JPH07164301A - 研磨装置 - Google Patents
研磨装置Info
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- JPH07164301A JPH07164301A JP5341224A JP34122493A JPH07164301A JP H07164301 A JPH07164301 A JP H07164301A JP 5341224 A JP5341224 A JP 5341224A JP 34122493 A JP34122493 A JP 34122493A JP H07164301 A JPH07164301 A JP H07164301A
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- Japan
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- plate
- polishing
- shaft
- motor
- polished
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- Granted
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-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B24—GRINDING; POLISHING
- B24B—MACHINES, DEVICES, OR PROCESSES FOR GRINDING OR POLISHING; DRESSING OR CONDITIONING OF ABRADING SURFACES; FEEDING OF GRINDING, POLISHING, OR LAPPING AGENTS
- B24B35/00—Machines or devices designed for superfinishing surfaces on work, i.e. by means of abrading blocks reciprocating with high frequency
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B24—GRINDING; POLISHING
- B24B—MACHINES, DEVICES, OR PROCESSES FOR GRINDING OR POLISHING; DRESSING OR CONDITIONING OF ABRADING SURFACES; FEEDING OF GRINDING, POLISHING, OR LAPPING AGENTS
- B24B21/00—Machines or devices using grinding or polishing belts; Accessories therefor
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B24—GRINDING; POLISHING
- B24B—MACHINES, DEVICES, OR PROCESSES FOR GRINDING OR POLISHING; DRESSING OR CONDITIONING OF ABRADING SURFACES; FEEDING OF GRINDING, POLISHING, OR LAPPING AGENTS
- B24B9/00—Machines or devices designed for grinding edges or bevels on work or for removing burrs; Accessories therefor
- B24B9/02—Machines or devices designed for grinding edges or bevels on work or for removing burrs; Accessories therefor characterised by a special design with respect to properties of materials specific to articles to be ground
- B24B9/06—Machines or devices designed for grinding edges or bevels on work or for removing burrs; Accessories therefor characterised by a special design with respect to properties of materials specific to articles to be ground of non-metallic inorganic material, e.g. stone, ceramics, porcelain
- B24B9/065—Machines or devices designed for grinding edges or bevels on work or for removing burrs; Accessories therefor characterised by a special design with respect to properties of materials specific to articles to be ground of non-metallic inorganic material, e.g. stone, ceramics, porcelain of thin, brittle parts, e.g. semiconductors, wafers
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Ceramic Engineering (AREA)
- Inorganic Chemistry (AREA)
- Finish Polishing, Edge Sharpening, And Grinding By Specific Grinding Devices (AREA)
- Grinding And Polishing Of Tertiary Curved Surfaces And Surfaces With Complex Shapes (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 研磨テープを被研磨体に接触させる研磨ヘッ
ドをオシレーション運動させ、揺動させる研磨装置を提
供する。 【構成】 第１のプレート（３０）と第２のプレート
（４２）とが平行に対向し、第１のプレート（３０）か
ら、第２のプレート（４２）の対応する穴を貫通して伸
長するロットにより、両プレートが連結され、第２のプ
レート（４２）が、軸線にそって貫通孔（４１′）をも
つモータ（８）の回転軸（４１）に連結され、第１のプ
