JP4723341B2 - 磁気記録媒体用ガラス基板および磁気ディスクの製造方法 - Google Patents
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Description
図2はエッチング液の検討を説明する図である。図に示すように、シュレック洗剤、珪フッ酸、フッ酸でそれぞれエッチングを行い、内周端面および外周端面の表面性状を比較した。外周端面については、化学処理をする前に鏡面研磨している。その結果、シュレック洗剤と珪フッ酸では、傷を消失または浅くさせるほどにはエッチングされていなかった。従って、本発明の目的を達成するためには、フッ酸を用いるのが適していると判断した。
図3は、エッチング量を強度から検討した様子を説明する図である。強度は、図3(a)に示す抗折強度試験機(島津オートグラフDDS−2000)を用いて計測した。すなわち、ガラス基板1は基板ホルダー20によって外周部を支持し、その内孔2に鋼球21を乗せて加圧器22によって加圧し、破壊損傷した際の加重を記録する。なお、このように中心部に加重をかけて試験をするのは、磁気ディスクは磁気記録媒体(ハードディスクなど)の内部において、内孔2に取り付けられたスピンドル(回転軸)のみによって支持されるからである。
ガラス基板の製造工程については後述するが、その概略を述べれば、(1)形状加工工程及び第1ラッピング工程、(2)切り出し工程(内孔を形成するコアリング工程と、内外周端面に面取部を形成するフォーミング工程)、(3)端面研磨工程(外周端面のみ)、(4)第2ラッピング工程、(5)主表面研磨工程(第1研磨、第2研磨)、(6)化学強化工程、(7)テクスチャー処理工程を備えている。なお、端面研磨工程と第2ラッピング工程は前後する場合もある。これらの工程において、上記化学処理は、少なくとも切り出し工程より後である必要がある。さらに、どの段階で化学処理を行うと最も良い結果が得られるかについて検討してみた。
この実施例においては、以下の工程を経て、磁気ディスク用ガラス基板および磁気ディスクを製造した。
まず、溶融させたアルミノシリケートガラスを上型、下型、胴型を用いたダイレクトプレスによりディスク形状に成型し、アモルファスの板状ガラスを得た。なお、アルミノシリケートガラスとしては、化学強化用のガラスを使用した。得られたディスク状の板状ガラスは、直径が96mm、板厚が1.8mmであった。この場合、ダイレクトプレス以外に、ダウンドロー法やフロート法で形成したシートガラスから研削砥石で切り出して円盤状の磁気ディスク用ガラス基板を得てもよい。なお、アルミノシリケートガラスとしては、SiO2:58〜75重量%、Al2O3:5〜23重量%、Li2O:3〜10重量%、Na2O:4〜13重量%を主成分として含有する化学強化ガラスを使用した。
次に、ダイヤモンドカッタを用いてガラス母材を切断し、このガラス母材から、直径29mmのガラス基板を切り出した。ガラス母材の直径は96mmであり、1枚のガラス母材から、6枚のガラス基板を採取することができた。
次に、ガラス基板の端面について、ブラシ研磨方法により、鏡面研磨を行った。このとき、研磨砥粒としては、酸化セリウム砥粒を含むスラリー(遊離砥粒)を用いた。次に、内周側端面については、磁気研磨法により鏡面研磨を行った。そして、端面研磨工程を終えたガラス基板を水洗浄した。この端面研磨工程により、ガラス基板の端面は、パーティクル等の発塵を防止できる鏡面状態に加工された。これによりガラス基板の直径は27.4mmとなり、1インチ型磁気ディスクに用いる基板とすることができる。
次に、得られたガラス基板の両主表面について、第1ラッピング工程と同様に、第2ラッピング加工を行った。この第2ラッピング工程を行うことにより、前工程である切り出し工程や端面研磨工程において主表面に形成された微細な凹凸形状を予め除去しておくことができ、後続の主表面に対する研磨工程を短時間で完了させることができるようになる。
