JP2008284684A - 研磨アームを使用して基板の縁部を研磨する方法及び装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】基板の縁部を研磨するように適合された装置及び方法は、(1)研磨表面及び第2の表面を有する研磨テープ、及び(2)長手方向軸を有し、上記研磨テープの研磨表面を基板の縁部に接触させるように適合された研磨アーム201を含む。研磨アーム201は、i)上記研磨テープの第2の表面に接触するように適合された研磨ヘッド204と、ii)上記研磨ヘッド204に結合されて、上記研磨アーム201の長手方向軸の回りに上記研磨ヘッド204を回転させるように適合されたロッカーアーム304と、iii)上記ロッカーアーム304に隣接して延長されて、上記研磨アーム201の長手方向軸に直交する方向に上記研磨ヘッド204を移動させるように適合されたロードアーム314とを含む。多数の他の態様が提供される。
【選択図】図3
Description
[0004]発明の名称は、「基板を処理する方法及び装置」であり、2005年12月9日付で出願された米国特許出願番号第11/298,555号(代理人整理番号:10414);
[0005]発明の名称は、「膨張式研磨ホイールを使用して基板のノッチを研磨する方法及び装置」であり、2007年5月21日付で出願された米国特許出願番号第60/939,351号(代理人整理番号:10674/L);
[0006]発明の名称は、「基板ノッチの中心を見つける方法及び装置」であり、2007年5月21日付で出願された米国特許出願番号第60/939,353号(代理人整理番号:11244/L);
[0007]発明の名称は、「エピタキシャル膜の基板斜面及び縁部の研磨プロファイルを制御する方法及び装置」であり、2007年5月21日付で出願された米国特許出願番号第60/939,343号(代理人整理番号:11417/L);
[0008]発明の名称は、「成形されたバッキングパッドを使用して基板のノッチを研磨する方法及び装置」であり、2007年5月21日付で出願された米国特許出願番号第60/939,219号(代理人整理番号:11483/L);
[0009]発明の名称は、「バッキングパッドを使用して基板の両面の縁部から膜及び薄片を除去する方法及び装置」であり、2007年5月21日付で出願された米国特許出願番号第60/939,342号(代理人整理番号:11564/L);
[0010]発明の名称は、「効率的なテープのルーティング配置を有する斜面研磨ヘッドを使用する方法及び装置」であり、2007年5月21日付で出願された米国特許出願番号第60/939,350号(代理人整理番号:11565/L);
[0011]発明の名称は、「基板研磨のためにローリングバッキングパッドを使用する方法及び装置」であり、2007年5月21日付で出願された米国特許出願番号第60/939,344号(代理人整理番号:11566/L);
[0012]発明の名称は、「研磨アームを使用して基板の縁部を研磨する方法及び装置」であり、2007年5月21日付で出願された米国特許出願番号第60/939,333号(代理人整理番号:11567/L);
[0013]発明の名称は、「基板縁部のプロファイルを識別し、その識別された縁部のプロファイルによって基板の処理を調整する方法及び装置」であり、2007年5月21日付で出願された米国特許出願番号第60/939,212号(代理人整理番号:11695/L);
[0014]発明の名称は、「半導体の製造における高性能の基板斜面及び縁部の研磨のための方法及び装置」であり、2007年5月21日付で出願された米国特許出願番号第60/939,337号(代理人整理番号:11809/L);
[0015]発明の名称は、「基板の振動により基板のノッチを研磨する方法及び装置」であり、2007年5月21日付で出願された米国特許出願番号第60/939,228号(代理人整理番号:11952/L);及び、
[0016]発明の名称は、「基板の縁部除外領域の大きさを制御する方法及び装置」であり、2007年5月21日付で出願された米国特許出願番号第60/939,209号(代理人整理番号:11987/L)。
Claims (15)
- 基板の縁部を研磨するように適合された装置であって、
研磨表面及び第2の表面を有する研磨テープと、
長手方向軸を有し、前記研磨テープの研磨表面を基板の縁部に接触させるように適合された研磨アームと
を備え、
前記研磨アームが、
前記研磨テープの第2の表面に接触するように適合された研磨ヘッドと、
前記研磨ヘッドに結合されて、前記研磨アームの長手方向軸の回りに前記研磨ヘッドを回転させるように適合されたロッカーアームと、
前記ロッカーアームに隣接して延長されて、前記研磨アームの長手方向軸に実質的に直交する方向に前記研磨ヘッドを移動させるように適合されたロードアームと、
を含む装置。 - 前記研磨ヘッドが、前記研磨テープの研磨表面を前記基板の縁部に接触させるために、振動するように適合された、請求項1に記載の装置。
- 前記振動が、連続的なもの及び断続的なもののうちの少なくとも1つであってもよい、請求項2に記載の装置。
- 前記研磨ヘッドに結合されて、前記研磨テープの第2の表面に接触するように適合された研磨パッドをさらに備える、請求項1に記載の装置。
- 前記研磨パッドを前記研磨ヘッドに結合させるように適合されたバッキングブロックをさらに備える、請求項4に記載の装置。
- 前記ロッカーアームに結合されるロッカーモータをさらに備える、請求項1に記載の装置。
- 前記ロッカーモータが、前記ロッカーアームを回転させるように適合された、請求項6に記載の装置。