レート（３０）が、貫通孔（４１′）を貫通するオシレ
ーション軸（４４）の先端に連結される。回転軸（４
１）が回転すると、第２のプレート（４２）とともに第
１のプレート（３０）も回転する。軸（４４）が往復移
動すると第１のプレート（３０）がオシレーション運動
する。その結果、研磨ヘッド（６）は、オシレーション
運動も、揺動運動も可能となる。
ドをオシレーション運動させ、揺動させる研磨装置を提
供する。 【構成】 第１のプレート（３０）と第２のプレート
（４２）とが平行に対向し、第１のプレート（３０）か
ら、第２のプレート（４２）の対応する穴を貫通して伸
長するロットにより、両プレートが連結され、第２のプ
レート（４２）が、軸線にそって貫通孔（４１′）をも
つモータ（８）の回転軸（４１）に連結され、第１のプ
レート（３０）が、貫通孔（４１′）を貫通するオシレ
ーション軸（４４）の先端に連結される。回転軸（４
１）が回転すると、第２のプレート（４２）とともに第
１のプレート（３０）も回転する。軸（４４）が往復移
動すると第１のプレート（３０）がオシレーション運動
する。その結果、研磨ヘッド（６）は、オシレーション
運動も、揺動運動も可能となる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、被研磨体の端面を研磨
テープにより研磨する装置に関し、特に研磨テープを研
磨面に対して任意の接触角で接触させることのできる、
研磨装置に関する。
テープにより研磨する装置に関し、特に研磨テープを研
磨面に対して任意の接触角で接触させることのできる、
研磨装置に関する。
【０００２】
【従来技術】被研磨体、例えば半導体ウェハーの端面
は、その表面、裏面の研磨と同様に、砥粒と溶剤とから
なるスラリー（遊粒塗料）をその上に塗り、研磨布など
で擦って研磨を行っていた。
は、その表面、裏面の研磨と同様に、砥粒と溶剤とから
なるスラリー（遊粒塗料）をその上に塗り、研磨布など
で擦って研磨を行っていた。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかし、このようなス
ラリーを用いた研磨では、研磨後、スラリーが残留しな
いように、ウェハーを洗浄しなければならない。もし、
残留スラリーがあると、そのウェハー上に形成するデバ
イスに不良が生じする。
ラリーを用いた研磨では、研磨後、スラリーが残留しな
いように、ウェハーを洗浄しなければならない。もし、
残留スラリーがあると、そのウェハー上に形成するデバ
イスに不良が生じする。
【０００４】また、このようなスラリーはアルカリ性で
あるため、研磨後、廃液を所定の化学処理を行わなけれ
ば、廃棄できない。
あるため、研磨後、廃液を所定の化学処理を行わなけれ
ば、廃棄できない。
【０００５】このように、従来のスラリーを用いた研磨
は、研磨処理後に洗浄が必要となり、また廃液の処理も
必要となり、研磨時間、コストがかかる。
は、研磨処理後に洗浄が必要となり、また廃液の処理も
必要となり、研磨時間、コストがかかる。
【０００６】そこで、本発明の目的は、スラリーを用い
ることなく被研磨体を研磨できる研磨装置を提供するこ
とである。
ることなく被研磨体を研磨できる研磨装置を提供するこ
とである。
【０００７】本発明の他の目的は、被研磨体の端面の形
状にそって研磨を行うことができる研磨装置を提供する
ことである。
状にそって研磨を行うことができる研磨装置を提供する
ことである。
【０００８】さらに、本発明の他の目的は、研磨後の廃
液の後処理が不要な研磨装置を提供することである。
液の後処理が不要な研磨装置を提供することである。
【０００９】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成する本発
明の研磨装置は、（ａ）軸線にそって貫通孔をもつ回転
軸を有するモータと、（ｂ）貫通孔内で、軸線にそって
往復移動可能に収納され、その端が回転軸の端から突き
出た軸と、（ｃ）回転軸に垂直に取り付けられた第２の
プレートと、（ｄ）第２のプレートと平行に軸の先端に
取り付けられた第１のプレートと、（ｅ）軸を往復移動
させるための手段と、（ｆ）第１のプレートが第２のプ
レートに平行になったまま近づき、または遠ざかること
ができるように第１のプレートと第２のプレートとを連
結する連結手段とから成り、第１のプレートに少なくと
も２つのローラが設けられ、研磨テープがそれらローラ
に掛けられる。
明の研磨装置は、（ａ）軸線にそって貫通孔をもつ回転
軸を有するモータと、（ｂ）貫通孔内で、軸線にそって
往復移動可能に収納され、その端が回転軸の端から突き
出た軸と、（ｃ）回転軸に垂直に取り付けられた第２の
プレートと、（ｄ）第２のプレートと平行に軸の先端に
取り付けられた第１のプレートと、（ｅ）軸を往復移動
させるための手段と、（ｆ）第１のプレートが第２のプ
レートに平行になったまま近づき、または遠ざかること
ができるように第１のプレートと第２のプレートとを連
結する連結手段とから成り、第１のプレートに少なくと
も２つのローラが設けられ、研磨テープがそれらローラ
に掛けられる。
【００１０】このモータは、回転軸を所定の角度まで回
転させ、または所定の角度の間往復回転させることので
きるモータである。
転させ、または所定の角度の間往復回転させることので
きるモータである。
【００１１】研磨テープと被研磨体とが接触するところ
に、液体を放出する手段がさらに設けられ、たとえば水
が放出される。
に、液体を放出する手段がさらに設けられ、たとえば水
が放出される。
【００１２】
【作用】モータの回転軸を貫通する軸が往復運動をする
と、第１のプレートが第２のプレートに関して、平行を
保ったまま近づき、または遠ざかるというオシレーショ
ン運動をし、第１のプレートに供給される研磨テープが
供給方向と垂直方向にオシレーション運動する。
と、第１のプレートが第２のプレートに関して、平行を
保ったまま近づき、または遠ざかるというオシレーショ
ン運動をし、第１のプレートに供給される研磨テープが
供給方向と垂直方向にオシレーション運動する。
【００１３】さらに、モータの回転軸が回転すると、第
１のプレートが第２のプレートと一緒に回転する。した
がって、研磨テープが被研磨体に対して任意の角度で接
触する。
１のプレートが第２のプレートと一緒に回転する。した
がって、研磨テープが被研磨体に対して任意の角度で接
触する。
【００１４】
【実施例】本発明の研磨装置の概要を図１に示す。図１
（ａ）は、研磨装置１の正面図を示し、図１（ｂ）は、
図１（ａ）に示す装置のｂ−ｂ断面を示す。研磨装置１
は、水平な台プレート２上に、被研磨体水平移動および
回転機構３が設置されている。被研磨体水平移動および
回転機構３は、以下で説明するように、被研磨体の設置
位置（図２に示す位置）と被研磨体の研磨位置（図１
（ａ）の位置）との間で被研磨体を水平移動させ、かつ
被研磨体研磨位置で被研磨体を回転させるための機構で
ある。
（ａ）は、研磨装置１の正面図を示し、図１（ｂ）は、
