JP2008310842A - 磁気記録媒体用ガラス基板及び磁気記録媒体 - Google Patents

Abstract

【課題】磁気ヘッドの動作をＬＵＬ時に安定して行うことができる磁気記録媒体用ガラス基板及び磁気記録媒体を提供する。
【解決手段】内周端面と外周端面とを面取り部を介して接続される表裏２つの主表面とでドーナツ状の円板を構成し、前記内周端面が成す穴に、情報記録装置を構成するスピンドルモータの回転自在なハブが嵌合して挿通され、該ハブに固定されるＬＵＬ方式で使用される磁気記録媒体に用いられる磁気記録媒体用ガラス基板において、前記外周端面と接続される前記面取り部と前記主表面との境界であるＣＦエッジの真円度が２μｍ以下である。
【選択図】図１

Description

本発明は、磁気記録媒体用ガラス基板及び磁気記録媒体に関する。

従来、コンピュータ等に用いられる磁気ディスク用基板としては、アルミニウム基板が一般的に用いられてきた。しかし磁気ディスクの小型化・薄板化とともに高記録密度化が図られ、磁気ヘッドの低浮上化とともに磁気ヘッド機構についてもＣＳＳ（Ｃｏｎｔａｃｔ Ｓｔａｒｔ Ｓｔｏｐ）方式からＬＵＬ（Ｌｏａｄ Ｕｎｌｏａｄ）方式に移行しつつある。ＬＵＬ方式では、ＣＳＳ方式に比べ磁気ヘッドの低浮上走行が可能であるため、より高密度記録が可能となり記録の大容量化に対応することができる。ＣＳＳ方式からＬＵＬ方式への移行に伴い、アルミニウム基板に比べ硬度、強度ならびに平坦性に優れたガラス基板の採用が増えつつある。

磁気ディスクに使用するガラス基板は、平坦な主表面と、同心の外周端面と内周端面とを有するドーナツ状の形状をしている（特許文献１参照）。このガラス基板の主表面に磁性膜を設けて磁気ディスク（磁気記録媒体）としている。この磁気ディスクの内周端面で形成される穴を、ＨＤＤ（ハードディスク駆動装置）を構成するＳＰＭ（スピンドルモータ）の回転軸（ハブ）に嵌め込んで固定する。これで、ガラス基板を基体とする磁気ディスクを高速で回転させることができ、この上を磁気ヘッドを浮上走行させることができる。
特開２００６−２３６５６１号公報

特許文献１に記載のガラス基板の中心部の穴の直径の寸法精度を±２０μｍ以内とすることで、磁気ディスク（磁気記録媒体）のＨＤＤ（ハードディスク駆動装置）への装着位置精度が向上するとしている。しかしながら、この装着位置精度の向上により磁気ディスクをＨＤＤに良好に取り付けることができるが、動的、すなわち磁気ディスクを高速回転させた場合に磁気ディスクの挙動が起因してＨＤＤの安定性が低下する場合がある。

ガラス基板は、内周端面と外周端面とを面取り部を介して接続される表裏２つの主表面とでドーナツ状の円板を構成する場合がある。ここで、外周端面と接続される面取り部と主表面との境界をＣＦ（Ｃｈａｍｆｅｒ：面取り）エッジと称することにする。

磁気ディスクのＣＦエッジがＳＰＭのハブの中心に対して等距離となっていない場合、回転によるＣＦエッジの変動により、ＣＦエッジと磁気ヘッドが停止するランプ位置との間隔が回転周期に合わせて変動することになる。このため、ＬＵＬ方式のＨＤＤにおいて、磁気ヘッドが磁気ディスク面から離陸・着陸する位置が変動することが考えられる。この間隔が変動することにより、ＬＵＬ時のランプ位置から磁気ヘッドが記録媒体面上を浮上走行するまでの距離が変動することになる。

よって、ＨＤＤにおいて、ＣＦエッジ付近では、ＬＵＬの時、磁気ヘッドの動作が不安定なる。この結果、ＬＵＬ動作時に磁気ヘッドがディスク面に衝突するヘッドクラッシュが発生することが考えられる。今後さらに磁気ディスクの回転速度の高速化が進むと、上記のＣＦエッジ位置の径方向の変動周期がより短くなることから、磁気ディスクのＣＦエッジ付近での磁気ヘッドの安定化を図ることはより困難になると考えられる。

