的第一端面256A的从第一研磨起点P1至终点E的区域被研磨。以下将该区域称为“第一研磨区域(692)”。
在此，第一研磨起点P1只要处于第一磨削区域691的除了第一磨削起点M1和终点E以外的范围内，则可以是任意位置。
另外，如图11的(c)所示，第二磨削轮582A在第一边260A的中途、即第二磨削起点M2处与第一端面256A接触，从此处起沿着移动方向移动到第一边260A的中途、即第一移动完成点N1。而且，第二磨削轮582A在到达第一移动完成点N1的时刻停止移动。
在此，第二磨削起点M2只要处于边260A的从起点S至第一磨削起点M1的除了起点S和第一磨削起点M1以外的范围内，则可以是任意位置。另外，第一移动完成点N1可以是第一磨削起点M1和比第一磨削起点M1靠前方的位置中的任意位置。特别优选为比第一磨削起点M1靠前方的位置。其中，如图11的(c)所示，第一移动完成点N1优选设定于第一磨削起点M1与第一研磨起点P1之间的区域。
由此，由第二磨削轮582A对玻璃材料250的第一边260A的从第二磨削起点M2至第一移动完成点N1的区域进行磨削。以下将该区域称为“第二磨削区域(693)”。
另外，如图11的(d)所示，第二研磨轮587B在第一边260A的中途、即第二研磨起点P2处与第一端面256A接触，从此处起沿着移动方向移动到第一边260A的中途、即第一研磨完成点Q1。而且，第二研磨轮587B在到达第一研磨完成点Q1的时刻停止移动。
其结果，由第二研磨轮587B对玻璃材料250的第一边260A的从第二研磨起点P2至第一研磨完成点Q1的区域进行研磨。以下将该区域称为“第二研磨区域(694)”。
第二研磨起点P2只要处于从第二磨削起点M2至第一磨削起点M1的除了第二磨削起点M2和第一磨削起点M1以外的范围内，则可以是任意位置。
在此，在如图11的(c)所示那样将第一移动完成点N1设定于第一磨削起点M1与第一研磨起点P1之间的区域的情况下，第一研磨完成点Q1只要处于第一研磨区域692的除了第一研磨起点P1以外的范围内，则可以是任意位置。
另一方面，在第一移动完成点N1处于比第一研磨起点P1靠前方的位置的情况下，将第一研磨完成点Q1设定为比第一移动完成点N1更靠前方的位置。
在将第一移动完成点N1设定于第一磨削起点M1与第一研磨起点P1之间的区域的情况下，如图11的(d)所示，在第二研磨区域694中的与第一研磨区域692重叠的区域、即从第一研磨起点P1至第一研磨完成点Q1的区域中，实施利用第一研磨轮585B和第二研磨轮587B进行的两次研磨处理。因而，在此处形成第一重复研磨区域695。
另一方面，在第一移动完成点N1处于比第一研磨起点P1靠前方的位置的情况下，在从第一移动完成点N1至第一研磨完成点Q1的区域形成第一重复研磨区域。
另外，如图11的(e)所示，第三磨削轮584A在第一边260A的起点S处与第一端面256A接触，从此处起沿着移动方向移动到第一边260A的第二移动完成点N2。而且，第三磨削轮584A在到达第二移动完成点N2的时刻停止移动。
第二移动完成点N2可以是第二磨削起点M2和处于比第二磨削起点M2靠前方的位置中的任意位置。特别优选为比第二磨削起点M2靠前方的位置。其中，如图11的(e)所示，第二移动完成点N2优选设定于第二磨削起点M2与第二研磨起点P2之间的区域。
由此，由第三磨削轮584A对玻璃材料250的第一边260A的从起点S至第二移动完成点N2的区域进行磨削。以下将该区域称为“第三磨削区域(696)”。
另外，如图11的(f)所示，第三研磨轮589B在第一边260A的起点S处与第一端面256A接触，从此处沿着移动方向移动到第二研磨完成点Q2。而且，第三研磨轮589B在到达第二研磨完成点Q2的时刻停止移动。
其结果，由第三研磨轮589B对玻璃材料250的第一边260A的从起点S至第二研磨完成点Q2的区域进行研磨。以下将该区域称为“第三研磨区域(697)”。
在此，如图11的(e)所示，在将第二移动完成点N2设定于第二磨削起点M2与第二研磨起点P2之间的区域的情况下，第二研磨完成点Q2只要处于第二研磨区域694的除了第二研磨起点P2以外的范围内，则可以是任意位置。
另一方面，在第二移动完成点N2处于比第二研磨起点P2靠前方的位置的情况下，将第二研磨完成点Q2设定为比第二移动完成点N2更靠前方的位置。