図１（ａ）に示す装置のｂ−ｂ断面を示す。研磨装置１
は、水平な台プレート２上に、被研磨体水平移動および
回転機構３が設置されている。被研磨体水平移動および
回転機構３は、以下で説明するように、被研磨体の設置
位置（図２に示す位置）と被研磨体の研磨位置（図１
（ａ）の位置）との間で被研磨体を水平移動させ、かつ
被研磨体研磨位置で被研磨体を回転させるための機構で
ある。
【００１５】台プレート２に対して垂直な正面プレート
４が台プレート２に取り付けられ、そこに、以下で説明
する被研磨体設置装置５および研磨ヘッド６が設けられ
ている。さらに、研磨テープによる研磨の際に使用する
液体、たとえば水を供給するためのパイプ７が設けられ
ている。
４が台プレート２に取り付けられ、そこに、以下で説明
する被研磨体設置装置５および研磨ヘッド６が設けられ
ている。さらに、研磨テープによる研磨の際に使用する
液体、たとえば水を供給するためのパイプ７が設けられ
ている。
【００１６】さらにまた、台プレートの側方にあるプレ
ートには、研磨テープを供給する供給ローラ１０、研磨
テープを巻き取る巻取ローラ１１が設けられている。さ
らに、研磨テープを一定の速度で送り出すための送出ロ
ーラ１２が設けられている。研磨テープは、供給ローラ
１０から、送出ローラ１２を経て、上方のローラ１３
ａ、ｂ、ｃを介して、研磨ヘッド６に供給される。そし
て、研磨ヘッド６からの研磨テープは巻取ローラに巻き
取られる。
ートには、研磨テープを供給する供給ローラ１０、研磨
テープを巻き取る巻取ローラ１１が設けられている。さ
らに、研磨テープを一定の速度で送り出すための送出ロ
ーラ１２が設けられている。研磨テープは、供給ローラ
１０から、送出ローラ１２を経て、上方のローラ１３
ａ、ｂ、ｃを介して、研磨ヘッド６に供給される。そし
て、研磨ヘッド６からの研磨テープは巻取ローラに巻き
取られる。
【００１７】上方のローラ１３ａ、ｂおよびｃは、以下
で説明するように、研磨ヘッド６がオシレーション運動
（往復運動）を行ったとき、研磨テープに必要以上のス
トレスがかからないようにするためのものである。した
がって、ローラ１３の位置は、研磨ヘッド６のオシレー
ション運動の移動量に対応して決定される。
で説明するように、研磨ヘッド６がオシレーション運動
（往復運動）を行ったとき、研磨テープに必要以上のス
トレスがかからないようにするためのものである。した
がって、ローラ１３の位置は、研磨ヘッド６のオシレー
ション運動の移動量に対応して決定される。
【００１８】図１（ｂ）に示すように、正面プレート４
の背後に、メガトルクモータ８が取り付けられている。
メガトルクモータ８は、一般に市販され容易に入手可能
なモータで、任意の回転角度まで回転軸を回転させるこ
とができ、また、所定の角度の間で往復回転させること
ができるものである。
の背後に、メガトルクモータ８が取り付けられている。
メガトルクモータ８は、一般に市販され容易に入手可能
なモータで、任意の回転角度まで回転軸を回転させるこ
とができ、また、所定の角度の間で往復回転させること
ができるものである。
【００１９】このメガトルクモータ８の中心は貫通孔を
もち、以下で説明するように、その貫通孔を軸方向に対
し往復移動可能にオシレーション軸４４が収納されてい
る（図４および図５）。このオシレーション軸４４の一
端は研磨ヘッド６に連結され、その他端はオシレーショ
ン機構（図５を参照）を構成する。
もち、以下で説明するように、その貫通孔を軸方向に対
し往復移動可能にオシレーション軸４４が収納されてい
る（図４および図５）。このオシレーション軸４４の一
端は研磨ヘッド６に連結され、その他端はオシレーショ
ン機構（図５を参照）を構成する。
【００２０】図２（ａ）は被研磨体移動および回転機構
３の正面図を示し、図２（ｂ）はその被研磨体設置装置
の平面図を示す。被研磨体移動および回転機構３は、基
本的に水平方向移動装置２０および被研磨体保持回転装
置２３を有する。
３の正面図を示し、図２（ｂ）はその被研磨体設置装置
の平面図を示す。被研磨体移動および回転機構３は、基
本的に水平方向移動装置２０および被研磨体保持回転装
置２３を有する。
【００２１】水平方向移動装置２０は台プレート２上に
取り付けられ、その上にベース２１が取り付けられてい
る。この水平方向移動装置２０は、空気式シリンダーが
内蔵され、空気式シリンダーの起動によりベース２１が
水平方向に往復移動が可能となる。ベース２１の水平方
向の往復移動が正確に行える装置であれば、空気式シリ
ンダーでなくてもよい。例えば、カム、歯車、ベルト、
駆動モータなどを利用して、ベースを往復移動させても
よい。
取り付けられ、その上にベース２１が取り付けられてい
る。この水平方向移動装置２０は、空気式シリンダーが
内蔵され、空気式シリンダーの起動によりベース２１が
水平方向に往復移動が可能となる。ベース２１の水平方
向の往復移動が正確に行える装置であれば、空気式シリ
ンダーでなくてもよい。例えば、カム、歯車、ベルト、
駆動モータなどを利用して、ベースを往復移動させても
よい。
【００２２】ベース２１上に、立方体を形作るブロック
・フレーム２１′が固着されている。このフレーム２
１′の上の一端にはモータ２２が回転軸２２′を鉛直方
向に向けて取り付けられ、他端には、被研磨体保持回転
装置２３が回転軸２３′を鉛直方向に向けて取り付けら
れている。両回転軸はベルトにより連結され、モータ２
２の回転が被研磨体保持回転装置２３の回転軸に伝えら
れる。
・フレーム２１′が固着されている。このフレーム２
１′の上の一端にはモータ２２が回転軸２２′を鉛直方
向に向けて取り付けられ、他端には、被研磨体保持回転
装置２３が回転軸２３′を鉛直方向に向けて取り付けら
れている。両回転軸はベルトにより連結され、モータ２
２の回転が被研磨体保持回転装置２３の回転軸に伝えら
れる。
【００２３】被研磨体保持回転装置２３の回転軸２３′
は中心に貫通孔（図において点線で示す）を有し、その
先端には円盤部２４が取り付けられている。円盤部２４
上の中央部にはその貫通孔と連通する凹状部２４′が形
成されている。回転軸２３′の他端は、凹状部２４′を
負圧に形成するために、回転軸２３′の回転を拘束しな
いようにポンプに連結されている。ポンプが起動する
と、円盤部２４の凹状部２４′に負圧が形成され、円盤
部２４の上に設置される被研磨体、たとえばウェハーＷ
を保持できる。したがって、保持した後に、モータ２２
が起動すると、回転軸２３′を介してウェハーＷは回転
する。
は中心に貫通孔（図において点線で示す）を有し、その
先端には円盤部２４が取り付けられている。円盤部２４
上の中央部にはその貫通孔と連通する凹状部２４′が形
成されている。回転軸２３′の他端は、凹状部２４′を
負圧に形成するために、回転軸２３′の回転を拘束しな
いようにポンプに連結されている。ポンプが起動する
と、円盤部２４の凹状部２４′に負圧が形成され、円盤
部２４の上に設置される被研磨体、たとえばウェハーＷ
を保持できる。したがって、保持した後に、モータ２２