本発明は、上記の課題を鑑みてなされたものであって、その目的とするところは、磁気ヘッドの動作をＬＵＬ時に安定して行うことができる磁気記録媒体用ガラス基板及び磁気記録媒体を提供することである。

上記の課題は、以下の構成により解決される。

１． 内周端面と外周端面とを面取り部を介して接続される表裏２つの主表面とでドーナツ状の円板を構成し、
前記内周端面が成す穴に、情報記録装置を構成するスピンドルモータの回転自在なハブが嵌合して挿通され、該ハブに固定されるＬＵＬ方式で使用される磁気記録媒体に用いられる磁気記録媒体用ガラス基板において、
前記外周端面と接続される前記面取り部と前記主表面との境界であるＣＦエッジの真円度が２μｍ以下であることを特徴とする磁気記録媒体用ガラス基板。

２． 前記境界の円周方向のうねりは、５μｍ乃至５００μｍの周期範囲で、最大値Ｐ−Ｖｍａｘが０．１μｍ以下であることを特徴とする１に記載の磁気記録媒体用ガラス基板。

３． 前記内周端面の最内周の真円度が５μｍ以下であることを特徴とする１又は２に記載の磁気記録媒体用ガラス基板。

４． 前記境界の中心と前記内周端面の最内周の中心との距離である同心度が５μｍ以下であることを特徴とする１乃至３の何れか一に記載の磁気記録媒体用ガラス基板。

５． １乃至４の何れか一に記載の磁気記録媒体用ガラス基板の表面に磁性膜を有することを特徴とする磁気記録媒体。

本発明によれば、磁気記録媒体用ガラス基板をスピンドルモータのハブに固定する際に、外周端面と接続する面取り部と主表面との境界を基準に調整して固定することにより、磁気記録媒体用ガラス基板が回転する際、境界の径方向の振れは、２μｍ以下にすることができる。

よって、ハブに固定され高速回転される磁気記録媒体用ガラス基板の境界の振れは、ＬＵＬ方式のＨＤＤ装置に使用する場合、ランプ位置と境界との間隔の変動量をＬＵＬ時の磁気ヘッドの動作が不安定とならない範囲とすることができる。

従って、磁気ヘッドの動作をＬＵＬ時に安定して行うことができる磁気記録媒体用ガラス基板及び磁気記録媒体を提供することができる。

本発明を図示の実施の形態に基づいて説明するが、本発明は該実施の形態に限らない。

図２は、本発明に係わる磁気記録媒体用ガラス基板１（以降、ガラス基板１とも称する。）の全体構成を示している。図２（ａ）はガラス基板を厚み方向に見た図を示し、（ｂ）は（ａ）に示すＡ−Ａ’における断面を示している。図２に示す様に、ガラス基板１は、中心に穴５が形成されたドーナツ状の円板形状をしている。７は主表面、８は面取り部、１０ｔは外周端面、１１は外周端面１０ｔと接続される面取り部８と主表面７との境界（以降、ＣＦエッジと称する。）、２０ｔは内周端面、を示している。ＣＦエッジ１１、主表面７はガラス基板の表面、裏面にそれぞれあるが、どちらかの面に限定するものではない。

図１は、ガラス基板１を主表面７側から見た様子を、ＣＦエッジ１１及び内周端面の最内周２０の形状を誇張して示している。図１において、１０は外周端面の最外周、１２はＣＦエッジ１１に外接する円、１４はＣＦエッジ１１に内接する円、２０は内周端面の最内周、２２は内周端面の最内周２０に外接する円、２４は内周端面の最内周２０に内接する円を示している。また、１６はＣＦエッジの中心、２６は内周端面の最内周２０の中心を示している。

ここで、外周端面の最外周１０とは、ガラス基板の主表面７に垂直な方向に投影して主表面と平行な面上にできる形状の外周を示す。また、内周端面の最内周２０とは、ガラス基板を主表面に垂直な方向に投影して主表面と平行な面上にできる形状で、ガラス基板の穴の内周部分が投影されてできる形状の内周を示す。

