JP3206701B2 - 磁気記録媒体の製造方法 - Google Patents
磁気記録媒体の製造方法Info
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- JP3206701B2 JP3206701B2 JP20626894A JP20626894A JP3206701B2 JP 3206701 B2 JP3206701 B2 JP 3206701B2 JP 20626894 A JP20626894 A JP 20626894A JP 20626894 A JP20626894 A JP 20626894A JP 3206701 B2 JP3206701 B2 JP 3206701B2
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- Finish Polishing, Edge Sharpening, And Grinding By Specific Grinding Devices (AREA)
- Manufacturing Of Magnetic Record Carriers (AREA)
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は、情報処理装置の外部
記憶装置としての固定磁気ディスク装置などに用いられ
る磁気ディスクなどの磁気記録媒体の製造方法に関す
る。
記憶装置としての固定磁気ディスク装置などに用いられ
る磁気ディスクなどの磁気記録媒体の製造方法に関す
る。
【０００２】
【従来の技術】近年、コンピュータなどの情報処理装置
の外部記憶装置として固定磁気ディスク装置が多く用い
られている。この固定磁気ディスク装置に搭載される磁
気記録媒体としての磁気ディスクは、一般に、ディスク
状の非磁性材料，例えばアルミニウム合金やガラスから
なる基板の表面に無電解めっき法でＮｉ−Ｐ膜を形成し
た非磁性基体上に、スパッタ法でＣｒからなる非磁性金
属下地層，Ｃｏ合金からなる薄膜磁性層，アモルファス
カーボンからなる保護膜を順次成膜積層し、その上に液
体潤滑剤を塗布した潤滑層を形成して構成されている。
の外部記憶装置として固定磁気ディスク装置が多く用い
られている。この固定磁気ディスク装置に搭載される磁
気記録媒体としての磁気ディスクは、一般に、ディスク
状の非磁性材料，例えばアルミニウム合金やガラスから
なる基板の表面に無電解めっき法でＮｉ−Ｐ膜を形成し
た非磁性基体上に、スパッタ法でＣｒからなる非磁性金
属下地層，Ｃｏ合金からなる薄膜磁性層，アモルファス
カーボンからなる保護膜を順次成膜積層し、その上に液
体潤滑剤を塗布した潤滑層を形成して構成されている。
【０００３】このような磁気記録媒体の製造に際して、
非磁性基体表面は、鏡面研磨され、洗浄された後、媒体
の耐久性，磁気特性を高めるために、ディスクのほぼ円
周方向に溝を形成するテクスチャー加工が施される。こ
のようなテクスチャー加工は、通常、基体を数十ｒｐｍ
〜数百ｒｐｍで回転させながらその表面に研磨テープを
押しつけ圧１ｋｇ／ｃｍ2 〜４ｋｇ／ｃｍ2 で押し当て
て研磨する，いわゆるテープテクスチャー加工によって
行われている。このときに基体表面と研磨テープとの接
触部付近に研削液が流されるが、従来、研削液の温度は
特に管理されておらず、加工環境の温度とほぼ等しく２
０℃〜２５℃程度であった。
非磁性基体表面は、鏡面研磨され、洗浄された後、媒体
の耐久性，磁気特性を高めるために、ディスクのほぼ円
周方向に溝を形成するテクスチャー加工が施される。こ
のようなテクスチャー加工は、通常、基体を数十ｒｐｍ
〜数百ｒｐｍで回転させながらその表面に研磨テープを
押しつけ圧１ｋｇ／ｃｍ2 〜４ｋｇ／ｃｍ2 で押し当て
て研磨する，いわゆるテープテクスチャー加工によって
行われている。このときに基体表面と研磨テープとの接
触部付近に研削液が流されるが、従来、研削液の温度は
特に管理されておらず、加工環境の温度とほぼ等しく２
０℃〜２５℃程度であった。
【０００４】また、テクスチャー加工を二段階とし、一
段目として上述のテープテクスチャー加工を行い、続い
て二段目として回転している基体表面に押しつけた植毛
テープに研削液に研磨砥粒を分散浮遊させたスラリーを
滴下しながら研磨する，いわゆるスラリーテクスチャー
を施すことも行われている。
段目として上述のテープテクスチャー加工を行い、続い
て二段目として回転している基体表面に押しつけた植毛
テープに研削液に研磨砥粒を分散浮遊させたスラリーを