が起動すると、回転軸２３′を介してウェハーＷは回転
する。
【００２４】ここで説明する実施例は、ウェハーのよう
な円板の周囲端面を研磨するために、それを保持し、回
転しながら研磨する場合であるが、回転しながら研磨す
る必要のない被研磨体を研磨するときは、モータその他
回転に必要な手段は不要となる。
な円板の周囲端面を研磨するために、それを保持し、回
転しながら研磨する場合であるが、回転しながら研磨す
る必要のない被研磨体を研磨するときは、モータその他
回転に必要な手段は不要となる。
【００２５】回転装置２３を取り囲むように、囲い２５
が取り付けられ、その底には排水口２５′に連通した排
水筒２５″が伸びている。囲い２５は、以下で説明する
ように、研磨の際に使用する水などの液体、研磨くずが
飛び散ることがないように、そして、排水口２５′へと
導くためのものである。囲いは、フレーム２１′ととも
に往復移動する。
が取り付けられ、その底には排水口２５′に連通した排
水筒２５″が伸びている。囲い２５は、以下で説明する
ように、研磨の際に使用する水などの液体、研磨くずが
飛び散ることがないように、そして、排水口２５′へと
導くためのものである。囲いは、フレーム２１′ととも
に往復移動する。
【００２６】上述したように、回転装置２３は、ウェハ
ーＷを保持し、回転させるものであるが、ウェハーＷの
中心と回転軸２３′の中心とを整合させる必要がある。
もし、整合していないと、回転の間にウェハーＷが遠心
力により放出されかねないからである。このような整合
のための、被研磨体設置装置２６が、回転軸２３′の真
上に取り付けられている。
ーＷを保持し、回転させるものであるが、ウェハーＷの
中心と回転軸２３′の中心とを整合させる必要がある。
もし、整合していないと、回転の間にウェハーＷが遠心
力により放出されかねないからである。このような整合
のための、被研磨体設置装置２６が、回転軸２３′の真
上に取り付けられている。
【００２７】被研磨体設置装置２６には、空気式シリン
ダーにより上下に移動可能な移動体２７が設けられ、そ
の移動体２７の下端は、図２（ｂ）に示すように被研磨
体の平面形状と同じ形状の穴をもつ設置プレート２７′
が水平に伸張している。被研磨体がたとえば半導体ウェ
ハーＷのときは、穴の形状は円形ではなく、位置決めの
ための、いわゆるオリフラとも整合するような穴とな
る。
ダーにより上下に移動可能な移動体２７が設けられ、そ
の移動体２７の下端は、図２（ｂ）に示すように被研磨
体の平面形状と同じ形状の穴をもつ設置プレート２７′
が水平に伸張している。被研磨体がたとえば半導体ウェ
ハーＷのときは、穴の形状は円形ではなく、位置決めの
ための、いわゆるオリフラとも整合するような穴とな
る。
【００２８】被研磨体設置装置２６の空気式シリンダー
が起動すると、プレート２７′は、回転装置の円盤部２
４の位置まで下降する。このときプレート２７′の穴に
ウェハーＷを配置すると、ウェハーＷは、その中心と円
盤部２４の中心とが一致して、円盤部２４上に設置され
る。そして、ポンプが起動すると、円盤部２４の凹状部
が負圧になり、ウェハーＷは円盤部に保持される。ウェ
ハーＷの中心と円盤部の中心が一致するので、円盤部が
回転してもウェハーＷが遠心力で放出されることはな
い。さらに、被研磨体移動および回転機構３の空気式シ
リンダーが起動すると、ウェハーＷは研磨位置まで移動
する（図１(ａ)を参照）。
が起動すると、プレート２７′は、回転装置の円盤部２
４の位置まで下降する。このときプレート２７′の穴に
ウェハーＷを配置すると、ウェハーＷは、その中心と円
盤部２４の中心とが一致して、円盤部２４上に設置され
る。そして、ポンプが起動すると、円盤部２４の凹状部
が負圧になり、ウェハーＷは円盤部に保持される。ウェ
ハーＷの中心と円盤部の中心が一致するので、円盤部が
回転してもウェハーＷが遠心力で放出されることはな
い。さらに、被研磨体移動および回転機構３の空気式シ
リンダーが起動すると、ウェハーＷは研磨位置まで移動
する（図１(ａ)を参照）。
【００２９】図３は研磨ヘッドを示し、図３（ａ）は研
磨ヘッド６の正面図を、図３（ｂ）は研磨ヘッドの部分
断面平面図を示す。
磨ヘッド６の正面図を、図３（ｂ）は研磨ヘッドの部分
断面平面図を示す。
【００３０】研磨ヘッド６は第１基本プレート３０と第
１Ｌ字プレート３２を有し、これら両者は取付け体３１
（ａ）および３１（ｂ）により互いに平行に移動可能に
連結されている。第１基本プレート３０には、垂直に伸
びる垂直伸長体３３が固着されている。第１Ｌ字プレー
ト３２の後端には、Ｃ字形枠３２′がその中央の開口の
中に垂直伸長体３３が伸びるように取り付けられてい
る。第１Ｌ字プレート３２の先端には弾性部材のパッド
３２″が取り付けられ、さらにその先端には圧力センサ
３２″′が取り付けられている。
１Ｌ字プレート３２を有し、これら両者は取付け体３１
（ａ）および３１（ｂ）により互いに平行に移動可能に
連結されている。第１基本プレート３０には、垂直に伸
びる垂直伸長体３３が固着されている。第１Ｌ字プレー
ト３２の後端には、Ｃ字形枠３２′がその中央の開口の
中に垂直伸長体３３が伸びるように取り付けられてい
る。第１Ｌ字プレート３２の先端には弾性部材のパッド
３２″が取り付けられ、さらにその先端には圧力センサ
３２″′が取り付けられている。
【００３１】第１Ｌ字プレート３２には、さらに、２本
のロッド３３ａ、３３ｂを第１基本プレート３０と平行
に、かつ垂直伸長体３３に向かうように取り付ける固定
片３３が固着されている。ロッド３３ａ、３３ｂには、
それらロッドが貫通できる穴を有し、ロッド上で移動可
能な可動片３４が取り付けられている。その可動片３４
と固定片３３との間で、各ロッドを取り巻くようにバネ
３３ａ′および３３ｂ′が位置している。可動片３４が
このバネにより飛び出さないように各ロッドの先端には
ナット３４′が取り付けられている。
のロッド３３ａ、３３ｂを第１基本プレート３０と平行
に、かつ垂直伸長体３３に向かうように取り付ける固定
片３３が固着されている。ロッド３３ａ、３３ｂには、
それらロッドが貫通できる穴を有し、ロッド上で移動可
能な可動片３４が取り付けられている。その可動片３４
と固定片３３との間で、各ロッドを取り巻くようにバネ
３３ａ′および３３ｂ′が位置している。可動片３４が
このバネにより飛び出さないように各ロッドの先端には
ナット３４′が取り付けられている。
【００３２】垂直伸長体３３の先端には、移動片３４に
向かって垂直に調節ネジ３５がネジ込まれている。調節
ネジ３５の先端は可動片３４の外側中央に設けられた台
部材３４″と当接する。前述したように、取付け体３１
ａおよび３１ｂは、互いに横方向に移動可能に係合して
いることから、この調節ネジ３５をネジ込むと、可動片
３５が押し付けられ、バネ３３ａおよび３３ｂの反発力
により、第１Ｌ字プレート３２は左方向に移動するが、
Ｃ字枠３２′の内側に設けたストッパ３６が垂直伸長体
３３と当接したとき、その移動は停止する。
向かって垂直に調節ネジ３５がネジ込まれている。調節