ＣＦエッジ１１の中心及び内周端面の最内周２０の中心は、最小二乗中心法（ＬＳＣ）を用いて決めている。この方法で決めた中心に基づいて、ＣＦエッジ１１に外接する円及び内接する円を決めて、その半径の差をＣＦエッジ１１の真円度とし、内周端面の最内周２０に外接する円及び内接する円を決めて、その半径の差を内周端面の最内周２０の真円度とする。また、内周端面の最内周２０の中心とＣＦエッジ１１の中心との距離を同心度とする。ＣＦエッジにおける真円度は、次のようにして測定することが出来る。
（１）ガラス基板全域の干渉縞を得る。例えば、フィゾー型レーザ干渉計型式ＷＹＫＯ−４００Ｇ（ＷＹＫＯ社）にて干渉縞を表示させる。
（２）干渉縞の縞データを取入れる。例えば、干渉縞をビデオカメラにて撮影し、ビデオ信号をデジタル信号に変換する装置（一般にグラバーと呼ばれる画像入出力ボード）にＰＣ（パーソナルコンピュータ）を接続し、デジタルデータとしてＰＣに取り込む。
（３）干渉縞画像のエッジ強調処理をする。例えば、２値化、微分処理等が出来る一般の画像処理ソフトを用いて、ＰＣに取り込んだデジタルデータにエッジ強調処理を行う。
（４）真円度を算出する。（３）で定義したエッジ部（輪郭）のデータを用いて最小二乗中心法（ＬＳＣ）によりＣＦエッジ１１の中心１６を求める。この中心に基づいて内接円（半径ｒ１）と外接円（半径ｒ２）を求め、ｒ２−ｒ１をＣＦエッジの真円度とする。また、内接円と外接円との平均半径の周囲に沿って、うねりの最大値Ｐ−Ｖｍａｘを求める。この時、５μｍ乃至５００μｍの周期範囲として、最大値Ｐ−Ｖｍａｘは、基準長における輪郭曲線の山の高さ最大値と谷の深さの最大値と和し、ＪＩＳ Ｂ ０６０１−２００１の最大高さＲｚに準拠して求められる値である。

内周端面における真円度は、例えば、ラウンドテスト型式ＲＡ−Ｈ１５００Ａ（ミツトヨ（株））等を用いて測定することができる。また、同心度は、ＣＦエッジ１１の中心位置及び内周端面の最内周２０の中心位置をそれぞれの測定方法で求めた外周端面の最外周を基準とする座標に換算する。次に、それぞれの測定方法で求めた外周端面の最外周を重ね合わせ、それぞれの中心位置の座標から中心間の距離を求めて同心度とすることができる。

本発明のガラス基板においては、ＣＦエッジ１１の真円度が２μｍ以下である。ＣＦエッジの円周方向のうねり最大値Ｐ−Ｖｍａｘが０．１μｍ以下が好ましい。また、内周端面の最内周２０の真円度が５μｍ以下が好ましい。更に、同心度は５μｍ以下が好ましい。

ガラス基板に磁性膜を設けて磁気ディスクとしてハードディスク駆動装置に組み込む場合、ＣＦエッジ１１を基準にして磁気ディスクをスピンドルモータの回転軸（ハブ）に取り付ける場合を考える。ＣＦエッジ１１の真円度が２μｍ以下であるため、磁気ディスクのＣＦエッジ１１の径方向の振れを２μｍ以下とすることができる。よって、ＬＵＬ方式のハードディスク駆動装置の場合、ランプと磁気ディスクのＣＦエッジ１１との間隔変動を２μｍ以下とすることができる。従って、ＬＵＬ動作時に磁気ヘッドの離陸・着陸位置を一定の範囲内にすることができ、ＬＵＬ動作を安定して行うことができる。また、ＬＵＬ時に要する時間変動が抑えられ磁気ヘッドの高速駆動時の信頼性も向上させることが出来る。更に、ＣＦエッジの円周方向のうねり最大値Ｐ−Ｖｍａｘが０．１μｍ以下とすることで、上記のＬＵＬ動作を安定や磁気ヘッドの高速駆動時の信頼性をより良好とすることができる。