滴下しながら研磨する，いわゆるスラリーテクスチャー
を施すことも行われている。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】上述のテープテクスチ
ャー加工において、研磨テープとしては、従来、一般的
に、ポリエステル樹脂製のフィルムにポリエステル樹脂
系の接着剤に混合された研磨砥粒が付着されてなる研磨
テープが用いられてきた。ところが、フィルムや接着剤
は比較的硬く、研磨テープ表面に特に突出している砥粒
が存在した場合、研磨に際して基体表面に深い溝が形成
され、このような異常に深い溝のある基体を用いた媒体
では、情報を記録する際に溝に起因する欠陥が生じると
いう問題があった。また、このような突出している砥粒
によって深く掘り起こされるときに生じる基体表面のバ
リは記録・再生ヘッドの安定な浮上走行を妨げるもので
あった。
ャー加工において、研磨テープとしては、従来、一般的
に、ポリエステル樹脂製のフィルムにポリエステル樹脂
系の接着剤に混合された研磨砥粒が付着されてなる研磨
テープが用いられてきた。ところが、フィルムや接着剤
は比較的硬く、研磨テープ表面に特に突出している砥粒
が存在した場合、研磨に際して基体表面に深い溝が形成
され、このような異常に深い溝のある基体を用いた媒体
では、情報を記録する際に溝に起因する欠陥が生じると
いう問題があった。また、このような突出している砥粒
によって深く掘り起こされるときに生じる基体表面のバ
リは記録・再生ヘッドの安定な浮上走行を妨げるもので
あった。
【０００６】この発明は、上述の点に鑑みてなされたも
のであって、研磨テープ表面に特に突出している砥粒が
存在した場合でも、基体表面に問題となるような深い溝
やバリを形成しないようにテープテクスチャー加工を施
すことができる磁気記録媒体の製造方法を提供すること
を目的とする。
のであって、研磨テープ表面に特に突出している砥粒が
存在した場合でも、基体表面に問題となるような深い溝
やバリを形成しないようにテープテクスチャー加工を施
すことができる磁気記録媒体の製造方法を提供すること
を目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】上記の課題は、この発明
によれば、非磁性基体を回転させながらその表面に研磨
テープを押しつけて研磨を行うテクスチャー加工工程を
含む磁気記録媒体の製造方法において、前記非磁性基体
表面と研磨テープとの接触面に流す研削液の温度を４０
℃以上としてテクスチャー加工を行うことによって解決
される。
によれば、非磁性基体を回転させながらその表面に研磨
テープを押しつけて研磨を行うテクスチャー加工工程を
含む磁気記録媒体の製造方法において、前記非磁性基体
表面と研磨テープとの接触面に流す研削液の温度を４０
℃以上としてテクスチャー加工を行うことによって解決
される。
【０００８】この場合の非磁性基体は非磁性基板表面に
無電解めっき法でＮｉ−Ｐ膜が形成されてなるものでよ
く、非磁性基板の材質はアルミニウム合金でもよく，あ
るいはガラスであってもよい。
無電解めっき法でＮｉ−Ｐ膜が形成されてなるものでよ
く、非磁性基板の材質はアルミニウム合金でもよく，あ
るいはガラスであってもよい。
【０００９】
【作用】非磁性基体表面のテープテクスチャー加工に際
して、温度を高めた研削液を用いることにより研磨テー
プのベースフィルムや接着剤は軟らかくなり、研磨テー
プ表面の特に突出した大きな砥粒は研磨テープが基体に
押しつけられたときにベースフィルム側に沈み込み、基
体表面に深い溝を形成することがなくなり、バリの発生
も防止することができる。
して、温度を高めた研削液を用いることにより研磨テー
プのベースフィルムや接着剤は軟らかくなり、研磨テー
プ表面の特に突出した大きな砥粒は研磨テープが基体に
押しつけられたときにベースフィルム側に沈み込み、基
体表面に深い溝を形成することがなくなり、バリの発生
も防止することができる。
【００１０】研削液の温度は４０℃以上にすると異常に
深い溝が形成されなくなり、深い溝に起因する情報記録
時のエラーが発生しなくなるので好適である。しかし、
研削液は鉱油を主体とし、これに界面活性剤，有機アミ
ン，水などを添加したものであり、あまり高温にするこ
とは好ましくなく、６０℃程度以下が望ましく、上限は
７０℃程度を超えない方がよい。
深い溝が形成されなくなり、深い溝に起因する情報記録
時のエラーが発生しなくなるので好適である。しかし、
研削液は鉱油を主体とし、これに界面活性剤，有機アミ
ン，水などを添加したものであり、あまり高温にするこ