ネジ３５の先端は可動片３４の外側中央に設けられた台
部材３４″と当接する。前述したように、取付け体３１
ａおよび３１ｂは、互いに横方向に移動可能に係合して
いることから、この調節ネジ３５をネジ込むと、可動片
３５が押し付けられ、バネ３３ａおよび３３ｂの反発力
により、第１Ｌ字プレート３２は左方向に移動するが、
Ｃ字枠３２′の内側に設けたストッパ３６が垂直伸長体
３３と当接したとき、その移動は停止する。
【００３３】パッド３２″を右方向に押し付けると、移
動片３４は調節ネジ３５の先端と当接しているために移
動できず、したがって、バネ３３ａおよび３３ｂはその
反発力により、パッドを押し返す。かくして、パッド３
２″はその上に位置する研磨テープ（図では破線で示
す）を被研磨体に対し所定の圧力で押し付けることがで
きる。
動片３４は調節ネジ３５の先端と当接しているために移
動できず、したがって、バネ３３ａおよび３３ｂはその
反発力により、パッドを押し返す。かくして、パッド３
２″はその上に位置する研磨テープ（図では破線で示
す）を被研磨体に対し所定の圧力で押し付けることがで
きる。
【００３４】第１基本プレート３０の、垂直伸長体３３
が取り付けられた側とは反対側に、２つのロッド３７ａ
および３７ｂが伸長し、さらに、第１Ｌ字プレート３２
が配置された側と反対側に第２Ｌ字プレート３８が伸長
している。
が取り付けられた側とは反対側に、２つのロッド３７ａ
および３７ｂが伸長し、さらに、第１Ｌ字プレート３２
が配置された側と反対側に第２Ｌ字プレート３８が伸長
している。
【００３５】ロッド３７ａおよび３７ｂは、メガトルク
モータ８の回転軸４１に連結された第２基本プレート４
２の対応する２つの穴を貫通して伸び、各ロッドの先端
は抜け防止プレート３７′により連結されている（図
４）。かくして、第１基本プレート３０と第２基本プレ
ート３７とは平行を保ったまま接近し、または遠ざかる
ことができる。
モータ８の回転軸４１に連結された第２基本プレート４
２の対応する２つの穴を貫通して伸び、各ロッドの先端
は抜け防止プレート３７′により連結されている（図
４）。かくして、第１基本プレート３０と第２基本プレ
ート３７とは平行を保ったまま接近し、または遠ざかる
ことができる。
【００３６】図３（ａ）に示されているように、第１基
本プレート３０の左側の上下端にそれぞれ一対のロッド
３９ａ、３９ａ′および３９ｂ、３９ｂ′が、さらに右
側の上下端にそれぞれロッド３９ｃおよび３９ｄが垂直
に取り付けられている。各ロッドの前方は研磨テープ
（図３（ａ）において破線で示す）のためのローラが回
転自在に取り付けられている。研磨テープは、パッド３
２″上に位置するように、ロッド３９ａおよびａ′のロ
ーラ、ならびにロッド３９ｂおよびｂ′のローラに順に
引っかけられる（図３（ａ）)。ロッド３９ｃおよびｄ
のローラは、研磨テープが研磨中（研磨ヘッドが揺動し
て研磨を実行するとき）研磨ヘッドに接触しないように
機能する（図７を参照）。
本プレート３０の左側の上下端にそれぞれ一対のロッド
３９ａ、３９ａ′および３９ｂ、３９ｂ′が、さらに右
側の上下端にそれぞれロッド３９ｃおよび３９ｄが垂直
に取り付けられている。各ロッドの前方は研磨テープ
（図３（ａ）において破線で示す）のためのローラが回
転自在に取り付けられている。研磨テープは、パッド３
２″上に位置するように、ロッド３９ａおよびａ′のロ
ーラ、ならびにロッド３９ｂおよびｂ′のローラに順に
引っかけられる（図３（ａ）)。ロッド３９ｃおよびｄ
のローラは、研磨テープが研磨中（研磨ヘッドが揺動し
て研磨を実行するとき）研磨ヘッドに接触しないように
機能する（図７を参照）。
【００３７】図４および図５に示されているように、正
面プレート４の背後に取り付けられたメガトルクモータ
８（図１を参照）の回転軸４１は貫通孔４１′を有し、
その中にオシレーション軸４４が伸長しているが、その
軸４４の先端は第１基本プレート３０の第２Ｌ字プレー
ト３８に垂直に連結されている。ここで、オシレーショ
ン軸４４の中心がパッド３２″の表面中央と整合させ
る。
面プレート４の背後に取り付けられたメガトルクモータ
８（図１を参照）の回転軸４１は貫通孔４１′を有し、
その中にオシレーション軸４４が伸長しているが、その
軸４４の先端は第１基本プレート３０の第２Ｌ字プレー
ト３８に垂直に連結されている。ここで、オシレーショ
ン軸４４の中心がパッド３２″の表面中央と整合させ
る。
【００３８】図５は、オシレーション機構を示す。メガ
トルクモータ８の後端から伸長したオシレーション軸４
４の後端と、自在継手４５、リンク４６および回転プレ
ート４７とからオシレーション機構が形成される。リン
クの一端はモータにより回転する回転プレート４７の周
囲縁近くに回動自在に連結、他端はオシレーション軸４
４の後端とで自在継手４５を構成する。ここで好適な自
在継手はリンク４６の端部に形成された球と、オシレー
ション軸の後端にその球を収納できる空洞とから構成さ
れる。このように構成することで、オシレーション軸４
４がその軸線の回りで回転することも可能となる。この
ようなオシレーション軸の回転は、図６で示されるよう
に、第２基本プレート４２とともに研磨ヘッド６が揺動
するときに生じる。
トルクモータ８の後端から伸長したオシレーション軸４
４の後端と、自在継手４５、リンク４６および回転プレ
ート４７とからオシレーション機構が形成される。リン
クの一端はモータにより回転する回転プレート４７の周
囲縁近くに回動自在に連結、他端はオシレーション軸４
４の後端とで自在継手４５を構成する。ここで好適な自
在継手はリンク４６の端部に形成された球と、オシレー
ション軸の後端にその球を収納できる空洞とから構成さ
れる。このように構成することで、オシレーション軸４
４がその軸線の回りで回転することも可能となる。この
ようなオシレーション軸の回転は、図６で示されるよう
に、第２基本プレート４２とともに研磨ヘッド６が揺動
するときに生じる。
【００３９】なお、オシレーション軸４４がその軸線の
回りに回転できるように第２Ｌ字プレート３８に連結さ
れているときは、上記自在継手の代わりに、カムを用い
てオシレーション軸を往復運動させることもできる。
回りに回転できるように第２Ｌ字プレート３８に連結さ
れているときは、上記自在継手の代わりに、カムを用い
てオシレーション軸を往復運動させることもできる。
【００４０】回転プレート４７が回転すると、オシレー
ション軸４４は、メガトルクモータ８の穴内で往復運動
をする。この往復移動により、第１基本プレート３０
は、第２基本プレート４２に対し平行を保ったまま接近
し、遠ざかる（図４）。つまり、第２基本プレート３０
はオシレーション運動を行う。
ション軸４４は、メガトルクモータ８の穴内で往復運動
をする。この往復移動により、第１基本プレート３０
は、第２基本プレート４２に対し平行を保ったまま接近
し、遠ざかる（図４）。つまり、第２基本プレート３０
はオシレーション運動を行う。
【００４１】図６は、メガトルクモータの回転軸に連結