また、ガラス基板１の内周端面の最内周２０の真円度を５μｍ以下とするのが好ましく、更に、ガラス基板１のＣＦエッジ１１の中心と内周端面の最内周２０の中心との距離である同心度を５μｍ以下とするのが好ましい。このようにすると、ＣＦエッジ１１を基準にガラス基板１をＳＰＭのハブに固定する際、内周端面の最内周２０がハブの外周と大きく偏ることなく適度な間隔を持ってバランス良く配置することができる。このため、ガラス基板をハブに容易に安定した状態で取り付け、固定することができる。

（磁気記録媒体用ガラス基板の製造工程）
磁気記録媒体用ガラス基板の製造について説明する。図３に、磁気記録媒体用ガラス基板の製造工程の例をフロー図で示す。まず、ガラス素材を溶融し（ガラス溶融工程）、溶融ガラスを下型に流し込み、上型によってプレス成形して円盤状のガラス基板前駆体を得る（プレス成形工程）。なお、円盤状のガラス基板前駆体は、プレス成形によらず、例えばダウンドロー法やフロート法で形成したシートガラスを研削砥石で切り出して作製してもよい。

プレス成形されたガラス基板前駆体には、ダイヤモンド砥石で構成されているコアドリル等でドーナツ形状にする（コアリング工程）。コアリング工程において、ガラス基板前駆体に対して内周と外周とを同時に加工するコアリング装置の例を図４に示す。コアリング装置は、大きくは、一体型コアドリル５０と保持シャフト５９と保持台４０とから構成される。また、一体型コアドリル５０を刃先側から見た様子を図５に示す。

図４、図５に示す様に、一体型コアドリル５０は、内周刃５２と外周刃５６とが一体的に構成されている。すなわち、内周刃５２及び外周刃５６は、それぞれ円筒形状をしており、それらの上端部分が互いに連結され、下端部分が開放状態である。内周刃５２の上面部には、保持シャフト５９が回転軸６０の上下方向にスライド移動できる貫通穴が設けてある。内周刃５２及び外周刃５６の下端部分は、刃先５３及び刃先５７がそれぞれ形成してある。内周刃５２の回転軸と外周刃５６の回転軸と保持シャフト５９とは、回転軸６０を中心にした同心円を描いている。

保持シャフト５９は、保持台４０の上に積載した複数のガラス基板前駆体７２の積層体７０を下向きに押圧することができる。こうすることにより、コアドリルによる外周・内周加工において、ガラス基板前駆体７２が保持台４０に固定することができるとともに、コアドリル５０の回転軸６０がガラス基板前駆体７２を介して保持台４０で支持される。従って、コアドリル５０を軸ブレすることなく安定して回転させることができる。

保持シャフト５９でガラス基板前駆体７２の積層体７０を保持台４０に保持した状態で、コアドリル５０を押下することで積層体７０は、外周、内周が同時に加工されドーナツ状のガラス基板を得ることができる。このように一体型コアドリル５０を用いて外周、内周を同時にガラス基板前駆体を加工すると、製造工程の初期の段階で、完成品である磁気記録媒体用ガラス基板の外周端面の最外周の真円度、内周端面の最内周の真円度、及び同心度を良好にすることができる。

図３に戻って、ガラス基板の両表面を例えばダイヤモンドペレットを用いた公知の両面研磨機に研削液を供給しながら研磨加工し、ガラス基板の全体形状、すなわちガラス基板の平行度、平坦度および厚みを予備調整する（第１ラッピング工程）。

次に、ガラス基板の外周端面および内周端面を、研削し面取りして、ガラス基板の外径寸法および真円度、穴の内径寸法、並びにガラス基板の外周端面の最外周と内周端面の最内周との同心度を微調整する（内・外径加工工程）。内・外径加工は、例えば、特開２００６−５５９８５号公報に記載されているディスク基板の周縁研削装置等を用いることができる。この装置は、ガラス基板を回転させた状態で保持し、内周研削用回転砥石、外周研削用回転砥石をＮＣ制御により移動させて、ガラス基板の外周端面、内周端面を研削加工することができる。

この後、ガラス基板の内周端面を研磨して微細なキズ等を除去する（内周端面加工工程）。この内周端面加工工程及び後述の外周端面加工は、研磨剤を用いたブラシ研磨等で行うものであって、加工による形状変化はほとんどなく表面を鏡面化する。

次に、ガラス基板の両表面を第１ラッピング工程より目の細かいダイヤモンドペレットを用いて再び研磨加工して、ガラス基板の平行度、平面度および厚みを微調整する（第２ラッピング工程）。次に、ガラス基板の外周端面を研磨して微細なキズ等を除去する（外周端面加工工程）。

次に、ガラス基板を洗浄した後、耐衝撃性や耐振動性等の向上を目的として、化学強化液にガラス基板を浸漬してガラス基板に化学強化層を形成する（化学強化工程）。化学強化方法としては、従来より公知の化学強化法であれば特に制限されないが、例えば、ガラス転移点の観点から転移温度を超えない領域でイオン交換を行う低温型化学強化などが好ましい。化学強化に用いるアルカリ溶融塩としては、硝酸カリウム、硝酸ナトリウム、あるいは、それらを混合した硝酸塩などが挙げられる。

この後、ガラス基板の表面をパッドにウレタン発泡やスウェード等を用いた公知の両面研磨機に酸化セリウム等を研磨剤とする研磨液を供給しながら精密に仕上げる研磨加工を行う（ポリッシング工程）。ポリッシング工程は、製造効率や必要な面粗さ等によりパッドや研磨剤を変えて第１ポリッシング工程、第２ポリッシング工程のように複数の工程に分けても良い。使用するパッドや研磨液、研磨機の設定条件を調整することで面粗さをＲｚ（最大高さ）が２ｎｍから６ｎｍ、Ｒａ（算術平均粗さ）が０．２ｎｍから０．４ｎｍの範囲とすることができる。尚、平面度は５μｍ以下とすることができる。そして洗浄工程及び検査工程を経て、製品としての磁気記録媒体用ガラス基板となる。

ここで、Ｒａ（算術平均粗さ）、Ｒｚ（最大高さ）は、ＪＩＳ Ｂ０６０１ ２００１で規定されている。これらは、原子間力顕微鏡（ＡＦＭ）等により測定することができる。

尚、磁気記録媒体用ガラス基板の製造方法においては、上記以外の種々の工程を有していても良い。例えば、ガラス基板の内部歪みを緩和するためのアニール工程、ガラス基板の強度の信頼性確認のためのヒートショック工程、ガラス基板の表面に残った研磨剤や化学強化処理液等の異物を除去する洗浄工程、種々の検査・評価工程等を有していても良い。また、ポリッシング工程によって、ガラス基板の表面の化学強化された領域が減少するが、ポリッシング工程の後のガラス基板の表面に化学強化された領域が残っているか否か、あるいは残っている強化された領域の厚みについては制限はない。

このようにして、磁気記録媒体用ガラス基板は製造される。本発明の磁気記録媒体用ガラス基板のＣＦエッジの真円度、ＣＦエッジの円周方向のうねり、内周端の最内周の真円度及び同心度は、コアリング工程、内・外径加工工程、内周端面加工工程及び外周端面加工工程での条件を適宜調整することにより得られる。

（ガラス基板の材料）
ガラス基板の材料としては、イオン交換による化学強化が可能なガラスであれば特に制限はない。例えば、ＳｉＯ₂、Ｎａ₂Ｏ、ＣａＯを主成分としたソーダライムガラス；ＳｉＯ₂、Ａｌ₂Ｏ₃、Ｒ₂Ｏ（Ｒ＝Ｋ、Ｎａ、Ｌｉ）を主成分としたアルミノシリケートガラス；ボロシリケートガラス；Ｌｉ₂Ｏ−ＳｉＯ₂系ガラス；Ｌｉ₂Ｏ−Ａｌ₂Ｏ₃−ＳｉＯ₂系ガラス；Ｒ’Ｏ−Ａｌ₂Ｏ₃−ＳｉＯ₂系ガラス（Ｒ’＝Ｍｇ、Ｃａ、Ｓｒ、Ｂａ）などを使用することができる。中でも、アルミノシリケートガラスやボロシリケートガラスは、耐衝撃性や耐振動性に優れるため特に好ましい。