とは好ましくなく、６０℃程度以下が望ましく、上限は
７０℃程度を超えない方がよい。
【００１１】
【実施例】以下、この発明の実施例について説明する
が、この発明はその要旨を損なわない限り、以下の実施
例に制約されるものではない。 実施例１ ３．５インチ磁気ディスク用のディスク状アルミニウム
合金基板（外径９５ｍｍ）の表面に無電解めっき法で膜
厚１２μｍのＮｉ−Ｐ皮膜を形成して非磁性基体とす
る。この基体表面を鏡面研磨し、洗浄した後、基体を１
００ｒｐｍで回転させながら、その表面に平均砥粒径２
μｍのホワイトアランダム砥粒の研磨テープを１．５ｋ
ｇ／ｃｍ2 の圧力で押しつけて接触部付近に研削液を流
しながら研磨し、一段目のテープテクスチャー加工を行
う。続いて、回転している基体表面に押しつけた植毛テ
ープに平均砥粒径１μｍのホワイトアランダム砥粒を研
削液に分散浮遊させたスラリーを滴下しながら研磨する
二段目のスラリーテクスチャー加工を行う。
が、この発明はその要旨を損なわない限り、以下の実施
例に制約されるものではない。 実施例１ ３．５インチ磁気ディスク用のディスク状アルミニウム
合金基板（外径９５ｍｍ）の表面に無電解めっき法で膜
厚１２μｍのＮｉ−Ｐ皮膜を形成して非磁性基体とす
る。この基体表面を鏡面研磨し、洗浄した後、基体を１
００ｒｐｍで回転させながら、その表面に平均砥粒径２
μｍのホワイトアランダム砥粒の研磨テープを１．５ｋ
ｇ／ｃｍ2 の圧力で押しつけて接触部付近に研削液を流
しながら研磨し、一段目のテープテクスチャー加工を行
う。続いて、回転している基体表面に押しつけた植毛テ
ープに平均砥粒径１μｍのホワイトアランダム砥粒を研
削液に分散浮遊させたスラリーを滴下しながら研磨する
二段目のスラリーテクスチャー加工を行う。
【００１２】この一段目のテープテクスチャー加工にお
いて、研削液として、市販の一般的な研削液（通常、鉱
油に界面活性剤，有機アミン，塩素系極圧剤，防腐剤，
防蝕剤，水などを添加したもの）を純水により３０倍に
希釈した液を種々の温度に加熱して用いた。テクスチャ
ー加工後の基体表面の溝の深さＲV を小坂研究所製の表
面粗さ計（型式ＥＴ−３０Ｋ）により測定し、研削液温
度との関係を調べた。その結果を図１に示す。図１にお
いて、横軸は研削液の温度、縦軸は各研削液温度での最
大の溝の深さＲV を示す。図１に見られるように、研削
液の温度が高い程最大の溝の深さＲV の値が小さくなっ
ている。
いて、研削液として、市販の一般的な研削液（通常、鉱
油に界面活性剤，有機アミン，塩素系極圧剤，防腐剤，
防蝕剤，水などを添加したもの）を純水により３０倍に
希釈した液を種々の温度に加熱して用いた。テクスチャ
ー加工後の基体表面の溝の深さＲV を小坂研究所製の表
面粗さ計（型式ＥＴ−３０Ｋ）により測定し、研削液温
度との関係を調べた。その結果を図１に示す。図１にお
いて、横軸は研削液の温度、縦軸は各研削液温度での最
大の溝の深さＲV を示す。図１に見られるように、研削
液の温度が高い程最大の溝の深さＲV の値が小さくなっ
ている。
【００１３】上述のようなテクスチャー加工を施した基
体を精密洗浄した後、その上にスパッタ法で非磁性金属
下地層としてのＣｒ層（膜厚約１００ｎｍ），磁性層と
してのＣｏ合金層（膜厚約５０ｎｍ），保護膜としての
カーボン膜（膜厚約１５ｎｍ）を順次形成し、さらに、
その上にパーフルオロポリエーテル系の液体潤滑剤を約
２ｎｍの厚さに塗布して潤滑層を形成し磁気記録媒体を
作製した。
体を精密洗浄した後、その上にスパッタ法で非磁性金属
下地層としてのＣｒ層（膜厚約１００ｎｍ），磁性層と
してのＣｏ合金層（膜厚約５０ｎｍ），保護膜としての
カーボン膜（膜厚約１５ｎｍ）を順次形成し、さらに、
その上にパーフルオロポリエーテル系の液体潤滑剤を約
２ｎｍの厚さに塗布して潤滑層を形成し磁気記録媒体を
作製した。
【００１４】このようにして作製した各磁気記録媒体に
ついて、エラー個数を調べた。その結果を図２に示す。
図２に見られるように、エラー個数は一段目のテープテ
クスチャー加工時の研削液温度が高い程減少し、４０℃
以上では検出されなかった。さらに記録・再生ヘッドの
最小安定走行浮上量を評価したところ、図３に示すよう
に、研削液温度が高い程減少していた。
ついて、エラー個数を調べた。その結果を図２に示す。
図２に見られるように、エラー個数は一段目のテープテ
クスチャー加工時の研削液温度が高い程減少し、４０℃
以上では検出されなかった。さらに記録・再生ヘッドの
最小安定走行浮上量を評価したところ、図３に示すよう
に、研削液温度が高い程減少していた。