次に、本発明の特徴である化学処理によるエッチングを行った。ガラス基板をフッ酸に約4分間浸漬し、6.9μmのエッチング量とした。
主表面研磨工程として、まず第1研磨工程を施した。この第1研磨工程は、前述のラッピング工程において主表面に残留したキズや歪みの除去を主たる目的とするものである。この第1研磨工程においては、遊星歯車機構を有する両面研磨装置により、硬質樹脂ポリッシャを用いて、主表面の研磨を行った。研磨剤としては、酸化セリウム砥粒を用いた。
次に、前述のラッピング工程及び研磨工程を終えたガラス基板に、化学強化を施した。化学強化は、硝酸カリウム(60%)と硝酸ナトリウム(40%)を混合した化学強化溶液を用意し、この化学強化溶液を400°Cに加熱しておくとともに、洗浄済みのガラス基板を300°Cに予熱し、化学強化溶液中に約3時間浸漬することによって行った。この浸漬の際には、ガラス基板の表面全体が化学強化されるようにするため、複数のガラス基板が端面で保持されるように、ホルダーに収納した状態で行った。
テープ式のテクスチャー装置を用いて、研磨、及び円周状テクスチャー処理を施した。テープには織物タイプのテープを、硬質研磨剤には平均粒径0.125μmの多結晶ダイヤモンドが分散剤・潤滑剤(グリセリン)に溶かしてあるスラリーを用いて行った。このテクスチャー工程の後に、前記研磨剤のダイヤモンドスラリーと分散剤(潤滑剤)を洗い流すため、超純水シャワーによる前洗浄を5秒間行った。
次に、テクスチャーを形成したガラスディスクの精密洗浄を行った。これはヘッドクラッシュやサーマルアスペリティ障害の原因となる研磨剤残渣や外来の鉄系コンタミなどを除去し、表面が平滑で清浄なガラス基板を得るためのものである。この精密洗浄工程は以下の一連の洗浄工程を含む。
上述した工程を経てテクスチャーを施されたガラス基板の両面に、枚葉式のスパッタリング装置を用いて、シード層、Cr下地層、CrMo下地層、CoPtCrTa磁性層、水素化カーボン保護層を成膜し、ディップ法によりパーフルオロポリエーテル潤滑層を形成して磁気ディスクを作製した。
図6(a)は、化学処理をした場合としない場合の端面の表面性状を電子顕微鏡(SEM)で観察した様子を示す図、図6(b)は化学処理をした場合としない場合の強度を比較した図である。なお電子顕微鏡は、磁性層を形成する前の段階で観察したものである。
2 …内孔
11 …外周端面
11a …平坦面
11b …面取部
12 …内周端面
12a …平坦面
12b …面取部
20 …基板ホルダー
21 …鋼球
22 …加圧器
30 …ビーカー
31 …支持部材
32 …ノズル
Claims (5)
- 内孔を有する円盤状の磁気ディスク用ガラス基板の製造方法において、
外周端面および内周端面に面取部を形成するフォーミング工程と、
外周端面を鏡面研磨する工程と、
主表面を荒削りするラッピング工程と、
外周端面および内周端面をエッチングする化学処理と、
主表面を鏡面研磨する主表面研磨工程とを、この順に行い、
前記化学処理によるエッチング量は5〜7μmであることを特徴とする磁気ディスク用ガラス基板の製造方法。 - 前記化学処理はフッ酸(HF)を用いることを特徴とする請求項1に記載の磁気ディスク用ガラス基板の製造方法。
- 前記ガラス基板は、アルミノシリケートガラスからなることを特徴とする請求項1または2に記載の磁気ディスク用ガラス基板の製造方法。
- 1インチ型ハードディスクドライブ、または、1インチ型ハードディスクドライブよりも小径の磁気ディスクを用いるハードディスクドライブに搭載する磁気ディスク用のガラス基板を製造することを特徴とする請求項1〜請求項3のいずれか1項に記載の磁気ディスク用ガラス基板の製造方法。
- 請求項1〜請求項4のいずれか1項に記載の磁気ディスク用ガラス基板の製造方法により得られた磁気ディスク用ガラス基板の表面に、少なくとも磁性層を形成することを特徴とする磁気ディスクの製造方法。
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