（磁気記録媒体）
本発明の磁気記録媒体用ガラス基板１は、このガラス基板１の表面に磁性膜（図示しない）を設けて磁気記録媒体（磁気ディスク）とするのが好ましい。

磁性膜に用いる磁性材料としては、特に限定はなく公知の材料を適宜選択して用いることができる。例えば、Ｃｏを主成分とするＣｏＰｔ、ＣｏＣｒ、ＣｏＮｉ、ＣｏＮｉＣｒ、ＣｏＣｒＴａ、ＣｏＰｔＣｒ、ＣｏＮｉＰｔ、ＣｏＮｉＣｒＰｔ、ＣｏＮｉＣｒＴａ、ＣｏＣｒＰｔＴａ、ＣｏＣｒＰｔＳｉＯなどが挙げられる。また、磁性膜を非磁性膜（例えば、Ｃｒ、ＣｒＭｏ、ＣｒＶなど）で分割してノイズの低減を図った多層構成としてもよい。

磁性膜として、上記のＣｏ系材料の他、フェライト系や鉄−希土類系の材料や、ＳｉＯ₂、ＢＮなどからなる非磁性膜中にＦｅ、Ｃｏ、ＣｏＦｅ、ＣｏＮｉＰｔ等の磁性粒子が分散された構造のグラニュラーなどを用いることもできる。磁性層は、面内型、垂直型の何れであっても良い。

磁性膜の形成方法としては、公知の方法を用いることができる。例えば、スパッタリング法、無電解メッキ法、スピンコート法などが挙げられる。

磁気記録媒体Ｄには、更に必要により下地層、保護層、潤滑層等を設けても良い。これらの層はいずれも公知の材料を適宜選択して用いることができる。下地層の材料としては、例えば、Ｃｒ、Ｍｏ、Ｔａ、Ｔｉ、Ｗ、Ｖ、Ｂ、Ａｌ、Ｎｉなどが挙げられる。保護層の材料としては、例えば、Ｃｒ、Ｃｒ合金、Ｃ、ＺｒＯ₂、ＳｉＯ₂などが挙げられる。また、潤滑層としては、例えば、パーフロロポリエーテル（ＰＦＰＥ）等からなる液体潤滑剤を塗布し、必要に応じ加熱処理を行ったものなどが挙げられる。

磁気記録媒体用ガラス基板として、図３の製造工程に沿って外径φ１＝６５ｍｍ、内径φ２＝２０ｍｍ、板厚ｄ＝０．６３５ｍｍのアルミノシリケートガラス基板を製造した。

具体的には、ＳｉＯ₂、Ａｌ₂Ｏ₃、Ｒ₂Ｏ（Ｒ＝Ｋ、Ｎａ、Ｌｉ）を主成分とするガラス素材を溶融し（ガラス溶融工程）、溶融ガラスを下型に流し込み、上型によってプレス成形して円盤状のガラス基板前駆体を得た（プレス成形工程）。

プレス成形したガラス基板前駆体に対して、図４に示すコアリング装置を用いて内周と外周とを同時に加工してドーナツ形状とした。（コアリング工程）。次に、ガラス基板の両表面をダイヤモンドペレットを備えた公知の両面研磨機にて研削液を供給しながら研磨加工し、ガラス基板の平行度、平坦度および厚みを予備調整した（第１ラッピング工程）。

次に、ガラス基板の外周端面および内周端面を鼓状のダイヤモンド砥石を備えた周縁研削装置にて研削し約０．１ｍｍの面取りをした。（内・外径加工工程）。

次に、ガラス基板の内周端面を研磨液を供給しながらブラシ研磨を行い微細なキズ等を除去した（内周端面加工工程）。

次に、ガラス基板の両表面を第１ラッピング工程より目が細かいダイヤモンドペレットを備えた公知の両面研磨機にて研削液を供給しながら再び研磨加工して、ガラス基板の平行度、平坦度および厚みを微調整した（第２ラッピング工程）。そして、ガラス基板の外周端面を研磨液を供給しながらブラシ研磨を行い微細なキズ等を除去した（外周端面加工工程）。外周端面加工工程は、上記の内周端面加工工程と同じく、端面及び面取り部をより精密に研磨して鏡面状態に仕上げるためであるので、ＣＦエッジの形状への影響はない。