- 前記ロードアームに結合されるアクチュエータをさらに備える、請求項1に記載の装置。
- 前記アクチュエータが、前記研磨テープの研磨表面が前記基板の縁部に接触させられるために、前記ロードアームを延長及び後退するように適合された、請求項8に記載の装置。
- 前記アクチュエータを前記ロードアームに結合させるように適合されたピボット機構をさらに備える、請求項9に記載の装置。
- 基板の縁部を研磨するように適合されたシステムであって、
ハウジングと、
1つ以上の縁部研磨装置と、
を備え、
前記縁部研磨装置が、
研磨表面及び第2の表面を有する研磨テープ、
長手方向軸を有し、前記研磨テープの研磨表面を基板の縁部に接触させるように適合された研磨アームを備え、
前記研磨アームが、
前記研磨テープの第2の表面に接触するように適合された研磨ヘッド、
前記研磨ヘッドに結合されて、前記研磨アームの長手方向軸の回りに前記研磨ヘッドを回転させるように適合されたロッカーアーム、
前記ロッカーアームに隣接して延長されて、前記研磨アームの長手方向軸に実質的に直交する方向に前記研磨ヘッドを移動させるように適合されたロードアームを含む、前記システム。 - 前記1つ以上の縁部研磨装置に対して中心に位置された中央プラットフォームをさらに備える、請求項11に記載のシステム。
- 前記中央プラットフォームが、前記基板を支持するように適合された、請求項12に記載のシステム。
- 前記システムの動作を指示するように適合されたコントローラをさらに備える、請求項11に記載のシステム。
- 基板の縁部を研磨する方法であって、
研磨アームの長手方向軸に実質的に直交して、且つ基板から離れる方向にアクチュエータを後退させるステップと、
前記アクチュエータの後退に応じて、反時計方向にピボット機構を移動させるステップと、
前記ピボット機構の移動に応じて、前記基板の方に向かってロードアームを前方に延長させるステップと、
前記ロードアームの前進移動に応じて、研磨テープを前記基板の縁部に接触させるステップと、
を備える方法。
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JP2008306179A (ja) * | 2007-05-21 | 2008-12-18 | Applied Materials Inc | バッキングパッドを使用して基板の両面の縁部から膜及び薄片を除去する方法及び装置 |
JP2009004765A (ja) * | 2007-05-21 | 2009-01-08 | Applied Materials Inc | 基板研磨のためにローリングバッキングパッドを使用する方法及び装置 |
JP2008306180A (ja) * | 2007-05-21 | 2008-12-18 | Applied Materials Inc | 膜の基板斜面及び縁部の研磨プロファイルを制御する方法及び装置 |
US20080293337A1 (en) * | 2007-05-21 | 2008-11-27 | Applied Materials, Inc. | Methods and apparatus for polishing a notch of a substrate by substrate vibration |
US20080291448A1 (en) * | 2007-05-21 | 2008-11-27 | Applied Materials, Inc. | Methods and apparatus for finding a substrate notch center |
US20080293329A1 (en) * | 2007-05-21 | 2008-11-27 | Applied Materials, Inc. | Methods and apparatus for identifying a substrate edge profile and adjusting the processing of the substrate according to the identified edge profile |
JP2008284682A (ja) * | 2007-05-21 | 2008-11-27 | Applied Materials Inc | 効率的なテープのルーティング配置を有する斜面研磨ヘッドを使用する方法及び装置 |
US20080293333A1 (en) * | 2007-05-21 | 2008-11-27 | Applied Materials, Inc. | Methods and apparatus for controlling the size of an edge exclusion zone of a substrate |
US7976361B2 (en) * | 2007-06-29 | 2011-07-12 | Ebara Corporation | Polishing apparatus and polishing method |
TW201002472A (en) * | 2008-04-21 | 2010-01-16 | Applied Materials Inc | Apparatus and methods for using a polishing tape cassette |
US20100105299A1 (en) * | 2008-10-24 | 2010-04-29 | Applied Materials, Inc. | Methods and apparatus for polishing an edge and/or notch of a substrate |
