JP2006068835A - 砥粒流動加工法による記録媒体用基板の端面研磨方法 - Google Patents
砥粒流動加工法による記録媒体用基板の端面研磨方法 Download PDFInfo
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Abstract
【解決手段】 中心部に円孔を有するディスク状記録媒体用基板の内周端面又は外周端面を、粘弾性樹脂キャリア中に研磨砥粒を分散させた研磨メディアと接触させ、前記研磨メディアを流動させることで前記内周端面又は外周端面を研磨することを含む、記録媒体用基板の端面の研磨方法を提供する。
【選択図】 なし
Description
(2)前記内周端面及び外周端面の両方を同時に研磨する、上記(1)に記載の記録媒体用基板の端面の研磨方法。
(3)前記研磨砥粒はダイヤモンド粒である、上記(1)または(2)に記載の記録媒体用基板の端面の研磨方法。
(4)前記円孔の直径が7mm以下である、上記(1)〜(3)のいずれか1項に記載の記録媒体用基板の端面の研磨方法。
(5)上記(1)〜(4)のいずれか1項に記載の研磨方法を用いた記録媒体用基板の製造方法。
また、研磨メディアを流動させることで研磨砥粒により基板を研磨するので、内周端面と外周端面の両方を同時に研磨することが可能である。
さらに、ディスク状記録媒体用基板を複数重ねた状態で研磨することで、効率よく研磨を行なうことができる。
さらに、本発明の方法では、従来の酸化セリウム含有スラリーとは異なり、ダイヤモンド砥粒、炭化珪素などの砥粒を用いて良好に研磨することができる。このため、その洗浄が不要であるとともに、残留酸化セリウムによる性能信頼性低下の問題がなく、満足な性能信頼性が得られる。
実施例1
21.6mm直径(外径)、6mm直径(中央孔の内径)及び0.421mm厚さのハードディスク(HD)用基板((株)オハラ製 TS−10SX)を30枚積層し、以下の条件で図1に示すような砥粒流動加工装置(株式会社エクスツルードホーン製、EX−100)内において端面の鏡面仕上処理を行なった。なお、基板の外周端面及び内周端面は、それぞれ、0.181mmの端縁面と、その両側にある0.120mmの面取り部からなった。
1.研磨メディア
砥粒の種類、粒径:ダイヤモンド、#600(平均粒径30μm)
粘弾性樹脂:商品番号 EH020854
2.砥粒流動加工装置
シリンダ径:15cm直径
3.装置内条件
温度:25℃
圧力:3MPa
研磨時間120分
また、本発明では酸化セリウムなどの研磨材残留物が付着しない。このことは、高い性能信頼性を求められる記録媒体用基板として用いる場合に、研磨材残留物による信頼性低下をもたらすことがないので特に好ましい。また、内周端面及び外周端面の研磨を同時に行なうことができるので、作業効率上の利点がある。さらに、従来のブラシ研磨法とは異なり、実施例では、非常に径の小さい(例えば、7mm内径)以下の基板についても良好に研磨が行えた。
2 下シリンダ
3 治具
4 研磨メディア
5 基板
6 シリンダ制御部
10 砥粒流動加工装置
21 外周端面
22 端縁面
23 面取り部
Claims (5)
- 中心部に円孔を有するディスク状記録媒体用基板の内周端面又は外周端面を、粘弾性樹脂キャリア中に研磨砥粒を分散させた研磨メディアと接触させ、前記研磨メディアを流動させることで前記内周端面又は外周端面を研磨することを含む、記録媒体用基板の端面の研磨方法。
- 前記内周端面及び外周端面の両方を同時に研磨する、請求項1に記載の記録媒体用基板の端面の研磨方法。
- 前記研磨砥粒はダイヤモンド粒である、請求項1または2に記載の記録媒体用基板の端面の研磨方法。
- 前記円孔の直径が7mm以下である、請求項1〜3のいずれか1項に記載の記録媒体用基板の端面の研磨方法。
- 請求項1〜4のいずれか1項に記載の研磨方法を用いた記録媒体用基板の製造方法。
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