次に、ガラス基板を洗浄した後、化学強化液にガラス基板を浸漬してガラス基板に化学強化層を形成した（化学強化工程）。化学強化液は、ＮａＮＯ₃とＫＮＯ₃とを質量比１：９の割合とした化学強化剤を化学強化槽に投入し３３０℃に加熱したものとした。

この後、ガラス基板の表面をパッドを備えた公知の両面研磨機にて研磨液を供給しながら精密に仕上げる研磨加工を行った（ポリッシング工程）。そして洗浄及び検査が行われ、磁気記録媒体用ガラス基板を完成させた。

加工したガラス基板の全てにおいて、平面度は、４μｍ以下、面粗さはＲｚが２ｎｍから６ｎｍ、Ｒａが０．２ｎｍから０．４ｎｍの範囲であった。

コアリング工程における加工条件は、内周刃及び外周刃のダイヤモンド砥石の粗さを＃６００と細かい目に設定し加工装置の精度を損なわない様に回転数を設定し、加工状態を観察しながら切り込み量を調整して加工を行った。

内・外径加工工程では周縁研削装置を用い、条件式（１）に沿って条件を変えて加工を行った。
（Ｌ×Ｙ）／Ｘ （１）
但し、
Ｘ：ダイヤモンド砥石の粗さ
外径砥石に設定する粗さＸの範囲：３００番から５００番
内径砥石に設定する粗さＸの範囲：２５０番から４００番
Ｌ：砥石の直径Ｌ
外径砥石の直径Ｌ：９９ｍｍ
内径砥石の直径Ｌ：１６．２ｍｍ
Ｙ：砥石の回転速度
外径砥石に設定する回転数Ｙの範囲：３０００ｒｐｍから５０００ｒｐｍ
内径砥石に設定する回転数Ｙの範囲：１００００ｒｐｍから１５０００ｒｐｍ
従って、外径加工条件及び内径加工条件における条件式（１）を満たす範囲は次の通りとなる。尚、数値の単位は「ｍｍ・ｒｐｍ／番」となるが省略する。
外径加工条件範囲：５９４から１６５０
内径加工条件範囲：４０５から９７２
上記の外径加工条件範囲及び内径加工条件範囲は、これまでの発明者らの経験から良好な生産性を保ち且つ良好なうねり、真円度が達成出来ると予想される範囲であって、この条件範囲で条件値を変えて加工を行った結果、以下の結果が得られた。
（１）外周加工条件を５９４から１１００の範囲でＣＦエッジの真円度を２μｍ以下とすることができる。
（２）外周加工条件を５９４から９００の範囲で、ＣＦエッジの真円度を２μｍ以下、且つ、うねりを０．１μｍ以下とすることができる。
（３）内周加工条件を４０５から７００の範囲で内周端面の最内周の真円度を５μｍ以下とすることができる。
（４）外周加工条件を５９４から１１００の範囲、且つ、内周加工条件を４０５から５５０の範囲で、同心度５μｍ以下とすることができる。

真円度、同心度は、フィゾー型レーザ干渉計型式ＷＹＫＯ−４００Ｇ（ＷＹＫＯ社、画像解析ソフトウエアを含む）、ラウンドテスト型式ＲＡ−Ｈ１５００Ａ（ミツトヨ（株））を用いて測定した。またうねり最大値Ｐ−Ｖｍａｘは、ＷＹＫＯ−４００Ｇ（画像解析ソフトウエア含む）を用いて測定した。

