JP3844635B2 - ロールスポンジ、ロールスポンジの製造方法、ロールスポンジの製造具及びロールスポンジを軸に取り付ける方法 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、ロールスポンジ、ロールスポンジの製造方法、ロールスポンジの製造具及びロールスポンジを軸に取り付ける方法に関し、特に円柱状回転軸に装填して被洗浄物を洗浄するのに用いられるロールスポンジ、ロールスポンジの製造方法、ロールスポンジの製造具及びロールスポンジを軸に取り付ける方法に関するものである。
【0002】
【従来の技術】
半導体ウエハをスクラブ洗浄するのに使用されるロールスポンジは、回転軸に取り付けられる。そのようなロールスポンジは、従来から、図5に示すように、ロールスポンジ52の内周側に界面活性剤を塗りつけて滑りやすくした状態で、むりやり回転軸51を押し込んでいた。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】
以上のような従来の方法によれば、ロールスポンジに過大な応力が加わり破損することがあった。またロールスポンジがよじれることがあった。ロールスポンジのよじれは洗浄性能の低下につながるので、それを直すために多大な労力を必要としていた。
【0004】
そこで本発明は、回転軸に装填するのが容易なロールスポンジ、そのようなロールスポンジの製造方法、ロールスポンジの製造具及びロールスポンジを軸に取り付ける方法を提供することを目的としている。
【0005】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するために、請求項1に係る発明によるロールスポンジは、例えば図1に示すように、第1の直径d1の外周を有する円柱状回転軸11に装填して被洗浄物W(図4)を洗浄するのに用いられる円筒状のロールスポンジ21において;弾性を有する湿潤状態21aと固化した乾燥状態21bとが可逆的な材料をもって円筒を形成し;前記円筒を、湿潤状態で前記円筒の内周が第1の直径d1より大なる第2の直径D2(図2)になるように維持して乾燥し、第1の直径d1より大なる直径d2の内周を有する固化した円筒状に形成する。
【0006】
被洗浄物は、典型的には表面が平坦な被洗浄物であり、例えば半導体ウエハである。湿潤状態と乾燥状態の可逆は何回も2つの状態間を行き来できる必要はなく、例えば湿潤状態から乾燥状態になり、次に湿潤状態で先の湿潤状態とほぼ同様な寸法形状になり得るだけでもよい。
【0007】
このように構成すると、湿潤状態と乾燥状態とが可逆的な材料をもって円筒を形成し、この円筒を、湿潤状態で円筒の内周が第1の直径より大なる第2の直径になるように維持して乾燥するので、第1の直径より大なる直径の内周を有する固化した円筒が形成できる。
【0008】
また請求項2に記載のように、請求項1に記載のロールスポンジでは、前記材料をもって形成された円筒は、湿潤状態で前記第1の直径d1と等しいかまたは第1の直径d1より小なる第3の直径d3の内周を有するようにするとよい。
【0009】
このように構成すると、第3の直径d3≦第1の直径d1<固化した乾燥状態のロール内周直径d2(≒第2の直径D2)の関係となる。好ましくは第3の直径d3<第1の直径d1であり、第1の直径d1と第3の直径d3との差が締め代となる。
【0010】
前記目的を達成するために、請求項3に係る発明によるロールスポンジの製造方法は、第1の直径d1の外周を有する円柱状回転軸11に装填して被洗浄物Wを洗浄するのに用いられる円筒状ロールスポンジの製造方法において;弾性を有する湿潤状態21aと固化した乾燥状態21bとが可逆的な材料をもって円筒を形成する工程と;前記円筒を、湿潤状態で前記円周の内周が第1の直径d1より大なる第2の直径D2になるように維持して乾燥する工程とを備える。
【0011】
このように構成すると、第2の直径とほぼ等しい内径を有する、乾燥して固化したロールスポンジが得られる。
【0012】
前記目的を達成するために、請求項4に係る発明によるロールスポンジ製造具は、第1の直径d1の外周を有する円柱状回転軸11に装填して被洗浄物Wを洗浄するのに用いられる円筒状ロールスポンジの製造具において;円筒状の心棒円筒31を長手方向に複数のセグメント31a、31b、31cに分割し、複数のセグメント31a、31b、31cを組み合わせた状態の心棒円筒の外周の直径D1、D1’が、第1の直径d1より細く形成した円筒状ロールスポンジ21aの湿潤状態における内周の直径d3と同等またはそれより細い分割心棒31と;心棒円筒31の内周側に嵌合するテーパ心棒32a、32bであって、前記テーパの先細の先端の直径が、前記組み合わせた状態にある心棒円筒31a、31b、31cの端部の内周の直径よりも小さく、テーパ心棒32a、32bを分割心棒31a、31b、31cの内周側に挿入したとき、分割心棒31a、31b、31cの外周の直径D1、D1’が第1の直径d1よりも大なる直径になるように形成したテーパ心棒32a、32bとを備える。
【0013】
このように構成すると、分割心棒の内周側に挿入したとき、分割心棒の外周の直径が第1の直径よりも大なる直径になるように形成したテーパ心棒を備えるので、湿潤状態のロールスポンジの内径を拡大することができる。
【0014】
前記目的を達成するために、請求項5に係る発明によるロールスポンジを回転軸に取り付ける方法は、第1の直径d1の外周を有する円柱状回転軸11に装填して被洗浄物Wを洗浄するのに用いられる円筒状ロールスポンジ21を回転軸11に取り付ける方法において;弾性を有する湿潤状態と固化した乾燥状態とが可逆的な材料をもって形成された円筒材を、湿潤状態に維持する工程と;前記円筒を、湿潤状態に維持したまま前記内周が第1の直径d1より大なる第2の直径D2になるように維持して乾燥する工程と;前記乾燥したロールスポンジを回転軸11に挿入する工程と;回転軸11に挿入したロールスポンジを湿潤状態にする工程とを備える。
【0015】
このように構成すると、湿潤状態に維持したまま第2の直径になるように維持して乾燥する工程を備えるので、乾燥したロールスポンジを回転軸に容易に挿入することができ、回転軸に挿入したロールスポンジを湿潤状態にする工程を備えるので、回転軸に取り付けられたロールスポンジを使用可能状態にすることができる。
【0016】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態について、図面を参照して説明する。なお、各図において互いに同一あるいは相当する部材には同一符号を付し、重複した説明は省略する。
【0017】
図1は、本発明による実施の形態である円筒状ロールスポンジと、円柱状回転軸としてのロールスポンジホルダーの組立体を説明する。図1(a)は、組立体の断面図である。ここでロールスポンジの全体とロールスポンジホルダーの一部(先端部)は断面を示してある。
【0018】
図中、ロールスポンジホルダー11は、第1の直径としての外周の直径がd1の円柱状に形成されている。ロールスポンジホルダー11の外周には、ある程度の締め代をもって円筒状のロールスポンジ21が嵌め込まれている。
【0019】
ロールスポンジホルダー11の円柱形状の一端(図中右端)には鍔12が形成されており、ロールスポンジ21の円筒の一端が鍔12に当接するようになっている。したがって、鍔12の外径はロールスポンジホルダー11に嵌合した状態のロールスポンジ21の外径よりも小さい。
【0020】
ロールスポンジホルダー11の円柱形状の他端(図中左端)部13にはネジが切られており、このネジにナット14が装着され、ナット14の端面が、ロールスポンジ21の円筒の他端に当接するようになっている。このようにして、ロールスポンジ21の内周が、ロールスポンジホルダー11の外周に嵌合し、鍔12とナット14とによって端面が当接、保持されている。
【0021】
ロールスポンジホルダー11の円柱の外周にはローレットが切られており、ロールスポンジホルダー11とロールスポンジ21とが、洗浄に使用されているときに滑りにくくなっている。
【0022】
図1(b)を参照して、ロールスポンジホルダー11に装着していない状態のロールスポンジ21を説明する。ここでは、ロールスポンジ21は断面をして示してある。図中、左側には弾性を有する湿潤状態のロールスポンジ21aを右半分を省略して示してあり、右側には固化した乾燥状態のロールスポンジ21bを左半分を省略して示してある。ここで、ロールスポンジを湿潤状態と乾燥状態とで区別しないであるいは総称的に指し示すときの符号は、21a、21bとしないで、単に21とする。
【0023】
弾性を有する湿潤状態のロールスポンジ21aの円筒の内周直径は、第3の直径としての直径d3である。また、固化した乾燥状態のロールスポンジ21bの円筒の内周直径は、後述の図2(c)中の第2の直径D2とほぼ等しい直径d2である。直径d2は、直径d3よりも大きい。また直径d2は、直径d1と同等かあるいはそれよりも大きい。
【0024】
ロールスポンジ21は、PVA(ポリビニルアルコール)を原料として作られている。この材料は、PVAに限らず、弾性を有する湿潤状態と固化した乾燥状態が可逆な材料であればよい。
【0025】
ロールスポンジ21の材料としては、PVAを原料としてこれにアルデヒド類を縮合して製造する、PVAt(ポリビニルアセタール)、中でもPVF(ポリビニルホルマール)を用いるのが好ましい。この材料は、親水性に優れ、微細な連続気孔により、吸水性と保水性を有し、被洗浄物を傷つけず、また凹凸面にも追従して吸水むらがない。またスポンジ一体構造に形成されている。
【0026】
また、この材料は、水でしめらせた湿潤状態では弾性を有し、かなりな自由度をもって所定の形状に変形させることができる。また湿潤状態で所定の形状に変形させて、そのまま保持して乾燥状態とすると、ほぼその所定の形状のまま固化する。固化した乾燥状態の該材料を再び湿潤状態とすると、弾性を有する元の形状とほぼ同じ形状に戻る。
【0027】
このような材料で形成されたロールスポンジ21aの内径を、図1(b)の左側に示すように湿潤状態かつ外力をかけない状態のd3から、内径を拡大してほぼd2に維持して乾燥させたものが、図1(b)の右側に示すロールスポンジ21bである。
【0028】
図2を参照して、ロールスポンジ21aを、内径を拡大して固化した乾燥状態にするためのロールスポンジ製造具としての器具30と、固化した乾燥状態のロールスポンジ21bを器具30を用いて製造する方法を説明する。図2(a)は、置き台33に載置された器具30の平面断面図であり、(b)は、正面図である。また、2点鎖線の想像線で、ロールスポンジ21を示してある。
【0029】
器具30は、円筒状の分割心棒31と、その中に挿入される2本のテーパ心棒32a、32bとで構成されている。分割心棒31は、円筒の中心軸に直交する面A−A矢視で断面した拡大断面図(c)に示すように、内部が中空の、即ち円筒状の心棒を長手方向に複数のセグメントに分割して構成されている。この実施の形態では、心棒は円周方向に3等分され、複数である3つのセグメント31a、31b、31cに分割されている。分割前の心棒の外径はD2、3つの分割面のギャップはそれぞれtであるとする。分割数は、2以上であればよいが、3または4が好ましい。特に3分割が最も好ましい。
【0030】
図2(d)は、分割心棒31の分割面を密着させてギャップtをゼロにした状態の拡大断面である(断面は(c)と同じ位置)。この断面は、分割面を密着させた結果真円ではなくおむすび型になっており、外周の直径方向の最大寸法はD1、最小寸法はD1’である。寸法D1は、ロールスポンジ21の湿潤状態の内径d3と同等またはそれよりも小さく作られている。内径d3と同等であれば、ロールスポンジはもともと弾性を有するので、締め代が多少あっても、それがあまり大きくなければ、分割心棒をロールスポンジに挿入するのは、困難ではないからである。分割心棒が、ロールスポンジの中空部よりも太いときでも、10%程度なら比較的容易に挿入することができる。
【0031】
おむすび型は真円ではないが、便宜上寸法D1、D1’を、複数のセグメント31a、31b、31cを組み合わせた状態の前記心棒31円筒の外周の直径とよぶ。即ち、分割心棒31の複数のセグメント31a、31b、31cを組み合わせた状態の前記心棒円筒の外周の直径D1(及びD1’)が円筒状ロールスポンジ21の湿潤状態における内周の直径d3と同等かそれより細い。ここで、直径d3は、ロールスポンジホルダーの外径d1より細く形成されている。
【0032】
また2本のテーパ心棒32a、32bが、心棒31の中空部の内周側に挿入、嵌合できるように用意されている。テーパ心棒32a、32bは、この実施の形態では同一形状をしており、心棒31の内周側に、心棒31の両端側から対称に挿入できるようになっている。
【0033】
テーパ心棒32a、32bのテーパの先細の先端の直径は、組み合わせた状態にある心棒31の円筒の端部の内周の直径よりも小さく、また、テーパの根元の直径は、テーパ心棒32a、32bを前記分割心棒31の内周側に挿入したとき、分割心棒31の外周の直径D2が、ロールスポンジホルダー11の外周の直径d1よりも大になるように形成されている。
【0034】
分割心棒31の全長L2は、この器具で取り扱うべきロールスポンジ21の全長L1と同じかそれより長く形成されている(L1≦L2)。テーパ心棒32a、32bの、テーパの先端から根元までの長さL3は、長さL2の半分と同じか、それより短く形成されている(L3≦L2/2)。またテーパ心棒32a、32bのテーパの根元には鍔が形成されており、テーパ心棒32a、32bを根元まで分割心棒31に挿入したとき、その鍔が分割心棒31の端面に当接するように構成されている。
【0035】
したがって、テーパ心棒32a、32bを分割心棒31に挿入すれば、鍔が端面に当接して、分割心棒31の外径は自動的に直径D2になる。
【0036】
テーパ心棒32a、32bの材料は、ロールスポンジホルダー11と同じ材料とするのが好ましく、典型的にはPVC(ポリ塩化ビニル)である。このようにすれば、ロールスポンジ21が製造中に金属イオン等で汚染されるのを防止できる。
【0037】
また、円筒状に形成された分割心棒31には、その円筒中空部の内周に円筒の端から内部に向かって、内周の直径が小さくなるテーパを与えるのが好ましい。このテーパは、テーパ心棒のテーパと同じとするのが好ましい。
【0038】
ここで一実施例における各寸法の例を示す。ロールスポンジについては、ロールスポンジホルダーに取り付けない湿潤状態で、全長L1が208公差0〜+2mm、内径d3が18mm、外径31mm(実施例では外周に突起が設けられており、その外径が38mm)、ロールスポンジホルダーに取り付けた湿潤状態で、全長L1が209mm、外径が38公差0〜+2mm、ロールスポンジホルダーの外径d1は21mmであった。したがって、ロールスポンジの締め代は、d1/d3=21/18=1.17、即ち17%であった。
【0039】
分割心棒の外径D2は21.5mm、D1は19.72mm、D1’は19.47mmであった。したがって、内径の拡大率は、D2/d3=21.5/18=1.19、即ち19%であった。
【0040】
以上説明したような器具30を用いて、外周の直径がd1である円柱状回転軸11に装填してウエハのような被洗浄物を洗浄するのに用いられる乾燥した円筒状ロールスポンジ21bを製造する方法を説明する。
【0041】
まず湿潤状態で内径がd3の円筒状ロールスポンジ21を用意する。このロールスポンジ21の円筒の中空部に分割面を密着して組み合わせた分割心棒31(31a、31b、31c)を挿入する。分割心棒31の外周の直径D1、D1’が、湿潤状態のロールスポンジ21の内周の直径d3よりも小さいので、ロールスポンジ21の中空部に容易に挿入できる。
【0042】
次に分割心棒31に、2本のテーパ心棒32a、32bを、両側から同時に、テーパ心棒の鍔が分割心棒の端面に当接するまで挿入する。2本を同時に挿入するので、分割心棒31は一様に拡大され、外径はD2となる。ロールスポンジ21は、湿潤状態で弾性を有するので、その内径はD2まで拡大し、その状態で維持される。
【0043】
このように内径を拡大した状態に維持しつつ、置き台33と共に、約50℃に維持される電気炉に納め、20時間以上(一実施例では23時間)保持する。但し、保持の時間は、電気炉の温度との兼ね合いで、前記よりも長く、或いは短くすることもできる。例えば温度が50℃より低ければ、保持の時間は20時間よりもかなり長くすることを要し、例えば55℃とすれば、20時間より短くすることもできる。また温度だけでなく、電気炉内を低湿度に除湿してやれば、時間を短くすることができる。
【0044】
電気炉内で十分に乾燥した後に取り出し、テーパ心棒32a、32bを、分割心棒31から抜き出す。すると分割心棒の外径は、D1、D1’になるので、乾燥したロールスポンジ21bから分割心棒31を容易に抜き出すことができる。このようにして作られた乾燥ロールスポンジ21bは、乾燥して固化しているので、取り扱いが容易で、且つ乾燥状態であるので黴(かび)の発生も抑えられる。
【0045】
