JP4560789B2 - 磁気ディスク基板の研磨方法 - Google Patents
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Description
磁気ディスク用ガラス基板を研磨する工程と、
研磨後に該ガラス基板をリンスする工程と、
前記リンス工程の後に第二のリンス液で追加リンスをする追加リンス工程を少なくとも含み、
前記研磨工程がコロイダルシリカを研磨砥粒の主成分として用い、研磨パッドを前記磁気ディスク用ガラス基板に当接させて行われる仕上げ研磨工程を含み、
前記リンス工程が仕上げ研磨工程直後に、定盤を停止せずにリンス液を流しながら前記研磨パッドを前記磁気ディスク用ガラス基板に当接させて行われ、このリンス工程で用いられるリンス液が界面活性剤を含有した純水であり、さらにアルカリを添加してpHが8〜12に調整されたものであり、
前記追加リンス工程が前記リンス工程直後に、該リンス工程に続けて、定盤を停止せずに第二のリンス液を流しながら前記研磨パッドを前記磁気ディスク用ガラス基板に当接させて行われ、前記追加リンス工程の第二のリンス液が、純水にアルカリを添加してpH8から12に調整されたリンス液であることを特徴とする。
本発明で使用しうるガラス基板は、例えば中心に円孔を有した円盤状をなす、磁気ディスク等の磁気情報記録媒体の基板として用いられるものである。この磁気記録媒体用ガラス基板の材料としては、特に限定されないが、ソーダライムガラス、アルミノシリケートガラス、ボロシリケートガラス、結晶化ガラス等が挙げられる。これらのガラス基板は、例えばフロート法、ダウンドロー法、リドロー法またはプレス法などの従来の手順で製造することができる。
研磨レート:10〜100nm/min
研磨時間:1〜20分
加工圧力:40〜120g/cm2
定盤回転数:上6〜15rpm、下20〜40rpm
スラリ供給量:50〜250cc/分
リンス時間:0.5〜5分
加工圧力:10〜50g/cm2
定盤回転数:上3〜15rpm、下10〜40rpm
リンス液供給量:0.5〜2L/分
平均粒径0.1μmのコロイダルシリカを約10重量%含み、pHが9.5に調整されたスラリを用いて、ガラス基板を表1の研磨条件で仕上げ研磨した。ここで、仕上げ研磨加工前の基板は、その前工程の粗研磨工程により、Ra=0.25nm程度になっている。
実施例のリンス液の代わりに、純水にNaOHを加えてpHを10.5にした水溶液を使用した。研磨条件、洗浄条件は、実施例1と同じ条件とした。
実施例および比較例で研磨して洗浄した基板の表面をAFMで評価した結果を図1に示す。AFMの測定条件を以下に示す。
測定エリア:10μm×10μm
解像度:512×512
走査速度:1Hz
評価項目:面平均粗さ(Ra)
リンス液のpHと、研磨/リンス能の関係を調査した。結果を表3に示した。界面活性剤を添加したリンス液は添加していない液に比べて、大きいパッドの洗浄効果が得られる。また、液性がpH8以下ではパッドの清浄性を保てず、基板自体にも残渣が残り易い傾向が有る。またpHが12を超えるとコロイダルシリカの分散状態が不安定になるため、研磨表面の粗さをコントロールできず、表面粗さのバラツキが大きくなる傾向がある。
本発明の研磨工程では、リンス工程後に研磨パッドに界面活性剤が残留するが、このようなパッドで、次の研磨を実施すると、スラリ本来の研磨特性が得られず、レートの低下や研磨表面の微小なうねりなどの悪影響が現れることがある。その対策として、界面活性剤でのリンス直後に、続けてアルカリ水溶液でリンスを実施することにより、パッドの残存界面活性剤濃度を減らし、研磨特性を安定に維持することができる。
Claims (2)
- 磁気ディスク用ガラス基板の研磨方法であって、
磁気ディスク用ガラス基板を研磨する工程と、
研磨後に該ガラス基板をリンスする工程と、
前記リンス工程の後に第二のリンス液で追加リンスをする追加リンス工程を少なくとも含み、
前記研磨工程がコロイダルシリカを研磨砥粒の主成分として用い、研磨パッドを前記磁気ディスク用ガラス基板に当接させて行われる仕上げ研磨工程を含み、
前記リンス工程が仕上げ研磨工程直後に、定盤を停止せずにリンス液を流しながら前記研磨パッドを前記磁気ディスク用ガラス基板に当接させて行われ、このリンス工程で用いられるリンス液が界面活性剤を含有した純水であり、さらにアルカリを添加してpHが8〜12に調整されたものであり、
前記追加リンス工程が前記リンス工程直後に、該リンス工程に続けて、定盤を停止せずに第二のリンス液を流しながら前記研磨パッドを前記磁気ディスク用ガラス基板に当接させて行われ、前記追加リンス工程の第二のリンス液が、純水にアルカリを添加してpH8から12に調整されたリンス液であることを特徴とする研磨方法。 - 前記仕上げ研磨工程の加工圧力が40〜120g/cm 2 であり、前記リンス工程の加工圧力が10〜50g/cm 2 であることを特徴とする請求項1に記載の研磨方法。
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