上記の加工条件を踏まえて、外径加工条件、内径加工条件を組み合わせてサンプルＮｏ．１からＮｏ．８の加工を行った。この加工結果を表１に示す。

この後、ガラス基板を洗浄した後、このガラス基板に磁性膜を設けて磁気記録媒体とした。磁性膜は、ガラス基板側から、Ｎｉ−Ａｌからなる下地層（厚み約１００ｎｍ）、Ｃｏ−Ｃｒ−Ｐｔからなる記録層（厚み２０ｎｍ）、ＤＬＣ（Ｄｉａｍｏｎｄ Ｌｉｋｅ Ｃａｒｂｏｎ）からなる保護膜（厚み５ｎｍ）を順次積層した。

ここで、ガラス基板の表面に磁性膜を設けて磁気記録媒体としているが、積層されている膜厚は上記の通り約０．１２５μｍと薄く、ガラス基板の状態で測定した上記の真円度、同心度の測定値は、磁性膜を設けることによる影響をほとんど受けることはないため、磁気記録媒体においても同じ値として扱うことができる。

完成したサンプルＮｏ．１からＮｏ．９の磁気記録媒体をＳＰＭのハブに固定し磁気ディスク記録装置に組み込み、ＬＵＬ動作を繰り返し行うＬＵＬ耐久試験をした。この結果、を表１の判定でＬＵＬ動作の欄に示し、この欄の記号は以下を示している。
◎：良好なＬＵＬ動作の繰り返し回数が７０万回以上であった。
○：良好なＬＵＬ動作の繰り返し回数が５０万回以上であった。
×：良好なＬＵＬ動作の繰り返し回数が５０万回未満であった。

また、磁気記録媒体の内周端面の最内周がハブにバランス良く配置できるか否かを、ＣＦエッジを基準に磁気記録媒体をハブに挿入して固定することが容易であったか否かにて判定した。この結果を表１の判定で取り付けの欄に示し、この欄の記号は以下を示している。
○：容易であった。
×：容易でなかった。

磁気記録媒体用ガラス基板のＣＦエッジの真円度、内周端面の最内周の真円度及び同心度を説明する図である。 （ａ）は磁気記録媒体用ガラス基板の厚み方向から見た図を示し、（ｂ）は（ａ）に示すＡ−Ａ’における断面を示す図である。 記録媒体用ガラス基板の製造工程の例をフロー図で示す図である。 コアリング工程で使用するコアリング装置を説明する図である。 コアリング装置で使用する内周刃と外周刃とが一体となっている一体型コアドリルを説明する図である。

符号の説明

１ 磁気記録媒体用ガラス基板（ガラス基板）
５ 穴
７ 主表面
１０ 外周端面の最外周
１０ｔ 外周端面
１１ ＣＦエッジ
１２ ＣＦエッジに外接する円
１４ ＣＦエッジに内接する円
１６ ＣＦエッジの中心
２０ 内周端面の最内周
２０ｔ 内周端面
２２ 内周端面に外接する円
２４ 内周端面に内接する円
２６ 内周端面の中心

Claims (5)

1. 内周端面と外周端面とを面取り部を介して接続される表裏２つの主表面とでドーナツ状の円板を構成し、
   前記内周端面が成す穴に、情報記録装置を構成するスピンドルモータの回転自在なハブが嵌合して挿通され、該ハブに固定されるＬＵＬ方式で使用される磁気記録媒体に用いられる磁気記録媒体用ガラス基板において、
   前記外周端面と接続される前記面取り部と前記主表面との境界であるＣＦエッジの真円度が２μｍ以下であることを特徴とする磁気記録媒体用ガラス基板。
2. 前記境界の円周方向のうねりは、５μｍ乃至５００μｍの周期範囲で、最大値Ｐ−Ｖｍａｘが０．１μｍ以下であることを特徴とする請求項１に記載の磁気記録媒体用ガラス基板。
3. 前記内周端面の最内周の真円度が５μｍ以下であることを特徴とする請求項１又は２に記載の磁気記録媒体用ガラス基板。
4. 前記境界の中心と前記内周端面の最内周の中心との距離である同心度が５μｍ以下であることを特徴とする請求項１乃至３の何れか一項に記載の磁気記録媒体用ガラス基板。
5. 請求項１乃至４の何れか一項に記載の磁気記録媒体用ガラス基板の表面に磁性膜を有することを特徴とする磁気記録媒体。

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