US20100105290A1 (en) * | 2008-10-24 | 2010-04-29 | Applied Materials, Inc. | Methods and apparatus for indicating a polishing tape end |
US9358655B2 (en) * | 2012-05-07 | 2016-06-07 | Shin-Etsu Handotai Co., Ltd. | Outer periphery polishing apparatus for disc-shaped workpiece |
US9931726B2 (en) * | 2013-01-31 | 2018-04-03 | Taiwan Semiconductor Manufacturing Company, Ltd. | Wafer edge trimming tool using abrasive tape |
CN111716189A (zh) * | 2020-06-22 | 2020-09-29 | 台州市路桥三阳泰洁具有限公司 | 一种用于水龙头把手的平移打磨设备 |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH07164301A (ja) * | 1993-12-13 | 1995-06-27 | Nippon Micro Kooteingu Kk | 研磨装置 |
JP2004103825A (ja) * | 2002-09-10 | 2004-04-02 | Nihon Micro Coating Co Ltd | 半導体ウエハエッジ研磨装置及び方法 |
JP2005252288A (ja) * | 2000-08-03 | 2005-09-15 | Accretech Usa Inc | ウェーハ・ノッチ研磨機およびウェーハの配向ノッチ研磨方法 |
JP2007524231A (ja) * | 2004-02-25 | 2007-08-23 | 株式会社荏原製作所 | 研磨装置及び基板処理装置 |
Family Cites Families (25)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US2718732A (en) * | 1952-05-01 | 1955-09-27 | Norton Co | Snagging grinder |
US3827189A (en) * | 1973-04-10 | 1974-08-06 | Engelhard Min & Chem | Sheet glass seaming machine |
GB8816182D0 (en) * | 1988-07-07 | 1988-08-10 | Berkshire Ophthalmic Lab Ltd | Method & apparatus for grinding lenses |
US5538463A (en) * | 1992-11-26 | 1996-07-23 | Shin-Etsu Handotai Co., Ltd. | Apparatus for bevelling wafer-edge |
JPH08267347A (ja) * | 1995-03-31 | 1996-10-15 | Shin Etsu Handotai Co Ltd | オリエンテーション・フラットを有するウエーハ面取り部の鏡面研磨方法とその装置 |
US5868857A (en) * | 1996-12-30 | 1999-02-09 | Intel Corporation | Rotating belt wafer edge cleaning apparatus |
JP4065078B2 (ja) * | 1999-05-13 | 2008-03-19 | 不二越機械工業株式会社 | ディスク鏡面面取り装置 |
US6629875B2 (en) * | 2000-01-28 | 2003-10-07 | Accretech Usa, Inc. | Machine for grinding-polishing of a water edge |
US6913526B2 (en) * | 2000-08-18 | 2005-07-05 | Tokyo Seimitsu Co., Ltd. | Polishing machine for polishing periphery of sheet |
US6491573B1 (en) * | 2000-09-20 | 2002-12-10 | Barton, Ii Kenneth A. | Quick change insert system for a finishing arm |
IT1318885B1 (it) * | 2000-09-20 | 2003-09-10 | Bavelloni Z Spa | Gruppo spigolatore per macchine per la lavorazione dei bordi di lastre in genere ed in particolare di lastre di vetro. |
US7993485B2 (en) * | 2005-12-09 | 2011-08-09 | Applied Materials, Inc. | Methods and apparatus for processing a substrate |
US20070131653A1 (en) * | 2005-12-09 | 2007-06-14 | Ettinger Gary C | Methods and apparatus for processing a substrate |
US7235002B1 (en) * | 2006-01-23 | 2007-06-26 | Guardian Industries Corp. | Method and system for making glass sheets including grinding lateral edge(s) thereof |
WO2007126815A2 (en) * | 2006-03-30 | 2007-11-08 | Applied Materials, Inc. | Methods and apparatus for polishing an edge of a subtrate |
JP2008306180A (ja) * | 2007-05-21 | 2008-12-18 | Applied Materials Inc | 膜の基板斜面及び縁部の研磨プロファイルを制御する方法及び装置 |
JP2009004765A (ja) * | 2007-05-21 | 2009-01-08 | Applied Materials Inc | 基板研磨のためにローリングバッキングパッドを使用する方法及び装置 |
JP2008306179A (ja) * | 2007-05-21 | 2008-12-18 | Applied Materials Inc | バッキングパッドを使用して基板の両面の縁部から膜及び薄片を除去する方法及び装置 |
JP2008284682A (ja) * | 2007-05-21 | 2008-11-27 | Applied Materials Inc | 効率的なテープのルーティング配置を有する斜面研磨ヘッドを使用する方法及び装置 |
US20080293333A1 (en) * | 2007-05-21 | 2008-11-27 | Applied Materials, Inc. | Methods and apparatus for controlling the size of an edge exclusion zone of a substrate |
JP2008288599A (ja) * | 2007-05-21 | 2008-11-27 | Applied Materials Inc | 研磨パッドを使用して基板のノッチを研磨する方法及び装置 |
US20080293337A1 (en) * | 2007-05-21 | 2008-11-27 | Applied Materials, Inc. | Methods and apparatus for polishing a notch of a substrate by substrate vibration |
US20080293329A1 (en) * | 2007-05-21 | 2008-11-27 | Applied Materials, Inc. | Methods and apparatus for identifying a substrate edge profile and adjusting the processing of the substrate according to the identified edge profile |
US20080291448A1 (en) * | 2007-05-21 | 2008-11-27 | Applied Materials, Inc. | Methods and apparatus for finding a substrate notch center |
JP2008290233A (ja) * | 2007-05-21 | 2008-12-04 | Applied Materials Inc | 半導体製造における基板斜面及び縁部の研磨用の高性能及び低価格の研磨テープのための方法及び装置 |
-
2008
- 2008-05-20 JP JP2008132102A patent/JP2008284684A/ja active Pending
- 2008-05-21 TW TW097118772A patent/TW200906545A/zh unknown
- 2008-05-21 US US12/124,151 patent/US20080293335A1/en not_active Abandoned
Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH07164301A (ja) * | 1993-12-13 | 1995-06-27 | Nippon Micro Kooteingu Kk | 研磨装置 |
JP2005252288A (ja) * | 2000-08-03 | 2005-09-15 | Accretech Usa Inc | ウェーハ・ノッチ研磨機およびウェーハの配向ノッチ研磨方法 |
JP2004103825A (ja) * | 2002-09-10 | 2004-04-02 | Nihon Micro Coating Co Ltd | 半導体ウエハエッジ研磨装置及び方法 |
JP2007524231A (ja) * | 2004-02-25 | 2007-08-23 | 株式会社荏原製作所 | 研磨装置及び基板処理装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
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