このようにして作られた乾燥ロールスポンジ21bは、その内径d2がほぼ直径D2と同じであり、ロールスポンジホルダー11の外径d1よりも大きいので、両者を容易に組み立てることができる。組立後、ロールスポンジ21を湿潤状態にすると、元の形状に戻るので、図1(a)に示すようなロールスポンジホルダー11とロールスポンジ21との組立体が容易に構成できる。
【0046】
ここで、乾燥ロールスポンジ21bは固化しているものの、ある程度の弾性を有する。したがって、その内径d2の測定方法によっては、大きめに測定されたり、小さめに測定されたりする。「ロールスポンジ21bの内径d2がロールスポンジホルダー11の外径d1より大きい」とは、乾燥固化されたロールスポンジ21bがロールスポンジホルダー11に無理なく押し込める状態にあることを言い、両者がほぼ等しく、測定方法によっては内径d2が外径d1よりも多少は小さく測定される場合を含むものとする。
【0047】
図3を参照して、ロールスポンジ製造具の別の実施の形態である器具34を説明する。器具34では、分割心棒35の全長は器具30と同じくL2であるが、そのテーパは分割心棒35の円筒の一端から他端に向けて一様に付けられている。これと組み合わせるテーパ心棒32cは1本で済む。テーパ心棒32cの長手方向の長さL3’は、分割心棒35の長さL2にほぼ等しく、それより僅かに短く作られている。その他、分割心棒35の分割方法等は、器具30の場合と同様であるので、重複した説明は省略する。
【0048】
この場合も、図2の場合と同様に、テーパ心棒32cを分割心棒35に挿入することにより、湿潤状態にあるロールスポンジの内径を拡大し、乾燥ロールスポンジ21bを製造することができる。
【0049】
乾燥ロールスポンジ21bの製造は、クリーンルームで行うのが好ましい。
【0050】
湿潤ロールスポンジ21の拡大率、即ちD2/d3(≒d2/d3)は、15〜40%とする。拡大率が小さ過ぎると、ロールスポンジホルダー11との締め代が十分にとれず、拡大率が大き過ぎるとロールスポンジ21が破損する虞がある。拡大率は、さらに好ましくは19〜25%とする。一実施例では23%とした。
【0051】
従来は、ロールスポンジホルダーに、湿潤状態のロールスポンジを無理に押し広げて挿入していたので、例えば20%以上の拡大率とすると、ロールスポンジが割れることがあった。しかしながら、本発明の実施の形態の器具を用いれば、一様に拡大されて無理な力が加わらず、破損させることなしにロールスポンジの内径の拡大が可能である。
【0052】
図4を参照して、以上説明した円柱状回転軸としての取付軸11にロールスポンジ21を装填して半導体基板Wを洗浄する洗浄装置の例を説明する。図に示すのは、半導体基板の洗浄装置としてのスクラブ洗浄装置である。
【0053】
これは、被洗浄物である半導体基板Wを保持して、回転させるスピンチャック40と、基板Wの面に平行な軸回りに回転する円柱状回転軸としての取付軸11と、取付軸11の外周に装着した洗浄部材であるロールスポンジ21と、基板Wの被洗浄面に洗浄液を供給する洗浄液ノズル43を有している。ロールスポンジ21は、支持駆動部44によって軸回りに回転し、基板Wの表面を擦りながら洗浄する。
【0054】
スピンチャック40は、基板Wの外周に沿って配置されたスピンドル41と、スピンドル41上に回転可能に設けられ基板Wの外周部を保持する駒42とを備えており、駒42の回転力が基板Wの外側面に伝達されて基板Wが回転するようになっている。
【0055】
ロールスポンジ21は取付軸11の外周に弾性的に嵌合しているので、洗浄の際に、ロールスポンジ21と基板Wの間の摩擦によりロールスポンジ21に作用する回転モーメントによる取付軸11とロールスポンジ21との滑りが防止される。また、洗浄時の取付軸11とロールスポンジ21の滑り防止のために、取付軸11には細かい溝を形成したローレット加工が施され、さらに滑りにくくなっている。乾燥ロールスポンジ21bを用いれば、ローレット加工がほどこされた取付軸11にも、容易にロールスポンジを取り付けることができる。また締め代も十分にとることができるので、洗浄中のロールスポンジ21とロールスポンジホルダー11との滑りも抑えることができ、したがって、ロールスポンジ21のよじれも最小限に抑えることができる。
【0056】