在将第二移动完成点N2设定于第二磨削起点M2与第二研磨起点P2之间的区域的情况下，如图11的(f)所示，在第三研磨区域697中的与第二研磨区域694重叠的区域、即从第二研磨起点P2至第二研磨完成点Q2的区域中，实施利用第二研磨轮587B和第三研磨轮589B进行的两次研磨处理。因而，在此处形成第二重复研磨区域698。
另一方面，在第一移动完成点N2处于比第二研磨起点P2靠前方的位置的情况下，在从第二移动完成点N2至第二研磨完成点Q2的区域形成第二重复研磨区域。
以上的工序的结果为，在第一端面256A能够形成两个重复研磨区域695、698。
以上对使用了第二加工装置500的第二制造方法进行了说明。然而，上述说明只是一例，在第二制造方法中能够进行各种变更。
例如，在前述的图11的(a)所示的工序中，第一磨削轮580A沿着边260A从第一磨削起点M1移动到边260A的终点E。其结果，在从第一磨削起点M1至终点E的区域形成第一磨削区域691。
然而，第一磨削轮580A也可以在第一磨削起点M1与终点E之间的任意位置处停止对第一端面256A的磨削。
另外，在前述的图11的(b)所示的工序中，第一研磨轮585B沿着边260A从第一研磨起点P1移动到边260A的终点E。其结果，在从第一研磨起点P1至终点E的区域形成第一研磨区域692。
然而，第一研磨轮585B可以在第一研磨起点P1与终点E之间的任意位置处停止对第一端面256A的研磨。
另外，在图11的(e)所示的工序中，第三磨削轮584A沿着边260A从起点S移动到第二移动完成点N2。其结果，在起点S与第二移动完成点N2之间形成第三磨削区域696。
然而，第三磨削轮584A也可以从起点S至第二磨削起点M2的范围内的任意位置起开始对第一端面256A进行磨削。
另外，在前述的图11的(f)所示的工序中，第三研磨轮589B沿着边260A从起点S移动到第二研磨完成点Q2。其结果，在从起点S至第二研磨完成点Q2的区域形成第三研磨区域697。
然而，第三研磨轮589B也可以从起点S至第二研磨起点P2的范围内的任意位置(其中，第二研磨起点P2除外)起开始对第一端面256A进行研磨。
另外，在前述的第二制造方法中，只要第二磨削轮582A不超越第一磨削轮580A，则利用第二磨削轮582A的磨削(第二磨削)可以在任意的定时开始。另外，只要第三磨削轮584A不超越第二磨削轮582A，则利用第三磨削轮584A的磨削(第三磨削)可以在任意的定时开始。
同样地，只要第二研磨轮587B不超越第一研磨轮585B，则利用第二研磨轮587B的研磨(第二研磨)可以在任意的定时开始。另外，只要第三研磨轮589B不超越第二研磨轮587B，则利用第三研磨轮589B的研磨(第三研磨)可以在任意的定时开始。
特别地，第二磨削的开始优选为与第一磨削同时、或者在第一磨削实施过程中等磨削完成前。另外，第三磨削的开始优选为与第二磨削同时、或者在第二磨削实施过程中等磨削完成前。
同样地，第二研磨的开始优选为与第一研磨同时、或者在第一研磨实施过程中等研磨完成前。另外，第三研磨的开始优选为与第二研磨同时、或者在第二研磨实施过程中等研磨完成前。
并且，利用第二磨削轮582A的第二磨削优选为在利用第一研磨轮585B的第一研磨的开始前、与利用第一研磨轮585B的第一研磨同时、或者在利用第一研磨轮585B的第一研磨的实施过程中等研磨完成前。另外，利用第三磨削轮584A的第三磨削优选为在利用第二研磨轮587B的第二研磨的开始前、与利用第二研磨轮587B的第二研磨同时、或者在利用第二研磨轮587B的第二研磨的实施过程中等研磨完成前。
也就是说，可以在图11的(a)、(c)以及(e)所示的工序完成后实施图11的(b)、(d)以及(f)所示的工序，但是从生产性的观点出发，优选为图11的(a)、(c)以及(e)的工序同时、或者在接近同时的定时开始，在图11的(a)、(c)以及(e)的工序完成前，开始图11的(b)、(d)以及(f)的工序。
除此之外还能够进行各种变更。
以上说明了使用第二加工装置500来在玻璃材料250的一个端面256A形成两个重复研磨区域的方法。
此外，本领域技术人员能够从上述记载容易地掌握在一个端面形成三个以上的重复研磨区域的方法。例如，通过在加工装置中进一步设置磨削轮和研磨轮，也可以在一个端面形成三个以上的重复研磨区域。
以上说明了本发明的一个实施方式。然而，本发明的方式不限于上述方式。
例如，在上述记载中，以玻璃材料具有大致矩形状的形状的情况为例说明了玻璃基板的制造方法。然而，玻璃材料也可以是其它的形状、例如盘状。
在玻璃材料为盘状的情况下，在所述第一制造方法和第二制造方法的记载中，使用“圆周”这样的用语来代替“边”。另外，通过设为前述的边上的起点S和终点E中的终点E与起点S一致来理解，由此端面为“圆周”状的情况也能够与端面为“边”状的情况同样地进行处理。
例如，第一制造方法中使用的加工装置300具有沿着玻璃材料的圆周配置的多个磨削轮和多个研磨轮。而且，各磨削轮和各研磨轮沿着与玻璃材料的圆周方向对应的“移动方向”移动。
除此之外还能够进行各种变更，这是本领域技术人员能够容易理解的。

Claims (14)

1.一种玻璃基板，具有将两个表面连接的端面，该玻璃基板的特征在于，
在所述端面的至少一部分配置有平滑区域，该平滑区域具有比所述端面的其它区域平滑的表面，
将所述端面的所述其它区域称为一般区域，
在将所述一般区域的算术平均粗糙度设为Ra(1)、将所述平滑区域的算术平均粗糙度设为Ra(2)时，Ra(2)与Ra(1)的比为0.8以下，
所述端面具有第一长度L1和第二长度L2，在此，L1≥L2，
所述平滑区域在所述第一长度L1的方向上具有1mm以上且10mm以下的总长。
2.根据权利要求1所述的玻璃基板，其特征在于，
在所述端面存在多个所述平滑区域。
3.根据权利要求1或2所述的玻璃基板，其特征在于，
该玻璃基板为矩形状，具有第一端面至第四端面，
所述端面为所述第一端面至所述第四端面中的至少一个端面。
4.根据权利要求1或2所述的玻璃基板，其特征在于，
所述Ra(1)为0.2μm以下。
5.根据权利要求1或2所述的玻璃基板，其特征在于，
所述Ra(2)为0.12μm以下。
6.一种玻璃基板的制造方法，包括以下工序：
工序(1)，准备玻璃材料，该玻璃材料具有第一表面和第二表面以及将两个表面连接的端面；以及
工序(2)，使用加工装置对所述玻璃材料的所述端面进行磨削和研磨，
其中，在俯视所述玻璃材料时，所述端面被视觉识别为从起点S到终点E的被加工面，
所述加工装置具有第一磨削轮和第一研磨轮以及第二磨削轮和第二研磨轮，
所述第一磨削轮和所述第二磨削轮通过在被称为移动方向的从所述起点S朝向所述终点E的方向上沿着所述被加工面移动，能够对所述玻璃材料的所述端面进行磨削，
所述第一研磨轮通过在所述移动方向上沿着所述被加工面移动，能够对所述玻璃材料的所述端面的由所述第一磨削轮磨削后的区域进行研磨，所述第二研磨轮通过在所述移动方向上沿着所述被加工面移动，能够对所述玻璃材料的所述端面的由所述第二磨削轮磨削后的区域进行研磨，
在所述工序(2)中，包括以下步骤：
步骤(2-1)，所述第一磨削轮从所述被加工面的除去起点S和终点E以外的被称为第一磨削起点M1的位置起沿着所述移动方向在所述被加工面上移动，
由此，在所述端面形成被称为第一磨削区域的区域，
步骤(2-2)，所述第一研磨轮从所述第一磨削区域内的除去第一磨削起点M1以外的被称为第一研磨起点P1的某一个位置起沿着所述移动方向在所述被加工面上移动，
由此，在所述端面形成被称为第一研磨区域的区域，
步骤(2-3)，所述第二磨削轮在所述被加工面上从被称为第二磨削起点M2的位置起沿着所述移动方向移动到被称为第一移动完成点N1的位置，
由此，对所述端面的从所述第二磨削起点M2至所述第一移动完成点N1的被称为第二磨削区域的区域进行磨削，
所述第二磨削起点M2存在于所述起点S与所述第一磨削起点M1之间，
所述第一移动完成点N1
(i)存在于所述第一磨削起点M1与所述第一研磨起点P1之间的除了所述第一研磨起点P1以外的位置，或者
(ii)存在于所述第一研磨起点P1与所述终点E之间，
步骤(2-4)，所述第二研磨轮在所述被加工面上从被称为第二研磨起点P2的位置起沿着所述移动方向移动到被称为第一研磨完成点Q1的位置，
由此，对所述端面的从所述第二研磨起点P2至所述第一研磨完成点Q1的被称为第二研磨区域的区域进行研磨，
所述第二研磨起点P2存在于所述第二磨削起点M2与所述第一磨削起点M1之间，
在所述(i)的情况下，所述第一研磨完成点Q1存在于所述第一研磨区域内的除了所述第一研磨起点P1以外的区域，在所述(ii)的情况下，所述第一研磨完成点Q1存在于所述第一研磨区域内的除了从所述第一研磨起点P1到所述第一移动完成点N1的区域以外的区域，