された第２基本プレートの動きを示す。メガトルクモー
タ８は、市販され容易に入手可能なモータで、所定の角
度だけ回転し、または所定の角度の間、往復回転できる
モータである。したがって、所定の角度の往復にメガト
ルクモータを設定すると、図６において破線に示すよう
に第２基本プレート４２が揺動する。第１基本プレート
３０と第２基本プレート４２とはロット３７ａおよび３
７ｂにより連結されていることから、第１基本プレート
３０も、第２基本プレート４２と一緒に揺動する。すな
わち研磨ヘッド６が揺動する。
された第２基本プレートの動きを示す。メガトルクモー
タ８は、市販され容易に入手可能なモータで、所定の角
度だけ回転し、または所定の角度の間、往復回転できる
モータである。したがって、所定の角度の往復にメガト
ルクモータを設定すると、図６において破線に示すよう
に第２基本プレート４２が揺動する。第１基本プレート
３０と第２基本プレート４２とはロット３７ａおよび３
７ｂにより連結されていることから、第１基本プレート
３０も、第２基本プレート４２と一緒に揺動する。すな
わち研磨ヘッド６が揺動する。
【００４２】操作 本発明の研磨装置の操作を、半導体ウェハーの周囲の端
面を研磨する例をもって説明する。
面を研磨する例をもって説明する。
【００４３】まず、図２に示すように、被研磨体移動お
よび回転機構３を設置位置に配置する。次に、設置装置
２６を起動させ、プレート２７′を円盤部２４まで降下
させ、プレート２７′の穴に合うようにウェハーを置
く。ウェハーのオリフラが研磨ヘッド６の方向に向いて
いるので、最初にオリフラの縁を研磨する。ポンプを働
かせると、円盤部２４の凹状部２４′は負圧になり、ウ
ェハーが円盤部上に保持される。
よび回転機構３を設置位置に配置する。次に、設置装置
２６を起動させ、プレート２７′を円盤部２４まで降下
させ、プレート２７′の穴に合うようにウェハーを置
く。ウェハーのオリフラが研磨ヘッド６の方向に向いて
いるので、最初にオリフラの縁を研磨する。ポンプを働
かせると、円盤部２４の凹状部２４′は負圧になり、ウ
ェハーが円盤部上に保持される。
【００４４】被研磨体移動および回転機構３の空気シリ
ンダーを起動させると、ウェハーＷは研磨ヘッド（図１
（ａ））まで移動する。一方、図１（ａ）に示すよう
に、研磨テープが供給ローラ１０から送出ローラ１２、
上方ローラ１３、そして研磨ヘッド６を経て、巻取ロー
ラ１１へと供給される。このとき、研磨テープとウェハ
ーとの接触圧力は、圧力センサ３２″′により検出さ
れ、所定の圧力となるように、調節ネジ３５により調節
される。
ンダーを起動させると、ウェハーＷは研磨ヘッド（図１
（ａ））まで移動する。一方、図１（ａ）に示すよう
に、研磨テープが供給ローラ１０から送出ローラ１２、
上方ローラ１３、そして研磨ヘッド６を経て、巻取ロー
ラ１１へと供給される。このとき、研磨テープとウェハ
ーとの接触圧力は、圧力センサ３２″′により検出さ
れ、所定の圧力となるように、調節ネジ３５により調節
される。
【００４５】さらに、研磨の際には、研磨テープの研磨
に必要な液体、すなわち水をパイプ７から研磨部に注が
れる。パイプ７の先端は、便宜水を研磨部へ注ぐことが
できるように、フレキシブルとなっている。
に必要な液体、すなわち水をパイプ７から研磨部に注が
れる。パイプ７の先端は、便宜水を研磨部へ注ぐことが
できるように、フレキシブルとなっている。
【００４６】このとき、研磨ヘッド６は、図７（ｂ）に
示されるように、ウェハーに対して、研磨テープが垂直
になるように位置する。研磨中の水、削りくずは囲い２
５により、集められ排出される。水は削りくずの除去以
外の後処理をすることなく、廃棄できる。
示されるように、ウェハーに対して、研磨テープが垂直
になるように位置する。研磨中の水、削りくずは囲い２
５により、集められ排出される。水は削りくずの除去以
外の後処理をすることなく、廃棄できる。
【００４７】さらに、研磨ヘッド６にオシレーション運
動させ、研磨力を高めるために、回転プレート４７を回
転させ、オシレーション軸４４をオシレーション動作さ
せる。このとき、図４に示すように、第１基本プレート
３０もオシレーション動作し、研磨テープが、研磨テー
プの供給方向に対して垂直に往復運動し、より効率的に
研磨が実行される。
動させ、研磨力を高めるために、回転プレート４７を回
転させ、オシレーション軸４４をオシレーション動作さ
せる。このとき、図４に示すように、第１基本プレート
３０もオシレーション動作し、研磨テープが、研磨テー
プの供給方向に対して垂直に往復運動し、より効率的に
研磨が実行される。
【００４８】上記のように、研磨テープをウェハーの端
面に対して、垂直でなく、任意の角度で接触させるとき
は、メガトルクモータ８を起動させ、研磨テープとウェ
ハーの端面とが所定の角度で接触するように回転軸４１
を回転させる。このとき研磨ヘッド６とウェハーとの関
係は図７（ａ）、および図７（ｂ）に示す。
面に対して、垂直でなく、任意の角度で接触させるとき
は、メガトルクモータ８を起動させ、研磨テープとウェ
ハーの端面とが所定の角度で接触するように回転軸４１
を回転させる。このとき研磨ヘッド６とウェハーとの関
係は図７（ａ）、および図７（ｂ）に示す。
【００４９】さらに、メガトルクモータ８を所定の角度
間、往復回転させると（図７（ａ）から図７（ｃ）へ、
そしてその逆へと研磨ヘッドは揺動し、ウェハーの縁が
丸みをもつように研磨することができる。
間、往復回転させると（図７（ａ）から図７（ｃ）へ、
そしてその逆へと研磨ヘッドは揺動し、ウェハーの縁が
丸みをもつように研磨することができる。
【００５０】ウェハーの周囲縁全体を研磨するときは、
モータ２２を起動させ、ウェハーを回転させる。このと
き、上述したように、さらに、研磨ヘッドをオシレーシ
ョン運動させても、また揺動させてもよい。
モータ２２を起動させ、ウェハーを回転させる。このと
き、上述したように、さらに、研磨ヘッドをオシレーシ
ョン運動させても、また揺動させてもよい。
【００５１】
【発明の効果】本発明の研磨装置が研磨テープを用いて
研磨することから、砥粒と溶剤とからなるスラリーを用
いる必要がなくなり、したがって、研磨後の残留スラリ
ーの除去のための洗浄も不要となり、また研磨後の廃液
の処理も不要となる。このことは、研磨時間、研磨コス
トの大幅な削減となる。
研磨することから、砥粒と溶剤とからなるスラリーを用
いる必要がなくなり、したがって、研磨後の残留スラリ
ーの除去のための洗浄も不要となり、また研磨後の廃液
の処理も不要となる。このことは、研磨時間、研磨コス
トの大幅な削減となる。
【００５２】さらに、本発明の研磨装置の研磨ヘッド
は、オシレーション運動をさせることができることか
ら、新しい研磨テープが供給されるだけでなく、その供
給方向に垂直に往復運動もし、したがって、効果的に研
磨を実行する。
は、オシレーション運動をさせることができることか
ら、新しい研磨テープが供給されるだけでなく、その供
給方向に垂直に往復運動もし、したがって、効果的に研