また本発明の実施の形態の乾燥ロールスポンジ、ロールスポンジを回転軸に取り付ける方法によれば、従来は、現場でロールスポンジを交換することが困難であったために、ロールスポンジの使用後は、回転軸としてのロールスポンジホルダーをロールスポンジごと廃棄していたものを、乾燥ロールスポンジを用いるので、ロールスポンジホルダーを繰り返し利用することが可能となる。このようにして、環境保護にも資することができる。
【0057】
【発明の効果】
以上のように、本発明によれば、湿潤状態と乾燥状態とが可逆的な材料をもって円筒を形成し、この円筒を、湿潤状態で円筒の内周が第1の直径より大なる第2の直径になるように維持して乾燥するので、第1の直径より大なる直径の内周を有する固化した円筒が形成でき、回転軸に容易に装填できるロールスポンジを提供することが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の実施の形態であるロールスポンジを、ロールスポンジホルダーに装填した状態を示す断面図である。
【図2】本発明の実施の形態であるロールスポンジ製造具としての器具を示す平面断面図と正面図である。
【図3】本発明の別の実施の形態であるロールスポンジ製造具としての器具を示す一部断面した正面図である。
【図4】本発明の実施の形態で製造したロールスポンジをロールスポンジホルダーに装着して、ウエハを洗浄するスクラブ洗浄装置の例を示す斜視図である。
【図5】従来の、ロールスポンジとロールスポンジホルダーとの組立方法を示すイラスト図である。
【符号の説明】
11 ロールスポンジホルダー
21 ロールスポンジ
21a 湿潤状態のロールスポンジ
21b 乾燥状態のロールスポンジ
30、34 器具
31 分割心棒
32 テーパ心棒
Claims (5)
- 第1の直径の外周を有する円柱状回転軸に装填して被洗浄物を洗浄するのに用いられる円筒状のロールスポンジにおいて;
弾性を有する湿潤状態と固化した乾燥状態とが可逆的な材料をもって円筒を形成し;
前記円筒を、湿潤状態で前記円筒の内周が前記第1の直径より大なる第2の直径になるように維持して乾燥し、前記第1の直径より大なる直径の内周を有する固化した円筒状に形成した;
ロールスポンジ。 - 前記材料をもって形成された円筒は、湿潤状態で前記第1の直径と同等かまたは前記第1の直径より小なる第3の直径の内周を有する、請求項1に記載のロールスポンジ。
- 第1の直径の外周を有する円柱状回転軸に装填して被洗浄物を洗浄するのに用いられる円筒状ロールスポンジの製造方法において;
弾性を有する湿潤状態と固化した乾燥状態とが可逆的な材料をもって円筒を形成する工程と;
前記円筒を、湿潤状態で前記円筒の内周が前記第1の直径より大なる第2の直径になるように維持して乾燥する工程とを備える;
ロールスポンジの製造方法。 - 第1の直径の外周を有する円柱状回転軸に装填して被洗浄物を洗浄するのに用いられる円筒状ロールスポンジの製造具において;
円筒状の心棒円筒を長手方向に複数のセグメントに分割し、該複数のセグメントを組み合わせた状態の前記心棒円筒の外周の直径が、前記第1の直径より細く形成した前記円筒状ロールスポンジの湿潤状態における内周の直径と同等またはそれより細い分割心棒と;
前記心棒円筒の内周側に嵌合するテーパ心棒であって、前記テーパの先細の先端の直径が、前記組み合わせた状態にある心棒円筒の端部の内周の直径よりも小さく、該テーパ心棒を前記分割心棒の内周側に挿入したとき、該分割心棒の外周の直径が前記第1の直径よりも大なる直径になるように形成したテーパ心棒とを備える;
ロールスポンジ製造具。 - 第1の直径の外周を有する円柱状回転軸に装填して被洗浄物を洗浄するのに用いられる円筒状ロールスポンジを前記回転軸に取り付ける方法において;
弾性を有する湿潤状態と固化した乾燥状態とが可逆的な材料をもって形成された円筒材を、湿潤状態に維持する工程と;
前記円筒を、湿潤状態に維持したまま前記内周が前記第1の直径より大なる第2の直径になるように維持して乾燥する工程と;
前記乾燥したロールスポンジを前記回転軸に挿入する工程と;
前記回転軸に挿入したロールスポンジを湿潤状態にする工程とを備える;
ロールスポンジを回転軸に取り付ける方法。
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