【００１５】
【発明の効果】この発明によれば、非磁性基体表面の研
磨テープを用いて行うテープテクスチャー加工におい
て、研削液の温度を４０℃以上として加工を行うことに
より、研磨テープ表面に特に突出している砥粒が存在し
た場合でも、基体表面に問題となるような深い溝を形成
しないテクスチャー加工を施すことができ、エラー個数
が少なく、かつ、記録・再生ヘッドの安定走行浮上高さ
を低くすることができる磁気記録媒体を得ることが可能
となる。
磨テープを用いて行うテープテクスチャー加工におい
て、研削液の温度を４０℃以上として加工を行うことに
より、研磨テープ表面に特に突出している砥粒が存在し
た場合でも、基体表面に問題となるような深い溝を形成
しないテクスチャー加工を施すことができ、エラー個数
が少なく、かつ、記録・再生ヘッドの安定走行浮上高さ
を低くすることができる磁気記録媒体を得ることが可能
となる。
【図１】テープテクスチャー加工時の研削液温度とテク
スチャー後の基体表面のＲV との関係を示す線図
スチャー後の基体表面のＲV との関係を示す線図
【図２】テープテクスチャー加工時の研削液温度と磁気
記録媒体のエラー個数との関係を示す線図
記録媒体のエラー個数との関係を示す線図
【図３】テープテクスチャー加工時の研削液温度と記録
・再生ヘッドの最小安定走行浮上量との関係を示す線図
・再生ヘッドの最小安定走行浮上量との関係を示す線図
Claims (4)
- 【請求項１】非磁性基体を回転させながらその表面に研
磨テープを押しつけて研磨を行うテクスチャー加工工程
を含む磁気記録媒体の製造方法において、前記非磁性基
体表面と研磨テープとの接触面に流す研削液の温度を４
０℃以上としてテクスチャー加工を行うことを特徴とす
る磁気記録媒体の製造方法。 - 【請求項２】非磁性基体が非磁性基板表面に無電解めっ
き法でＮｉ−Ｐ膜が形成されてなることを特徴とする請
求項１記載の磁気記録媒体の製造方法。 - 【請求項３】非磁性基板の材質がアルミニウム合金であ
ることを特徴とする請求項２記載の磁気記録媒体の製造
方法。 - 【請求項４】非磁性基板の材質がガラスであることを特
徴とする請求項２記載の磁気記録媒体の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20626894A JP3206701B2 (ja) | 1994-08-31 | 1994-08-31 | 磁気記録媒体の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20626894A JP3206701B2 (ja) | 1994-08-31 | 1994-08-31 | 磁気記録媒体の製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0869620A JPH0869620A (ja) | 1996-03-12 |
| JP3206701B2 true JP3206701B2 (ja) | 2001-09-10 |
Family
ID=16520521
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP20626894A Expired - Fee Related JP3206701B2 (ja) | 1994-08-31 | 1994-08-31 | 磁気記録媒体の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3206701B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP4645129B2 (ja) * | 2004-09-29 | 2011-03-09 | 大同特殊鋼株式会社 | 表面欠陥が少ないマグネシウム合金コイルの製造方法 |
| US8607425B2 (en) | 2011-03-04 | 2013-12-17 | HGST Netherlands B.V. | Method for lubed tape burnish for producing thin lube media |
-
1994
- 1994-08-31 JP JP20626894A patent/JP3206701B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0869620A (ja) | 1996-03-12 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |