JP2008284682A - 効率的なテープのルーティング配置を有する斜面研磨ヘッドを使用する方法及び装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】基板の縁部に接触するように適合された研磨ヘッド400を含み、該研磨ヘッド400は、1対のフロントガイドローラー406と、2対のバッククランプローラー408と、基板の縁部の研磨を作動させるように適合されたコントローラと、を含む。多数の他の態様が提供される。
【選択図】図4
Description
[0004]発明の名称は、「基板を処理する方法及び装置」であり、2005年12月9日付で出願された米国特許出願番号第11/298,555号(代理人整理番号:10414);
[0005]発明の名称は、「基板の縁部を研磨する方法及び装置」であり、2007年3月29日付で出願された米国特許出願番号第11/693、695号(代理人整理番号:10560);
[0006]発明の名称は、「膨張式研磨ホイールを使用して基板のノッチを研磨する方法及び装置」であり、2007年5月21日付で出願された米国特許出願番号第60/939,351号(代理人整理番号:10674/L);
[0007]発明の名称は、「基板ノッチの中心を見つける方法及び装置」であり、2007年5月21日付で出願された米国特許出願番号第60/939,353号(代理人整理番号:11244/L);
[0008]発明の名称は、「エピタキシャル膜の基板斜面及び縁部の研磨プロファイルを制御する方法及び装置」であり、2007年5月21日付で出願された米国特許出願番号第60/939,343号(代理人整理番号:11417/L);
[0009]発明の名称は、「成形されたバッキングパッドを使用して基板のノッチを研磨する方法及び装置」であり、2007年5月21日付で出願された米国特許出願番号第60/939,219号(代理人整理番号:11483/L);
[0010]発明の名称は、「バッキングパッドを使用して基板の両面の縁部から膜及び薄片を除去する方法及び装置」であり、2007年5月21日付で出願された米国特許出願番号第60/939,342号(代理人整理番号:11564/L);
[0011]発明の名称は、「基板研磨のためにローリングバッキングパッドを使用する方法及び装置」であり、2007年5月21日付で出願された米国特許出願番号第60/939,344号(代理人整理番号:11566/L);
[0012]発明の名称は、「研磨アームを使用して基板の縁部を研磨する方法及び装置」であり、2007年5月21日付で出願された米国特許出願番号第60/939,333号(代理人整理番号:11567/L);
[0013]発明の名称は、「基板縁部のプロファイルを識別し、その識別された縁部のプロファイルによって基板の処理を調整する方法及び装置」であり、2007年5月21日付で出願された米国特許出願番号第60/939,212号(代理人整理番号:11695/L);
[0014]発明の名称は、「半導体の製造における高性能の基板斜面及び縁部の研磨のための方法及び装置」であり、2007年5月21日付で出願された米国特許出願番号第60/939,337号(代理人整理番号:11809/L);
[0015]発明の名称は、「基板の振動により基板のノッチを研磨する方法及び装置」であり、2007年5月21日付で出願された米国特許出願番号第60/939,228号(代理人整理番号:11952/L);及び、
[0016]発明の名称は、「基板の縁部除外領域の大きさを制御する方法及び装置」であり、2007年5月21日付で出願された米国特許出願番号第60/939,209号(代理人整理番号:11987/L)。
Claims (15)
- 基板の縁部を研磨する装置であって、
基板の縁部に接触するように適合された研磨ヘッドを備え、
前記研磨ヘッドが、研磨テープをガイドするように適合された少なくとも1つのフロントローラーと、前記研磨テープの位置合わせを維持するように適合された少なくとも1対のバックローラーとを含む装置。 - 前記フロント及びバックローラーが、回転するように適合された、請求項1に記載の装置。
- 前記研磨ヘッドが、パッドを含む、請求項1に記載の装置。
- 前記研磨ヘッドが、前記パッドの上に前記研磨テープをガイドするように適合された、請求項3に記載の装置。
- 前記パッドが、前記研磨テープを押し付けて前記基板の縁部に接触するように適合された、請求項4に記載の装置。
- 前記研磨テープが、第1のバックローラーの対の間に、第1のフロントローラー及び第2のフロントローラーの周りに、それから、第2のバックローラーの対の間にルーティングされる、請求項4に記載の装置。
- 前記第1のフロントローラー及び第2のフロントローラーの間の研磨テープの長さが、前記基板の縁部に接触するように適合される、請求項6に記載の装置。
- 前記研磨ヘッドが、前記基板の縁部の周りで揺動するように適合された、請求項1に記載の装置。
- 前記バックローラーが、自動ロック式である、請求項1に記載の装置。
- 前記研磨テープが、前記バックローラーによって前記パッドから滑り落ちないように抑制される、請求項6に記載の装置。
- 基板の縁部を研磨するシステムであって、
基板を回転させるように適合された基板支持体と、
基板の縁部に接触するように適合されて、1対のフロントローラー及び2対のバックローラーを含む研磨ヘッドと、
前記基板の縁部の研磨を作動させるように適合されたコントローラと、
を備えるシステム。 - 前記研磨ヘッドが、研磨テープを含む、請求項11に記載のシステム。
- 前記研磨ヘッドが、前記研磨テープを用いて前記基板の縁部に接触するように適合された、請求項12に記載のシステム。
- 前記研磨テープが、前記第1のバックローラーの対の間に、前記第1のフロントローラー及び第2のフロントローラーの周りに、それから、前記第2のバックローラーの対の間にルーティングされ、
前記第1のフロントローラー及び第2のフロントローラーの間の前記研磨テープの長さが、前記基板の縁部に接触する、請求項12に記載のシステム。 - 基板の縁部を研磨する方法であって、
基板を回転させるステップと、
前記基板の縁部を、1対のフロントローラー及び2対のバックローラーを含む研磨ヘッドに接触させるステップと、
前記第1のフロントローラー及び第2のフロントローラーの間の研磨テープの長さが前記基板の縁部に接触して研磨するようにするために、前記研磨テープを、前記第1のバックローラーの対の間に、前記第1のフロントローラー及び第2のフロントローラーの周りに、それから、前記第2のバックローラーの対の間にルーティングするステップと、
を備える方法。
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