磨を実行する。
【００５３】また、本発明の研磨装置の研磨ヘッドは、
研磨テープの被研磨体に対する角度を任意に設定できる
ことから、被研磨体に対して任意の角度で接触できる。
研磨テープの被研磨体に対する角度を任意に設定できる
ことから、被研磨体に対して任意の角度で接触できる。
【００５４】さらにまた、本発明の研磨装置の研磨ヘッ
ドは、揺動運動をさせることができることから、被研磨
体の形状にそって研磨することができる。
ドは、揺動運動をさせることができることから、被研磨
体の形状にそって研磨することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】図１（ａ）は本発明の研磨装置の正面図であ
り、図１（ｂ）は図１（ａ）の装置の線ｂ−ｂにそった
断面図である。
り、図１（ｂ）は図１（ａ）の装置の線ｂ−ｂにそった
断面図である。
【図２】図２（ａ）は被研磨体移動および回転機構の、
一部端面となった正面図であり、図２（ｂ）は被研磨体
設置装置の平面図である。
一部端面となった正面図であり、図２（ｂ）は被研磨体
設置装置の平面図である。
【図３】図３（ａ）は本発明の研磨装置に組み込まれる
研磨ヘッドの正面図であり、図３（ｂ）は研磨ヘッド
の、一部断面となった平面図である。
研磨ヘッドの正面図であり、図３（ｂ）は研磨ヘッド
の、一部断面となった平面図である。
【図４】研磨ヘッドの第１基本プレートと、メガトルク
モータの回転軸に連結された第２基本プレートとの連結
状態を示す。
モータの回転軸に連結された第２基本プレートとの連結
状態を示す。
【図５】オシレーション機構を示す。
【図６】メガトルクモータの回転軸に連結された第２基
本プレートの揺動動作を示す。
本プレートの揺動動作を示す。
【図７】研磨ヘッドの揺動動作を示す。
８ メガトルクモータ ３０ 第１基本プレート ３２ 第１Ｌ字プレート ３２″ パッド ３２″′圧力センサ ３５ 調節ネジ ３７ａ、３７ｂ ロッド ３８ 第２Ｌ字プレート ４１ 回転軸 ４２ 第２基本プレート ４４ オシレーション軸 ４５ 自在継手 ４６ リンク ４７ 回転プレート
─────────────────────────────────────────────────────
【手続補正書】
【提出日】平成６年６月１７日
【手続補正１】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】全図
【補正方法】変更
【補正内容】
【図４】
【図５】
【図１】
【図２】
【図３】
【図６】
【図７】 ─────────────────────────────────────────────────────
【手続補正書】
【提出日】平成７年１月２３日
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１２
【補正方法】変更
【補正内容】
【００１２】
【作用】モータの回転軸を貫通する軸が往復運動をする
と、第１のプレートが第２のプレートに関して、平行を
保ったまま近づき、または遠ざかるというオシレーショ
ン運動をし、第１のプレートに供給される研磨テープが
供給方向に対し垂直な方向にオシレーション運動する。
と、第１のプレートが第２のプレートに関して、平行を
保ったまま近づき、または遠ざかるというオシレーショ
ン運動をし、第１のプレートに供給される研磨テープが
供給方向に対し垂直な方向にオシレーション運動する。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１４
【補正方法】変更
【補正内容】
【００１４】
【実施例】本発明の研磨装置の概要を図１に示す。図１
（ａ）は、研磨装置１の正面図を示し、図１（ｂ）は、
図１（ａ）に示す装置のｂ−ｂ断面を示す。研磨装置１
は、水平な台プレート２上に、被研磨体水平移動および
回転機構３が設置されている。被研磨体水平移動および
回転機構３は、以下で説明するように、被研磨体の設置
位置（図２に示す位置）と被研磨体の研磨位置（図１
（ａ）の位置）との間で被研磨体を水平移動させ、かつ
被研磨体の研磨位置で被研磨体を回転させるための機構
である。
（ａ）は、研磨装置１の正面図を示し、図１（ｂ）は、
図１（ａ）に示す装置のｂ−ｂ断面を示す。研磨装置１
は、水平な台プレート２上に、被研磨体水平移動および
回転機構３が設置されている。被研磨体水平移動および
回転機構３は、以下で説明するように、被研磨体の設置
位置（図２に示す位置）と被研磨体の研磨位置（図１
（ａ）の位置）との間で被研磨体を水平移動させ、かつ
被研磨体の研磨位置で被研磨体を回転させるための機構
である。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１９
【補正方法】変更
【補正内容】
【００１９】このメガトルクモータ８の中心は貫通孔を
もち、以下で説明するように、その貫通孔内に軸方向に
対し往復移動可能にオシレーション軸４４が収納されて
いる（図４および図５）。このオシレーション軸４４の
一端は研磨ヘッド６に連結され、その他端はオシレーシ
ョン機構（図５を参照）を構成する。
もち、以下で説明するように、その貫通孔内に軸方向に
対し往復移動可能にオシレーション軸４４が収納されて
いる（図４および図５）。このオシレーション軸４４の
一端は研磨ヘッド６に連結され、その他端はオシレーシ
ョン機構（図５を参照）を構成する。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３１
【補正方法】変更
【補正内容】
【００３１】第１Ｌ字プレート３２には、さらに、２本
のロッド３３ａ、３３ｂを第１基本プレート３０と平行
に、かつ垂直伸長体３３に向かうように取り付けるため
の固定片３３′が固着されている。ロッド３３ａ、３３
ｂには、それらロッドが貫通できる穴を有し、ロッド上
で移動可能な可動片３４が取り付けられている。その可
動片３４と固定片３３′との間で、各ロッドを取り巻く
ようにバネ３３ａ′および３３ｂ′が位置している。可
動片３４がこのバネにより飛び出さないように各ロッド
の先端にはナット３４′が取り付けられている。
のロッド３３ａ、３３ｂを第１基本プレート３０と平行
に、かつ垂直伸長体３３に向かうように取り付けるため
の固定片３３′が固着されている。ロッド３３ａ、３３
ｂには、それらロッドが貫通できる穴を有し、ロッド上
で移動可能な可動片３４が取り付けられている。その可
動片３４と固定片３３′との間で、各ロッドを取り巻く
ようにバネ３３ａ′および３３ｂ′が位置している。可
動片３４がこのバネにより飛び出さないように各ロッド
の先端にはナット３４′が取り付けられている。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４８
【補正方法】変更
【補正内容】
【００４８】上記のように、研磨テープをウェハーの端
面に対して、垂直でなく、任意の角度で接触させるとき
は、メガトルクモータ８を起動させ、研磨テープとウェ