在所述(i)的情况下，在所述端面的所述第一研磨起点P1与所述第一研磨完成点Q1之间形成由所述第一研磨轮和所述第二研磨轮进行了研磨的第一重复研磨区域，
在所述(ii)的情况下，在所述端面的所述第一移动完成点N1与所述第一研磨完成点Q1之间形成由所述第一研磨轮和所述第二研磨轮进行了研磨的第一重复研磨区域。
7.根据权利要求6所述的玻璃基板的制造方法，其特征在于，
在所述步骤(2-1)完成前开始所述步骤(2-3)。
8.根据权利要求6或7所述的玻璃基板的制造方法，其特征在于，
在所述步骤(2-2)完成前开始所述步骤(2-3)。
9.根据权利要求6或7所述的玻璃基板的制造方法，其特征在于，
在所述步骤(2-1)中，所述第一磨削轮从所述第一磨削起点M1起移动到所述终点E，
在所述步骤(2-2)中，所述第一研磨轮从所述第一研磨起点P1起移动到所述终点E。
10.根据权利要求6或7所述的玻璃基板的制造方法，其特征在于，
所述步骤(2-3)中的所述第二磨削起点M2为所述被加工面的起点S，
所述步骤(2-4)中的所述第二研磨起点P2为所述被加工面的起点S。
11.根据权利要求6或7所述的玻璃基板的制造方法，其特征在于，
所述第一磨削轮和/或所述第二磨削轮包括具有金刚石磨粒的金属结合剂砂轮或电镀砂轮。
12.根据权利要求6或7所述的玻璃基板的制造方法，其特征在于，
第一研磨轮和/或第二研磨轮具有由橡胶、无纺布或树脂制成的砂轮。
13.根据权利要求6或7所述的玻璃基板的制造方法，其特征在于，
所述加工装置还具有第三磨削轮和第三研磨轮，
所述第三磨削轮通过在所述移动方向上沿着所述被加工面移动，能够对所述玻璃材料的所述端面进行磨削，
所述第三研磨轮通过在所述移动方向上沿着所述被加工面移动，能够对所述玻璃材料的所述端面的由所述第三磨削轮磨削后的区域进行研磨，
在所述工序(2)中，还包括如下步骤：
步骤(2-5)，所述第三磨削轮在所述被加工面上从被称为第三磨削起点M3的位置起沿着所述移动方向移动到被称为第二移动完成点N2的位置，
由此，对所述端面的从所述第三磨削起点M3到所述第二移动完成点N2为止的被称为第三磨削区域的区域进行磨削，
所述第三磨削起点M3存在于所述起点S与所述第二磨削起点M2之间，
所述第二移动完成点N2
(iii)存在于所述第二磨削起点M2与所述第二研磨起点P2之间的除了所述第二研磨起点P2以外的位置，或者
(iv)存在于所述第二研磨起点P2与终点E之间；以及
步骤(2-6)，所述第三研磨轮在所述被加工面上从被称为第三研磨起点P3的位置起沿着所述移动方向移动到被称为第二研磨完成点Q2的位置，
由此，对所述端面的从所述第三研磨起点P3到所述第二研磨完成点Q2为止的被称为第三研磨区域的区域进行研磨，
所述第三研磨起点P3存在于所述第三磨削起点M3与所述第二磨削起点M2之间，
在所述(iii)的情况下，所述第二研磨完成点Q2存在于所述第二研磨区域内的除了所述第二研磨起点P2以外的位置，在所述(iv)的情况下，所述第二研磨完成点Q2存在于所述第二研磨区域内的除了从所述第二研磨起点P2到所述第二移动完成点N2的区域以外的区域，
在所述(iii)的情况下，在所述端面的所述第二研磨起点P2与所述第二研磨完成点Q2之间形成由所述第二研磨轮和所述第三研磨轮进行了研磨的第二重复研磨区域，
在所述(iv)的情况下，在所述端面的所述第二移动完成点N2与所述第二研磨完成点Q2之间形成由所述第二研磨轮和所述第三研磨轮进行了研磨的第二重复研磨区域。
14.根据权利要求13所述的玻璃基板的制造方法，其特征在于，
所述步骤(2-5)中的所述第三磨削起点M3为所述被加工面的起点S，
所述步骤(2-6)中的所述第三研磨起点P3为所述被加工面的起点S。
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Families Citing this family (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2018076230A (ja) * 2018-01-25 2018-05-17 旭硝子株式会社 ガラス基板およびガラス基板の製造方法
