JP2008306180A - 膜の基板斜面及び縁部の研磨プロファイルを制御する方法及び装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】基板縁部104上の膜116を研磨する装置において、基板の縁部上に形成された膜のプロファイルに対応して研磨材料を押し付けることができるよう、バッキングプレート316に、平坦領域402と曲線状領域404からなると共に、これら両領域をカットオフジョイント406で結合したプロファイルを持たせる。
【選択図】図5B
Description
[0004]発明の名称は、「基板を処理する方法及び装置」であり、2005年12月9日付で出願された米国特許出願番号第11/298,555号(代理人整理番号:10414);
[0005]発明の名称は、「基板の縁部を研磨する方法及び装置」であり、2007年3月29日付で出願された米国特許出願番号第11/693、695号(代理人整理番号:10560);
[0006]発明の名称は、「膨張式研磨ホイールを使用して基板のノッチを研磨する方法及び装置」であり、2007年5月21日付で出願された米国特許出願番号第60/939,351号(代理人整理番号:10674/L);
[0007]発明の名称は、「基板ノッチの中心を見つける方法及び装置」であり、2007年5月21日付で出願された米国特許出願番号第60/939,353号(代理人整理番号:11244/L);
[0008]発明の名称は、「成形されたバッキングパッドを使用して基板のノッチを研磨する方法及び装置」であり、2007年5月21日付で出願された米国特許出願番号第60/939,219号(代理人整理番号:11483/L);
[0009]発明の名称は、「バッキングパッドを使用して基板の両面の縁部から膜及び薄片を除去する方法及び装置」であり、2007年5月21日付で出願された米国特許出願番号第60/939,342号(代理人整理番号:11564/L);
[0010]発明の名称は、「効率的なテープのルーティング配置を有する斜面研磨ヘッドを使用する方法及び装置」であり、2007年5月21日付で出願された米国特許出願番号第60/939,350号(代理人整理番号:11565/L);
[0011]発明の名称は、「基板研磨のためにローリングバッキングパッドを使用する方法及び装置」であり、2007年5月21日付で出願された米国特許出願番号第60/939,344号(代理人整理番号:11566/L);
[0012]発明の名称は、「研磨アームを使用して基板の縁部を研磨する方法及び装置」であり、2007年5月21日付で出願された米国特許出願番号第60/939,333号(代理人整理番号:11567/L);
[0013]発明の名称は、「基板縁部のプロファイルを識別し、その識別された縁部のプロファイルによって基板の処理を調整する方法及び装置」であり、2007年5月21日付で出願された米国特許出願番号第60/939,212号(代理人整理番号:11695/L);
[0014]発明の名称は、「半導体の製造における高性能の基板斜面及び縁部の研磨のための方法及び装置」であり、2007年5月21日付で出願された米国特許出願番号第60/939,337号(代理人整理番号:11809/L);
[0015]発明の名称は、「基板の振動により基板のノッチを研磨する方法及び装置」であり、2007年5月21日付で出願された米国特許出願番号第60/939,228号(代理人整理番号:11952/L);及び、
[0016]発明の名称は、「基板の縁部除外領域の大きさを制御する方法及び装置」であり、2007年5月21日付で出願された米国特許出願番号第60/939,209号(代理人整理番号:11987/L)。
Claims (16)
- 基板の縁部上で膜を研磨する装置であって、
基板の縁部上で膜に研磨材料を押し付けるように適合されたバッキングプレートを有する研磨ヘッドを備え、
前記バッキングプレートが、前記基板の研磨中に、予め設定された膜プロファイルを提供するように適合されたプロファイル部分を有する装置。 - 前記プロファイル部分が、滑らかである、請求項1に記載の装置。
- 前記プロファイル部分が、前記膜プロファイルに漸進的な曲率を提供するように適合された、請求項2に記載の装置。
- 前記プロファイル部分が、平坦領域及び曲線状領域により形成される、請求項1に記載の装置。
- 前記平坦領域及び前記曲線状領域が、カットオフジョイントで結合されている、請求項4に記載の装置。
- 前記カットオフジョイントが、シャープな且つ角度のついた膜プロファイルを提供するように適合された、請求項5に記載の装置。
- 前記バッキングプレートが、前記基板の縁部の周りで揺動するように適合された、請求項1に記載の装置。
- 基板の縁部上で膜を研磨するシステムであって、
基板を支持及び回転させるように適合された基板支持体と、
基板の縁部上で膜に研磨材料を押し付けるように適合されたバッキングプレートを有する研磨ヘッドであって、前記バッキングプレートが、前記基板の研磨中に、予め設定された膜プロファイルを提供するように適合されたプロファイル部分を有する、研磨ヘッドと、
前記研磨ヘッドの移動を動作させるように適合されたコントローラと、
を備えるシステム。 - 前記プロファイル部分が、滑らかである、請求項8に記載のシステム。
- 前記プロファイル部分が、漸進的な曲率を前記膜プロファイルに提供するように適合された、請求項9に記載のシステム。
- 前記プロファイル部分が、平坦領域及び曲線状領域により形成される、請求項8に記載のシステム。
- 前記平坦領域及び前記曲線状領域が、カットオフジョイントで結合されている、請求項11に記載のシステム。
- 前記カットオフジョイントが、シャープな且つ角度のついた膜プロファイルを提供するように適合された、請求項12に記載のシステム。
- 前記バッキングプレートが、前記基板の縁部の周りで揺動するように適合された、請求項8に記載のシステム。
- 基板の縁部上で膜を研磨する方法であって、
プロファイルされたバッキングプレートのための揺動開始角度及び揺動終了角度を選択するステップと、
基板の縁部上で膜を前記バッキングプレート及び研磨材料に接触させるステップと、
研磨中に、前記基板の縁部上で前記膜に対して前記バッキングプレートを揺動させるステップと、
を備える方法。 - 基板の縁部上で膜を研磨する装置であって、
基板の縁部上で膜に研磨材料を押し付けるように適合されたバッキングプレートを備え、
前記バッキングプレートが、前記基板の研磨中に、予め設定された膜プロファイルを提供するように適合されたプロファイル部分を有する、装置。
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