ハーの端面とが所定の角度で接触するように回転軸４１
を回転させる。このとき研磨ヘッド６とウェハーとの関
係は図７（ａ）、および図７（ｃ）に示す。
面に対して、垂直でなく、任意の角度で接触させるとき
は、メガトルクモータ８を起動させ、研磨テープとウェ
ハーの端面とが所定の角度で接触するように回転軸４１
を回転させる。このとき研磨ヘッド６とウェハーとの関
係は図７（ａ）、および図７（ｃ）に示す。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４９
【補正方法】変更
【補正内容】
【００４９】さらに、メガトルクモータ８を所定の角度
間、往復回転させると（図７（ａ）から図７（ｃ）へ、
そしてその逆へと研磨ヘッドは揺動し、ウェハーの縁が
丸みをもつように研磨することができる。
間、往復回転させると（図７（ａ）から図７（ｃ）へ、
そしてその逆へと研磨ヘッドは揺動し、ウェハーの縁が
丸みをもつように研磨することができる。
【手続補正７】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図４
【補正方法】変更
【補正内容】
【図４】
【手続補正８】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図５
【補正方法】変更
【補正内容】
【図５】
【手続補正９】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図７
【補正方法】変更
【補正内容】
【図７】
【手続補正書】
【提出日】平成７年１月２５日
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３０
【補正方法】変更
【補正内容】
【００３０】研磨ヘッド６は第１基本プレート３０と第
１Ｌ字プレート３２を有し、これら両者は取付け体３１
（ａ）および３１（ｂ）により互いに平行に移動可能に
連結されている。第１基本プレート３０には、垂直に伸
びる垂直伸長体３３が固着されている。第１Ｌ字プレー
ト３２の後端には、Ｃ字形枠３２′がその中央の開口の
中に垂直伸長体３３が伸びるように取り付けられてい
る。第１Ｌ字プレート３２の先端には弾性部材のパッド
３２″が取り付けられ、そのパッド３２″の後端には圧
力センサ３２″′が埋め込まれるように取り付けられて
いる。 ─────────────────────────────────────────────────────
１Ｌ字プレート３２を有し、これら両者は取付け体３１
（ａ）および３１（ｂ）により互いに平行に移動可能に
連結されている。第１基本プレート３０には、垂直に伸
びる垂直伸長体３３が固着されている。第１Ｌ字プレー
ト３２の後端には、Ｃ字形枠３２′がその中央の開口の
中に垂直伸長体３３が伸びるように取り付けられてい
る。第１Ｌ字プレート３２の先端には弾性部材のパッド
３２″が取り付けられ、そのパッド３２″の後端には圧
力センサ３２″′が埋め込まれるように取り付けられて
いる。 ─────────────────────────────────────────────────────
【手続補正書】
【提出日】平成７年１月２４日
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３０
【補正方法】変更
【補正内容】
【００３０】研磨ヘッド６は第１基本プレート３０と第
１Ｌ字プレート３２を有し、これら両者は取付け体３１
（ａ）および３１（ｂ）により互いに平行に移動可能に
連結されている。第１基本プレート３０には、垂直に伸
びる垂直伸長体３３が固着されている。第１Ｌ字プレー
ト３２の後端には、Ｃ字形枠３２′がその中央の開口の
中に垂直伸長体３３が伸びるように取り付けられてい
る。第１Ｌ字プレート３２の先端には弾性部材のパッド
３２″が取り付けられ、そのパッド３２″の後端には３
２″′が埋め込まれるように取り付けられている。
１Ｌ字プレート３２を有し、これら両者は取付け体３１
（ａ）および３１（ｂ）により互いに平行に移動可能に
連結されている。第１基本プレート３０には、垂直に伸
びる垂直伸長体３３が固着されている。第１Ｌ字プレー
ト３２の後端には、Ｃ字形枠３２′がその中央の開口の
中に垂直伸長体３３が伸びるように取り付けられてい
る。第１Ｌ字プレート３２の先端には弾性部材のパッド
３２″が取り付けられ、そのパッド３２″の後端には３
２″′が埋め込まれるように取り付けられている。
【手続補正２】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図３
【補正方法】変更
【補正内容】
【図３】
Claims (8)
- 【請求項１】 研磨テープによる研磨装置であって、 軸線にそって貫通孔をもつ回転軸を有するモータと、 前記貫通孔内で、軸線にそって往復移動可能に収納さ
れ、その端が前記回転軸の端から突き出た軸と、 前記回転軸に垂直に取り付けられた第２のプレートと、 前記軸の先端に取り付けられた第１のプレートと、 前記軸を往復移動させるための手段と、 前記第１のプレートが前記第２のプレートに平行になっ
たまま近づき、または遠ざかることができるように前記
第１のプレートと前記第２のプレートとを連結する連結
手段と、から成り、 前記第１のプレートに少なくとも２つのローラが設けら
れ、 研磨テープがそれらローラに掛けられる、ところの研磨
装置。 - 【請求項２】 請求項１に記載の研磨装置であって、 前記モータが、前記回転軸を所定の角度まで回転させ、
または所定の角度の間往復回転させることのできるモー
タである、ところの研磨装置。 - 【請求項３】 請求項１に記載の研磨装置であって、 前記軸を往復移動させるための手段が、回転プレート
と、該回転プレートの周囲付近に回動自在に後端が連結
さたリンクと、該リンクの先端と前記軸の後端とで構成
する自在継手とから成る、ところの研磨装置。 - 【請求項４】 請求項１に記載の研磨装置であって、 前記連結手段が、前記第１のプレートから垂直に、前記
第２のプレートの対応する穴を貫通して伸びるロッドか
ら成る、ところの研磨装置。 - 【請求項５】 請求項１に記載の研磨装置であって、 前記研磨テープと被研磨体とが接触するところに、液体
を放出する手段をさらに有する、ところの研磨装置。 - 【請求項６】 請求項５に記載の研磨装置であって、 前記液体が水である、ところの研磨装置。
- 【請求項７】 請求項１に記載の研磨装置であって、 前記ローラの間に位置し、研磨テープが上に位置する、
前記第１のプレートに対して移動可能に取りつけらたパ
ッドを有し、 前記研磨テープと前記パッドとの間に圧力センサを有
し、 前記パッドを研磨テープへと押し付けるための調節手段
を有する、ところの研磨装置。 - 【請求項８】 請求項１に記載の研磨装置であって、 前記被研磨体を保持し、回転させる手段をさらに有す
る、ところの研磨装置。
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