WO2019176382A1 (ja) * 2018-03-14 2019-09-19 富士フイルム株式会社 カバーガラス、紫外線照射システム、及び光学フィルムの製造方法
JP6597858B1 (ja) * 2018-09-04 2019-10-30 Ａｇｃ株式会社 ディスプレイ用ガラス
WO2021024501A1 (ja) * 2019-08-04 2021-02-11 坂東機工株式会社 ガラス板加工装置

Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2001009689A (ja) * 1999-06-14 2001-01-16 Corning Inc ガラスシートの縁部を仕上げる方法
WO2010092937A1 (ja) * 2009-02-13 2010-08-19 Hoya株式会社 マスクブランク用基板、マスクブランクおよびフォトマスク
CN102150209B (zh) * 2008-09-10 2013-03-27 Hoya株式会社 磁盘用玻璃基板的制造方法、磁盘用玻璃基板、磁盘的制造方法及磁盘
CN102194626B (zh) * 2010-03-08 2015-11-25 旭硝子株式会社 玻璃基板
CN105590638A (zh) * 2014-11-07 2016-05-18 旭硝子株式会社 磁盘用玻璃基板及磁盘

Family Cites Families (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP4588863B2 (ja) * 2000-11-21 2010-12-01 旭硝子株式会社 板ガラスの端縁部研磨方法
DE10061366A1 (de) * 2000-12-09 2002-07-04 Schott Glas Schleifscheibe und Verfahren zum Schleifen von Flachfacetten an Glasscheiben, insbesondere an Glaskeramikscheiben
US7323276B2 (en) * 2003-03-26 2008-01-29 Hoya Corporation Substrate for photomask, photomask blank and photomask
US7435161B2 (en) * 2003-06-17 2008-10-14 Cabot Microelectronics Corporation Multi-layer polishing pad material for CMP
JP5534222B2 (ja) * 2010-03-08 2014-06-25 旭硝子株式会社 ガラス基板
KR102223005B1 (ko) * 2014-10-20 2021-03-03 동우 화인켐 주식회사 유리 면취 방법
KR20170076667A (ko) * 2014-10-28 2017-07-04 아사히 가라스 가부시키가이샤 유리 및 유리의 제조 방법

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2001009689A (ja) * 1999-06-14 2001-01-16 Corning Inc ガラスシートの縁部を仕上げる方法
CN102150209B (zh) * 2008-09-10 2013-03-27 Hoya株式会社 磁盘用玻璃基板的制造方法、磁盘用玻璃基板、磁盘的制造方法及磁盘
WO2010092937A1 (ja) * 2009-02-13 2010-08-19 Hoya株式会社 マスクブランク用基板、マスクブランクおよびフォトマスク
CN102194626B (zh) * 2010-03-08 2015-11-25 旭硝子株式会社 玻璃基板
CN105590638A (zh) * 2014-11-07 2016-05-18 旭硝子株式会社 磁盘用玻璃基板及磁盘

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GR01 Patent grant
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